JPH0721985B2 - 真空バルブ - Google Patents

真空バルブ

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JPH0721985B2
JPH0721985B2 JP3307879A JP30787991A JPH0721985B2 JP H0721985 B2 JPH0721985 B2 JP H0721985B2 JP 3307879 A JP3307879 A JP 3307879A JP 30787991 A JP30787991 A JP 30787991A JP H0721985 B2 JPH0721985 B2 JP H0721985B2
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sealing
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功 奥冨
経世 関
秀夫 鈴木
普三 菅井
和也 辻本
博 渡辺
清 長部
敦史 山本
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    • H01H33/00High-tension or heavy-current switches with arc-extinguishing or arc-preventing means
    • H01H33/60Switches wherein the means for extinguishing or preventing the arc do not include separate means for obtaining or increasing flow of arc-extinguishing fluid
    • H01H33/66Vacuum switches
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01HELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
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    • H01H33/662Housings or protective screens
    • H01H33/66207Specific housing details, e.g. sealing, soldering or brazing
    • HELECTRICITY
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、真空バルブに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、真空バルブは、アルミナ磁器製
の円筒状の絶縁容器の両端開口部を封着金具で気密封止
して内部圧力1×10-2Pa以下とした真空容器内に、
1対の接点を接離可能に配設して構成されている。アル
ミナ磁器からなる絶縁容器の両端端面には封着金具との
金属ろう付けを可能にするため、Mo−Mn等からなる
粉末を焼付け塗布した金属化層が形成されている。封着
金具には、金属ろう付け時の熱膨張係数がアルミナ磁器
に近似した42Ni−Fe合金、17Co−29Ni−
Fe合金等が用いられ、絶縁容器の両端面と780℃か
ら1000℃程度の高温下で金属ろう付けによって気密
に封止接合されている。そして、気密封止接合後に封着
金属の表面に、耐食性を改善するための防錆塗装処理が
一般的に行われている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】真空バルブは周知の如
く高い信頼性が要求されており、特に気密部は長期間高
真空を維持するという真空バルブの基本機能を左右する
部分だけに、その部分については充分な吟味がなされて
いなければならない。前記の絶縁容器と封着金具との気
密封止部分は、熱膨張係数の異なる二つの物質を接合し
ている部分であり、780℃から1000℃程度の高温
下で金属ろう付けにより封止するのが一般的であり、こ
の金属ろう付け時に、前記二つの物質の膨張収縮差によ
って生じる内部応力を緩和することが、信頼性向上のた
めの技術上のポイントの一つになっている。そのため、
従来の封着金具の材料には、金属ろう付け時の熱膨張係
数がアルミナ磁器に近似した42Ni−Fe合金或いは
17Co−29Ni−Fe合金が一般的に用いられてき
た。
【0004】しかし、この従来技術による方法では次の
ような問題があった。
【0005】第1には、耐食特性の問題であり、真空バ
ルブの使用環境に対する耐食信頼性に関する積極的技術
