JPH07240037A - ガラス原盤のセンタリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 簡単且つ低コストの構成により、ターンテー
ブルを回転させることなく、迅速に且つ高精度に芯出し
が行なわれるようにした、ガラス原盤のセンタリング装
置を提供すること。 【構成】 各リンクアーム２２，２３，２４のピボット
軸の周りの揺動によって、各案内駒が、ターンテーブル
の回転中心に対して、同一方向に等距離だけ移動して、
ターンテーブル上に載置されたガラス原盤の外周に当接
できるように、ガラス原盤のセンタリング装置２０を構
成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光ディスクのガラス原
盤露光装置において、光ディスクのマスターとなるべき
ガラス原盤を、その中心がターンテーブルの回転中心に
一致するように、芯出しするための、ガラス原盤のセン
タリング装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、光ディスクのガラス原盤露光装置
において、光ディスクのマスターとなるべきガラス原盤
の中心が、ターンテーブルの回転中心からずれている
と、このガラス原盤に対する回転記録中に、ダイナミッ
クアンバランスによって、振動等が発生する。これによ
り、このガラス原盤に記録されるトラックピッチ等の記
録精度が低下してしまう。

【０００３】このため、ガラス原盤の中心に貫通したセ
ンターホールを設けておき、このセンターホールをター
ンテーブル上のセンターピンに嵌合させることにより、
このガラス原盤の芯出しを行なう方法がある。しかしな
がら、この方法では、高精度の芯出しを得るためには、
センターホール及びガラス原盤の外円筒の同心度と、セ
ンターホールの寸法精度を高精度に規定する必要があ
る。従って、ガラス原盤が高価になってしまうという問
題があった。

【０００４】また、ガラス原盤にセンターホールが設け
られていると、ガラス原盤にフォトレジストを均一にス
ピンコートする際、及び露光後の現像処理等のウェット
プロセスの際、そしてガラス原盤のリサイクル時の再研
磨の際に、薬液の残留，不連続面による面精度の劣化等
に、上記センターホールに起因する問題が発生しやす
く、むしろセンターホールはない方がよい。

【０００５】さらに、上述したセンターホールが設けら
れている場合には、センターホールに微細なクラック等
の欠陥があると、回転中に遠心力に基づいて、亀裂が発
生し、場合によっては、ガラス原盤が破断し、飛散する
おそれが多くなる。かくして、ガラス原盤に設けられた
センターホールを利用する芯出しは、上述した種々の問
題があるため、実際にはあまり利用されていない。

【０００６】これに対して、ガラス原盤の外円筒を利用
した芯出しを行なう場合には、ターンテーブル上にて、
このガラス原盤の外円筒を、リングにより全周で抑止
し、または少なくとも三ヶ所以上の位置にて、案内駒に
より、このガラス原盤を抑止することにより、このガラ
ス原盤の芯出しが行なわれ得る。

【０００７】しかしながら、この技術においては、ガラ
ス原盤より大きな回転部分が必要であることから、前記
センターホールの場合に比較して、芯出しのための機構
が大幅に大きくなり、高精度に加工するためには、コス
トが高くなってしまうという問題があった。また、ター
ンテーブルの外周に円環状のリングを設けると、ガラス
原盤の取付け，取外しが面倒であると共に、このガラス
原盤の記録面に、傷等のダメージを与える可能性が大き
くなってしまうという問題があった。

【０００８】上述した案内駒またはリングに切欠部を設
けておき、ガラス原盤の記録裏面に、指が治具の爪等が
かかりやすくした場合には、ターンテーブル自体のバラ
ンスが崩れてしまうことから、このターンテーブル自体
のバランス修正が必要になると共に、形状が不連続にな
るため、高速回転時には、周囲の気流を大きく乱すこと
になり、騒音及び風損が増大するため、回転速度の精度
が低下してしまうという問題があった。

【０００９】近年になって、光ディスク等の高密度化及
び高速アクセス化が進んできて、ガラス原盤への記録時
にも、高速回転が要求されるようになってきている。こ
こで、ガラス原盤のダイナミックアンバランスにより発
生する振動の加速度は、回転数の二乗に比例する。従っ
て、従来と同様の芯出し精度では、振動の加速度は、従
来の加速度の二乗に比例して増大することになる。

【００１０】これにより、振動の加速度による影響が非
常に大きくなり、記録精度が著しく低下してしまうこと
になる。さらに、振動の周波数も回転数に比例して高く
なるので、ガラス原盤露光装置の各部の固有振動数と振
動の周波数とが一致してしまった場合、共振によって振
動が増大してしまう等の問題があった。

