JPH0719830B2 - ウエハチヤツク - Google Patents
ウエハチヤツクInfo
- Publication number
- JPH0719830B2 JPH0719830B2 JP25444385A JP25444385A JPH0719830B2 JP H0719830 B2 JPH0719830 B2 JP H0719830B2 JP 25444385 A JP25444385 A JP 25444385A JP 25444385 A JP25444385 A JP 25444385A JP H0719830 B2 JPH0719830 B2 JP H0719830B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- suction
- base
- pipes
- wafer chuck
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
- B29C65/78—Means for handling the parts to be joined, e.g. for making containers or hollow articles, e.g. means for handling sheets, plates, web-like materials, tubular articles, hollow articles or elements to be joined therewith; Means for discharging the joined articles from the joining apparatus
- B29C65/7841—Holding or clamping means for handling purposes
- B29C65/7847—Holding or clamping means for handling purposes using vacuum to hold at least one of the parts to be joined
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
- B29C66/40—General aspects of joining substantially flat articles, e.g. plates, sheets or web-like materials; Making flat seams in tubular or hollow articles; Joining single elements to substantially flat surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
- B29L2017/00—Carriers for sound or information
- B29L2017/001—Carriers of records containing fine grooves or impressions, e.g. disc records for needle playback, cylinder records
- B29L2017/003—Records or discs
- B29L2017/005—CD''s, DVD''s
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ この発明は、半導体製造装置などに適用されるウエハチ
ャックに関する。
ャックに関する。
＜発明の概要＞ この発明のウエハチャックは、吸気源に連通したベース
と、多数のパイプの周面を互いに密着させた状態で一体
結合してベースに嵌着支持された吸着プレートとから成
るもので、吸着プレートの上面に、各パイプ端面より成
る平坦な吸着面を形成してベースの開口面に臨ませるこ
とにより、ウエハの支持面積の減少をはかり、吸着面へ
の埃やゴミの堆積を防止している。
と、多数のパイプの周面を互いに密着させた状態で一体
結合してベースに嵌着支持された吸着プレートとから成
るもので、吸着プレートの上面に、各パイプ端面より成
る平坦な吸着面を形成してベースの開口面に臨ませるこ
とにより、ウエハの支持面積の減少をはかり、吸着面へ
の埃やゴミの堆積を防止している。
＜発明の背景＞ 従来この種ウエハチャックは、第４図および第５図に示
すように、吸着台５の上面に平坦な吸着面51を形成し、
この吸着面51に多数の吸気穴52を開設してこれを吸気源
に接続している（特開昭59-6555号）。
すように、吸着台５の上面に平坦な吸着面51を形成し、
この吸着面51に多数の吸気穴52を開設してこれを吸気源
に接続している（特開昭59-6555号）。
ところがこのようなウエハチャックでは、ウエハ６は吸
着面51により面接触状態で支持されるため、吸着面51に
埃やゴミが付着し易く、吸着面51またはウエハ６の下面
に埃やゴミが付着した状態でウエハ６を吸着すると、ウ
エハ６に歪みが生じ、露光時の焦点深度に不都合を生じ
