JP2000222784A - ガラス円盤センタリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】センタリング動作を簡単な調整により行えるよ
うにして、センタリング精度を向上させ、露光品質を向
上させる。また、手動操作の他に自動動作も行えるよう
にして、作業効率の向上を図る。 【解決手段】回転テーブル１１の回動によりターンテー
ブル１外周への当接距離を調整可能な位置調整機構６ａ
〜６ｃの球状端部がターンテーブル１外周に先行当接し
た後、第２案内輪１４ａ〜１４ｃが同期して、ターンテ
ーブル１の半径方向に同一量動いてガラス原盤２あるい
は円盤状の被駆動物の外径をターンテーブル１中心に対
して押圧し、固定位置を決定する。第２回動支点７と第
２案内輪１４間には、円弧部に溝部が設けられた第２案
内輪８と、その溝部に配置された第３支点９が設けられ
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクのガラ
ス原盤あるいは円盤状の被駆動物を回転するターンテー
ブルの中心と同心状に位置決定するセンタリング装置に
関し、特にセンタリング装置全体の位置決め調整が粗く
ても位置調整機構の調整によりセンタリング精度の向上
が図れ、露光品質の向上を図れるガラス円盤センタリン
グ装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光学的情報記録装置においては、光ディ
スクのガラス円盤露光装置等の記録媒体を塗布したガラ
ス円盤をターンテーブル上に固定回転させ、光学的手段
を用いて螺旋または同心円状に情報を記録する。このよ
うな光ディスクのガラス円盤露光装置において、光ディ
スクのマスターとなるガラス円盤の中心がターンテーブ
ルの回転中心からずれていると、ガラス円盤に対する回
転記録中にダイナミックアンバランスにより振動等が発
生して、ガラス原盤に記録されるトラックピッチ等の記
録精度が低下してしまう。近年使用されているＤＶＤ
（Ｄｉｇｉｔａｌ Ｖｉｄｅｏ Ｄｉｓｃ）等では、狭
ピッチ化による記録容量の向上が図られているため、ト
ラックピッチの記録精度の低下は品質の低下を招くこと
になる。

【０００３】従来のガラス原盤のセンタリング装置とし
ては、例えば特開平７−２４００３７号公報に記載され
ているように、第１の方法として、ターンテーブル上に
ガラス原盤を搭載装着する作業者が、ダイヤルゲージま
たは電気マイクロメータ等の変位計を原盤の外円筒端面
にセットして、ターンテーブル上のガラス原盤を回転さ
せながら、偏心量が最小または許容範囲内に収まるよう
にガラス原盤の位置を微調整する方法と、第２の方法と
して、ターンテーブル上にガラス原盤を搭載装着する際
に、治具等を使用することにより、ガラス原盤の偏心量
が一定の許容範囲内に収まるようにして、ターンテーブ
ルを所定の回転数で回転させ、ダイナミックアンバラン
スによる振動の大きさおよび方向を検出する釣合試験機
またはダイナミックバランサー等を使用して、ガラス原
盤の不釣合を検出し釣合重りを付加し、あるいはガラス
原盤の位置を調整する方法があった。

【０００４】また、上記特開平７−２４００３７号公報
に開示された方法として、ガラス原盤を搭載装着するタ
ーンテーブルの外側に固定ベースを設け、その固定ベー
ス上に少なくとも３つ以上の等角度間隔で設けたピボッ
ト軸に連結したリンクアームを設け、そのリンクアーム
上に設けた案内駒がターンテーブルの回転中心に対して
同一方向に等距離だけ移動してガラス原盤の外周に当接
してガラス原盤をターンテーブル中心に対して位置決定
する、簡単かつ低コストで比較的精度の高いセンタリン
グ方法がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報に開示された方法および従来の第１，第２の方法で
は、下記のような問題点がある。 （１）上記公報開示の方法では、リンクアーム上に設け
られた案内駒が位置決定する芯出し位置が、ターンテー
ブルの周囲に配置されたベースプレートとターンテーブ
ルの位置関係に影響を受けるため、基準となる外径を持
つガラス原盤で案内駒を位置決定させた状態でベースプ
レートの基台への取り付け固定が必要となるが、大型で
重量の重いセンタリング装置全体の位置決め調整となる
ため、その取付け調整は非常に困難となり、ガラス基盤
のセンタリング精度は劣化する。 （２）上記公報開示の方法では、センタリングの動作終
了時におけるガラス盤の反力をリンク上部に設けた案内
駒で受ける。この場合には、この反力がリンクをねじる
方向のモーメント力となるため、エアシリンダの駆動圧
力が高いと、リンクがモーメント力によりねじれるため
に、案内駒が傾いてセンタリング精度が劣化する。セン
タリング動作終了時において、芯出しが正常に行われた
否かの確認機構がないため、センタリング不良を検出す
ることができず、品質不良を発生する。