開発は従来から余り行われていなかったため、封着金具
の表面には防錆塗装処理が必要であった。しかし、塗装
それ自体、有機樹脂系であり経年劣化しやすく、また塗
装膜の密着性や塗装膜の破壊などの問題があるなど、長
期信頼性に対して必ずしも充分でないという欠点があっ
た。即ち、化学工場或いは海浜地域などにおける特に塩
素ガスに対する耐食性は、真空バルブの長期信頼性保証
の上で極めて重要な特性である。
【0006】第2には、封着金属の材料が強磁性体であ
ることに起因して通電時に鉄損により温度上昇が生じ、
また磁歪振動の発生により騒音が発生するという問題が
あった。
【0007】本発明は、上記で述べた事情に鑑みてなさ
れたもので、耐食性に優れ、かつ通電時の温度上昇の防
止、騒音の低減及び送電効率の向上を達成することがで
きる真空バルブを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、第1に、セラミックス製の絶縁筒の両端
開口部を封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の
接点を接離可能に配設した真空バルブにおいて、前記封
着金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが25〜5
5重量%、Siが0.02〜1.0重量%を満たし、残
り成分が実質的にCuからなることを要旨とする。
【0009】第2に、セラミックス製の絶縁筒の両端開
口部を封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の接
点を接離可能に配設した真空バルブにおいて、前記封着
金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが25〜55
重量%、Siが0.02〜1.0重量%、FeとCoの
合計が5.0重量%以下を満たし、残り成分が実質的に
Cuからなることを要旨とする。
【0010】第3に、セラミックス製の絶縁筒の両端開
口部を封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の接
点を接離可能に配設した真空バルブにおいて、前記封着
金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが25〜55
重量%、Siが0.02〜1.0重量%で且つSiとM
nの合計が0.02〜1.5重量%を満たし、残り成分
が実質的にCuからなることを要旨とする。
【0011】第4に、セラミックス製の絶縁筒の両端開
口部を封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の接
点を接離可能に配設した真空バルブにおいて、前記封着
金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが25〜55
重量%、Siが0.02〜1.0重量%で且つSiとM
nの合計が0.02〜1.5重量%、FeとCoの合計
が5.0重量%以下を満たし、残り成分が実質的にCu
からなることを要旨とする。
【0012】
【作用】本封着材料は、良好な耐食性かつ非磁性を主眼
としているが、この点よりCu−Ni合金の非磁性領域
が一つの狙い目になるが、Cu−Ni合金には従来材料
に比して熱膨張率が大きいということ、及び封着材に必
要な封着特性及び抵抗にするための加工性がポイントに
なる。前述したように、Cu−Ni合金は、42Ni−
Fe合金、17Co−29Ni−Fe合金に比して熱膨
張率が大きく、封着に適さないように思われがちである
が、従来のFe基封着材料に比して高温での耐力が小さ
いため、ロウ溶融凝固冷却過程における熱膨張差は、C
u−Ni合金自身の塑性変形により緩和される。これに
より、Cu−Ni合金をベースとすることを理解できる
が、次に、ロウ付性、加工性をも加味し、Cu−Ni合
金の組成系を決定するまでの経緯について述べる。
【0013】一般に、Si、Mnは脱酸剤として使用さ
れているが、封着材としてもこの作用は発揮されるが、
脱酸効果のみならず、真空バルブに重要である封着特
性、信頼性にも主要な役割を果たす。
【0014】SiとMnの添加については、これらの元
素は合金中の脱酸効果、加工性、及びろう付け性、ろう
付けの信頼性に関与する。本真空バルブは真空容器内の
真空維持が重要であり、そのためにはろう付け性、素材
中のガスの低減が重要である。Mn、Siは何れも脱酸
効果を発揮する元素であるが、Mnのみの添加で酸素含
有量の調整をするには1.5wt%以上の添加が必要で
ある。しかし、このような多量のMnを添加した場合、
冷間加工性が劣り冷間圧延時に割れが発生し易くなる。
そこで、冷間加工性を損わないためにMnの上限を1.