【００１１】このため、従来に比較して、露光装置各部
の剛性を高める等の対策が必要になるので、露光装置自
体のコストが高くなってしまう等の問題があった。ま
た、共振による振動を抑制するための他の方法として、
ターンテーブルを搭載する装置のベースを十分に重く構
成することにより、ダイナミックアンバランスに起因す
る振動の加速度による変位をトラックピッチ等の記録精
度の悪化に寄与しない範囲内に抑える方法もある。しか
しながら、重量の増大による設置場所が制限されたり、
装置の小型化が困難になる傾向があると共に、材料費も
高くなってしまう等の問題があった。

【００１２】かくして、ターンテーブルの回転中心に対
して、ガラス原盤の外円筒中心をできるだけ正確に一致
させるための外部からの芯出し作業が必要となり、以下
に述べる方法が採用されている。

【００１３】第一の方法は、ターンテーブル上にガラス
原盤を搭載装着する作業者が、ダイヤルゲージまたは電
気マイクロメータ等の変位計を原盤の外円筒端面にセッ
トして、ターンテーブル上のガラス原盤を回転させなが
ら、偏心量が最小または許容範囲内に収まるように、ガ
ラス原盤の位置を微調整する方法である。

【００１４】また、第二の方法は、ターンテーブル上に
ガラス原盤を搭載装着する際に、治具等を使用すること
により、このガラス原盤の偏心量が一定の許容範囲内に
収まるようにして、ターンテーブルを所定の回転数で回
転させ、ダイナミックアンバランスによる振動の大きさ
及び方向を検出する釣合試験機またはダイナミックバラ
ンサー等を使用して、ガラス原盤の不釣合を検出して、
釣合重りを付加し、あるいはガラス原盤の位置を調整す
る方法である。

【００１５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記二
つの方法は、何れも、作業に時間がかかると共に、熟練
した専任の作業者が必要である。また、人が介在するこ
とから、人に起因する塵埃の発生によりガラス原盤の記
録面に塵埃が付着して、ガラス原盤の記録された記録信
号に欠陥が生ずることがある等いう問題があった。さら
に、第二の方法においては、一般に、加速度の検出は、
変位の検出より分解能が劣るため、変位と同等の分解能
を得るためには、高価な検出器が必要になる等の問題が
あった。このため、以下のような方法が、開示されてい
る。

【００１６】先づ、上述した第一の方法を自動化して、
人の介在を排除するようにしたものとしては、特開昭６
１−２０６９５６号，特開平１−２１０２４０号及び特
開平１−２１７７６０号等による方法がある。しかしな
がら、これらの方法は、何れもターンテーブルを少なく
とも２回転以上、比較的低速度で回転させることによっ
て、偏心量を補正し且つ確認するものである。従って、
芯出しに要する時間が比較的長く、また変位計測部，駆
動部，制御部が必要であることから、高精度の芯出しを
行なうためには、複雑で且つ高価な装置となってしまう
等の問題があった。

【００１７】このため、ターンテーブルを回転させず
に、少なくとも３方向から同時に、または順次にガラス
原盤を位置決め移動する方法として、特開平４−３８７
６４０号による方法がある。しかしながら、この方法
は、変位計測部，駆動部，制御部が必要であり、高精度
の芯出しを行なうためには、複雑で且つ高価な装置とな
ってしまう等の問題は、以前として残っていると共に、
さらに演算によってガラス原盤の位置決め移動を行なう
ため、芯出しに時間がかかるという問題があった。

【００１８】これに対して、特開平５−２８５４１号等
において、工作機械の旋盤主軸台に被加工物を取り付け
たり、ボール盤にドリル刃を取り付ける際に使用され
る、スクロール式３つ爪チャックに代表される機構を応
用する方法が提案されている。この方法は、ターンテー
ブルを回転させなくても、少なくとも３方向から同時に
ガラス原盤の位置を規制することにより、瞬時に芯出し
が完了する。さらに、変位計測部が必要ないことから、
前述した方法に比較して、簡単に構成されることにな
る。

【００１９】しかしながら、このような方法において、
高精度の芯出しを行なうためには、各部材の精度が偏心
量と１対１の対応関係にある、即ち、調整部材の回転中
心と駆動回転テーブルと案内駒との間の高い同心度が要
求されることになる。さらに、少なくとも３個以上設け
られる調整部材のそれぞれの案内溝にも同様の高い精度
が要求されることになる。かくして、装置全体では、精
度を向上させるために、コストが高くなってしまうとい
う問題があった。