【０００６】（３）上記公報開示の方法では、センタリ
ングの動作終了時におけるガラス盤の反力をリンク上部
に設けた案内駒で受ける。この場合には、この反力がリ
ンクをねじる方向のモーメント力となるため、エアシリ
ンダの駆動圧力が高いと、リンクがモーメント力により
ねじれるために、案内駒が傾いてセンタリング精度が劣
化する。この圧力の設定は、試行錯誤的に行う必要があ
るので、多大な組立調整時間が必要となる。 （４）上記第１、第２の方法では、いずれの場合にも作
業に時間がかかるとともに、熟練した専任の作業者が必
要であり、また、人間が介在することにより、人間に起
因する塵埃が発生するため、ガラス原盤の記録信号に欠
陥が生じて露光品質を劣化させる。さらに、第２の方法
では、一般的に高価な検出器が必要となるため、装置コ
ストが高価になる。

【０００７】そこで、本発明の目的は、上述のような従
来の課題を解決し、センタリング装置全体の位置決め調
整が粗くても位置調整機構の調整でセンタリング精度の
向上を図って、露光品質を向上させることができ、また
センタリング動作を人間の介在なしで行うことにより、
塵埃等の発生を抑制でき、センタリング動作の信頼性の
向上を図ることができるガラス円盤センタリング装置を
提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガラス円盤センタリング装置では、回転
テーブル（１１）の回動によりターンテーブル（１）外
周への当接距離を調整可能な位置調整機構（６）の球状
端部（２２）がターンテーブル（１）外周に先行当接し
た後、第２案内輪（１４）が同期して、ターンテーブル
（１）の半径方向に同一量動いてガラス原盤（２）ある
いは円盤状の被駆動物の外径をターンテーブル（１）中
心に対して押圧して固定位置決定する。これにより、セ
ンタリング装置全体の位置決め調整が粗くても、位置調
整機構の調整によりセンタリング精度の向上が図られる
ので、露光品質が向上する。 また、位置調整機構（６）の外周に雄ネジ部（３
７）、ホルダーに雌ねじを設け、位置調整機構全体の回
転により、ターンテーブル外周への当接距離を簡単に調
整可能とする。これにより、安価でセンタリング精度が
良好になるため、露光品質が向上する。 また、位置調整機構（６）の内部にターンテーブル
（１）外周への当接圧力を検出する圧力センサ（２５）
を設け、その検出出力信号（３０）を増幅する増幅器
（３１）およびその指示値を表示する圧力表示器（３
２）を設ける。これにより、手動操作によるセンタリン
グ動作終了時における過度の押圧を抑制できるため、セ
ンタリング動作の信頼性の向上を図れる。

