JP3392904B2 - レンズ傾き調整方法およびその装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光学機械の製造工程に
おいて、バネ等の弾性部材によって支持された可動支持
部材の上に載置されるレンズの傾きを調整する方法、お
よびこの方法の実施に用いられる装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばレーザ光束によって光磁気
ディスク等の記録媒体に情報の記録および再生を行う光
学式情報記録再生装置において、対物レンズは、記録媒
体に対する情報の記録および再生動作時にフォーカシン
グエラーおよびトラッキングエラーを除去するため、記
録媒体との間の相対位置が微調整可能となっている。す
なわち対物レンズが取り付けられる支持部材は、バネ等
を介して固定部材に弾性的に連結されており、電磁力を
受けて微小変位するように構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような光学式情報
記録再生装置の製造工程において、可動支持部材上に対
物レンズを載置するとともに、対物レンズの上面に調整
部材を係合させて、この対物レンズの可動支持部材に対
する傾きを調整しようとすると、可動支持部材が押され
たことによってバネが撓むため、可動支持部材が変位
し、対物レンズがスムーズに傾かないという問題が生じ
る。

【０００４】本発明は、可動支持部材上に載置されたレ
ンズの傾き調整をスムーズに行うことができる傾き調整
方法およびこの方法を実施するための装置を提供するこ
とを目的としている。

【０００５】

【問題を解決するための手段】本発明に係るレンズ調整
方法は、傾き調整部材をレンズに接触させる第１の工程
と、傾き調整部材がレンズに接触した状態で、可動支持
部材に設けられたソレノイドコイルと固定部材に設けら
れたマグネットとを有する付勢手段において、ソレノイ
ドコイルに通電することにより、可動支持部材を変位さ
せ、レンズを傾き調整部材に押し当てる第２の工程とを
備えたことを特徴としている。

【０００６】本発明に係るレンズ傾き調整装置は、レン
ズの前記可動支持部材側とは反対側の面に接触する傾き
調整部材と、この傾き調整部材の傾きを定める傾き設定
手段と、可動支持部材に設けられたソレノイドコイルと
固定部材に設けられたマグネットを有する付勢手段とを
備え、傾き調整部材がレンズに接触した状態で、ソレノ
イドコイルに通電することにより、可動支持部材が変位
してレンズが前記傾き調整部材に押し当てられることを
特徴としている。

【０００７】

【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。図
１は、本発明の一実施例に係る傾き調整方法において用
いられる対物レンズ傾き検出装置２００によって、光磁
気ディスク装置１００の対物レンズ１５０の傾きを検出
する状態を示している。

【０００８】光磁気ディスク装置１００の光学系の構成
を説明する。半導体レーザ（ＬＤ）光源１０１から出力
される発散光束のレーザビーム（コヒーレント光）は、
コリメートレンズ１０２によって平行光束に変換され、
この光束の断面形状はビーム整形プリズム（アナモプリ
ズム）１０３によって円形に整形される。このビーム整
形プリズム１０３には、光分割プリズム１０４、１０５
が固定されている。ビーム整形プリズム１０３を透過
し、光分割プリズム１０４、１０５の間のビームスプリ
ッタ１０６において反射したレーザビームは、光量セン
サ１０７に入射する。これにより半導体レーザ光源１０
１から出力されるレーザビームの光量が検出され、レー
ザビームの光量が所定値になるように自動的に調節され
る。

【０００９】ビームスプリッタ１０６を透過したレーザ
ビームは、ミラー１１０において反射した後、対物レン
ズ傾き検出装置２００の挿入プリズム（光分割手段）２
０１を透過し、ミラー１１２において反射して対物レン
ズ１５０に導かれる。

【００１０】対物レンズ１５０は、その傾き調整時、図
示のようにカバーガラスＡ（記録媒体である光磁気ディ
スクと光学的に等価なガラス）に対向しているが、光磁
気ディスクの記録再生時、図示の状態とは異なり、光磁
気ディスクに対向している。ここで、光磁気ディスク装
置１００の信号検出系の構成の説明のため、光磁気ディ
スクの記録再生時を想定する。すなわちこの状態におい
て、対物レンズ傾き検出装置２００は設けられておら
ず、カバーガラスＡの代わりに光磁気ディスクが設けら
れている。

【００１１】さて、光磁気ディスクにおいて反射した光
束は、対物レンズ１５０、ミラー１１２およびミラー１
１０を通って、光分割プリズム１０４、１０５に導かれ
る。光分割プリズム１０４、１０５の間のビームスプリ
ッタ１０６において反射した光束は、１／２波長板１１
３において偏光方向が４５度回転させられ、プリズム１
１４とウェッジプリズム１１５によって構成される偏光
ビームスプリッタに入射する。この偏光ビームスプリッ
タに入射した光束のＰ偏光成分とＳ偏光成分は、偏光ビ
ームスプリッタにおいて２つに分離され、集光レンズ１
１６を透過し、２つのデータセンサから成る信号検出器
１１７に入射し、光磁気信号等が得られる。

【００１２】一方ビームスプリッタ１０６を透過した光
束は、ビーム整形プリズム１０３と光分割プリズム１０
４の間に形成されたビームスプリッタ１０８において反
射し、集光レンズ１２１に入射する。そしてこの光束
は、プリズム１２２によって反射し、シリンドリカルレ
ンズ１２３を透過してエラー検出器１２４に入射する。
すなわち、この光束は集光レンズ１２１とシリンドリカ
ルレンズ１２３によって非点隔差を与えられ、エラー検
出器１２４に集光し、ここではプッシュプル法によるト
ラッキングエラー信号と非点収差法によるフォーカシン
グエラー信号とが得られる。

【００１３】次に、対物レンズ傾き検出装置２００の光
学系の構成を説明する。半球レンズ２０２は、カバーガ
ラスＡに近接した位置に設けられ、カバーガラスＡに対
して対物レンズ１５０とは反対側に配設される。挿入プ
リズム２０１は、光磁気ディスク装置のミラー１１０と
ミラー１１２の間、すなわち平行光束中に挿入される。
挿入プリズム２０１は、高精度に製作された（すなわち
この挿入プリズムによる新たな波面収差の発生はない）
偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）２０１ａ、およびこの
ＰＢＳ２０１ａの対物レンズ１５０側に設けられた１／
４波長板２０１ｂから構成される。挿入プリズム２０１
に入射した直線偏光は、１／４波長板２０１ｂを透過し
たことにより円偏光に変換され、半球レンズ２０２によ
って反射した光束は挿入プリズム２０１により、入射直
線偏光に対して直交した偏光として対物レンズ傾き検出
装置２００内に導かれる。この挿入プリズム２０１から
半導体レーザ光源１０１側への戻り光は生ぜず、戻り光
によるノイズの発生が抑えられる。