【００２０】本発明は、以上の点に鑑み、簡単且つ低コ
ストの構成により、ターンテーブルを回転させることな
く、迅速に且つ高精度に芯出しが行なわれ得るようにし
た、ガラス原盤のセンタリング装置を提供することを目
的としている。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記目的は、本発明によ
れば、光ディスクのガラス原盤が載置されるべきターン
テーブルの周囲に配設されたベースプレートと、このベ
ースプレート上にて、このターンテーブルの回転中心に
関して等角度間隔で配設された少なくとも３つのピボッ
ト軸に連結されたリンクアームと、隣接するリンクアー
ムを互いに揺動可能に連結する連接棒と、各リンクアー
ム上に取り付けられた案内駒とを有しており、各リンク
アームのピボット軸の周りの揺動によって、各案内駒
が、ターンテーブルの回転中心に対して、同一方向に等
距離だけ移動して、ターンテーブル上に載置されたガラ
ス原盤の外周に当接する構成とした、ガラス原盤のセン
タリング装置により、達成される。

【００２２】本発明によるガラス原盤のセンタリング装
置は、好ましくは、前記各案内駒のピボット軸からの距
離が、各連接棒のピボット軸からの距離より、短く選定
されている。

【００２３】本発明によるガラス原盤のセンタリング装
置は、好ましくは、前記各案内駒が、外輪が回転可能な
部材により構成されている。

【００２４】本発明によるガラス原盤のセンタリング装
置は、好ましくは、前記各リンクアームのうち、少なく
とも一つのリンクアームとベースプレートとの間に、ピ
ボット軸を介して連結された、このリンクアームを揺動
させるための駆動手段が備えられている。

【００２５】本発明によるガラス原盤のセンタリング装
置は、好ましくは、駆動手段が、エアシリンダ等の直動
駆動機器であって、その駆動部が、ピボット軸に対して
摺動可能に且つ弾性部材によって弾性変形可能に支持さ
れている。

【００２６】本発明によるガラス原盤のセンタリング装
置は、好ましくは、前記ターンテーブル上にてガラス原
盤の外周円の中心がターンテーブルの回転中心に一致す
るように芯出しされたガラス原盤を真空吸着した状態
で、各リンクアームを揺動させて、各案内駒をガラス原
盤の外周縁に当接させるように、ベースプレートを位置
調整し固定される。

【００２７】また、上記目的は、本発明によれば、光デ
ィスクのガラス原盤が載置されるべきターンテーブルの
周囲に配設されたベースプレートと、このベースプレー
ト上にて、このターンテーブルの回転中心に関して等角
度間隔で配設された少なくとも３つのピボット軸に連結
されたリンクアームと、隣接するリンクアームを互いに
揺動可能に連結する連接棒と、各リンクアーム上に取り
付けられた案内駒と、各リンクアームのうち、少なくと
も一つのリンクアームとベースプレートとの間に、ピボ
ット軸を介して連結された、このリンクアームを揺動さ
せるための駆動手段とを有しており、駆動手段により、
各リンクアームをピボット軸の周りに揺動させることに
より、各案内駒が、ターンテーブルの回転中心に対し
て、同一方向に等距離だけ移動して、ターンテーブル上
に載置されたガラス原盤の外周に当接する構成とした、
ガラス原盤のセンタリング装置により、達成される。

【００２８】

【作用】上記構成によれば、リンクアームと、このリン
クアームを互いに連結する連接棒とから成るリンク機構
によって、各リンクアームに取り付けられた案内駒が、
ターンテーブルの回転中心に対して、同時に同じ方向に
同じ距離だけ移動される。 これにより、ターンテーブ
ル上に載置されたガラス原盤は、各リンクアームの揺動
による案内駒の移動によって、この案内駒が、ガラス原
盤の外周縁に当接する。これにより、このガラス原盤
は、その外周縁の中心が、ターンテーブルの回転中心に
対して一致されるように、ターンテーブル上で移動され
た後、すべての案内駒が、ガラス原盤の外周縁に当接す
ることにより、芯出し調整される。

【００２９】各案内駒のピボット軸からの距離が、各連
接棒のピボット軸からの距離より、短く選定されている
場合には、リンクアームと連接棒とのガタや温度変化，
張力変動による連接棒の変動による影響が、リンクアー
ムの揺動誤差、即ち案内駒の移動誤差に対して縮小され
て伝達される。

【００３０】各案内駒が、外輪が回転可能な部材により
構成されている場合には、案内駒がターンテール上のガ
ラス原盤の外周縁に当接している場合には、この案内駒
が回転する。これにより、案内駒がガラス原盤の外周縁
に当接していることが、案内駒の回転によって確認され
る。

【００３１】各リンクアームのうち、少なくとも一つの
リンクアームとベースプレートとの間に、ピボット軸を
介して連結された、このリンクアームを揺動させるため
の駆動手段が備えられている場合には、この駆動手段を
動作させることにより、各リンクアームが、同時に同じ
方向に同じ角度だけ揺動される。

【００３２】駆動手段が、エアシリンダ等の直動駆動機
器であって、その駆動部が、ピボット軸に対して摺動可
能に且つ弾性部材によって弾性変形可能に支持されてい
る場合には、直動駆動機器の作動によって、駆動部が移
動されたとき、その移動が、直接にリンクアームに伝達
されず、弾性部材を介して伝達されることになる。従っ
て、リンクアーム，連接棒や各ピボット軸等に、過大な
負荷がかかることが防止される。