【０００９】また、位置調整機構（６）の内部にター
ンテーブル（１）外周への当接圧力を検出する圧力セン
サ（２５）を設け、その検出出力信号（３０）を増幅す
る増幅器（３１）および各々の検出信号の差分を検出す
る差動アンプ（３３）、許容値と等価な基準信号とその
差分信号とを比較する比較器（３４）、ＡＮＤ回路（３
５）を設けて、芯出しの正常／異常を検出する検出信号
（３６）を得る。これにより、瞬時にセンタリングを行
うことができるので、作業効率の向上を図れる。 また、回転テーブル（１１）の外径端部にピボット軸
（１６）を介して連結された第１および第２リンク
（４，８）を駆動するためのエアシリンダ（１８）およ
びそのエアシリンダ（１８）の押圧を調整する圧力制御
手段（２０）、シリンダ動作方向を切り換える電磁弁
（２１）から構成される駆動手段を設ける。これによ
り、センタリング動作を人間の介在なしで行うことがで
きるので、粉塵等の発生を抑制することができ、露光品
質は向上する。 さらに、芯出しの正常／異常を検出する検出信号によ
り押圧力上限を制御する圧力制御手段（３８）を設け
る。これにより、自動センタリング動作終端における過
度な押圧を抑制することができるので、センタリング動
作の信頼性を向上させることができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を、図面に
より詳細に説明する。図１、図２および図３は、本発明
の第１の実施例を示すガラス円盤センタリング装置の調
整開始時と終了時の平面図および側面図であり、図４は
図１、図２のＡ−Ａ′断面の拡大図である。図１，図２
において、中心より外側に向って、順にターンテーブル
１、ガラス原盤２、回転テーブル１１、および固定テー
ブル３が配置される。図１〜図３に示すように、固定テ
ーブル３が光ディスクのガラス原盤２あるいは円盤状の
被駆動物を回転するターンテーブル１の外側に、そのタ
ーンテーブル１の回転中心とほぼ同心状に設けられ、装
置基台（図示省略）に固定されている。この固定テーブ
ル３上には、片端をターンテーブル１の回転中心に関し
て等角度間隔で設けられた少なくとも３つの第１回動支
点５ａ〜５ｃが設けられており、また他端にターンテー
ブル１の外径に外接、離間する端部に球状部材２２ａ〜
２２ｃ（図４参照）が、また外周部に雄ネジ３７ａ〜３
７ｃ（図２参照）が設けられた位置調整機構６ａ〜６ｃ
を配置した第１リンク４ａ〜４ｃが連結されている。ま
た、第１回動支点５ａ〜５ｃには、同心状に片端を固定
テーブル３に固着され、他端を第１リンク４ａ〜４ｃに
固定されて、その反力がターンテーブル１の半径方向で
第１リンク４ａ〜４ｃがターンテーブル１から離れる方
向に作用するねじりコイルスプリング１０（図３参照）
が設けられている。

【００１１】さらに、片端をその第１リンク４ａ〜４ｃ
上に設けた位置調整機構６ａ〜６ｃの下部に設けた第２
回動支点７ａ〜７ｃに連結され、他端をガラス原盤２あ
るいは円盤状の被駆動物の外径部を押圧可能な第２案内
輪１４ａ〜１４ｃに連結され、その第２回動支点７ａ〜
７ｃと第２案内輪１４ａ〜１４ｃ間の円弧部に溝部が設
けられた第２リンク８ａ〜８ｃが設けられている。ま
た、固定テーブル３と回転テーブル１１とは、軸受２７
（図３参照）を介して設けられており、固定テーブル３
と同一中心により回動可能な構造となっている。さら
に、回転テーブル１１には、第２リンク８ａ〜８ｃの溝
部に配置される第３支点９ａ〜９ｃおよび第１リンク４
ａ〜４ｃの外側円弧部をターンテーブル１の中心方向に
押圧可能な第３案内輪１３ａ〜１３ｃが設けられてい
る。

【００１２】次に、以上の構造を有する装置の動作を説
明する。手動ハンドル１２を用いて回転テーブル１１を
回動させることにより、第３支点９ａ〜９ｃが回動し、
第３案内輪１３ａ〜１３ｃが第１リンク４ａ〜４ｃの外
側円弧部をターンテーブル１の中心方向に押圧し、位置
調整機構６ａ〜６の端部の球状部材２２ａ〜２２ｃ（図
４、図５参照）がターンテーブル１の外周に先行当接す
る。この時、第２回動支点７ａ〜７ｃを支点として第２
リンク８ａ〜８ｃの第２案内輪１４ａ〜１４ｃが同期し
て、ターンテーブル１の半径方向に同一量動いてガラス
原盤２あるいは円盤状の被駆動物の外径をターンテーブ
ル１の中心に対し押圧して固定位置を決定し、センタリ
ング動作を完了する。このような構造を有しているの
で、ターンテーブル１の中心に対して固定テーブル３の
基台への取付けが微妙にずれている場合でも、第２回動
支点７ａ〜７ｃの位置を決定する第１案内輪６ａ〜６ｃ
が先行してターンテーブル１の外周に当接するので、良
好なセンタリングが可能である。

