JPH07263272A - 積層電子部品の製造方法 - Google Patents

積層電子部品の製造方法

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JPH07263272A
JPH07263272A JP7413294A JP7413294A JPH07263272A JP H07263272 A JPH07263272 A JP H07263272A JP 7413294 A JP7413294 A JP 7413294A JP 7413294 A JP7413294 A JP 7413294A JP H07263272 A JPH07263272 A JP H07263272A
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俊哉 中村
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 内部応力を均一にした、内部電極と保護層と
の間でデラミネーションを生じさせないようにした積層
セラミックコンデンサの製造方法、ひいては電気的特性
にバラツキの少ない積層電子部品の製造方法を得るこ
と。 【構成】 交互に積層されているセラミックグリーンシ
ートと導電性ペースト膜、及び該導電性ペースト膜のう
ちで最外に位置する一対の導電性ペースト膜の外側に積
層されている一対の保護層用セラミックグリーンシート
とからなる積層体チップを形成し、この積層体チップを
焼成して焼結させ、この積層体チップの端部に導電性ペ
ーストを焼き付けて外部電極を形成し、焼結した前記導
電性ペースト膜からなる内部電極を該外部電極によって
交互に電気的に接続させてなる積層電子部品の製造方法
において、前記保護層用セラミックグリーンシートとし
て、前記セラミックグリーンシートの焼成収縮率よりも
前記導電性ペースト膜の焼成収縮率に近い焼成収縮率を
有するセラミックグリーンシートを用いた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は複数層のセラミック層と
複数層の導電体膜とを交互に積層してなる積層電子部
品、特に積層セラミックコンデンサの製造方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】図2は従来の積層セラミックコンデンサ
の一例の断面図である。同図に示すように、この積層セ
ラミックコンデンサは交互に積層した複数層の誘電体層
10と複数層の内部電極11とから構成されている。複
数層の内部電極11のうちで最外に位置する内部電極1
1の外側には一対の保護層12,12が各々積層形成さ
れている。そして、複数層の内部電極11の端部は一対
の外部電極13,13によって交互に電気的に接続され
ている。
【0003】ここで、誘電体層10は、例えばチタン酸
バリウムなどの誘電体材料を主成分としたセラミックか
らなる。また、内部電極11は、銀、銀−パラジウム、
パラジウム、白金またはニッケルなどの金属粉を主成分
とした導電性ペーストを焼成して形成した金属膜からな
る。また、保護層12は、誘電体層10と同一組成のセ
ラミックからなる。更に、外部電極13は、内部電極1
1と同一組成の導電性材料からなる。
【0004】次に、この従来の積層セラミックコンデン
サの製造方法の一例について説明する。
【0005】まず、チタン酸バリウム等のセラミック粉
末に有機バインダーと有機溶剤等を加えて混練し、チタ
ン酸バリウム粉末を主成分とするスラリーを作成する。
そして、このスラリーを、走行するポリエチレンテレフ
タレート(以下、PETという。)フィルム上にドクタ
ーブレード法で膜状に塗布し、この膜状のスラリーをそ
のままPETフィルム上で乾燥させ、チタン酸バリウム
粉末を主成分とするセラミックグリーンシートを得る。
【0006】次に、このセラミックグリーンシート上に
導電性ペースト膜をスクリーン印刷法により所定パター
ンで印刷・形成する。そして、この導電性ペースト膜を
形成したセラミックグリーンシートを複数枚、導電性ペ
ースト膜がセラミックグリーンシートを挟んで対向する
ように積層する。更に、この積層した複数枚のセラミッ
クグリーンシートの上下面に、導電性ペーストを印刷し
てないセラミックグリーンシートを数枚ずつ積層する。
そして、上下方向から大きな圧力を加えてこれらのセラ
ミックグリーンシート全体を圧着させる。
【0007】次に、積層状態にあるこれらのセラミック
