JPH07226335A - 薄膜コンデンサ - Google Patents
薄膜コンデンサInfo
- Publication number
- JPH07226335A JPH07226335A JP3784494A JP3784494A JPH07226335A JP H07226335 A JPH07226335 A JP H07226335A JP 3784494 A JP3784494 A JP 3784494A JP 3784494 A JP3784494 A JP 3784494A JP H07226335 A JPH07226335 A JP H07226335A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- film capacitor
- board
- capacitor
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜コンデンサにおいて、大容量を得るため
の誘電体パタン配置方向の請求。 【構成】 従来作製されている薄膜コンデンサは、誘電
体パタンを基板外形の辺に平行な方向に配置しているた
め、小型化にともない大容量が得られない傾向があっ
た。本発明は誘電体パタンを基板の対角線方向に配置す
ることにより、大容量を得ることが可能な誘電体形状を
提供する。
の誘電体パタン配置方向の請求。 【構成】 従来作製されている薄膜コンデンサは、誘電
体パタンを基板外形の辺に平行な方向に配置しているた
め、小型化にともない大容量が得られない傾向があっ
た。本発明は誘電体パタンを基板の対角線方向に配置す
ることにより、大容量を得ることが可能な誘電体形状を
提供する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、小型電子回路に用い
る薄膜コンデンサの誘電体パタン配置方向に関する。
る薄膜コンデンサの誘電体パタン配置方向に関する。
【０００２】
【従来の技術】 集積回路技術の発達により、電子回路
の小型化、高周波化が進むに従い、コンデンサにおいて
も薄膜化の要求が高まっている。薄膜コンデンサにおい
て大容量を得る手段として、誘電体の誘電率を高くする
方法及び積層構造にする方法が用いられていた。
の小型化、高周波化が進むに従い、コンデンサにおいて
も薄膜化の要求が高まっている。薄膜コンデンサにおい
て大容量を得る手段として、誘電体の誘電率を高くする
方法及び積層構造にする方法が用いられていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 従来作製されている
薄膜コンデンサにおいは、外形寸法の小型化にともな
い、誘電体の面積が等比級数的に小さくなるため、小さ
い静電容量しか得られなかった。大容量を得るために、
誘電体薄膜を薄くする方法ではリーク電流が大きくな
り、また積層構造にする方法では、製造工程が複雑にな
る問題があった。
薄膜コンデンサにおいは、外形寸法の小型化にともな
い、誘電体の面積が等比級数的に小さくなるため、小さ
い静電容量しか得られなかった。大容量を得るために、
誘電体薄膜を薄くする方法ではリーク電流が大きくな
り、また積層構造にする方法では、製造工程が複雑にな
る問題があった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】 上記問題を解決するた
めに本発明の薄膜コンデンサは、誘電体パタンを基板の
対角線方向に配置、形成することを特徴としたものであ
り、誘電体の有効面積を増加させて大容量を得るもので
ある。
めに本発明の薄膜コンデンサは、誘電体パタンを基板の
対角線方向に配置、形成することを特徴としたものであ
り、誘電体の有効面積を増加させて大容量を得るもので
ある。
【０００５】
【実施例１】 次に本発明について図面を参照して説明
する。図３は本発明の１実施例の構造を示す断面図及び
平面図である。図３に示すように、０．５×０．５mmの
石英基板１上にＴｉとＰｄよりなる下部電極膜２を作製
し、パタンを形成する。次にＳｒＴｉＯ3誘電体膜３を
作製し、基板の対角線方向にパタンを形成する。さらに
ＮｉＣｒとＡｕよりなる上部電極４を作製し、パタンを
形成する。図中の斜線部分は上部電極と下部電極が重な
り合う部分であり、コンデンサを形成する有効面積を示
す。この方法により作製した薄膜コンデンサは、図１に
示す同一外形寸法の従来の薄膜コンデンサの静電容量１
００ｐＦに対して、１８０ｐＦの大容量が得られた。ま
た同様の方法により、図４のパタンを使用して２２０ｐ
Ｆの静電容量が得られた。
する。図３は本発明の１実施例の構造を示す断面図及び
平面図である。図３に示すように、０．５×０．５mmの
石英基板１上にＴｉとＰｄよりなる下部電極膜２を作製
し、パタンを形成する。次にＳｒＴｉＯ3誘電体膜３を
作製し、基板の対角線方向にパタンを形成する。さらに
ＮｉＣｒとＡｕよりなる上部電極４を作製し、パタンを
形成する。図中の斜線部分は上部電極と下部電極が重な
り合う部分であり、コンデンサを形成する有効面積を示
す。この方法により作製した薄膜コンデンサは、図１に
示す同一外形寸法の従来の薄膜コンデンサの静電容量１
００ｐＦに対して、１８０ｐＦの大容量が得られた。ま
た同様の方法により、図４のパタンを使用して２２０ｐ
Ｆの静電容量が得られた。
【０００６】
【発明の効果】 従来作製されている薄膜コンデンサ
は、小型化することにより小さい静電容量しか得られな
かった。本発明により作製した薄膜コンデンサは、誘電
体パタンを基板の対角線方向に配置、形成することによ
り、特性を低下させることなく、大きい静電容量が得ら
れる。
は、小型化することにより小さい静電容量しか得られな
かった。本発明により作製した薄膜コンデンサは、誘電
体パタンを基板の対角線方向に配置、形成することによ
り、特性を低下させることなく、大きい静電容量が得ら
れる。
【図１】 図１は従来の薄膜コンデンサの構造を示す断
面図及び平面図である。
面図及び平面図である。
【図２】 図２は大容量を得るための、従来の積層構造
による薄膜コンデンサの構造を示す断面図及び平面図で
ある。
による薄膜コンデンサの構造を示す断面図及び平面図で
ある。
【図３】 図３は本発明を説明するための構造を示す断
面図及び平面図である。
面図及び平面図である。
【図４】 図４は本発明により、最大静電容量を得た実
施例の構造を示す断面図及び平面図である。
施例の構造を示す断面図及び平面図である。
１ 基板 ２ 下部電極膜 ３ 誘電体膜 ４ 上部電極膜 ５ 中間電極膜
Claims (1)
- 【請求項１】 電気的絶縁性基板上に下部電極膜、誘電
体膜、上部電極膜を形成してなる薄膜コンデンサにおい
て、前記誘電体膜のパタンを前記基板の対角線方向に配
置形成することによって、大容量の薄膜コンデンサが得
られることを特徴としたパタン形状。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3784494A JPH07226335A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 薄膜コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3784494A JPH07226335A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 薄膜コンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07226335A true JPH07226335A (ja) | 1995-08-22 |
Family
ID=12508850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3784494A Pending JPH07226335A (ja) | 1994-02-10 | 1994-02-10 | 薄膜コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07226335A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5448516A (en) * | 1977-09-26 | 1979-04-17 | Kawai Musical Instr Mfg Co | Device of effectuating performance of electronic musical instrument |
| JPS5619416U (ja) * | 1979-07-23 | 1981-02-20 | ||
| JPS6091574A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-22 | 松下電器産業株式会社 | ア−ス端子取付装置 |
-
1994
- 1994-02-10 JP JP3784494A patent/JPH07226335A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5448516A (en) * | 1977-09-26 | 1979-04-17 | Kawai Musical Instr Mfg Co | Device of effectuating performance of electronic musical instrument |
| JPS5619416U (ja) * | 1979-07-23 | 1981-02-20 | ||
| JPS6091574A (ja) * | 1983-10-25 | 1985-05-22 | 松下電器産業株式会社 | ア−ス端子取付装置 |
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