【００１３】図１１は、本発明のセンタリング装置の外
接位置調整動作の説明図である。図１１の破線で示すよ
うに、ターンテーブル１の中心に対して、固定テーブル
３の設置中心が大きくずれた場合には、回転テーブル１
１の回動に対して、位置調整機構６ｂ，６ｃ端部の球状
部材２２ｂ，２２ｃ（図示省略）が位置調整機構６ａ端
部の球状部材２２ａ（図４、図５参照）よりも先にター
ンテーブル１の外径に当接するため、第２案内輪１４
ｂ，１４ｃが先行して動作するため、ガラス原盤２ある
いは円盤状の被駆動物の芯出しがずれてしまう。そこ
で、位置調整機構６ｂ，６ｃを後退させるか、あるいは
位置調整機構６ａを前進させて、押圧同期調整を行う。
この位置調整機構６ａ〜６ｃにより動作の同期が図られ
れば、良好なセンタリングが可能となる。つまり、図１
に示すターンテーブル１の外径の当接点と第２回動支点
７ａ〜７ｃの回動中心間距離を調整することにより、調
整が行われる。このような構造により、試行錯誤的にタ
ーンテーブル１の中心に対して、固定テーブル３の設置
中心が大きくずれた場合でも、良好な芯出しが可能とな
るが、組立調整時間がかかる。

【００１４】図５は、本発明の外接位置調整機構の詳細
構造図、図６は、本発明の圧力検出部の第１の実施例を
示すブロック図、および図７は、圧力検出部の第２の実
施例を示すブロック図である。以下、図５〜図７を用い
て、上述の外接位置調整を行い、ガラス原盤２あるいは
円盤状の被駆動物の外径を押圧する時に発生するリンク
に対するモーメント力による芯出し不良を回避する構造
について説明する。位置調整機構６ａ〜６ｃの内部に
は、球状部材２２ａ〜２２ｃ後部に圧力センサ２５ａ〜
２５ｃ（図５には、センサ２５ａのみが示される）を設
け、その検出出力３０ａ〜３０ｃを増幅器３１ａ〜３１
ｃを介して圧力表示器３２ａ〜３２ｃに表示する（図６
参照）。センタリングの動作終了時の表示圧力が同一の
値になるように、位置調整機構６ａ〜６ｃを調節するこ
とにより、簡単に調整が可能となる。また、圧力センサ
２５ａ〜２５ｃの検出出力３０ａ〜３０ｃを増幅器３１
ａ〜３１ｃを介して各々の信号の差分をとる差動アンプ
３３ａ〜３３ｃに接続し、比較器３４ａ〜３４ｃにより
ずれ許容値と等価な基準電圧と比較した出力をＡＮＤ回
路３５に接続して、芯出しのＯＫ／ＮＧ信号３６を取り
出す。これにより、センタリング動作終了時の押圧程度
を芯出しのＯＫ／ＮＧ信号３６を参照しながら調整する
ことが可能になるため、過度の押圧を抑制することがで
きる。以上は、手動操作により、人間を介在してセンタ
リング動作を行う場合の説明である。

【００１５】図８〜図１０および図１２は、本発明の第
２の実施例を示すガラス円盤センタリング装置の平面
図、側面図およびエアシンダ押圧制御図であって、自動
によりセンタリング動作を行う場合の構造を示す図であ
る。固定テーブル３、回転テーブル１１、位置調整機構
６ａおよび第２リンク８ａ等は、図１の例で示した構造
と同じである。その他に、図８に示すように、回転テー
ブル１１の外周部には、先端に回動自在なピボット軸受
１６が設けられており、そのピボット軸受１６にはエア
シリンダ１８のロッド１７の先端部が連結されている。
また、エアシリンダ１８は、固定テーブル３に対してピ
ボット軸受１９を介してそのピボット軸受１９の回りに
回動自在となるように設けられている。さらに、図９お
よび図１０に示すように、エアシリンダ１８は復動タイ
プで構成されており、それに供給する圧縮空気流路２
４，２６に接続されており、センタリング動作方向に動
作するための圧縮空気流路２４中に圧力可変手段２０が
設けられている。また、圧力可変手段２０には、芯出し
のＯＫ／ＮＧ信号３６を参照して圧力可変手段２０の圧
力を制御する信号を供給する圧力制御手段３８が設けら
れている。