【００１４】なお、偏光ビームスプリッタ２０１ａの半
導体レーザ光源１０１側に１／２波長板２０１ｃを設け
てもよい。１／２波長板２０１ｃのＰＢＳ２０１ａへの
取付け状態を選択することによって、半導体レーザ光源
１０１からの光の偏光方向が自由に選択されるので、検
出装置２００の設置場所が図示例とは異なる場合（すな
わち入射偏光方向と挿入プリズム反射面の法線が同一平
面にない場合）に、半球レンズ２０２からの反射光束を
検出装置２００へ取り出すことができる。

【００１５】挿入プリズム２０１で反射した光束の一部
は、ハーフミラー２０３を透過し、結像レンズ２０４を
介して干渉縞観測部２０５に導かれる。干渉縞観測部２
０５は、例えばＣＣＤカメラおよび図示しないモニタを
備えている。この観測部２０５では、対物レンズ１５０
およびカバーガラスＡを透過し、半球レンズ２０２の平
面部２０２ａで反射した光束と球面部２０２ｂで反射し
た光束との重ね合わせによって生じる干渉縞Ｂが観測さ
れる。この干渉縞Ｂの歪みは、対物レンズ１５０とカバ
ーガラスＡの相対的な傾きによって生じるコマ収差に起
因している。

【００１６】一方、ハーフミラー２０３において反射し
た光束は、集光レンズ２１１に導かれる。集光レンズ２
１１から出射される光束は、ビームスプリッタ２１２に
おいて２つに分離され、一方の光束は拡大レンズ２１３
を介して点像観測部２１４に導かれ、他方の光束はアラ
イメント検出部２１５に導かれる。点像観測部２１４と
アライメント検出部２１５は、それぞれ例えばＣＣＤカ
メラおよび図示しないモニタを備えている。

【００１７】点像観測部２１４では、半球レンズ２０２
の平面部２０２ａから反射された反射像（点像）と球面
部２０２ｂから反射された反射像（点像）Ｃとが、それ
ぞれ拡大して観測される。平面２０２ａによる点像は、
光軸に対し１８０度方向に非対称な成分であるコマ収差
成分を含んでいないが、球面部２０２ｂによる点像Ｃ
は、コマ収差成分を含んでいる。

【００１８】一方アライメント検出部２１５は、干渉縞
や点像を良好に観測するためのもので、対物レンズ１５
０に入射した光束によってできた集光点と、半球レンズ
２０２の平面部２０２ａおよび球面部２０２ｂの曲率中
心（半球レンズ２０２の平面部２０２ａ上にある）との
位置関係を調整するために設けられている。このアライ
メント検出部２１５は後述するように、例えば、対物レ
ンズ１５０の傾き調整の開始時、半球レンズ２０２と光
磁気ディスクディスク装置１００との相対的な位置設定
や、対物レンズ１５０の傾き調整時に用いられる。

【００１９】図２を参照して、本実施例における波面収
差内のコマ収差成分（以下、単にコマ収差という）の検
出感度について説明する。

【００２０】この図において、対物レンズ１５０および
カバーガラスＡを透過した光線Ｌ１のうち一部は、半球
レンズ２０２の平面部２０２ａにより、対物レンズ１５
０の光軸に対して１８０度対称に折り返して反射され光
線Ｌ２となる。一方、平面部２０２ａを透過した光線の
うち一部は、半球レンズ２０２の球面部２０２ｂで反射
されて光線Ｌ３となり、入射光線と同じ経路をたどり、
対物レンズ１５０から射出する。

【００２１】対物レンズ１５０およびカバーガラスＡを
透過した波面のうち、半球レンズ２０２の平面部２０２
ａで反射して対物レンズ１５０を透過した波面には、光
軸に対して１８０度方向の非対称成分であるコマ収差は
含まれていない。一方、半球レンズ２０２の球面部２０
２ｂで反射し、対物レンズ１５０を透過した波面は、対
物レンズ１５０およびカバーガラスＡを往復して透過し
ているので、対物レンズ１５０およびカバーガラスＡを
透過した時のコマ収差の２倍のコマ収差を含んでいる。
これら両者の波面が相互に重ね合わされることにより干
渉縞が発生し、干渉縞観測部２０５では、対物レンズ１
５０およびカバーガラスＡを透過したことにより発生す
るコマ収差が２倍の感度で観測される。換言すれば、観
測部２０５においては、カバーガラスＡに対して対物レ
ンズ１５０が傾くことにより生じたコマ収差量がλ／２
（λは対物レンズを透過する光の波長を示す）の時に、
干渉縞が１本観測される。

【００２２】次に、図１および図３を参照して、本実施
例装置による対物レンズの傾き調整を概略的に説明す
る。まず、対物レンズ１５０を所定の支持部材（図示せ
ず）上に載置するとともに、カバーガラスＡをディスク
取付面（図示せず）を基準として所定位置に配置する。
そして、アライメント検出部２１５および点像観測部２
１４に表示された、対物レンズ１５０によって集光され
半球レンズ２０２の平面部２０２ａからの反射による点
像が鮮明なスポットになるように、半球レンズ２０２と
対物レンズ１５０の光軸方向の相対的な位置合わせを行
う。次に、アライメント検出部２１５に表示された、対
物レンズ１５０によって集光され半球レンズ２０２の球
面部２０２ｂからの反射による点像が、半球レンズ２０
２の平面部２０２ａからの反射点像の位置にくるよう
に、対物レンズ１５０および半球レンズ２０２の光軸に
垂直な方向の相対的な位置合わせを行う。

【００２３】干渉縞観測部２０５のモニタには、図３
（ａ）に示す干渉縞Ｂが表示され、またアライメント検
出部２１５および点像観測部２１４のモニタには、図３
（ｂ）に示すような点像Ｃ，Ｄが表示されている。干渉
縞Ｂの歪みは、コマ収差によって発生し、対物レンズ１
５０とカバーガラスＡとの相対的な傾きが大きくなるほ
ど大きくなる。点像Ｃは、半球レンズ２０２の球面部２
０２ｂからの反射像であり、コマ収差が現れている。一
方点像Ｄは、半球レンズ２０２の平面部２０２ａからの
反射像であり、コマ収差成分を含んでいない。アライメ
ント検出部２１５と点像観測部２１４では観測倍率が異
なっており、いずれの点像Ｃ，Ｄも、点像観測部２１４
では高倍率で表示されるため、明瞭な像として観察され
る。