【００３３】ターンテーブル上にてガラス原盤の外周円
の中心がターンテーブルの回転中心に一致するように芯
出しされたガラス原盤を真空吸着した状態で、各リンク
アームを揺動させて、各案内駒をガラス原盤の外周縁に
当接させるように、ベースプレートを位置調整し固定さ
れる場合には、センタリング装置の調整が容易に且つ短
時間で行なわれ得ることになる。

【００３４】

【実施例】以下、この発明の好適な実施例を図１乃至図
４を参照しながら、詳細に説明する。尚、以下に述べる
実施例は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に
好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲
は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載
がない限り、これらの態様に限られるものではない。

【００３５】図１は、本発明によるセンタリング装置の
一実施例を組み込んだガラス原盤露光装置のエアスピン
ドルターンテーブル付近を示している。 図１におい
て、ガラス原盤露光装置１０は、ベース１１と、このベ
ース１１上に備えられた高さ補正用のスピンドルベース
１２と、このスピンドルベース１２上に取り付けられた
エアスピンドルハウジング１３と、このエアスピンドル
ハウジング１３の上下に貫通した中空部に空気膜を挟ん
で緩く嵌合した回転軸１４と、この回転軸１４の上端に
固定された、軸方向の変位を規制すると共に、適正な空
気膜が配置される円板状のスラストプレート１５と、こ
のスラストプレート１５上に固定されたターンテーブル
１６とを有している。

【００３６】上記ベース１１とスピンドルベース１２
は、互いに一体的に固定されているが、一体に構成され
ていてもよい。

【００３７】また、回転軸１４，スラストプレート１５
及びターンテーブル１６は、図示しない駆動モータ等の
駆動手段によって、互いに一体に回転駆動されるように
なっている。 ここで、回転軸１４及びスラストプレー
ト１５、またはスラストプレート１５及びターンテーブ
ル１６、もしくは回転軸１４，スラストプレート１５及
びターンテーブル１６は、互いに一体に構成されていて
もよい。

【００３８】上記ターンテーブル１６は、その上面にガ
ラス原盤１７が載置されると共に、その上面には、円周
方向に延びる少なくとも一つ以上の円環状の溝１６ａ
と、この円環状の溝１６ａを互いに連通させる放射状の
溝１６ｂとが形成されている。さらに、上記回転軸１４
には、流体通路１４ａが設けられており、この流体通路
１４ａを介して、真空排気が行なわれる。これにより、
ターンテーブル１６上に載置されたガラス原盤１７の下
面と、ターンテーブル１６上に形成された溝１６ａ，１
６ｂが、上記流体通路１４ａを介して真空排気されるこ
とにより、このガラス原盤１７が、ターンテーブル１６
の上面に真空吸着されるようになっている。

【００３９】この場合、上記円環状の溝１６ａ及び放射
状の溝１６ｂは、このガラス原盤１７を真空負圧で吸着
する際、このガラス原盤１７の下面の記録面に対して、
回転記録時に記録精度に悪影響を及ぼさない範囲の変形
のみを与えるように、適正な溝幅及び間隔で、且つ残留
する偏心量による回転中の遠心力によって、このガラス
原盤がターンテーブル１６上から滑り出さないような静
止摩擦力が得られるように、構成されている。

【００４０】また、この溝１６ａ及び１６ｂの深さは、
これらの溝１６ａ，１６ｂとガラス原盤１７により画成
される空間の体積に基づいて、真空排気開始時の急激な
圧力変化を緩和し、且つ真空排気による脈動の発生によ
るガラス原盤１７の位置ずれ，衝撃によるマイクロクラ
ックの発生が防止されるように、適宜に選定される。

【００４１】以上の構成は、従来のガラス原盤露光装置
におけるターンテーブル付近の構成と同じであるが、図
１に示したガラス原盤露光装置１０においては、さらに
以下に説明するセンタリング装置２０が備えられてい
る。

【００４２】即ち、センタリング装置２０は、本実施例
にあっては、上記ターンテーブル１６の周辺にて固定配
置されたベースプレート２１と、このベースプレート２
１上にて、少なくとも３つ（図示の場合、３つ）のピボ
ット軸２１ａ，２１ｂ，２１ｃ（図２参照）に連結され
たリンクアーム２２，２３，２４と、隣接するリンクア
ーム２２，２３及び２３，２４を互いに揺動可能に連結
する二つの連接ロッド２５，２６と、各リンクアーム２
２，２３，２４上にそれぞれ取り付けられた案内駒２
７，２８，２９と、上記リンクアームのうち、リンクア
ーム２２に連結された駆動用のエアシリンダ３０とを有
している。