【００１６】以上の構造における動作を、図９および図
１２により説明する。制御器（図示省略）からの電磁弁
２１の通電信号により、センタリング動作が開始され、
圧縮空気が流入される。ターンテーブル１から離れる方
向に作用するねじりコイルスプリング１０ａ〜１０ｃ
（図３の１０参照）に打ち勝ち、かつ各リンクを動作し
得る最低押圧を発生する制御電圧Ｖ０を起点として徐々
に昇圧される制御電圧が、圧力可変手段２０に加えられ
る。圧力制御手段３８は、芯出しのＯＫ／ＮＧ信号３６
を参照して、ＯＫになると圧力可変手段２０に加える印
可電圧を一定出力とする。これにより、センタリング動
作時に発生するガラス盤２あるいは円盤状の被駆動物の
外径を押圧するときの反力によるモーメント力を極力小
さくすることができる。

【００１７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
センタリング装置全体の位置決め調整が粗くても、位置
調整機構の簡単な調整によりセンタリング精度の向上を
図ることができるので、露光品質は向上する。また、手
動操作および自動制御の両方において、過度の押圧を抑
制することができ、作業効率の向上を図ることができ
る。さらに、人間を介在させずに行う場合には、粉塵等
の発生を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示すガラス円盤センタ
リング装置の位置調整開始時の平面図である。