る。
着面51により面接触状態で支持されるため、吸着面51に
埃やゴミが付着し易く、吸着面51またはウエハ６の下面
に埃やゴミが付着した状態でウエハ６を吸着すると、ウ
エハ６に歪みが生じ、露光時の焦点深度に不都合を生じ
る。
この問題に対処するため、第６図および第７図に示すよ
うに、平坦な吸着面51に同心円の複数条の凹溝53を形成
し、各凹溝53の溝底に吸気源に連通する吸気穴54を開設
したものも実施されている。
うに、平坦な吸着面51に同心円の複数条の凹溝53を形成
し、各凹溝53の溝底に吸気源に連通する吸気穴54を開設
したものも実施されている。
このウエハチャックでは、複数条の凹溝53によりウエハ
の支持面積が減少するため、その間への埃やゴミの介在
はある程度減少するが、凹溝53間には依然面接触による
支持面が存在するため、前述例と同様の問題がある。
の支持面積が減少するため、その間への埃やゴミの介在
はある程度減少するが、凹溝53間には依然面接触による
支持面が存在するため、前述例と同様の問題がある。
＜発明の目的＞ この発明は、上記問題に着目してなされたもので、ウエ
ハを線接触状態で支持する吸着面に形成することによ
り、ウエハに歪みを生じさせずに、完全平面の状態でウ
エハを吸着保持できるウエハチャックを提供することを
目的とする。
ハを線接触状態で支持する吸着面に形成することによ
り、ウエハに歪みを生じさせずに、完全平面の状態でウ
エハを吸着保持できるウエハチャックを提供することを
目的とする。
＜発明の構成および効果＞ この発明のウエハチャックは、吸気源に連通した外周に
囲い壁を有する上面開口かつ有底のベースと、多数のパ
イプの周面を互いに密着させた状態で一体結合して前記
ベースの囲い壁の内側に嵌着支持された吸着プレートと
からなるもので、前記吸着プレートの上面には、各パイ
プの端面より成る平坦な吸着面を形成して前記ベースの
開口面に臨ませて成る。
囲い壁を有する上面開口かつ有底のベースと、多数のパ
イプの周面を互いに密着させた状態で一体結合して前記
ベースの囲い壁の内側に嵌着支持された吸着プレートと
からなるもので、前記吸着プレートの上面には、各パイ
プの端面より成る平坦な吸着面を形成して前記ベースの
開口面に臨ませて成る。
この発明によれば、多数のパイプの端面にてウエハを支
持する吸着面を形成したから、ウエハは線接触状態で吸
着面に支持されることになり、吸着面とウエハとの間へ
の埃やゴミの介在がなくなり、ウエハに歪みを生じさせ
ずに、完全平面の状態でウエハを吸着保持できるという
効果がある。
持する吸着面を形成したから、ウエハは線接触状態で吸
着面に支持されることになり、吸着面とウエハとの間へ
の埃やゴミの介在がなくなり、ウエハに歪みを生じさせ
ずに、完全平面の状態でウエハを吸着保持できるという
効果がある。
＜実施例の説明＞ 第１図および第２図は、この発明の一実施例であるウエ
ハチャックを示す。
ハチャックを示す。
このウエハチャックは、外周に囲い壁12を有する上面開
口かつ有底のベース１と、多数のパイプの周面を互いに
密着させた状態で一体結合して前記ベース１の囲い壁12
の内側に嵌着支持された吸着プレート２とで構成され
る。
口かつ有底のベース１と、多数のパイプの周面を互いに
密着させた状態で一体結合して前記ベース１の囲い壁12
の内側に嵌着支持された吸着プレート２とで構成され
る。
前記ベース１は、円形の底壁11の外周を立ち上がらせて
囲い壁12を形成したもので、囲い壁12の下部にプラグ13
を設け、このプラグ13に通気管14を介して吸気源に接続
している。
囲い壁12を形成したもので、囲い壁12の下部にプラグ13
を設け、このプラグ13に通気管14を介して吸気源に接続
している。
前記吸着プレート２の製作するには、約0.1〜0.2mmの薄
い肉厚の筒壁より成るパイプ材を等しい長さに切断して
多数のパイプ21を形成した後、この多数のパイプ21の周
面を接着剤，蝋付け，半田付けその他の方法により蜂の
巣状態に一体結合し、さらに各パイプ21の上端面にラッ
ピング加工，研磨加工などにより完全に平坦な吸着面22
を形成する。
い肉厚の筒壁より成るパイプ材を等しい長さに切断して
多数のパイプ21を形成した後、この多数のパイプ21の周
面を接着剤，蝋付け，半田付けその他の方法により蜂の
巣状態に一体結合し、さらに各パイプ21の上端面にラッ
ピング加工，研磨加工などにより完全に平坦な吸着面22
を形成する。
この吸着プレート２は、前記ベース１の囲い壁12の内側
に嵌着支持され、前記吸着面22をベース２の開口面に臨
ませる。前記囲い壁12と吸着プレート２との間および各
パイプ21間の隙間はシール剤３が注入されて硬化されて
いる。各パイプ21は下端開口を吸気口23として吸気源に
連通するものである。
に嵌着支持され、前記吸着面22をベース２の開口面に臨
ませる。前記囲い壁12と吸着プレート２との間および各
パイプ21間の隙間はシール剤３が注入されて硬化されて
いる。各パイプ21は下端開口を吸気口23として吸気源に
連通するものである。