【００２４】さて干渉縞Ｂの歪みの大きさが所定の量
（例えばλ／４すなわち１／２本）よりも大きい場合、
対物レンズ１５０の傾きを調整し、この歪みが実質的に
消滅して干渉縞Ｂが直線的になるようにする。この傾き
調整によって対物レンズ１５０による集光点が半球レン
ズ２０２の球面部２０２ｂの曲率中心から大きくずれる
と、干渉縞Ｂのティルト縞の本数が増加しすぎ、干渉縞
Ｂの歪みの大きさが判断しにくくなる。このような場合
には、干渉縞Ｂの本数が減少するように、対物レンズ１
５０すなわち光磁気ディスク装置１００全体または半球
レンズ２０２を対物レンズ１５０の光軸に垂直な方向に
変位させ、ティルト縞の本数を適当な値にする（通常３
〜４本）。ここで再び対物レンズとカバーガラスとの相
対的な傾きによって生ずるコマ収差を観測し、再び干渉
縞Ｂが直線的になるように対物レンズ１５０の傾きを調
整する。以上の操作を繰り返すことにより、対物レンズ
１５０の傾きは高精度に調整される。

【００２５】以上のように本実施例では、対物レンズ１
５０に対してカバーガラスＡ側に半球レンズ２０２が設
けられ、この半球レンズ２０２による反射光束によって
生じる干渉縞Ｂに基づいて、対物レンズ１５０とカバー
ガラスＡの相対的な傾きが検出される。したがってカバ
ーガラスＡ側には、干渉縞Ｂを得るための光学系として
は実質的に半球レンズ２０２しか設けられておらず、大
きな空間が確保される。このため本実施例では、半球レ
ンズ２０２側から対物レンズ１５０の傾きを調整するこ
とが可能となり、対物レンズ１５０の支持部材（図示せ
ず）への取付け構造の自由度を損なうことがない。すな
わち、光磁気ディスク装置のフォーカシング・トラッキ
ング機構を軽量化するために、フォーカシング・トラッ
キング機構への対物レンズ１５０の取付け構造として例
えば図４〜図７に示すようなものを採用した場合であっ
ても対物レンズ１５０の傾きを調整することができる。

【００２６】また本実施例では、半球レンズ２０２によ
り、対物レンズ１５０から導かれた光束を反射させると
ともに複数の光束に分離し、そしてこれら複数の光束を
相対的に光軸の周りに略１８０度回転させるとともに相
互に重ね合わせて干渉縞を発生させている。すなわち、
光束の反射、分離、回転および重ね合わせを１つの部材
により達成している。したがって凹面鏡とダブプリズム
を用いた構成と比較し、重ね合わせられる複数の光束に
違った外乱が入りにくいため、安定した干渉縞Ｂが得ら
れ、傾き調整作業が容易に行なえる。

【００２７】さらに本実施例では、半球レンズ２０２を
用いたため、半球レンズ２０２と対物レンズ１５０との
間の位置調整、すなわちアライメント調整が容易であ
る。つまり、半球レンズ２０２は平面部２０２ａに球面
部２０２ｂの曲率中心があるため、対物レンズ１５０の
集光点を平面部２０２ａに合わせるだけで半球レンズ２
０２の光軸方向の位置調整が完了し、その後、対物レン
ズ１５０の集光点が半球レンズ２０２の球面部２０２ｂ
の曲率中心上に合致するように、半球レンズ２０２また
は対物レンズ１５０（すなわち光磁気ディスク装置１０
０）を光軸に対して垂直方向に位置調整すればよい。

【００２８】以上のような対物レンズ１５０の傾き調整
が終了すると、この光磁気ディスク装置は次の工程に搬
送され、所定の組み立てあるいは検査が行われる。

【００２９】次に図４〜図７を参照して、光磁気ディス
ク装置１００のフォーカシング・トラッキング機構への
対物レンズ１５０の取付け構造について説明する。

【００３０】図４に示すように、対物レンズ１５０はレ
ンズ支持部材１５１の支持面１５２によって支持されて
いる。支持面１５２は環状の傾斜面であり、円錐面の一
部から成っている。対物レンズ１５０は例えば両面非球
面の単玉ガラスモールドレンズであり、その外周部には
全周にわたって、支持面１５２に接触するフランジ１５
３が形成されている。

【００３１】今、支持面１５２の中心線ＣＬと対物レン
ズ１５０の光軸が一致しており、対物レンズ１５０とカ
バーガラスＡとは相互に平行であると仮定する。この状
態から対物レンズ１５０が図の横方向の力を受けてδだ
け変位すると、フランジ１５３が支持面１５２に沿って
変位するため、対物レンズ１５０は、二点鎖線により示
すように、支持面１５２に垂直な直線Ｍと中心線ＣＬと
の交点Ｃ１を中心として回転する。すなわち、対物レン
ズ１５０の光軸の傾きθが生ずるとともに、集光点Ｃ２
が変位して像点ずれεが発生する。この傾きθが生ずる
ことよってコマ収差が発生し、干渉縞Ｂ（図１等を参
照）の歪みが大きくなる。また像点ずれεによってティ
ルト縞である干渉縞Ｂの本数が増大し、これにより干渉
縞の歪みの大きさが観測しにくくなることがある。した
がって、対物レンズ１５０の傾き調整時には、傾きθの
みが変化し、像点ずれεが発生しないことが望ましい。

【００３２】対物レンズ１５０の傾斜によって像点ずれ
εが発生しないためには、対物レンズ１５０は入射光が
平行光の場合、後側主点（像側主点）Ｎ２を中心として
回転すればよい。しかし図示例のように対物レンズ１５
０が支持面１５２に対して変位する構成の場合、対物レ
ンズ１５０が後側主点Ｎ２を中心として回転するには、
支持面１５２とフランジ１５３との接点を通り支持面１
５２に垂直な直線と、光軸との交点Ｃ１が、後側主点Ｎ
２と一致する必要がある。このような状態で、対物レン
ズ１５０を支持することは困難である。そこで上記実施
例では、傾き調整工程において、像点ずれεが発生した
ために干渉縞の本数が増加してコマ収差の程度が判定し
にくくなった場合には、対物レンズの光軸に垂直な方向
に対物レンズ傾き検出装置２００全体を変位させるか、
または半球レンズ２０２（あるいは凹面鏡２４０）を変
位させるかによって、像点ずれεすなわち干渉縞の本数
を減少させてコマ収差を測定している。対物レンズ１５
０の傾き調整工程については、後に詳述する。

