JPH07193372A - セラミック多層配線基板およびその製造法並びにセラミック多層配線基板用導電材料 - Google Patents
セラミック多層配線基板およびその製造法並びにセラミック多層配線基板用導電材料Info
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【構成】 Ｗ又は／およびＭｏを主成分とする配線導体
層２を内蔵したアルミナ質セラミック多層基板１の表面
にＣｕ導体５を接続し、該Ｃｕ導体５の接続部分である
スルーホール３にＷ／Ｍｏ４０〜９０ｗｔ％、Ｉｒ，Ｐ
ｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１又は２の１０〜６０ｗｔ％の
混合焼結層を設けたものである。又、アルミナ質多層基
板と内部配線導体並びに混合焼結層は同時焼成とし、そ
こへＣｕペーストを塗布、印刷して焼成する方法であ
る。混合焼結層にはアルミナ基板との熱膨張率の差を調
整するため３０ｗｔ％までのＡｌ2Ｏ3を含有することが
できる。 【効果】 内部導体と表層導体との接合に優れ、接合強
度並びに導電性にすぐれ、又、精密配線が可能であるた
め、電子回路部品の小型化に有効である。焼成工程を一
部省略することができ、しかも製品の寸法のバラツキも
少ないので、生産性が高く、付加価値の高いセラミック
多層配線基板を製造することができる。
層２を内蔵したアルミナ質セラミック多層基板１の表面
にＣｕ導体５を接続し、該Ｃｕ導体５の接続部分である
スルーホール３にＷ／Ｍｏ４０〜９０ｗｔ％、Ｉｒ，Ｐ
ｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１又は２の１０〜６０ｗｔ％の
混合焼結層を設けたものである。又、アルミナ質多層基
板と内部配線導体並びに混合焼結層は同時焼成とし、そ
こへＣｕペーストを塗布、印刷して焼成する方法であ
る。混合焼結層にはアルミナ基板との熱膨張率の差を調
整するため３０ｗｔ％までのＡｌ2Ｏ3を含有することが
できる。 【効果】 内部導体と表層導体との接合に優れ、接合強
度並びに導電性にすぐれ、又、精密配線が可能であるた
め、電子回路部品の小型化に有効である。焼成工程を一
部省略することができ、しかも製品の寸法のバラツキも
少ないので、生産性が高く、付加価値の高いセラミック
多層配線基板を製造することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、電子回路部品として
使用されるセラミック多層配線基板およびその製造法並
びにその製造に用いる導電材料に関する。
使用されるセラミック多層配線基板およびその製造法並
びにその製造に用いる導電材料に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、集積回路に使用されるセラミック
多層配線基板においては、高融点金属からなる導体を内
蔵させ、その内蔵導体を表面基板のスルーホールから露
出させ、そこに銅を主成分とする金属厚膜を表面導体と
して連接している。このような構成においては接触抵抗
が高く、接着強度も弱くなる欠点がある。そこで、この
ような欠点を防ぐ提案がなされており、例えば特開平３
−２１８６９３号公報が知られている。具体的に図３に
基づいて説明すると、基板１１と内部配線導体１２とを
同時焼成した後、内部配線導体１２の表面スルーホール
１３から露出している部分をＰｔ，Ｐｄなどのメタロオ
ーガニックペーストにより覆って焼成し、メタライズ層
１４を形成し、さらにその上を覆ってＣｕを主成分とす
るペーストを印刷等により塗布し、焼成することにより
銅厚膜よりなる表面導体１５を形成する。
多層配線基板においては、高融点金属からなる導体を内
蔵させ、その内蔵導体を表面基板のスルーホールから露
出させ、そこに銅を主成分とする金属厚膜を表面導体と
して連接している。このような構成においては接触抵抗
が高く、接着強度も弱くなる欠点がある。そこで、この
ような欠点を防ぐ提案がなされており、例えば特開平３
−２１８６９３号公報が知られている。具体的に図３に
基づいて説明すると、基板１１と内部配線導体１２とを
同時焼成した後、内部配線導体１２の表面スルーホール
１３から露出している部分をＰｔ，Ｐｄなどのメタロオ
ーガニックペーストにより覆って焼成し、メタライズ層
１４を形成し、さらにその上を覆ってＣｕを主成分とす
るペーストを印刷等により塗布し、焼成することにより
銅厚膜よりなる表面導体１５を形成する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来例に示したも
のは多層配線基板としてすぐれたものではあるが、さら
なる改良の余地がある。例えば、焼成工程が基板と内部
配線導体との同時焼成、メタライズ層の焼成、表面導体
形成時の焼成と３段階となり、さらなる工程の短縮が望
まれる。又、焼成に伴う寸法のバラツキが発生し、メタ
ライズ層でスルーホール部の周辺を幅広く完全に覆わな
いと、内部導体が直接表面導体に接触する部分が発生し
て、接続不良が発生する。このように安全を見越してメ
タライズ層を幅広く形成するため、より小型化配線の需
要には完全に応えきれない。表面導体の上にチップ部品
を半田付けすると、半田熱によりスルーホール部分の耐
久性が劣化し、部品実装用ランドとして使用できなくな
る。そのためスルーホール部分を保護体で覆い、その外
側まで表面導体を引き出して、その部分にチップ部品を
半田付けすることが行われる。このことも、さらなる小
型化配線上問題となる。この発明では生産性と品質が高
く、さらに小型化の需要に応えることができるセラミッ
ク多層配線基板を提供するものである。
のは多層配線基板としてすぐれたものではあるが、さら
なる改良の余地がある。例えば、焼成工程が基板と内部
配線導体との同時焼成、メタライズ層の焼成、表面導体
形成時の焼成と３段階となり、さらなる工程の短縮が望
まれる。又、焼成に伴う寸法のバラツキが発生し、メタ
ライズ層でスルーホール部の周辺を幅広く完全に覆わな
いと、内部導体が直接表面導体に接触する部分が発生し
て、接続不良が発生する。このように安全を見越してメ
タライズ層を幅広く形成するため、より小型化配線の需
要には完全に応えきれない。表面導体の上にチップ部品
を半田付けすると、半田熱によりスルーホール部分の耐
久性が劣化し、部品実装用ランドとして使用できなくな
る。そのためスルーホール部分を保護体で覆い、その外
側まで表面導体を引き出して、その部分にチップ部品を
半田付けすることが行われる。このことも、さらなる小
型化配線上問題となる。この発明では生産性と品質が高
く、さらに小型化の需要に応えることができるセラミッ
ク多層配線基板を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この発明の第一はＷ又は
／およびＭｏを主成分とする配線導体層を内蔵したアル
ミナ質セラミック多層基板の表面に、Ｃｕを主成分とす
る金属厚膜の表面導体層部分を接続し、該表面導体層の
接続部分であるアルミナ質基板のスルーホール部に、Ｗ
又は／およびＭｏ４０〜９０ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎ
ｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上の１０〜６０ｗｔ％
の混合焼結層を設けてなることを特徴とするセラミック
多層配線基板である。この発明ではアルミナ質基板のス
ルーホール部に、内部導体と表層導体とを接続するＷ又
は／およびＭｏ４０〜９０ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，
Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上１０〜６０ｗｔ％の混合
焼結層を設けたことにより品質が安定する。
／およびＭｏを主成分とする配線導体層を内蔵したアル
ミナ質セラミック多層基板の表面に、Ｃｕを主成分とす
る金属厚膜の表面導体層部分を接続し、該表面導体層の
接続部分であるアルミナ質基板のスルーホール部に、Ｗ
又は／およびＭｏ４０〜９０ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎ
ｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上の１０〜６０ｗｔ％
の混合焼結層を設けてなることを特徴とするセラミック
多層配線基板である。この発明ではアルミナ質基板のス
ルーホール部に、内部導体と表層導体とを接続するＷ又
は／およびＭｏ４０〜９０ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，
Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上１０〜６０ｗｔ％の混合
焼結層を設けたことにより品質が安定する。
【０００５】混合焼結層におけるＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔ
ｉ，ＣｒはＷ又は／およびＭｏの還元力を抑制する金属
で、Ｗ又は／およびＭｏとの代表的な組合せ例はＷとＩ
ｒである。以下この組合せを主として説明する。すなわ
ち、焼結によりＩｒはＷに固溶し合金化するため、Ｗ単
体の成分量が減少し、表層導体焼結時にＣｕペーストに
働くＷの還元力が抑制され、Ｃｕ厚膜の焼結反応が安定
し、緻密で高強度でかつ高導電性の膜質となる。又、Ｉ
ｒはＣｕ厚膜の焼成工程で、小量Ｃｕ内に固溶して、Ｗ
とＩｒの混合焼結層とＣｕ厚膜との界面近傍に強固な接
合層を形成し、Ｃｕ厚膜の接合強度を向上させる。Ｉｒ
の含有量が１０ｗｔ％未満ではＷを合金化する量が少な
くＷ単体の残存量が大で還元力の抑制が十分でなくな
る。又、６０ｗｔ％を超える含有は基板との同時焼成
時、Ｉｒ粉末とアルミナ基板との焼結特性の差が大きく
なるため、スルーホールとしての信頼性が劣化するため
と経済性の見地から不適当である。Ｉｒの含有量は３５
〜５０ｗｔ％がより望ましい。
ｉ，ＣｒはＷ又は／およびＭｏの還元力を抑制する金属
で、Ｗ又は／およびＭｏとの代表的な組合せ例はＷとＩ
ｒである。以下この組合せを主として説明する。すなわ
ち、焼結によりＩｒはＷに固溶し合金化するため、Ｗ単
体の成分量が減少し、表層導体焼結時にＣｕペーストに
働くＷの還元力が抑制され、Ｃｕ厚膜の焼結反応が安定
し、緻密で高強度でかつ高導電性の膜質となる。又、Ｉ
ｒはＣｕ厚膜の焼成工程で、小量Ｃｕ内に固溶して、Ｗ
とＩｒの混合焼結層とＣｕ厚膜との界面近傍に強固な接
合層を形成し、Ｃｕ厚膜の接合強度を向上させる。Ｉｒ
の含有量が１０ｗｔ％未満ではＷを合金化する量が少な
くＷ単体の残存量が大で還元力の抑制が十分でなくな
る。又、６０ｗｔ％を超える含有は基板との同時焼成
時、Ｉｒ粉末とアルミナ基板との焼結特性の差が大きく
なるため、スルーホールとしての信頼性が劣化するため
と経済性の見地から不適当である。Ｉｒの含有量は３５
〜５０ｗｔ％がより望ましい。
【０００６】ＷとＩｒの混合焼結層は、表層のスルーホ
ールの大部分を占めてもよいし、又、その一部分でもよ
い。又、必要に応じてＷとＩｒの混合焼結層に外掛で３
０ｗｔ％までのＡｌ2Ｏ3を混合してもよい。そうするこ
とによって、アルミナ質基板のスルーホール部分の穴径
の大きい場合などで、スルーホール内に充填する混合焼
結層形成用のペーストとアルミナ質基板材料の同時焼結
時における熱収縮率の差が大きくなって、その結果、基
板の反り等による寸法バラツキが発生することを少なく
することができる。混合するＡｌ2Ｏ3の量が３０ｗｔ％
を超えると混合焼結層の導電性に対する影響が大きくな
るので好ましくない。Ａｌ2Ｏ3の量は５〜２０ｗｔ％が
より望ましい。
ールの大部分を占めてもよいし、又、その一部分でもよ
い。又、必要に応じてＷとＩｒの混合焼結層に外掛で３
０ｗｔ％までのＡｌ2Ｏ3を混合してもよい。そうするこ
とによって、アルミナ質基板のスルーホール部分の穴径
の大きい場合などで、スルーホール内に充填する混合焼
結層形成用のペーストとアルミナ質基板材料の同時焼結
時における熱収縮率の差が大きくなって、その結果、基
板の反り等による寸法バラツキが発生することを少なく
することができる。混合するＡｌ2Ｏ3の量が３０ｗｔ％
を超えると混合焼結層の導電性に対する影響が大きくな
るので好ましくない。Ａｌ2Ｏ3の量は５〜２０ｗｔ％が
より望ましい。
【０００７】この発明の第二は、Ｗ又は／およびＭｏを
主成分とする配線導体形成材料を内蔵させてアルミナ質
基板を多層に形成し、その表層の導体との接続部分であ
るスルーホールに、Ｗ又は／およびＭｏ粉末４０〜９０
ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種
以上の粉末１０〜６０ｗｔ％を有機バインダとともに混
合したペーストを充填し、基板と内部導体を同時に焼成
し、次いで表層にＣｕを主成分とする導体厚膜形成用ペ
ーストを配して焼成することを特徴とするセラミック多
層配線基板の製造法である。この製造法によれば、従来
技術におけるメタライズ層形成のための焼結工程を省略
することができ、アルミナ質基板と内部導体およびＷ−
Ｉｒに代表される混合焼結層とを同時焼成することがで
きる。
主成分とする配線導体形成材料を内蔵させてアルミナ質
基板を多層に形成し、その表層の導体との接続部分であ
るスルーホールに、Ｗ又は／およびＭｏ粉末４０〜９０
ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種
以上の粉末１０〜６０ｗｔ％を有機バインダとともに混
合したペーストを充填し、基板と内部導体を同時に焼成
し、次いで表層にＣｕを主成分とする導体厚膜形成用ペ
ーストを配して焼成することを特徴とするセラミック多
層配線基板の製造法である。この製造法によれば、従来
技術におけるメタライズ層形成のための焼結工程を省略
することができ、アルミナ質基板と内部導体およびＷ−
Ｉｒに代表される混合焼結層とを同時焼成することがで
きる。
【０００８】ＷとＩｒに代表される金属の作用は前述の
とおりであるが、そのペースト作成に用いる有機バイン
ダとしては通常の例えばエチルセルロース樹脂を主とし
てこれを溶剤に溶解したものを用いる。Ｃｕを主成分と
する導体厚膜形成用ペースとしては、市販の例えば商品
名Ｄｕ Ｐｏｎｔ＃９９２２を用いる。なお、この発明
においても混合焼結層にＡｌ2Ｏ3を３０ｗｔ％まで含有
させることができる。この発明の第三は、Ｗ又は／およ
びＭｏ粉末４０〜９０ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔ
ｉ，Ｃｒの１種又は２種以上の粉末１０〜６０ｗｔ％を
有機バインダとともに混合してなることを特徴とする多
層配線基板用導電材料である。
とおりであるが、そのペースト作成に用いる有機バイン
ダとしては通常の例えばエチルセルロース樹脂を主とし
てこれを溶剤に溶解したものを用いる。Ｃｕを主成分と
する導体厚膜形成用ペースとしては、市販の例えば商品
名Ｄｕ Ｐｏｎｔ＃９９２２を用いる。なお、この発明
においても混合焼結層にＡｌ2Ｏ3を３０ｗｔ％まで含有
させることができる。この発明の第三は、Ｗ又は／およ
びＭｏ粉末４０〜９０ｗｔ％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔ
ｉ，Ｃｒの１種又は２種以上の粉末１０〜６０ｗｔ％を
有機バインダとともに混合してなることを特徴とする多
層配線基板用導電材料である。
【０００９】すなわち、かかる導電材料は、前記第二の
発明におけるＷ又は／およびＭｏ粉末よりなる内部導体
とＣｕを主成分とする導体厚膜とを接続するための材料
として好適なものである。Ｉｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃ
ｒの１種又は２種以上はＷ又は／およびＭｏの還元力を
抑制する金属であり、最も好ましい組合せは、Ｗ−Ｉｒ
である。このＷ−Ｉｒ混合物について、その作用を説明
すると、図２に示すように、アルミナ基板１のスルーホ
ール３内の内部導体２の上部に、Ｗ−Ｉｒ混合焼結層４
材料を充填して同時焼成すると、ＩｒがＷへ固溶して合
金化するとともに、一部のＩｒは内部導体２のＷと界面
６において固溶して、接合を強固にする。次にＣｕを主
成分とする導体厚膜層５のペーストをもって、アルミナ
基板１のスルーホール３におけるＷ−Ｉｒ混合焼結層４
の周囲に塗布し焼成すると、Ｉｒの一部はＣｕ厚膜との
界面７においてＣｕと固溶し、強固な接合層を形成し、
Ｃｕ厚膜の接合強度が向上する。又、前述のようにＩｒ
によってＣｕに対して還元力の強いