JPS61206956A - 自動デイスク原盤カツテイング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は自動ディスク原盤カッティング装置、すなわ
ち光ディスク、光磁気ディスク等の原盤に所要の信号を
光学的に書込む装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来のディスク原盤カッティング装置は、カッティング
すべきディスク原盤（以下単にディスクという）をスピ
ンドルヘチャツクする際、またそのチャックを解放して
ディスクを移動する際に人間の介在が必要となる手動型
のものであった。

〔発明が解決しようとする問題点〕

手動型カッティング装置は人間が介在するため、はこり
が発生し、これによってディスクが汚れる問題があると
ともｌこ、生産能率が低いという問題があった。

そこで、この発明はディスクの装着作業を全べて自動化
することにより、上記の問題を解決することを目的とす
る。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の問題点を解決するために、この発明はディスクを
スピンドル上に装着し、またスピンドル上から取除くロ
ボットを設けるとともに、エアスピンドル上にエア吸着
によるディスクチャック装置を設け、かつエアスピンド
ルにディスクの偏心を外径基準で修正する自動芯出し装
置を設けた構成としたものである。

〔作用〕

ディスク載せ台上に置かれたディスクをロボットにより
取上げ、これをエアスピンドル上に移動し、エアスピン
ドルのチャック装置にチャックせしめ、その後自動芯出
し装置を作動してディスクの芯出しを行なう。カッティ
ング終了後はロボットによりディスクをエアスピンドル
上から取除き所定の場所へ移行させる。

〔実施例〕

第１図において、１はエアスピンドルであり、そのエア
スピンドル１の近傍に自動芯出し装置２、ロボット３お
よびディスク載せ台４を設けている。

エアスピンドル１は、第２図に示すようにフランジ５を
有するスピンドル１を、ラジアルエア軸受部６およびス
ラスト軸受部７からなるエア軸受部材８により支持し、
スラスト軸受部７にエア抜き通路９を設け、その通路９
にパイプ１０を介在させてバルブ１１を取付けている。

ラジアル方向のエア通路１２とスラスト方向のエア通路
１３の連通部分に分岐通路１４を設け、その分岐通路１
４にディフューザ１５を設け、そのスロート部１６とチ
ャック面１７の開放された溝１８に通路１９を形成して
いる。

上記のエアスピンドル１は、バルブ１１を閉めた状態で
エア通路１２．１３にエアを供給すると、スピンドル１
がラジアル方向およびスラスト方向に浮上されるととも
に、ディフューザ１５のスロート部１６において負圧が
発生し、チャック面１７上に載せられたディスク２０を
チャックする。またバルブ１１を解放するとディスク２
０は解放される。

自動芯出し装置２は、第３図に示すように、前記のエア
スピンドル１の径方向に移動可能なスライドブロック２
１を有し、そのスライドブロック２１の背部にねじ結合
したねじ棒２２をモータ田の回転軸２４に連結されてい
る。スライドブロック２１の前部には、芯振れ検出体２
５が軸２６によって回動可能に支持され、その芯振れ検
出体２５の先端にディスク２０と接触する検出ローラ２
６′が取付けられている。また、芯振れ検出体２５には
、スライドブロック２１との間に微弱なスプリング２７
が付設されている。

上記芯振れ検出体２５の先端と対向して非接触型の変位
量検出器２８が設けられている。またスライドブロック
２１の前部には前記のローラ２６′と平行にディスク押
圧用の押圧ローラ２９を突設し、その先端をスピンドル
１の回転中心とする同一円周上にあるよう配置される。

前記の検出ローラ２６′も上記と同一円周上配置される
が、この検出ローラ２６′はその円周から若干離れてお
っても差支えない。

上巳の自動芯出し装置２は、ディスク２０の中心０１が
゛スピンドル１の中心０２から偏心した状態で設置され
た場合、スピンドル１を回転させると、０．　、０．間
の偏心量に応じて検出ローラ２６′が前後動し、その前
後動に応じて変位量検出器２８から偏心量に応じた検出
信号が出力される。検出信号は制御装置３０に入力され
、その信号に応じてモータ２３が駆動される。モータ２
３の駆動によりねじ棒２２が回転され、これによってス
ライドブロック２１が前進し、それと一体の押圧ローラ
２９によってディスク２０が移動される。その結果検出
信号のレベルが次第に小さくなり、ゼロまたは一定レベ
ル以下になるまでディスク２０を移動することにより芯
出しを行なう。

