JPH07258830A - 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 - Google Patents
蒸着用Ａｇ材及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH07258830A JPH07258830A JP7393394A JP7393394A JPH07258830A JP H07258830 A JPH07258830 A JP H07258830A JP 7393394 A JP7393394 A JP 7393394A JP 7393394 A JP7393394 A JP 7393394A JP H07258830 A JPH07258830 A JP H07258830A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- boat
- producing
- oxygen concentration
- casting
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 蒸着ボートと良く濡れ、安定した濡れ性を示
し、成膜スピードが遅くなり、薄膜での膜厚コントロー
ルが容易な蒸着用Ａｇ材とその製造方法を提供する。 【構成】 Ａｇ中の酸素濃度を10ppm 未満となしたこと
を特徴とする蒸着用Ａｇ材。Ａｇを真空溶解して、また
は脱酸剤を用いて大気中で溶解して、脱酸し、鋳造後所
要形状に塑性加工することを特徴とする蒸着用Ａｇ材の
製造方法。
し、成膜スピードが遅くなり、薄膜での膜厚コントロー
ルが容易な蒸着用Ａｇ材とその製造方法を提供する。 【構成】 Ａｇ中の酸素濃度を10ppm 未満となしたこと
を特徴とする蒸着用Ａｇ材。Ａｇを真空溶解して、また
は脱酸剤を用いて大気中で溶解して、脱酸し、鋳造後所
要形状に塑性加工することを特徴とする蒸着用Ａｇ材の
製造方法。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、成膜蒸着源として用い
られるＡｇ材、特に安定した成膜スピードを得るのに好
適なＡｇ材とその製造方法に関する。
られるＡｇ材、特に安定した成膜スピードを得るのに好
適なＡｇ材とその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｍｏ又はＷよりなる蒸着ボート上
でＡｇを溶融、ベーパーさせた場合、Ａｇがボートに濡
れたり、濡れなかったりして、成膜スピードが変化する
為、膜厚コントロールが困難であった。一方、最近は薄
膜でのコントロールが要求され、従来のボートに濡れな
いＡｇでは成膜スピードが速過ぎたりして、コントロー
ルが難しい為、ボートと安定して濡れるＡｇ材が要求さ
れている。
でＡｇを溶融、ベーパーさせた場合、Ａｇがボートに濡
れたり、濡れなかったりして、成膜スピードが変化する
為、膜厚コントロールが困難であった。一方、最近は薄
膜でのコントロールが要求され、従来のボートに濡れな
いＡｇでは成膜スピードが速過ぎたりして、コントロー
ルが難しい為、ボートと安定して濡れるＡｇ材が要求さ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、蒸着
ボートと安定して濡れる濡れ性の良い蒸着用Ａｇ材及び
その製造方法を提供しようとするものである。
ボートと安定して濡れる濡れ性の良い蒸着用Ａｇ材及び
その製造方法を提供しようとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の蒸着用Ａｇ材は、Ａｇ中の酸素濃度を10ppm
未満となしたことを特徴とするものである。また、この
蒸着用Ａｇ材を作る本発明の製造方法の１つは、Ａｇを
真空溶解して脱酸し、鋳造後所要形状に塑性加工するこ
とを特徴とするものである。また、本発明の製造方法の
他の１つは、Ａｇを脱酸材を用いて大気中で溶解して脱
酸し、鋳造後所要形状に塑性加工することを特徴とする
ものである。脱酸剤としては、木炭、ホウ砂、銅リン等
が好ましい。上記本発明の蒸着用Ａｇ材に於いて、Ａｇ
中の酸素濃度を10ppm 未満とした理由は、蒸着ボートと
の濡れ性を良くし、安定して濡れるようにする為で、10
ppmを超えると濡れ性が悪くなり、玉状となるからであ
る。
の本発明の蒸着用Ａｇ材は、Ａｇ中の酸素濃度を10ppm
未満となしたことを特徴とするものである。また、この
蒸着用Ａｇ材を作る本発明の製造方法の１つは、Ａｇを
真空溶解して脱酸し、鋳造後所要形状に塑性加工するこ
とを特徴とするものである。また、本発明の製造方法の
他の１つは、Ａｇを脱酸材を用いて大気中で溶解して脱
酸し、鋳造後所要形状に塑性加工することを特徴とする
ものである。脱酸剤としては、木炭、ホウ砂、銅リン等
が好ましい。上記本発明の蒸着用Ａｇ材に於いて、Ａｇ