【００４３】上記ベースプレート２１は、図２に示すよ
うに、３つのネジ２１ｄ，２１ｅ，２１ｆにより、ベー
ス１１またはスピンドルベース１２に対して、固定され
ている。

【００４４】また、リンクアーム２２，２３，２４は、
それぞれピボット軸２１ａ，２１ｂ，２１ｃから一定の
距離に配設されたピボット軸２２ａ，２３ａ，２３ｂ，
２４ａを備えており、上述した各連接ロッド２５，２６
の両端が、それぞれピボット軸２２ａ，２３ａ，２３
ｂ，２４ａにより揺動可能に支持されている。ここで、
上記各連接ロッド２５，２６の長さは、ピボット軸２１
ａ，２１ｂの間隔、及びピボット軸２１ｂ，２１ｃの距
離と同じに選定されている。

【００４５】さらに、各案内駒２７，２８，２９は、そ
れぞれピボット軸２１ａ，２１ｂ，２１ｃから等距離の
位置に配設されている。これにより、例えばリンクアー
ム２２がピボット軸２１ａの周りに揺動されたとき、こ
のリンクアーム２２の揺動が、連接ロッド２５を介し
て、リンクアーム２３に、そして連接ロッド２６を介し
て、リンクアーム２４に伝達される。

【００４６】かくして、各リンクアーム２２，２３，２
４は、互いに同じ向きに同じ角度だけ揺動することにな
り、各リンクアーム２２，２３，２４に取り付けられた
案内駒２７，２８，２９は、ターンテーブル１６の回転
中心に対して、等距離にあるように、ガイドされること
になる。

【００４７】ここで、上記ピボット軸２１ａ，２１ｂ，
２１ｃは、好ましくはこのターンテーブル１６の回転中
心に関して等角度間隔、即ち１２０度の角度間隔で配設
されている。これにより、上記各リンクアーム２２，２
３，２４の互いに連動した揺動によって、各案内駒２
７，２８，２９が、より高精度で、ターンテーブル１６
の回転中心に対して、均等な位置に保持されることにな
る。

【００４８】また、同様にして、ベースプレート２１上
の各ピボット軸２１ａ，２１ｂ，２１ｃに対する各案内
駒２７，２８，２９の距離や、各連接ロッド２５，２６
を支持するピボット軸２２ａ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ
とピボット軸２１ａ，２１ｂ，２１ｃとの距離、そして
各リンクアーム２２，２３，２４と連接ロッド２５，２
６のなす角度、さらに各連接ロッド２５，２６の長さ
（即ち、ピボット軸２２ａ，２３ａ、そしてピボット軸
２３ｂ，２４ａの距離）は、それぞれできるだけ高精度
にすることが望ましい。

【００４９】そして、これらの各部材の加工に際して
は、変位測長計を備えた自動数値制御工作機械等による
穴加工を行なうことにより、一般に、測長計の分解能と
して１μｍ以下、即ち実加工精度として穴の中心間距離
精度にて、１０μｍ以下の精度で、極めて容易に加工が
行なわれ得る。

【００５０】また、上記案内駒２７，２８，２９の揺動
半径、即ち各案内駒２７，２８，２９とピボット軸２１
ａ，２１ｂ，２１ｃとの距離は、好ましくは、各連接ロ
ッド２５，２６の揺動半径、即ちピボット軸２２ａ，２
３ａ，２３ｂ，２４ａとピボット軸２１ａ，２１ｂ，２
１ｃとの距離よりも、短く設定される。

【００５１】これにより、連接ロッド２５，２６の枢支
部分のガタや温度変化，張力変動による連接ロッド２
５，２６の長さの変動によって影響される誤差が、案内
駒２７，２８，２９の揺動角度の誤差として縮小されて
伝達されることにより、できるだけ誤差を少なくするた
めである。

【００５２】前記駆動用エアシリンダ３０は、図２に示
すように、そしてより詳細には図４に示すように、ベー
スプレート２１及びリンクアーム２２に対して、それぞ
れピボット軸２１ｇ及び２２ｂにより、揺動可能に支持
されている。

【００５３】本実施例による原盤露光装置１０及びセン
タリング装置２０は、以上のように構成されており、図
２においては、このエアシリンダ３０は、その直動可動
軸３１が、最短の後死点に位置している。これにより、
各リンクアーム２２，２３，２４は、図において、右旋
された開放状態にある。

【００５４】この開放状態から、ターンテーブル１６上
にガラス原盤１７を載置した後、エアシリンダ３０を作
動させて、その直動可動軸３１を最長の前死点に移動さ
せる。これにより、リンクアーム２２は、図２にて、ピ
ボット軸２１ａの周りに左旋される。このとき、リンク
アーム２２の揺動は、連接ロッド２５を介して、リンク
アーム２３に伝達され、さらに連接ロッド２６を介し
て、リンクアーム２４に伝達される。これにより、各リ
ンクアーム２２，２３，２４は、同じ方向（左方向）に
同じ角度だけ揺動され、図３及び図４に示す、芯出し状
態に持ち来たされる。