【図２】同じくガラス円盤センタリング装置の位置調整
終了時の平面図である。

【図３】同じくガラス円盤センタリング装置の側面図で
ある。

【図４】図２のＡ−Ａ′の切断面の断面図である。

【図５】図４における外接位置調整機構（２）の拡大図
である。

【図６】本発明における圧力検出器の第１の実施例を示
すブロック図である。

【図７】本発明における圧力検出器の第２の実施例を示
すブロック図である。

【図８】本発明の第２の実施例を示すガラス円盤センタ
リング装置の自動的位置調整機構の開始時の平面図であ
る。

【図９】同じくガラス円盤センタリング装置の位置調整
終了時の平面図である。

【図１０】図９の側断面図である。

【図１１】本発明の外接位置調整動作の説明図である。

【図１２】図９におけるエアシリンダ押圧制御図であ
る。

【符号の説明】

１…ターンテーブル、２…ガラス原盤、３…固定テーブ
ル、４ａ〜４ｃ…第１リンク、５ａ〜５ｃ…第１回動支
点、６ａ〜６ｃ…位置調整機構、７ａ〜７ｃ…第２回動
支点、８ａ〜８ｃ…第２リンク、９ａ〜９ｃ…第３支
点、１０ａ〜１０ｃ…コイルスプリング、１１…回転テ
ーブル、１２…手動ハンドル、１３ａ〜１３ｃ…第３案
内輪、１４ａ〜１４ｃ…第２案内輪、１６…軸受、１７
…ロッド、１８…エアシリンダ、１９…ピボット軸受、
２０…圧力可変手段、２１…電磁弁、２２ａ〜２２ｃ…
球状部材、２４…圧縮空気流路、２５…圧力センサ、２
６…圧縮空気流路、３０ａ〜３０ｃ…センサ検出出力、
３２ａ〜３２ｃ…圧力表示器、３１ａ〜３１ｃ…増幅
器、３３ａ〜３３ｃ…差動アンプ、３４ａ〜３４ｃ…比
較器、３５…ＡＮＤ回路、３６…ＯＫ／ＮＧ信号、３７
…雄ネジ。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ディスクのガラス原盤あるいは円盤状
   の被駆動物を回転するターンテーブルの中心と同心状に
   位置決めを行い、ガラス原盤あるいは円盤状の被駆動物
   の外径部に接触して少なくとも３個以上の案内輪が上記
   ターンテーブルの半径方向に同期して同一量動くことで
   固定位置を決定するセンタリング装置であって、 ガラス原盤（２）あるいは円盤状の被駆動物を回転する
   ターンテーブル（１）の外側に、該ターンテーブル
   （１）の回転中心と略同心状に設けられ、装置基台に固
   定された固定テーブル（３）と、 該固定テーブル（３）上で片端を該ターンテーブル
   （１）の回転中心に関して等角度間隔に設けられた少な
   くとも３個の第１回動支点（５）に連結され、他端を該
   ターンテーブル（１）外径に外接、離間する位置調整機
   構（６）を設けた第１リンク（４）と、 上記第１回動支点（５）と同心状に設けられ、片端を固
   定テーブル（３）に固着され、他端を上記第１リンク
   （４）に固定されて、その反力が該ターンテーブル
   （１）の半径方向で該第１リンク（４）が該ターンテー
   ブル（１）から離れる方向に作用するねじりコイルスプ
   リング（１０）と、 片端をその該第１リンク（４）上に設けた上記位置調整
   機構（６）下部に配置される第２回動支点（７）に連結
   され、他端にガラス円盤（２）あるいは円盤状の被駆動
   物の外径部を押圧可能な第２案内輪（１４）が設けら
   れ、該第２回動支点（７）と第２案内輪（１４）間の円
   弧部に溝部が設けられた第２リンク（８）と、 上記固定テーブル（３）の外側に配置され、該固定テー
   ブル（３）と同一中心により回動可能で、上記第２リン
   ク（８）の溝部に配置される第３支点（９）および上記
   第１リンク（４）の外側円弧部をターンテーブル（１）
   の中心方法に押圧可能な第３案内輪（１３）を設けた回
   転テーブル（１１）とを有し、 該回転テーブル（１１）の回動により、該ターンテーブ
   ル（１）の外周への当接距離を調整可能な位置調整機構
   （６）の球状端部（２２）が該ターンテーブル（１）の
   外周に先行当接した後、上記第２回動支点（７）を中心
   に上記第２案内輪（１４）が同期して、該ターンテーブ
   ル（１）の半径方向に同一量動いてガラス円盤（２）あ
   るいは円盤状の被駆動物の外径を該ターンテーブル
   （１）の中心に対して押圧して、固定位置を決定するこ
   とを特徴とするガラス円盤センタリング装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のガラス円盤センタリン
   グ装置において、 前記位置調整機構（６）は、外周に雄ネジ部（３７）、
   ホルダー（１５）に雌ネジを設け、該位置調整機構
   （６）全体の回転によりターンテーブル（１）の外周へ
   の当接距離を調整可能にしたことを特徴とするガラス円
   盤センタリング装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載のガラス円盤セ
   ンタリング装置において、 前記位置調整機構（６）の内部には、ターンテーブル
   （１）の外周への当接圧力を検出する圧力センサ（２
   ５）と、該圧力センサ（２５）の検出出力信号（３０）
   を増幅する増幅器（３１）と、センサ圧力値を表示する
   圧力表示器（３２）とを設けたことを特徴とするガラス
   円盤センタリング装置。
4. 【請求項４】 請求項１，２または３のいずれかに記載
   のガラス円盤センタリング装置において、 前記位置調整機構（６）の内部には、ターンテーブル
   （１）の外周への当接圧力を検出する圧力センサ（２
   ５）と、該圧力センサ（２５）の検出出力信号（３０）
   を増幅する増幅器（３１）と、各検出信号の差分を検出
   する差動アンプ（３３）と、該差分信号と予め供給され
   る基準信号とを比較する比較器（３４）と、該比較器の
   出力をＡＮＤする回路（３５）とを設けて、芯出しの正
   常／異常を検出する検出信号（３６）を出力することを
   特徴とするガラス円盤センタリング装置。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のうちのいずれ
   かに記載のガラス円盤センタリング装置において、 前記回転テーブル（１１）の外径端部には、ピボット軸
   （１６）を介して連結された、第１および第２リンク
   （４，８）を駆動するためのエアシリンダ（１８）およ
   び該エアシリンダ（１８）の押圧を調整する圧力制御手
   段（２０）、ならびにシリンダ動作方向を切り換える電
   磁弁（２１）からなる駆動手段を設けることを特徴とす
   るガラス円盤センタリング装置。
6. 【請求項６】 請求項４に記載のガラス円盤センタリン
   グ装置において、 前記ＡＮＤする回路（３５）から出力される芯出しの正
   常／異常を検出する検出信号（３６）により、押圧力上
   限を制御する圧力制御手段（３８）を設けることを特徴
   とするガラス円盤センタリング装置。