【００３３】図５は、フォーカシング・トラッキング機
構１６０への対物レンズ１５０の取付け構造を模式的に
示すものである。

【００３４】フォーカシング・トラッキング機構（コー
ス・アクチュエータ）１６０は光磁気ディスクＫの下方
に位置しており、対物レンズ１５０はこの光磁気ディス
クＫの下方からレーザ光Ｓを照射する。レンズ支持部材
（ファイン・アクチュエータ）１５１はバネ１５４によ
って固定部材１５５に連結されており、固定部材１５５
はネジ１５６によって移動部材１５７に固定されてい
る。すなわちレンズ支持部材１５１は固定部材１５５に
対し、バネ１５４が撓むことによって変位可能であり、
固定部材１５５と移動部材１５７は一体的に連結されて
いる。このように、対物レンズ１５０がレンズ支持部材
１５１に対して傾きを調整される構成とするとともに、
固定部材１５５と移動部材１５７を一体的に連結したた
め、従来のように固定部材１５５と移動部材１５７を相
対的に傾斜させるための構造が不要となり、固定部材１
５５と移動部材１５７を傾斜可能に連結するための部品
を削除することができる。したがって、フォーカシング
・トラッキング機構１６０を大幅に軽量化することがで
き、光磁気ディスクに対するトラッキング動作を高速化
させることが可能となる。

【００３５】図６は、分離型の光磁気ディスク装置のフ
ォーカシング・トラッキング機構１６０の具体的な構成
を示している。移動部材１５７は、例えばボールベアリ
ングを介して、レール１６１に移動自在に支持されてお
り、このレール１６１に沿って変位することにより、光
磁気ディスクの所定のトラックに位置決めされる。移動
部材１５７には、ミラー１１２（図１参照）が配設され
ており、このミラー１１２を介して、レーザ光束が対物
レンズ１５０に導かれ、また対物レンズ１５０から出射
されたレーザ光が図示しない検出系に導かれる。固定部
材１５５は連結部材１５８を介して移動部材１５７に固
定されている。なお、図５では連結部材１５８は省略さ
れている。

【００３６】バネ１５４は図６において紙面に垂直な方
向に延びている。レンズ支持部材１５１は、固定部材１
５５および連結部材１５８から離間しており、バネ１５
４のみによって支持されている。レンズ支持部材１５１
には、対物レンズ１５０の下方に延びる孔１６２が形成
されており、この孔１６２の周囲には複数のソレノイド
コイル１６３が設けられている。連結部材１５８には、
ソレノイドコイル１６３に対応してマグネット（図示せ
ず）が設けられている。従来公知のように光磁気ディス
クＫの記録あるいは再生動作において、トラッキングエ
ラー信号およびフォーカシングエラー信号に基づいて、
複数のソレノイドコイル１６３のうち所定のものが通電
され、レンズ支持部材１５１が微小変位して対物レンズ
１５０と光磁気ディスクＫのフォーカス位置およびトラ
ック位置との相対的な位置関係が調整される。

【００３７】図７はレンズ支持部材１５１の構造を示
し、対物レンズ１５０が載置される支持面１５２および
その付近の構成については誇張して示している。

【００３８】環状の支持面１５２は、孔１６２の中心軸
上に頂点を有する円錐面の一部であり、内側ほど低く形
成されている。支持面１５２の外周部には、上方に突出
する４つの突起１６４が形成されている。これらの突起
１６４は等間隔毎に設けられ、内周面に形成された凹曲
面は接着剤溜め部１６５である。これらの接着剤溜め部
１６５には、対物レンズ１５０と支持面１５２の接着に
使用されない余分の接着剤が保持される。すなわち接着
剤の量が多い場合、接着剤が硬化したことによって膨張
しても、この膨張した分は接着剤溜め部１６５に吸収さ
れ、これにより接着剤が対物レンズ１５０の表面に侵入
することが防止される。

【００３９】次に図８〜図２０を参照して、対物レンズ
１５０を支持部材１５１上に載置するとともに、この対
物レンズ１５０の傾きを調整するための装置および工程
について説明する。

【００４０】図８は、光ディスク装置取付け装置５００
の概略的な構成を示す平面図である。取付け装置５００
は、平行に延びる一対の案内部材５０１、５０２を有
し、この案内部材５０１、５０２には、パレット５０３
が移動自在に設けられている。光磁気ディスク装置１０
０は第１ステージＳＴ１においてパレット５０３上に載
置される。

【００４１】次いでパレット５０３は図の右方向に移送
され、第２ステージＳＴ２において停止する。第２ステ
ージＳＴ２には、図９に示すような位置決め装置３００
が設けられている。この位置決め装置３００は、レール
１６１（図６）に対するレンズ支持部材１５１の位置決
めを行うものである。レール１６１は、図９において左
右方向に延びており、レンズ支持部材１５１をこのレー
ルに対して所定位置に停止させるため、取付け装置５０
０にはストッパ３０１が設けられている。このストッパ
３０１には、連結部材１５８が当接し、これによりレン
ズ支持部材１５１の概略的な位置決めが行われる。次い
で図示しないロック機構が操作され、フォーカシング・
トラッキング機構１６０（図６）がレール１６１（図
６）に固定されるとともに、ストッパ３０１が上方に回
転移動して連結部材１５８から解放される。

【００４２】この位置決めの状態を確認するため、スト
ッパ３０１の先端部の上方には、顕微鏡対物レンズ３０
２が設けられている。この顕微鏡対物レンズ３０２は、
固定板３０３に取付けられた円筒状のホルダ３０４の下
端部に固定されている。一方、ホルダ３０４の上端部に
はＣＣＤカメラ３０５が設けられ、このカメラ３０５に
はモニタ３０６が接続されている。モニタ３０６上にお
いて、レンズ支持部材１５１の映像が所定の位置を表す
指標に一致していない時、その映像と指標が一致するよ
うに、光磁気ディスク装置１００の位置が水平位置調整
機構５０５（図８）によって水平面内で微調整され、レ
ンズ支持部材１５１の位置が修正される。

【００４３】水平位置調整機構５０５はパレット５０３
の下面に設けられており、光磁気ディスク装置１００を
パレット５０３に対して、案内部材５０１、５０２に平
行なＸ軸方向、およびＸ軸に垂直なＹ軸方向に変位させ
ることができる。すなわち、Ｘ軸調整つまみ５０６を軸
周りに回転させることにより、光磁気ディスク装置１０
０のＸ軸方向位置が微調整され、またＹ軸調整つまみ５
０７を軸周りに回転させることにより、光磁気ディスク
装置１００のＹ軸方向位置が微調整される。