次に、ロボット３は公知の円筒座標型ロボットであり、
ハンド部３１にディスクチャック用の真空チャック３２
を取付けている。

上記のロボット３は、ディスク載せ台４上のディスク２
０をその真空チャック３２によって吸着し、エアスピン
ドル１上に移動してそのチャック面１７上に移し替える
。その後自動芯出し装置２を作動して芯出しを行なった
のちディスク２０をチャックし、エアスピンドル１を駆
動する。また、カッティング終了後は、ディスク２０の
チャックを解放するとともに、ロボット３を駆動して、
その真空チャック３２によってディスク２０を吸着し、
所要位置まで移送する。

上記エアスピンドル１上にチャックされたディスク２０
に、焦点制御された書込み用Ａｒ　パワーレーザビーム
４ｏを照射するための光学台３３が、エアスピンドル１
上部にスライド自在に設けられている。光学台３３はエ
アスライド３４により支持され、またエアスライド３４
はリニアモータ羽のムービングコイル３６に取付けられ
ており、光学台３３はリニアモータ３５の駆動によって
直線運動される。光学台３３の位置は、レーザトランス
デユーサ３６レシーバ３７干渉計３８よす成る公知のレ
ーザ干渉測長器３９により精密に検出される。

書込み用Ａｒパワーレーザビーム４ｏは、従来公知のパ
ワレーザ４１によって発射され、レンズ４２，４３゜４
４．４５、光変調器４６．４７およびミラーお。

４９を図示のように配列して、光学台３３に導入される
。また、焦点制御用のＨｅ　−Ｎｅ　　レーザビーム５
０は、従来公知のＨｅ−Ｎｅレーザ５１右よびミラー５
２．５３を図示のように配列して光学台３３に導入され
る。

上記の書込み用パワーレーザビーム４０および焦点制御
用レーザビーム５０は、光学台３３の同一垂直面内に導
入され、更に測長用レーザビーム５４も、同一垂直面内
に導入することにより、書込み位置と測長検出点とのず
れを無くしている。

光学台３３は、第４図および第５図に示すように、焦点
制御サーボ機構を構成する要素としてのフォトディテク
タ５５、半円柱レンズ５６、偏光ビームスプリッタ５６
’、゛レンズアクチュエータ５７および凹レンズ５８を
有する。また、書込み用パワーレーザビーム４０を導入
し、これをディスク２０に照射するために、凹レンズ５
９．２色性ミラー６０およびレンズアクチュエータ５７
に保持された対物レンズ６１を有し、パワーレーザビー
ム４０は焦点制御サーボ機構によって微小スポット径に
絞られ、ディスク２０に照射される。

上記のごとき光学系により、ディスク２０にはその面振
れ等による焦点ずれをレンズアクチュエータ５７を用い
た焦点制御サーボ系により補正しながら照射する一方、
リニアモータ３５を駆動して、ディスク２０の内周から
外周へ、または外周から内周へと記録する。記録が完了
するとエアスライド３４が後退し、スピンドル１が停止
して、前述のロボット３によりディスク２０を取除く。

〔効　果〕

以上のように、この発明はディスクの装着、取外しをロ
ボットにより行ない、また自動芯出し装置を設けたので
、人手が介在することがない。その結果、ホコリの発生
を防止できるとともに、生産能率が向上する効果がある
。

【図面の簡単な説明】

第１図は装置全体の配置図、第２図はエアスピンドルの
部分断面図、９４３図は自動芯出し装置の断面図、９４
４図は光学台の正面図、第５図は光学台の断面図である
。 １・・・エアスピンドル、２・・・自動芯出し装置、３
・・・ロボット、４・・・ディスク載せ台、１５・・・
ディフューザ、１７・・・チャック面、２０・・・ディ
スク第２図 第４図５５ 第５図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. エアスライドにより案内され、リニアモータで駆動され
   る移動式光学台を有し、エアスピンドルにより回転され
   るディスク原盤上に、焦点合せサーボ機構により制御さ
   れたパワーレーザビームを照射し、これによつて記録を
   行なうディスク原盤カッティング装置において、ディス
   ク原盤をスピンドル上に装着し、またスピンドル上から
   取除くためのロボットを設けるとともに、エアスピンド
   ル上にエア吸着によるディスクチャック装置を設け、か
   つエアスピンドルにディスク原盤の偏心を外径基準で修
   正する自動芯出し装置を設けたことを特徴とする自動デ
   ィスク原盤カッティング装置。