【００５５】従って、各リンクアーム２２，２３，２４
に取り付けられた案内駒２７，２８，２９は、ターンテ
ーブル１６の回転中心に対して、互いに同じ距離を保持
しつつ、接近することになる。かくして、各案内駒２
７，２８，２９は、ターンテーブル１６上に載置された
ガラス原盤１７の外周縁に当接し、且つ押動することに
なる。これにより、このガラス原盤１７は、各案内駒２
７，２８，２９が当接する外周縁が、ターンテーブル１
６の回転中心に対して等距離になるように、即ちこのガ
ラス原盤１７の中心がターンテーブル１６の回転中心に
一致するように、このターンテーブル１６上を移動さ
れ、拘束されることになる。

【００５６】この場合、センタリング装置２０は、図３
及び図４に示す状態にて、このガラス原盤１７をターン
テーブル１６の回転中心に一致されるように、前以て調
整しておく必要がある。

【００５７】この調整作業は、先ず、ダイヤルゲージま
たは電気マイクロメータ等の変位計を、このガラス原盤
１７の外円筒端面にセットする。次に、ターンテーブル
１６上のガラス原盤１７を回転させながら、このガラス
原盤１７の偏心量が、その外円筒の真円度と同程度の精
度で最小になるように、即ち、このターンテーブル１６
の回転中心とガラス原盤１７の外円筒の中心とが一致す
るように芯出し調整したガラス原盤１７をターンテーブ
ル１６上に真空吸着させる。

【００５８】そして、この状態でネジ２１ｄ，２１ｅ，
２１ｆを緩めたままで、ガラス原盤１７の芯出し調整を
行なった後、エアシリンダ３０を作動させて、各案内駒
２７，２８，２９が均等にガラス原盤１７の外周縁に当
接するように、ベースプレート２１をベース１１に対し
て移動調整する。最後にネジ２１ｄ，２１ｅ，２１ｆを
締めることにより、容易に且つ短時間で位置決め調整が
行なわれることになる。

【００５９】尚、上記案内駒２７，２８，２９は、カム
フォロア等の外輪が回転可能な部材によって構成されて
いると、ターンテーブル１６を回転させたとき、各案内
駒２７，２８，２９は、ガラス原盤１７に当接していれ
ば、回転し、当接していなければ、回転しない。従っ
て、この案内駒２７，２８，２９が滑ることなく回転し
ている状態を確認すれば、各案内駒２７，２８，２９が
ガラス原盤１７に対して確実に当接していることが容易
に確認される。

【００６０】従って、ベースプレート２１の移動調整の
後、ガラス原盤１７をゆっくり一回転以上回転させたと
き、すべての案内駒２７，２８，２９が回転していると
共に、ガラス原盤１７を一旦ターンテーブル１６からは
ずし、再度ガラス原盤１７をターンテーブル１６上に装
着し、芯出し調整後にターンテーブル１６上に真空吸着
した場合、同様にガラス原盤１７をゆっくり一回転以上
回転させたとき、すべての案内駒２７，２８，２９が回
転していれば、このガラス原盤１７の外円筒中心とこの
ターンテーブル１６の回転中心とが一致するように、セ
ンタリング装置３０の調整が行なわれたことが、容易に
且つ高精度で確認される。

【００６１】また、エアシリンダ３０の作動の際、直動
可動軸３１は、外部からの空気圧力によって駆動される
が、その移動速度が速過ぎると、案内駒２７，２８，２
９がガラス原盤１７の外周縁に当接するとき、ガラス原
盤１７に対して衝撃を与えて、ガラス原盤の当接部分を
破損するおそれがある。従って、エアシリンダ３０への
空気の供給路に、スピードコントローラ等の空気流量を
制限する手段を設けておくことにより、エアシリンダ３
０の直動可動軸３１の移動速度を抑制することが望まし
い。他方、このエアシリンダ３０へ供給される空気の圧
力が十分でないと、直動可動軸３１の動作速度が不安定
になってしまうおそれがある。従って、低速度で且つ安
定した動作が得られるような、適正な空気圧力が供給さ
れる必要がある。

【００６２】さらに、エアシリンダ３０の直動可動軸３
１は、図４に示すように、リンクアーム２２のピボット
軸２２ｂの横向きの貫通穴に対して摺動可能に挿通され
ていると共に、直動可動軸３１とこのピボット軸２２ｂ
の間に、圧縮コイルバネ等の弾性部材３２が設けられて
いる。これにより、直動可動軸３１が前死点に達したと
き、この弾性部材３２の作用によって、この直動可動軸
３１の運動が直接的にリンクアーム２２に伝達されず、
上記弾性部材３２の張力が、リンクアーム２２のピボッ
ト軸２２ｂに伝達される。