【００４４】次いで、パレット５０３すなわち光磁気デ
ィスク装置１００は案内部材５０１、５０２に沿って図
８の左方向に移送され、第３ステージＳＴ３において停
止する。この第３ステージＳＴ３では、次に述べるよう
にレンズ供給装置３１０により、対物レンズ１５０がレ
ンズ支持部材１５１上に載置されるとともに、支持部材
１５１と対物レンズ１５０の間に接着剤が供給される。

【００４５】図１０は第３ステージＳＴ３に設けられる
レンズ供給装置３１０を示している。固定板３１１には
円筒状の軸受部材３１２が固定され、軸受部材３１２の
固定板３１１からの突出部の外面には、円錐筒状の案内
部３１３が嵌合されている。案内部３１３の内部には円
錐状のテーパ面３１４が形成されており、また案内部３
１３の外周部には、４本の接着剤塗布部材３１５が案内
部３１３の軸心を中心として等間隔毎に設けられてい
る。塗布部材３１５は細長い管状部材であり、可撓性の
チューブ３１６を介して、接着剤供給部３１７に接続さ
れている。接着剤供給部３１７は一定量の接着剤を供給
するように制御される。

【００４６】先端に吸着管３２２が取付けられた挿入管
３２１は、軸受部材３１２の内部壁面３１８に摺動自在
に嵌合される。挿入管３２１は負圧源３２５に接続され
ており、この負圧によって吸着管３２２の先端に対物レ
ンズ１５０が保持される。挿入管３２１の基部３２１ａ
は支持管３２３によって摺動自在に支持されており、支
持管３２３に形成された案内溝３２３ａには、基部３２
１ａに固定されたボルト３２４が係合している。すなわ
ちボルト３２４は案内溝３２３ａに案内され、これによ
り挿入管３２１は、支持管３２３に対して軸心方向に相
対移動可能である。

【００４７】支持管３２３、挿入管３２１および吸着管
３２２は、最初、軸受部材３１２から取り外されてお
り、この状態で、吸着管３２２の先端に、図示しない対
物レンズ設置部から対物レンズ１５０が供給される。そ
して吸着管３２２の先端に対物レンズ１５０が保持され
た状態で、挿入管３２１および吸着管３２２は軸受け部
材３１２および案内部３１３内に挿入される。この挿入
動作において、図１１に示すように対物レンズ１５０の
外周面１５４が、案内部３１３のテーパ面３１４とその
先端に形成された円形孔３１９とによって案内されるこ
とにより、対物レンズ１５０の円形孔３１９に対する径
方向の位置決め、すなわち心出しが行われる。挿入管３
２１と吸着管３２２がさらに挿入され、支持管３２３の
下端部が軸受部材３１２の上端部に当接すると、吸着管
３２２の先端すなわち対物レンズ１５０は図１０に示す
ように案内部３１３の円形孔３１９から下方に突出す
る。

【００４８】次いで挿入管３２１および吸着管３２２
が、支持管３２３、軸受部材３１２および案内部３１３
に対して下降し、図１２に示すように対物レンズ１５０
は支持部材１５１の支持面１５２上に載置される。そし
て挿入管３２１および吸着管３２２への負圧の供給が遮
断されると同時に、吸着管３２２は対物レンズ１５０か
ら僅かに離される。この状態において、４本の接着剤塗
布部材３１５の先端は、それぞれ各支持部材１５１の突
起１６４の上面中央部に対向しており、この接着剤塗布
部材３１５から所定量の接着剤Ｇが接着剤溜め部１６５
内に供給される。この時、接着剤Ｇは等間隔に配置され
た接着剤溜め部１６５に供給されるので、接着剤Ｇは支
持面１５２に載置された対物レンズ１５０の外周縁部全
体に渡って均等に塗布される。なお本実施例において、
接着剤Ｇは紫外線硬化型である。

【００４９】接着剤Ｇが塗布された後、挿入管３２１お
よび吸着管３２２は、図示しないバネによって、上昇し
て対物レンズ１５０から離間し、図１０に示す位置にお
いて停止する。

【００５０】その後、第４ステージＳＴ４において、対
物レンズ１５０の傾き調整が行われるとともに、接着剤
Ｇが硬化されて対物レンズ１５０は支持部材１５１上に
固定される。図１３および図１４は、この傾き調整工程
を示すフローチャートである。

【００５１】ステップＳ１０では、第３ステージを終了
して再び第１ステージＳＴ１に移送された光磁気ディス
ク装置１００に、図１５および図１６に示すような挿入
部材３３０が取付けられる。（図１７および図１８参
照）

【００５２】挿入部材３３０は、円板状の本体３３１を
有しており、本体３３１の中央部にはスピンドルモータ
の出力軸１３１に嵌合される孔３３３が形成されてい
る。第１のアーム３３４は本体３３１から径方向に延
び、このアーム３３４の先端にはカバーガラスＡが取付
けられている。すなわちカバーガラスＡは、スピンドル
モータのディスク当て付け面と平行に取付けられてい
る。第２のアーム３３５は、上方から見ると第１のアー
ム３３４を囲う矩形を有しており、この第２のアーム３
３５の先端には下方に延びる支持部３３６が形成され、
この支持部３３６には挿入プリズム２０１が取付けられ
ている。すなわち、挿入プリズム２０１はカバーガラス
Ａよりも下方に位置する。なお、第２のアーム３３５の
先端と支持部３３６には、挿入プリズム２０１による反
射光を透過させるための孔３３７、３３８が形成され、
また第１のアーム３３４には、傾き調整爪４０１を通す
ための開口３３９が形成されている。

【００５３】ステップＳ１１では、光磁気ディスク装置
１００は第４ステージＳＴ４に移送される。第４ステー
ジＳＴ４には傾き調整装置４００が設けられている。傾
き調整装置４００は、カバーガラスＡに対する対物レン
ズ４００の傾きを調整するためのもので、半球レンズ２
０２と傾き調整爪４０１を備えており、図１８の状態に
おいて半球レンズ２０２の平面部２０２ａはカバーガラ
スＡに平行である。なお、傾き調整装置４００の構成に
ついては後述する。光磁気ディスク装置１００は傾き調
整装置４００の下方において、所定の位置に固定され
る。最初、傾き調整装置４００は図１７に示すように、
対物レンズ１５０の上方であって対物レンズ１５０から
相対的に高い位置にあるが、ステップＳ１２において下
降し、図１８に示すように対物レンズ１５０に近接した
所定の高さ位置に定められる。この時、半球レンズ２０
２の光軸方向での位置決めが行われ、また、傾き調整爪
４０１も対物レンズ１５０に近接した位置に設定され。