中の酸素濃度を10ppm 未満とした理由は、蒸着ボートと
の濡れ性を良くし、安定して濡れるようにする為で、10
ppmを超えると濡れ性が悪くなり、玉状となるからであ
る。
【０００５】
【作用】本発明の蒸着用Ａｇ材は、Ａｇ中の酸素濃度が
10ppm 未満と極めて少ないので、蒸着時のＡｇ溶融で蒸
着ボートの表面を酸化させることが無く、従ってＡｇ
は、蒸着ボートに良く濡れるようになり、安定した濡れ
性を示す。その結果、成膜スピードは遅くなり、薄膜で
の膜厚コントロールが容易となる。また、本発明の蒸着
用Ａｇ材の製造方法は、Ａｇを真空溶解したり、脱酸剤
を用いて大気中で溶解したりして、十分に脱酸するの
で、Ａｇ中の酸素濃度が10ppm 未満と極めて少なくな
り、従って蒸着時ボートに良く濡れ、安定した濡れ性を
示す優れた蒸着用Ａｇ材を容易に且つ安定して製造でき
る。特に脱酸剤に木炭、ホウ砂、銅リン等を用いた場合
は、効率良く脱酸できて、能率良く蒸着用Ａｇ材を製造
できる。
10ppm 未満と極めて少ないので、蒸着時のＡｇ溶融で蒸
着ボートの表面を酸化させることが無く、従ってＡｇ
は、蒸着ボートに良く濡れるようになり、安定した濡れ
性を示す。その結果、成膜スピードは遅くなり、薄膜で
の膜厚コントロールが容易となる。また、本発明の蒸着
用Ａｇ材の製造方法は、Ａｇを真空溶解したり、脱酸剤
を用いて大気中で溶解したりして、十分に脱酸するの
で、Ａｇ中の酸素濃度が10ppm 未満と極めて少なくな
り、従って蒸着時ボートに良く濡れ、安定した濡れ性を
示す優れた蒸着用Ａｇ材を容易に且つ安定して製造でき
る。特に脱酸剤に木炭、ホウ砂、銅リン等を用いた場合
は、効率良く脱酸できて、能率良く蒸着用Ａｇ材を製造
できる。
【０００６】
【実施例】本発明の蒸着用Ａｇ材及びその製造方法の実
施例と比較例について説明する。先ず製造方法について
説明する。実施例１は、Ａｇ50kgを真空溶解して脱酸
し、直径11cm、長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押
出加工、伸線加工を行って線径 2.4mmのＡｇ線材を得
た。実施例２は、Ａｇ50kgに木炭 100ｇを添加して大気
中で溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmのインゴット
を鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って、線径2.4m
mのＡｇ線材を得た。実施例３は、Ａｇ50kgにホウ砂 10
0ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、直径11cm、長
さ50cmのインゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加工
を行って、線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例は、Ａ
ｇ50kgに木炭50ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、
直径11cm、長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押出加
工、伸線加工を行って線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。然
してこれら実施例１〜３及び比較例のＡｇ線材の酸素濃
度を測定した処、下記の表１の左欄に示すような結果を
得た。そしてこれら実施例１〜３及び比較例のＡｇ線材
を夫々長さ15mmに切断し、これらをＭｏよりなる蒸着ボ
ート上で溶融、ベーパーさせた処、下記の表１の右欄に
示すような結果を得た。
施例と比較例について説明する。先ず製造方法について
説明する。実施例１は、Ａｇ50kgを真空溶解して脱酸
し、直径11cm、長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押
出加工、伸線加工を行って線径 2.4mmのＡｇ線材を得
た。実施例２は、Ａｇ50kgに木炭 100ｇを添加して大気
中で溶解して脱酸し、直径11cm、長さ50cmのインゴット
を鋳造した後、押出加工、伸線加工を行って、線径2.4m
mのＡｇ線材を得た。実施例３は、Ａｇ50kgにホウ砂 10
0ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、直径11cm、長
さ50cmのインゴットを鋳造した後、押出加工、伸線加工
を行って、線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。比較例は、Ａ
ｇ50kgに木炭50ｇを添加して大気中で溶解して脱酸し、
直径11cm、長さ50cmのインゴットを鋳造した後、押出加