グリーンシートを小さなサイコロ状に切断して積層体チ
ップとし、この積層体チップを1200〜1400℃で
焼成する。この焼成により、導電性ペースト膜は焼結し
て金属性の膜からなる内部電極となり、内部電極に挟ま
れた部分のセラミックグリーンシートは焼結してセラミ
ックシートからなる誘電体層となり、最外の内部電極の
外側に位置するセラミックグリーンシートは焼結してセ
ラミックシートからなる保護層となる。
【0008】次に、この焼成された積層体チップの両端
面に導電性ペーストを焼き付けて外部電極とし、この外
部電極によって内部電極を交互に電気的に接続させて積
層セラミックコンデンサを完成させる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の積層セラミックコンデンサの製造方法において、積
層体チップを焼成させた場合、内部電極用の導電性ペー
スト膜の焼成収縮率と保護層用のセラミックグリーンシ
ートの焼成収縮率とがかなり異なるので、不均一な内部
応力を生じ、形成された積層体チップの保護層と内部電
極とが、図2に部分Aで示すように、局部的に剥離(以
下、「デラミネーション」という。)し、電気的特性に
バラツキを生じさせてしまうことがあった。
【0010】本発明は、上記のような問題点を解決する
ためになされたもので、内部応力を均一にした、内部電
極と保護層との間でデラミネーションを生じさせないよ
うにした積層セラミックコンデンサの製造方法、ひいて
は電気的特性にバラツキの少ない積層電子部品の製造方
法を得ることを目的とするものである。
【0011】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の積層電子部品の製造方法は、交互に積層さ
れているセラミックグリーンシートと導電性ペースト
膜、及び該導電性ペースト膜のうちで最外に位置する一
対の導電性ペースト膜の外側に積層されている一対の保
護層用セラミックグリーンシートとからなる積層体チッ
プを形成し、この積層体チップを焼成して焼結させ、こ
の積層体チップの端部に導電性ペーストを焼き付けて外
部電極を形成し、焼結した前記導電性ペースト膜からな
る内部電極を該外部電極によって交互に電気的に接続さ
せてなる積層電子部品の製造方法において、前記保護層
用セラミックグリーンシートとして、前記セラミックグ
リーンシートの焼成収縮率よりも前記導電性ペースト膜
の焼成収縮率に近い焼成収縮率を有するセラミックグリ
ーンシートを用いた。
【0012】ここで、誘電体層の材料としては、例え
ば、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタ
ン酸鉛等の誘電体を主成分としたセラミックを使用する
ことができる。また、内部電極の材料としては、銀、銀
−パラジウム、白金またはニッケルなどを主成分とする
導電性ペーストを焼成した膜状のものを使用することが
できる。
【0013】保護層用セラミックグリーンシートの焼成
収縮率を導電性ペースト膜の焼成収縮率に近付ける方法
としては、例えば保護層用セラミックグリーンシートに
誘電体用セラミックグリーンシートよりも金属及び/ま
たは金属酸化物を多く含有させて、シート組成を誘電体
用セラミックグリーンシートと異なるようにする方法を
挙げることができる。
【0014】保護層用セラミックグリーンシート中に含
有される金属および/または金属酸化物としては、前記
導電性ペースト膜の主成分金属と同じ金属および/また
はその金属の酸化物が、所望の特性の積層電子部品を製
造する上で、好ましい。
【0015】
【作用】請求項1〜3記載の発明によれば、積層体チッ
プを焼成した場合、保護層用セラミックグリーンシート
が内部電極用の導電性ペースト膜の収縮率に近い状態で
収縮するので、保護層用セラミックグリーンシートの収
縮によって積層電子部品の内部に大きな応力が不均一に
かからず、積層電子部品の内部が比較的均一に焼結す
る。
【0016】また、請求項2記載の発明によれば、更
に、別組成のシートを用意するだけでよいので、保護層
用セラミックグリーンシートの焼成収縮率を変えるため
の別途の工程を設ける必要がない。
【0017】また、請求項3記載の発明によれば、更
に、積層セラミックコンデンサについて焼成の際におけ
る導電性ペースト膜と保護層用セラミックグリーンシー
トとの間の収縮量の差が小さくなるので、不均一な内部
応力が生じず、デラミネーションが生じない。
【0018】