【００５４】ステップＳ１３では、アライメント検出部
２１５（図１）に表示された点像（図３）および点像観
測部２１４に表示された点像Ｄが鮮明なスポットになる
ように、すなわち対物レンズ１５０の集光点が半球レン
ズ２０２の平面部２０２ａ上にくるように、対物レンズ
１５０の光軸（Ｚ軸）方向の位置を微調整する。この微
調整は、アライメント検出部２１５および点像観測部２
１４の各モニタを観測しながら、ソレノイドコイル１６
３（図７）への通電を制御し、対物レンズ１５０のみを
動かすかまたは光磁気ディスク装置１００全体を図示し
ない駆動部によって動かすことにより行われる。なお、
この対物レンズ１５０の微調整に代えて、半球レンズ２
０２を光軸方向に微調整するようにしてもよい。

【００５５】ステップＳ１４では、干渉縞観測部２０
５、点像観測部２１４およびアライメント検出部２１５
のモニタに表示された干渉縞Ｂ、点像Ｃ、Ｄ（図３）を
観測することにより、対物レンズ１５０の集光点と半球
レンズ２０２の球面部２０２ｂの曲率中心とが合致する
ように、対物レンズ１５０を光軸の垂直方向に微調整す
る。すなわち、点像Ｃが点像Ｄに近づくように微調整す
る。これは、光磁気ディスク装置１００を水平位置調整
機構５０５によってＸ軸方向およびＹ軸方向に微小変位
させることにより行われる。これにより干渉縞Ｂにはコ
マ収差の他、適当なティルト縞の本数（例えば３本）が
加わり、干渉縞Ｂの歪みすなわちコマ収差が見やすくな
る。なお、この対物レンズ１５０の微調整に代えて、半
球レンズ２０２をＸ軸方向およびＹ軸方向に微調整する
ようにしてもよい。

【００５６】ステップＳ１５では、適当な方向のティル
ト縞を選択して、干渉縞観測部２０５のモニタに表示さ
れた干渉縞Ｂを観測することにより、対物レンズ１５０
から出射された光束のコマ収差の大きさを判定する。こ
のコマ収差が許容値以内でない時、すなわち干渉縞Ｂの
歪みの大きさが所定の量よりも大きい時、カバーガラス
Ａに対する対物レンズ１５０の傾斜の度合いが大きいと
判定し、ステップＳ２０以降の作業に示すように、傾き
調整装置４００によって対物レンズ１５０の傾きを調整
する。また観測されたコマ収差の大きさが所定より小さ
い時は、対物レンズ１５０の傾き調整は行わず、ステッ
プＳ２６以降の作業を行う。

【００５７】ここで傾き調整装置４００の構成を、図１
８〜図２０を参照して説明する。傾き調整装置４００の
本体４０２の下面には、半球レンズ保持部材４０４が取
付けられている。半球レンズ保持部材４０４の先端には
上下方向に延びる孔４０３が形成され、この孔４０３の
下端部には、半球レンズ２０２が固定されている。

【００５８】４本の傾き調整爪４０１は、図１９から理
解されるように、円板４０９の中央部をくり抜いて成形
され、円板４０９の中心に向かって延びている。円板４
０９は半球状の回動部材４１０の下面に取付けられ、ま
た円板４０９の中心は、半球レンズ２０２の内部に位置
している。各傾き調整爪４０１は９０度間隔に設けら
れ、その先端は折曲されて半球レンズ２０２よりも下方
に位置している。また各傾き調整爪４０１の先端は、回
動部材４１０の半球状外周面４１１の曲率中心の近傍ま
で延び、図１８に示す状態すなわち対物レンズ１５０の
傾き調整時において、カバーガラスＡの下面よりも下方
に位置している。なお４本の傾き調整爪４０１のうち１
本は、第１のアーム３３４の開口３３９内に位置してい
る。また回動部材４１０には、半球レンズ保持部材４０
４との干渉を避けるため、切欠部４１９が形成されてい
る。

【００５９】回動部材４１０の半球状外周面４１１は、
本体４０２の下面に形成された半球状凹部４１２に摺動
自在に支持されている。これらの外周面４１１および凹
部４１２の曲率中心は、対物レンズ１５０の光軸上にあ
り、対物レンズ１５０の回転中心Ｃ１（図４参照）の近
傍にある。回動部材４１０には、上下方向に延びる連結
孔４１３が形成され、この連結孔４１３には筒状の操作
軸４１４が挿入されている。操作軸４１４の下端部に設
けられたフランジ４１７は連結孔４１３よりも大きい径
を有し、回動部材４１０の下面に係合している。操作軸
４１４は連結孔４１３から上方に突出し、本体４０２を
貫通して延びており、また操作軸４１４の上端部には、
環状の押圧部材４１５が嵌着されている。この押圧部材
４１５と本体４０２の間には、バネ４１６が設けられて
おり、このバネ４１６は押圧部材４１５を介して回動部
材４１０を常時上方に付勢している。

【００６０】操作軸４１４内には、傾き調整爪４０１の
基準面と平行に平行平面（透明ガラス）４３１が設けら
れている。この平行平面４３１は、対物レンズ１５０の
傾き調整工程のステップＳ１２、Ｓ２８において、傾き
調整爪４０１の傾きの初期位置を確認するため、またス
テップＳ３２において傾き調整爪４０１を所定量だけ傾
けるために利用される。

【００６１】本体４１１の上部に形成された筒状壁４１
８には、４つのハンドル４２１が螺着されている。筒状
壁４１８は押圧部材４１５を囲繞しており、各ハンドル
４２１の先端部４２２は筒状壁４１８の内部に突出して
押圧部材４１５の外周面に当接している。ハンドル４２
１を軸心周りに回転させることにより、ハンドル４２１
の筒状壁４１８からの突出量が変化する。すなわち、２
つのハンドル４２１の突出量を大きくするとともに、他
の２つのハンドル４２１の突出量を小さくすることによ
り、押圧部材４１５を水平方向に変位させることがで
き、これにより操作軸４１４が傾斜して回動部材４１０
が回転変位する。この回動部材４１０の回転により傾き
調整爪４０１の傾きが変化し、後述するように対物レン
ズ１５０の傾きが調整される。

【００６２】回動部材４１０の回転中心からハンドル４
２１と押圧部材４１５の接触部分Ｔまでの距離は、対物
レンズ１５０の回転中心Ｃ１から支持面１５２（図４）
までの距離よりも大きく、例えば約１０倍である。した
がって、ハンドル４２１を回転させてその軸心方向に移
動させた時、対物レンズ１５０の移動量はハンドル４２
１の移動量の約１／１０となり、ハンドル４２１の操作
により対物レンズ１５０の傾きを高精度に微調整するこ
とができる。