このように多数のパイプ21の周面を互いに密着させた状
態で一体結合して吸着プレート２を形成し、この吸着プ
レート２の上面に各パイプ21の端面より成る平坦の吸着
面22を形成したので、ウエハ４は吸着面22を構成する多
数のパイプ21の端面にて線接触状態で支持されることに
なる。このため吸着面22とウエハ４との間に埃やゴミの
介在がなく、ウエハ４に歪みを生じさせずに、完全平面
の状態でウエハは吸着保持される。
態で一体結合して吸着プレート２を形成し、この吸着プ
レート２の上面に各パイプ21の端面より成る平坦の吸着
面22を形成したので、ウエハ４は吸着面22を構成する多
数のパイプ21の端面にて線接触状態で支持されることに
なる。このため吸着面22とウエハ４との間に埃やゴミの
介在がなく、ウエハ４に歪みを生じさせずに、完全平面
の状態でウエハは吸着保持される。
しかも吸着面22を多数のパイプ21の端面にて形成したた
め、ウエハ４の大口径化、例えば８″,10″ウエハに対
しても軽量なウエハチャックを実現できる。また吸着面
22に対するラッピング加工では、各パイプ21の端面に常
に新たなラッピング砥粒が作用するため、平面度が高精
度となる。
め、ウエハ４の大口径化、例えば８″,10″ウエハに対
しても軽量なウエハチャックを実現できる。また吸着面
22に対するラッピング加工では、各パイプ21の端面に常
に新たなラッピング砥粒が作用するため、平面度が高精
度となる。
第１図はこの発明の一実施例であるウエハチャックの平
面図、第２図は第１図II−II線に沿う断面図、第３図は
第１図の一部を拡大した拡大図、第４図は従来例を示す
平面図、第５図は第４図Ｖ−Ｖ線に沿う断面図、第６図
は他の実施例を示す平面図、第７図は第６図VII−VII線
に沿う断面図である。 １……ベース、２……吸着プレート 21……パイプ、22……吸着面
面図、第２図は第１図II−II線に沿う断面図、第３図は
第１図の一部を拡大した拡大図、第４図は従来例を示す
平面図、第５図は第４図Ｖ−Ｖ線に沿う断面図、第６図
は他の実施例を示す平面図、第７図は第６図VII−VII線
に沿う断面図である。 １……ベース、２……吸着プレート 21……パイプ、22……吸着面
Claims (2)
- 【請求項１】吸気源に連通した外周に囲い壁を有する上
面開口かつ有底のベースと、多数のパイプの周面を互い
に密着させた状態で一体結合して前記ベースの囲い壁の
内側に嵌着支持された吸着プレートとから成り、 前記吸着プレートの上面には、各パイプの端面より成る
平坦な吸着面を形成して前記ベースの開口面に臨ませて
成るウエハチャック。 - 【請求項２】各パイプは、薄い肉厚の筒壁より成るパイ
プ材を等しい長さに切断して形成されている特許請求の
範囲第１項記載のウエハチャック。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25444385A JPH0719830B2 (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | ウエハチヤツク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25444385A JPH0719830B2 (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | ウエハチヤツク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62113441A JPS62113441A (ja) | 1987-05-25 |
| JPH0719830B2 true JPH0719830B2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=17265073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25444385A Expired - Lifetime JPH0719830B2 (ja) | 1985-11-12 | 1985-11-12 | ウエハチヤツク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719830B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008124513A (ja) * | 2004-11-30 | 2008-05-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | ウェハ保持体およびそれを搭載したウェハプローバ |
-
1985
- 1985-11-12 JP JP25444385A patent/JPH0719830B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62113441A (ja) | 1987-05-25 |
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