【００６３】従って、この直動可動軸３１の直進運動に
よって、過大な負荷が、リンクアーム２２，，２３，２
４及び連接ロッド２５，２６、さらに各ピボット軸等に
作用することが回避され、上記各部材が不用意に変形し
てしまわないようになっている。かくして、エアシリン
ダ３０の直動可動軸３１の運動が、円滑にリンクアーム
２２に伝達され、高精度の芯出しが行なわれ得るように
なっている。この場合、上記弾性部材３２の弾性力を適
宜に調整することにより、芯出し調整に対して適正な弾
性力が与えられることになる。

【００６４】尚、好ましくは、直動可動軸３１の先端に
フランジ３１ａが設けられており、芯出し状態から開放
状態に戻る場合、このフランジ３１ａが、リンクアーム
２２に係合することにより、このリンクアーム２２が強
制的に右旋され、連接ロッド２５，２６を介して、他の
リンクアーム２３，２４を強制的に右旋される。

【００６５】尚、上述した実施例においては、リンクア
ーム２２，２３，２４を駆動する手段として、一つのリ
ンクアーム２２に連結されたエアシリンダ３０が備えら
れているが、これに限らず、他のリンクアーム２３，２
４あるいは、連接ロッド２５，２６に対して、駆動手段
が備えられていてもよいことは明らかである。

【００６６】また、駆動手段として、エアシリンダ３０
が使用されているが、これに限らず、他の直線駆動機構
または回転駆動機構によっても、同様の効果が得られ、
さらに手動でリンクアーム２２，２３，２４等を揺動さ
せるようにしてもよいことは明らかである。これら他の
駆動手段を採用した場合にも、同様に駆動力を弾性部材
を介して、リンクアーム２２，２３，２４等に伝達する
ことにより、円滑な駆動力の伝達が行なわれ得る。ま
た、回転駆動機構の場合には、弾性力を調整するため
に、例えばトルクリミッタ等のトルク調整機構が備えら
れていてもよい。

【００６７】このように、以上の実施例によれば、リン
クアームと、このリンクアームを互いに廉潔する連接棒
とから成るリンク機構によって、ターンテーブル上のガ
ラス原盤の芯出し調整が行なわれ得る。従って、ガラス
原盤の外円筒の真円度とほぼ同じ精度の芯出し調整が可
能となる。これにより、複数のガラス原盤の外径寸法が
公差内で異なる場合にも、リンクアームの揺動による案
内駒のガラス原盤外周縁への当接によって、ほぼ同等の
精度での芯出しが行なわれ得ることになる。

【００６８】各案内駒のピボット軸からの距離が、各連
接棒のピボット軸からの距離より、短く選定されている
場合には、連接棒に関する誤差が縮小して案内駒に伝達
されることになるので、加工精度誤差による芯出し精度
への影響が低減されることになる。各案内駒が、外輪が
回転可能な部材により構成されている場合には、案内駒
の回転によって、この案内駒のガラス原盤への当接状態
が容易に確認されることになる。各リンクアームのう
ち、少なくとも一つのリンクアームとベースプレートと
の間に、ピボット軸を介して連結された、このリンクア
ームを揺動させるための駆動手段が備えられている場合
には、この駆動手段を動作させることにより、簡単な構
成により、容易に芯出し調整が行なわれ得ることとな
る。

【００６９】駆動手段が、エアシリンダ等の直動駆動機
器であって、その駆動部が、ピボット軸に対して摺動可
能に且つ弾性部材によって弾性変形可能に支持されてい
る場合には、リンクアーム，連接棒や各ピボット軸等
に、過大な負荷がかかることが防止される。従って、よ
り精度の高い芯出しが行なわれ得ることになる。ターン
テーブル上にてガラス原盤の外周円の中心がターンテー
ブルの回転中心に一致するように芯出しされたガラス原
盤を真空吸着した状態で、各リンクアームを揺動させ
て、各案内駒をガラス原盤の外周縁に当接させるよう
に、ベースプレートを位置調整し固定される場合には、
センタリング装置の調整が容易に且つ短時間で行なわれ
得ることになる。従って、各部材の加工精度があまり高
くなくても、ガラス原盤の外周縁の真円度とほぼ同程度
の芯出し精度が得られることになる。しかも上記位置調
整と芯出し調整の際の負荷の方向が同じであることか
ら、より精度の高い芯出し調整が可能となる。