【００６３】なお図２０に示すように、本体４０２であ
って各ハンドル４２１の位置に対応した部位には、それ
ぞれバネ４２３が設けられている。これらのバネ４２３
の一端は例えば円板４０９の外周部に係止し、また他端
は本体４０２の上部に係止している。これら４本のバネ
４２３により回動部材４１０は常時上方に付勢され、こ
れにより回動部材４１０は傾いた状態で安定的に停止す
ることができる。

【００６４】再び図１３および図１４を参照し、対物レ
ンズ１５０の傾き調整工程を説明する。

【００６５】ステップＳ２０では、まず傾き調整爪４０
１が対物レンズ１５０の外周縁部に接触するまで、傾き
調整装置４００を微小量下降させる。ステップＳ２１で
は、ソレノイドコイル１６３に通電することにより支持
部材１５１を上方へ付勢する。これにより支持部材１５
１は上昇し、対物レンズ１５０が傾き調整爪４０１に押
し当てられる。すなわち対物レンズ１５０は、傾き調整
爪４０１と支持部材１５１によって挟まれることとなり
（図１８参照）、支持面１５２に沿ってスムーズに変位
し、傾き調整爪４０１と同じ角度で傾斜する。ステップ
Ｓ２２では、傾き調整装置４００を微小量だけ上昇さ
せ、傾き調整爪４０１を対物レンズ１５０から離間させ
る。

【００６６】ステップＳ２１において対物レンズ１５０
を傾けた結果、図４を用いて説明したように対物レンズ
１５０の集光点Ｃ２が変位し、これにより干渉縞Ｂのテ
ィルト縞の本数が増大してコマ収差の大きさを判定しに
くくなることがある。そこでステップＳ２３では、干渉
縞Ｂのティルト縞の本数がコマ収差の大きさを判定する
のに多過ぎるか否かを判定し、多過ぎる場合、水平位置
調整機構５０５を操作することにより、光磁気ディスク
装置１００すなわち対物レンズ１５０を、干渉縞Ｂのテ
ィルト縞の本数が低減する方向すなわちステップＳ２１
において対物レンズ１５０を傾けた方向と反対の方向に
移動させる。なお、これに代えて、半球レンズ２０２を
移動させてもよい。ステップＳ２４では、水平位置調整
機構５０５を微小量調整することにより、干渉縞Ｂのテ
ィルト縞の方向を変えてコマ収差の最大の方向を見つ
け、コマ収差がまだ存在しているか否かを確認する。

【００６７】ステップＳ２５では、ステップＳ１５と同
様に、コマ収差の大きさを判定し、コマ収差が許容値以
内でない時、ステップＳ３２へ進み、傾き調整爪４０１
を所定量だけ傾ける。この傾き調整爪４０１の傾斜の大
きさ、すなわち対物レンズ１５０を傾斜させようとする
大きさは、ステップＳ２３において観測された干渉縞Ｂ
の歪みに基づいて決定され、対物レンズ１５０の傾斜角
の変化とコマ収差の変化量（干渉縞Ｂの歪み）との関係
は、実験または計算により予め求められている。すなわ
ち対物レンズ１５０の傾斜角の変化とコマ収差の変化量
とは１対１に対応しており、例えばＮＡ＝０．５５の対
物レンズの場合、コマ収差を１本（＝干渉縞Ｂの曲がり
の大きさ／各干渉縞Ｂの間隔）だけ変化させるためには
対物レンズ１５０を約３４′だけ傾斜させればよい。な
お、対物レンズ１５０の傾斜角の変化とコマ収差の変化
量との関係の計算は、従来公知である。一方、傾き調整
爪４０１の傾斜の方向は、ステップＳ２４において既に
求められている。

【００６８】ステップＳ３２における傾き調整爪４０１
の傾斜角の調整作業を具体的に説明する。平行平面４３
１（図１８参照）の上方からレーザ光を照射し、このレ
ーザ光の平行平面４３１による反射光の点像をモニタ
（図示せず）において観測する。点像は、傾き調整爪４
０１の傾きに応じてモニタ上において変位する。モニタ
上には点像の変位量すなわち傾き調整爪４０１の傾斜角
を検出するために指標が設けられている。すなわち傾き
調整爪４０１の傾斜角は、モニタ上の点像の位置を観察
しつつ、ハンドル４２１を回転させて回動部材４１０を
回動させることにより行われる。

【００６９】なお、この傾き調整爪４０１の傾斜角は、
平行平面４３１の反射光による点像を観察することに代
えて、特別に角度検出器を設け、これによって検出する
ようにしてもよい。

【００７０】ステップＳ３２の後、再びステップＳ２０
において傾き調整爪４０１を対物レンズ１５０に接触さ
せ、ステップＳ２１において支持部材１５１を上方へ付
勢する。これにより対物レンズ１５０は傾き調整爪４０
１と支持部材１５１によって挟まれ、支持部材１５１の
支持面１５２に沿って変位し、傾き調整爪４０１と同じ
角度で傾斜する。この対物レンズ１５０の傾斜によっ
て、アライメント検出部２１５（図１）のモニタ上で
は、半球レンズ２０２の球面部２０２ｂからの反射光に
よる点像が変位し、また干渉縞観測部２０５のモニタ上
では、像点ずれε（図４）が発生したために干渉縞Ｂの
ティルト縞の本数が増加する。このティルト縞の本数が
多過ぎるためにコマ収差の大きさを判定しにくい場合に
は、ステップＳ２３においてティルト縞の数を減少させ
た後、ステップＳ２５においてコマ収差が許容値以内に
なるか否かを判定する。なお、ステップＳ２１において
対物レンズ１５０の傾斜角を変化させた時、アライメン
ト検出部２１５のモニタ上での点像の変位量が小さい場
合、点像観測部２１４のモニタ上で点像の変位量を観察
してもよい。

【００７１】このような処理の結果、コマ収差が許容値
以内に低減すると、ステップＳ２６へ進み、平行平面４
３１を介して対物レンズ１５０の周囲に紫外線を照射
し、接着剤Ｇを硬化させる。これにより対物レンズ１５
０はレンズ支持部材１５１の支持面１５２に接着され
る。

【００７２】次いでステップＳ２７では、傾き調整装置
４００および半球レンズ保持部材４０４を上昇させて傾
き調整爪４０１を対物レンズ１５０から退避させる。す
なわち傾き調整装置４００は、図１７に示す初期位置に
復帰する。ステップＳ２８では、４本のハンドル４２１
を回転させることにより傾き調整爪４０１の傾き角度初
期位置である水平状態に戻す。この動作は、レーザ光を
平行平面４３１に当て、反射光の点像がモニタ上におい
て所定の位置に到達するように調節することにより行わ
れる。次にステップＳ２９では、光磁気ディスク装置１
００を元の位置すなわち第１ステージＳＴ１に戻す。ス
テップＳ３０では、光磁気ディスク装置１００から挿入
部材３３０すなわちカバーガラスＡと挿入プリズム２０
１とを取り外す。ステップＳ３１では、光ディスク装置
取付け装置５００から光磁気ディスク装置１００を取り
外す。これにより、光磁気ディスク装置１００の対物レ
ンズ１５０の傾き調整は終了する。