5wt%とし、補助脱酸剤としてSiを0.02wt%
以上添加することによって安定した含有酸素量を維持で
きる。但し、SiもMnと同様に添加過多は冷間加工性
を損うので、SiとMnの合計は1.5wt%以下とす
るのが望ましい。
【0015】また、Siは前述したように脱酸剤として
使用するが、Mnよりも活性であるためにその添加量が
1.0%を超すと例えば、真空雰囲気中でのろう付けに
おいてCu−Ni合金表面に選択酸化を呈し、その結
果、十分なろう付けができなくなる。従って、Si添加
量は1.0wt%以下に抑える必要がある。上述の理由
により、脱酸剤Mn、Siの添加量を少なくしすぎると
脱酸不足によるピンホール等の鋳塊の不健全部が発生
し、熱間加工、冷間加工で割れが発生しやすくなる。こ
の割れを防止するにはSiとMnの合計で少なくとも
0.02wt%の添加が必要であるが、ピンホールのみ
ならず、合金中の含有酸素量の低減、安定化の面から
は、Mnの添加量0.02wt%では不十分であり、よ
り強力な脱酸剤であるSi0.02wt%の添加で良好
な結果が得られる。
【0016】以上より、微量脱酸剤であるMn、Siの
添加量は、Siが0.02〜1.0wt%であり、しか
もMnとSiの合計が0.02〜1.5wt%である必
要がある。
【0017】Fe、Coの添加はCu−Niの合金の耐
食性を一層向上させる役割があり、前述した自然環境下
だけではなく、塩素ガス等を含む厳しい環境下での使用
に対しても有効になる。但し5wt%を超えるFeの添
加はFeの多量添加による耐食性の低下を招き、Coの
多量添加はCu−Ni合金の強磁性体化を招くため、F
eとCoの合計添加量は5wt%以下に抑えることが必
要である。
【0018】基本組成であるCu−Niの合金比率につ
いては、Niの増加に伴い耐食性が増加する。発明者ら
の研究によれば、自然環境下での耐食性維持のためには
少なくとも25wt%のNiの添加が必要である。Ni
の添加量を増加し55wt%を超えると、低温領域にお
いては、Cu−Ni合金に強磁性の徴候が認められ好ま
しくない状態となる。従って基本組成としては、(25
〜55)Niwt%−Cuが好ましい。
【0019】
【実施例】以下本発明の実施例を図面を引用しながら具
体的に説明する。図1は、真空バルブの構成例を示す断
面図である。同図において、アルミナ磁器からなる円筒
形の絶縁筒1の両端開口端面が固定側封着金具2aと可
動側封着金具2bとで気密に封止されて内部圧力1×1
-2Pa以下とした真空容器3が形成されている。真空
容器3の内部には、一方の電路となる固定通電軸4及び
その端部に固着した固定側接点5と、他方の電路となる
可動通電軸6及びその端部に固着した可動側接点7とが
配設され、固定側接点5と可動側接点7とは接離自在の
構成となっている。可動通電軸6は一方の端部が可動側
封着金具2bに固着されたベローズ8の他方の端部に固
着され、真空容器3の真空度を維持しながら軸方向の移
動が可能になっている。また、真空容器3の内部には、
固定側接点5と可動側接点7の開閉時に両接点から発生
する金属蒸気が絶縁筒1の内壁に付着して絶縁抵抗が低
下するのを防止するため、固定側接点5と可動側接点7
を囲むようにした金属シールド9が設けられている。
【0020】そして、絶縁筒1の両端開口部を気密封止
する封着金具2a,2bの少なくとも一方の材質組成
は、Niが25wt%以上でかつ55wt%以下、Si
とMnの合計が0.02〜1.5wt%であり、さらに
はFeを5wt%以下添加し、残部が実質的にCuとな
っている。また、従来必要であった封着金具2a,2b
の防錆表面塗装は不要となっている。
【0021】封着金具2a,2bはこのような材質組成
になっているので、500℃から1000℃程度の高温
下で絶縁筒1の両端開口部を金属ろう付けで気密封止す
る際、封着金具2a,2bと絶縁筒1との熱膨張係数の
差による熱応力に対しても、封着金具2a,2bは、従
来の42Ni−Feよりも高温雰囲気での耐力が小さ
く、高温下での塑性変形を容易にし応力緩和が図れるよ
うになっており、熱膨張係数が必ずしもアルミナ磁器に
近似していなくても高い気密信頼性を得ることが可能に
なっている。したがって、従来、封着金具の材料として
用いられてきた42Ni−Fe、17Co−29Ni−
Fe合金とは異なる良好な特性を示す。
【0022】次に、具体的な各実施例を比較例とともに
述べるに際し、まず、その評価方法を記す。
【0023】耐食性:中性塩水噴霧試験にて、その傾向
を調べた。72Hrの噴霧を行った後、その外観の変化
を調査した。試験片の寸法は□50mm×1mmt 程度であ
る。
【0024】特殊雰囲気での耐食性:中性塩水噴霧試験
よりも加速性のあるキャス試験にて実施した。キャス試
験とは酸性雰囲気での塩水噴霧試験である。評価には、
合金の腐蝕減量を平均腐食減少厚さに換算した数値を用