工、伸線加工を行って線径 2.4mmのＡｇ線材を得た。然
してこれら実施例１〜３及び比較例のＡｇ線材の酸素濃
度を測定した処、下記の表１の左欄に示すような結果を
得た。そしてこれら実施例１〜３及び比較例のＡｇ線材
を夫々長さ15mmに切断し、これらをＭｏよりなる蒸着ボ
ート上で溶融、ベーパーさせた処、下記の表１の右欄に
示すような結果を得た。
【０００７】
【表１】
【０００８】上記の表１で明らかなように酸素濃度10pp
m 未満の実施例１〜３のＡｇ線材は濡れ性が良く、酸素
濃度10ppm を超える比較例のＡｇ線材は濡れ性が悪いこ
とが判る。
m 未満の実施例１〜３のＡｇ線材は濡れ性が良く、酸素
濃度10ppm を超える比較例のＡｇ線材は濡れ性が悪いこ
とが判る。
【０００９】
【発明の効果】以上の通り本発明の蒸着用Ａｇ材は、蒸
着ボートと良く濡れ、安定した濡れ性を示すので、成膜
スピードが遅くなり、薄膜での膜厚コントロールが容易
となる。また、本発明の蒸着用Ａｇ材の製造方法によれ
ば、上記の優れた蒸着用Ａｇ材を、容易に且つ安定して
得ることができる。
着ボートと良く濡れ、安定した濡れ性を示すので、成膜
スピードが遅くなり、薄膜での膜厚コントロールが容易
となる。また、本発明の蒸着用Ａｇ材の製造方法によれ
ば、上記の優れた蒸着用Ａｇ材を、容易に且つ安定して
得ることができる。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ａｇ中の酸素濃度を10ppm 未満となした
ことを特徴とする蒸着用Ａｇ材。 - 【請求項２】 Ａｇを真空溶解して脱酸し、鋳造後所要
形状に塑性加工することを特徴とする蒸着用Ａｇ材の製
造方法。 - 【請求項３】 Ａｇを脱酸剤を用いて大気中で溶解して
脱酸し、鋳造後所要形状に塑性加工することを特徴とす
る蒸着用Ａｇ材の製造方法。 - 【請求項４】 脱酸剤が、木炭、ホウ砂、銅リンである
ことを特徴とする請求項３記載の蒸着用Ａｇ材の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7393394A JPH07258830A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7393394A JPH07258830A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07258830A true JPH07258830A (ja) | 1995-10-09 |
Family
ID=13532433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7393394A Pending JPH07258830A (ja) | 1994-03-18 | 1994-03-18 | 蒸着用Ａｇ材及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07258830A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011202233A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Tokuriki Honten Co Ltd | 微量元素添加Ａｇ合金およびその製造方法 |
| JP6829340B1 (ja) * | 2020-10-01 | 2021-02-10 | 松田産業株式会社 | 金の蒸着材料 |
| JP2021091922A (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-17 | 松田産業株式会社 | 蒸着材料及びその製造方法 |
-
1994
- 1994-03-18 JP JP7393394A patent/JPH07258830A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011202233A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Tokuriki Honten Co Ltd | 微量元素添加Ａｇ合金およびその製造方法 |
| JP2021091922A (ja) * | 2019-12-06 | 2021-06-17 | 松田産業株式会社 | 蒸着材料及びその製造方法 |
| JP6829340B1 (ja) * | 2020-10-01 | 2021-02-10 | 松田産業株式会社 | 金の蒸着材料 |
| WO2022070433A1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | 松田産業株式会社 | 金の蒸着材料 |
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