【実施例】 実施例1〜4および比較例1〜4 チタン酸バリウム粉末、ポリビニルブチラール、エタノ
ール、水及びリン酸エステル系分散剤を表1に示す割合
で秤量し、これらをボールミルに入れて約24時間混合
し、チタン酸バリウム粉末を主成分とするスラリーを作
成した。
【0019】
【表1】
【0020】次に、走行するPETフィルム上に、この
スラリーを、ドクターブレード法で、所定の厚さに膜状
に塗布し、更に、この膜状に塗布したスラリーをPET
フィルムの走行中に乾燥させ、所定の大きさに裁断し、
チタン酸バリウムを主成分とする誘電体層用セラミック
グリーンシートを形成した。
【0021】次に、この誘電体層用セラミックグリーン
シート上に、ニッケル、エチルセルロース及びブチルカ
ルビトールを表2に示す割合で含有する導電性ペースト
を、スクリーン印刷法により、所定パターンで印刷し
て、内部電極用の導電性ペースト膜を形成した。
【0022】
【表2】
【0023】また、チタン酸バリウム粉末、ニッケル粉
末、ポリビニルブチラール、エタノール及びリン酸エス
テル系分散剤を表3に示す割合で秤量し、これらをボー
ルミルに入れて約24時間混合し、得られたスラリーを
誘電体用セラミックグリーンシート作成の場合と同様に
して、保護層用セラミックグリーンシートを作成した。
この保護層用セラミックグリーンシートには、チタン酸
バリウム100重量部に対し、ニッケル粉末が1〜40
重量部の範囲で誘電体層用セラミックグリーンシートよ
りも多く含有している。
【0024】
【表3】
【0025】次に、内部電極用の導電性ペースト膜を印
刷した誘電体層用セラミックグリーンシートを数層から
数十層積層し、更にその上下面に保護層用セラミックグ
リーンシートを数層積層し、上下方向から大きな圧力を
加えてこれらのセラミックグリーンシート全体を圧着さ
せた。そして、積層・圧着させたこれらのセラミックグ
リーンシートを切断して、小さなサイコロ状の積層体チ
ップを形成した。
【0026】次に、この積層体チップを1200〜14
00℃で焼成した。この焼成により導電性ペースト膜は
焼結して金属性の膜からなる内部電極となり、内部電極
に挟まれた部分のセラミックグリーンシートは焼結して
セラミックシートからなる誘電体層となり、最外の内部
電極の外側に位置するセラミックグリーンシートは焼結
してセラミックシートからなる保護層となった。
【0027】ここで、保護層用セラミックグリーンシー
ト中に含有されていたニッケル粉末は、焼成が酸化性雰
囲気で行われた場合は酸化ニッケルになり、還元性雰囲
気で行われた場合は金属状態のニッケルのままで存在す
ることになる。
【0028】次に、この焼成された積層体チップの両端
面にニッケル粉末を主成分とする導電性ペーストを焼き
付けて一対の外部電極とし、この外部電極によって内部
電極を交互に電気的に接続させ、図1に示すような積層
セラミックコンデンサを完成させた。
【0029】この積層セラミックコンデンサは、同図に
示すように、複数層の誘電体層20と複数層の内部電極
21とが交互に積層され、複数層の内部電極21のうち
で、最外の内部電極21の外側には、一対の保護層2
2,22が積層され、複数層の内部電極21の端部は一
対の外部電極23,23によって交互に電気的に接続さ
れている。
【0030】得られたこの積層セラミックコンデンサに
ついて、保護層用セラミックグリーンシート中に含有さ
れているニッケル(Ni)粉末の重量(チタン酸バリウ
ム100重量部に対する重量部)と、デラミネーション
の発生率(%) および外部電極23,23間の絶縁抵抗
(MΩ)との関係を調べたところ、表4に示す通りとな
った。
【0031】
【表4】
【0032】以上の結果から、保護層用セラミックグリ
ーンシート中にニッケル粉末がチタン酸バリウム粉末1
00重量部に対して5重量部以上、誘電体層20より多
く含有していると、デラミネーションの発生率が0%に
なることがわかった。ただし、保護層セラミックグリー
ンシート中に含有しているニッケル粉末の量がチタン酸
バリウム粉末100重量部に対して40重量部以上、誘
電体層用セラミックグリーンシートより多いと、外部電
極23,23間の絶縁抵抗が大幅に低下して、コンデン
サとして使用できなくなってしまった。
【0033】従って、保護層用セラミックグリーンシー
ト中に誘電体層用セラミックグリーンシートより多く含
有するニッケル粉末の重量は、チタン酸バリウム粉末1
00重量部に対して、5〜35重量部の範囲、すなわち
実施例1〜4の範囲が好ましい。