【００７３】以上のように本実施例では、干渉縞Ｂの歪
みの大きさを観測しながら傾き調整爪４０１の傾斜角を
変化させるのではなく、ステップＳ３２において、干渉
縞Ｂの歪みの大きさに基づいて、対物レンズ１５０を傾
斜させようとする角度を定め、この角度だけ傾き調整爪
４０１を傾けている。この傾斜の大きさは、モニタ上の
点像の変位量を観察することによって検出される。また
本実施例において用いられている両面非球面の単玉ガラ
スモールドの対物レンズ１５０を傾斜支持面にて傾き調
整を行う場合では、コマ収差を補正すべく傾き調整量に
対する像ずれεは大きな量となり、モニタ上の点像の変
位量は大きい。すなわち、コマ収差の調整量に比して点
像の変位量は大きく、したがって傾斜角の調整作業は容
易である。

【００７４】また本実施例では、このようにして傾斜角
を調整された傾き調整爪４０１に対し、支持部材１５１
を付勢することにより、対物レンズ１５０を支持部材１
５１と傾き調整爪４０１との間で挟み、これにより対物
レンズ１５０を支持部材１５０の支持面１５２に沿って
回転変位させている。したがって、支持部材１５１と固
定部材１５５がバネ１５４が設けられているにも係わら
ず、対物レンズ１５０は傾き調整爪４０１の傾きに沿っ
て傾斜し、傾き調整はスムーズに行われる。

【００７５】なお本発明は、光磁気ディスク装置の対物
レンズの傾き調整に限定されず、その他の光学機械にお
けるレンズの傾き調整にも適用できる。

【００７６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、可動支持
部材上に載置されたレンズの傾き調整をスムーズに行う
ことができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る傾き調整方法において
用いられる対物レンズ傾き検出装置を示す図である。

【図２】対物レンズ、カバーガラスおよび半球レンズか
ら成る光学系における光路を示す図である。

【図３】干渉縞観測部と点像観測部の各モニタに表示さ
れる干渉縞および点像を示す図である。

【図４】対物レンズをレンズ支持部材上で傾けた時にお
ける像点ずれの発生を示す図である。

【図５】対物レンズのトラッキング機構への取付け構造
を模式的に示す図である。

【図６】トラッキング機構を示す断面図である。

【図７】レンズ支持部材を示す斜視図である。

【図８】対物レンズ取付け装置の概略的な構成を示す平
面図である。

【図９】位置決め装置を示す断面図である。

【図１０】レンズ供給装置を示す断面図である。

【図１１】案内部のテーパ面による対物レンズの案内作
用を示す図である。

【図１２】接着剤塗布部材により接着剤溜め部内に接着
剤を供給する動作を示す図である。

【図１３】本発明の一実施例に係る傾き調整方法に含ま
れる傾き調整工程を示すフローチャートである。

【図１４】本発明の一実施例に係る傾き調整方法に含ま
れる傾き調整工程を示すフローチャートである。

【図１５】挿入部材を示す平面図である。

【図１６】挿入部材を示す断面図である。

【図１７】傾き調整装置が初期位置にある状態を示す断
面図である。

【図１８】傾き調整装置により対物レンズの傾き調整を
行っている状態を示す断面図である。

【図１９】傾き調整爪を示し、図１８のＰ−Ｐ線に沿う
断面図である。

【図２０】傾き調整装置を上方から見た図である。

【符号の説明】

１５０ 対物レンズ １５２ 支持面 １５１ 支持部材 １５４ バネ １５５ 固定部材 ４０１ 傾き調整爪

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 林 勝喜 東京都板橋区前野町２丁目36番９号 旭 光学工業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−46241（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−147339（ＪＰ，Ａ) 実開 昭62−48018（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−8710（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−132910（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G11B 7/08 - 7/22 G02B 7/00 - 7/40

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 固定部材に弾性的に連結された可動支持
   部材の傾斜支持面に載置されたレンズを、前記支持面上
   において変位させることにより所定量だけ傾けるレンズ
   傾き調整方法であって、傾き調整部材をレンズに接触さ
   せる第１の工程と、前記傾き調整部材が前記レンズに接
   触した状態で、前記可動支持部材に設けられたソレノイ
   ドコイルと前記固定部材に設けられたマグネットとを有
   する付勢手段において、前記ソレノイドコイルに通電す
   ることにより、前記可動支持部材を変位させ、前記レン
   ズを傾き調整部材に押し当てる第２の工程とを備えたこ
   とを特徴とするレンズ傾き調整方法。
2. 【請求項２】 レンズを傾斜させようとする角度を設定
   する第３の工程と、前記角度だけ傾き調整部材を傾ける
   第４の工程とを備え、これら第３および第４の工程は第
   １の工程の前に実施されることを特徴とする請求項１の
   レンズ傾き調整方法。
3. 【請求項３】 固定部材に弾性的に連結された可動支持
   部材の傾斜支持面に載置されたレンズを、前記支持面上
   において変位させることにより所定量だけ傾けるレンズ
   傾き調整装置であって、レンズの前記可動支持部材側と
   は反対側の面に接触する傾き調整部材と、この傾き調整
   部材の傾きを定める傾き設定手段と、前記可動支持部材
   に設けられたソレノイドコイルと前記固定部材に設けら
   れたマグネットを有する付勢手段とを備え、 前記傾き調整部材が前記レンズに接触した状態で、前記
   ソレノイドコイルに通電することにより、前記可動支持
   部材が変位して前記レンズが前記傾き調整部材に押し当
   てられることを特徴とするレンズ傾き調整装置。
4. 【請求項４】 レンズと所定の平行平面との相対的な傾
   きに応じた歪みを有する光学的な干渉縞を発生させる干
   渉縞発生手段を備えたことを特徴とする請求項３のレン
   ズ傾き調整装置。
5. 【請求項５】 傾き設定手段が、干渉縞の歪みに対応し
   た傾きを設定することを特徴とする請求項４のレンズ傾
   き調整装置。
6. 【請求項６】 付勢手段により可動支持部材を付勢して
   いる間レンズを傾きの変化を観察するためのモニタを備
   えたことを特徴とする請求項３のレンズ傾き調整装置。