【００７０】このようにして、リンクアームを揺動させ
ることによって、容易に且つ短時間で、高精度の芯出し
が行なわれ得る。従って、偏心による回転記録中のダイ
ナミックアンバランスの発生が極小に抑制されると共
に、発生する振動が最小にされるので、ガラス原盤に記
録されるトラックピッチ精度の悪化等の精度劣化が防止
されることになり、光ディスク等のガラス原盤の記録精
度が向上され、光ディスク等の品質が安定することにな
る。さらに、上述したように、芯出し調整は、単純な駆
動手段と、簡単な構成、そして容易な加工によって、組
立後にベースプレートの位置調整を行なうことによっ
て、実現される。

【００７１】

【発明の効果】以上述べた本発明によれば、簡単且つ低
コストの構成により、ターンテーブルを回転させること
なく、迅速に且つ高精度に芯出しが行なわれ得るように
した、ガラス原盤のセンタリング装置が提供されること
になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるセンタリング装置の一実施例を示
す概略断面図である。

【図２】図１のセンタリング装置の開放状態における概
略平面図である。

【図３】図１のセンタリング装置の芯出し動作状態にお
ける概略平面図である。

【図４】図３のセンタリング装置の駆動部の部分拡大平
面図である。

【符号の説明】

１０ 原盤露光装置 １１ ベース １２ スピンドルベース １３ エアスピンドルハウジング １４ 回転軸 １５ スラストプレート １６ ターンテーブル １７ ガラス原盤 ２０ センタリング装置 ２１ ベースプレート ２２ リンクアーム ２３ リンクアーム ２４ リンクアーム ２５ 連接ロッド ２６ 連接ロッド ２７ 案内駒 ２８ 案内駒 ２９ 案内駒 ３０ エアシリンダ ３１ 直動可動軸

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスクのガラス原盤が載置されるべ
   きターンテーブルの周囲に配設されたベースプレート
   と、 このベースプレート上にて、このターンテーブルの回転
   中心に関して等角度間隔で配設された少なくとも３つの
   ピボット軸に連結されたリンクアームと、 隣接する上記リンクアームを互いに揺動可能に連結する
   連接棒と、 上記各リンクアーム上に取り付けられた案内駒とを有し
   ており、 上記各リンクアームのピボット軸の周りの揺動によっ
   て、各案内駒が、ターンテーブルの回転中心に対して、
   同一方向に等距離だけ移動して、ターンテーブル上に載
   置されたガラス原盤の外周に当接する構成としたことを
   特徴とするガラス原盤のセンタリング装置。
2. 【請求項２】 前記各案内駒のピボット軸からの距離
   が、各連接棒のピボット軸からの距離より、短く選定さ
   れていることを特徴とする請求項１に記載のガラス原盤
   のセンタリング装置。
3. 【請求項３】 前記各案内駒が、外輪が回転可能な部材
   により構成されていることを特徴とする請求項１に記載
   のガラス原盤のセンタリング装置。
4. 【請求項４】 前記各リンクアームのうち、少なくとも
   一つのリンクアームとベースプレートとの間に、ピボッ
   ト軸を介して連結された、このリンクアームを揺動させ
   るための駆動手段が備えられていることを特徴とする請
   求項１から３の何れかに記載のガラス原盤のセンタリン
   グ装置。
5. 【請求項５】 前記駆動手段が、エアシリンダ等の直動
   駆動機器であって、その駆動部が、ピボット軸に対して
   摺動可能に且つ弾性部材によって弾性変形可能に支持さ
   れていることを特徴とする請求項４に記載のガラス原盤
   のセンタリング装置。
6. 【請求項６】 前記ターンテーブル上にてガラス原盤の
   外周円の中心がターンテーブルの回転中心に一致するよ
   うに芯出しされたガラス原盤を真空吸着した状態で、各
   リンクアームを揺動させて、各案内駒をガラス原盤の外
   周縁に当接させるように、ベースプレートを位置調整し
   固定されることを特徴とする請求項１から５の何れかに
   記載のガラス原盤のセンタリング装置。
7. 【請求項７】 光ディスクのガラス原盤が載置されるべ
   きターンテーブルの周囲に配設されたベースプレート
   と、 このベースプレート上にて、このターンテーブルの回転
   中心に関して等角度間隔で配設された少なくとも３つの
   ピボット軸に連結されたリンクアームと、 隣接するリンクアームを互いに揺動可能に連結する連接
   棒と、 上記各リンクアーム上に取り付けられた案内駒と、 上記各リンクアームのうち、少なくとも一つのリンクア
   ームとベースプレートとの間に、ピボット軸を介して連
   結された、このリンクアームを揺動させるための駆動手
   段とを有し、 駆動手段により、各リンクアームをピボット軸の周りに
   揺動させることにより、各案内駒が、ターンテーブルの
   回転中心に対して、同一方向に等距離だけ移動して、タ
   ーンテーブル上に載置されたガラス原盤の外周に当接す
   る構成としたことを特徴とするガラス原盤のセンタリン
   グ装置。