【0034】実施例5〜9 保護層用セラミックグリーンシート中に、表5に示す種
類の金属粉を、チタン酸バリウム100重量部に対して
10重量部、誘電体層用セラミックグリーンシートより
も多く含有している以外は、実施例1〜4と同様にし
て、積層セラミックコンデンサを製造し、この積層セラ
ミックコンデンサについて、デラミネーションの発生率
(%) と外部電極間の絶縁抵抗(MΩ)を検査したとこ
ろ、表5に示す通りとなった。
【0035】
【表5】
【0036】以上の結果から、保護層用セラミックグリ
ーンシート中にニッケル以外の金属粉を含有させても同
様の効果が得られることがわかった。
【0037】実施例10〜12 保護層用セラミックグリーンシート中に、表6に示す2
種以上の金属粉を、チタン酸バリウム100重量部に対
して10重量部、誘電体層用セラミックグリーンシート
よりも多く含有させた以外は、実施例1〜4と同様にし
て、積層セラミックコンデンサを製造し、この積層セラ
ミックコンデンサについて、デラミネーションの発生率
(%) と外部電極間の絶縁抵抗(MΩ)を検査したとこ
ろ、表6に示す通りとなった。
【0038】
【表6】
【0039】以上の結果から、保護層用セラミックグリ
ーンシート中に2種以上の金属粉を含有させても同様の
効果が得られることがわかった。
【0040】
【発明の効果】請求項1〜3記載の発明によれば、積層
体チップを焼成した場合、保護層用セラミックグリーン
シートが内部電極用の導電性ペースト膜の収縮率に近い
状態で収縮するので、保護層用セラミックグリーンシー
トの収縮によって積層電子部品の内部に大きな応力が不
均一にかからず、積層電子部品の内部が比較的均一に焼
結する。従って、内部応力が比較的均一な、電気的特性
にバラツキの少ない積層電子部品を得ることができる。
また、積層数の多い積層電子部品を得ることができる。
【0041】また、請求項2記載の発明によれば、更
に、別組成のシートを用意するだけでよいので、保護層
用セラミックグリーンシートの焼成収縮率を変えるため
の別途の工程を設ける必要がなく、従って、請求項1記
載の積層電子部品を容易に実現できる。
【0042】また、請求項3記載の発明によれば、更
に、積層セラミックコンデンサについてデラミネーショ
ンを防止できるので、積層セラミックコンデンサの歩留
りを向上させ、コストダウンを図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明に係る積層セラミックコンデンサ
の製造方法によって製造された積層セラミックコンデン
サの一例の断面図である。
【図2】図2は従来の積層セラミックコンデンサの製造
方法によって製造された積層セラミックコンデンサの一
例の断面図である。
【符号の説明】
20 誘電体層 21 内部電極 22 保護層 23 外部電極

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 交互に積層されているセラミックグリー
    ンシートと導電性ペースト膜、及び該導電性ペースト膜
    のうちで最外に位置する一対の導電性ペースト膜の外側
    に積層されている一対の保護層用セラミックグリーンシ
    ートとからなる積層体チップを形成し、この積層体チッ
    プを焼成して焼結させ、この積層体チップの端部に導電
    性ペーストを焼き付けて外部電極を形成し、焼結した前
    記導電性ペースト膜からなる内部電極を該外部電極によ
    って交互に電気的に接続させてなる積層電子部品の製造
    方法において、 前記保護層用セラミックグリーンシートとして、前記セ
    ラミックグリーンシートの焼成収縮率よりも前記導電性
    ペースト膜の焼成収縮率に近い焼成収縮率を有するセラ
    ミックグリーンシートを用いたことを特徴とする積層電
    子部品の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記保護層用セラミックグリーンシート
    は、前記セラミックグリーンシートと異なる組成のもの
    からなることを特徴とする請求項1記載の積層電子部品
    の製造方法。
  3. 【請求項3】 前記積層電子部品が積層セラミックコン
    デンサであることを特徴とする請求項1又は2記載の積
    層電子部品の製造方法。
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