いた。試験時間は720Hrとした。
【0025】温度特性:本実施例合金を用いた真空バル
ブを製作し、交流7.2kV−630Aを3Hr通電し
たときの封着合金温度上昇を封着部に熱電対を取付けて
測定した。
【0026】通電時の騒音:上述の温度特性測定時に、
磁歪振動に起因する騒音の有無を聴覚にて確認した。
【0027】封着特性:前述したように本Cu−Ni合
金とアルミナ磁器等のセラミックスとの封着接合におい
て考慮しなければならないことは接合部における信頼
性、即ち、見かけの封着の程度ではなく実際の封着の程
度である。具体的には開閉時に生ずる衝撃力等によって
も気密が保持されていなければならない。そこで、封着
特性を以下の方法で評価した。真空バルブの製造完了
後、真空度が1×10-4Pa以下であることを確認した
後、真空バルブを所定の遮断器に取付け、103 回無負
荷開閉を行った。その後、再び真空度測定を行い、気密
封着の度合いを確認した。なお評価に用いた真空バルブ
は各々3本づつである。
【0028】また、実施例及び比較例に供した材料の製
造の一例は次のようである。
【0029】真空度5×10-3Paで溶解中のNiにF
e及びCuを添加して十分混合した後、歩留りを考慮し
た量のMnを添加し、次いでSiを添加した。冷却後得
られたインゴットを約900〜1000℃で熱間鍛造
し、同じく約900〜1000℃で熱間圧延して圧延材
を得た。さらに室温にて冷間圧延とそれによる歪を取り
除くに十分な温度での焼鈍処理とを複数回繰返し、所定
の厚さに仕上げて供試材とした。
【0030】次に、表1ないし表4を用いて、具体的な
各実施例の評価結果を、比較例と対比して述べる。な
お、合金成分は、表1と表2に2分してあるが、各実施
例及び比較例の全合金成分は、表1と表2の両内容を加
え合わせたものである。
【0031】実施例1〜4、比較例1〜2 Cu−Ni合金の基本組成につき検討するため、Siを
約0.1wt%、Mnを約0.3wt%添加した6種類
のCu−Ni合金を作製した。各々のNi含有量は、1
5.0、25.3、34.9、44.4、54.8、7
0.3wt%である(比較例1、実施例1,2,3,
4、比較例2)。結果を表3及び表4に示す。中性塩水
噴霧試験による耐食性の評価では、Ni=15wt%で
ある比較例1が表面全体にわたって緑色に変色していた
のに対しNi=25.3wt%以上のCu−Ni合金に
は各々数点の緑色腐食部が観察されただけであった。
【0032】このCu−Ni合金を封着金具に加工し、
バルブに組込んだ特性について述べる。Ni含有量が5
4.8wt%以下のものは通電時の温度上昇も小さく、
かつ騒音の発生も認められなかった。これに対しNi=
70.3wt%(比較例2)のものは強磁性体になるた
め騒音が有り、また著しい温度上昇もあった。また、ろ
う付性を示すパラメータになる無負荷開閉後の真空度は
何れも良好であった。以上の結果からCu−Ni合金の
基本組成は(25〜55)Niwt%−Cuが望ましい
と言える。
【0033】実施例5〜10、比較例3〜9 Si、Mnの添加量について考察する。Cu−Ni合金
の基本組成を、ほぼ45Niwt%とし、Si添加量を
0〜1.3wt%、Mn添加量を0〜2.1wt%Si
とMnの合計添加量が0〜2.1wt%となる13種類
の試料を製作した(実施例5〜10、比較例3〜9)。
【0034】Si、Mnを全く添加しない比較例3は、
合金中に多量の酸素が残存していたため、熱間、冷間加
工時に著しい割れが発生し、それ以降の試料作成が不可
能であった。微量のMnのみを添加した比較例4も冷間
加工時に若干の割れが認められたが最終形状を得るまで
の加工はできた。しかし無負荷開閉後の真空度は低下
し、実機として使用できるものではなかった。0.02
≦Si≦1.0wt%でかつ0.02≦Si+Mn≦
1.5wt%の領域を満足する実施例5〜10はろう付
け特性に関し良好な特性を示した。しかしSi+Mn≦
1.5wt%の領域であってもSi=1.3wt%とS
i添加量の多い比較例5ではSiの選択酸化によってろ
う付けだけはできたものの無負荷開閉後の真空度は全て
大気圧であった。またSi+Mn≧1.5wt%添加の
比較例6〜9は何れも冷間加工時に著しい割れを発生し
たため、以降の加工を中止した。
【0035】以上より、Si、Mnの添加量は、0.0
2≦Si≦1.0wt%で、しかも0.02≦Si+M
n≦1.5wt%が良好であると言える。
【0036】実施例3、11、12、比較例10 Cu−Ni合金への3元素としてのFeの効果について
検討する。前述したようにCu−Ni合金は中性塩水噴
霧程度の雰囲気では良好な耐食性を示すが、より苛酷な
雰囲気であるキャス雰囲気では重量及び厚さで換算でき
る程度の腐食を示す。具体的には実施例3に示すように
45Ni−Cu合金においては50μm程度の腐食厚さ
を示すが、Feを0.1%添加することによって腐食厚
さは40μm(実施例11)、Feを5%添加すること
によって腐食厚さは30μm(実施例12)となり耐食
性が向上する。しかしFeを多量に添加し過ぎた場合は
比較例10の如く腐食厚さは90μmと増加してしま
う。
【0037】以上よりFeの添加量は5%以下が望まし
い。
【0038】変形例 Feの一部又は全てを同量範囲のCoで置換しても全く
同じ効果を得る(実施例13〜15)。
【0039】
【表1】
【表2】
【表3】
【表4】
【0040】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、従来
の真空バルブに比べて、耐食性が良好で、且つ通電時の
温度上昇を抑制することができて送電効率の向上を達成
することができ、しかも騒音を著しく低減することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る真空バルブの実施例を示す縦断面
図である。
【符号の説明】
1 絶縁筒 2a,2b 封着金具 3 真空容器 5 固定側接点 7 可動側接点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 関 経世 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 鈴木 秀夫 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 菅井 普三 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝 横浜事業所内 (72)発明者 辻本 和也 神奈川県横浜市磯子区新杉田町8番地 株 式会社東芝 横浜事業所内 (72)発明者 渡辺 博 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 長部 清 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 山本 敦史 東京都府中市東芝町1番地 株式会社東芝 府中工場内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 セラミックス製の絶縁筒の両端開口部を
    封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の接点を接
    離可能に配設した真空バルブにおいて、 前記封着金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが2
    5〜55重量%、Siが0.02〜1.0重量%を満た
    し、残り成分が実質的にCuからなることを特徴とする
    真空バルブ。
  2. 【請求項2】 セラミックス製の絶縁筒の両端開口部を
    封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の接点を接
    離可能に配設した真空バルブにおいて、 前記封着金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが2
    5〜55重量%、Siが0.02〜1.0重量%、Fe
    とCoの合計が5.0重量%以下を満たし、残り成分が
    実質的にCuからなることを特徴とする真空バルブ。
  3. 【請求項3】 セラミックス製の絶縁筒の両端開口部を
    封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の接点を接
    離可能に配設した真空バルブにおいて、 前記封着金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが2
    5〜55重量%、Siが0.02〜1.0重量%で且つ
    SiとMnの合計が0.02〜1.5重量%を満たし、
    残り成分が実質的にCuからなることを特徴とする真空
    バルブ。
  4. 【請求項4】 セラミックス製の絶縁筒の両端開口部を
    封着金具で気密封止した真空容器内に、1対の接点を接
    離可能に配設した真空バルブにおいて、 前記封着金具の少なくとも一方の材質組成は、Niが2
    5〜55重量%、Siが0.02〜1.0重量%で且つ
    SiとMnの合計が0.02〜1.5重量%、FeとC
    oの合計が5.0重量%以下を満たし、残り成分が実質
    的にCuからなることを特徴とする真空バルブ。
JP3307879A 1991-11-11 1991-11-22 真空バルブ Expired - Fee Related JPH0721985B2 (ja)

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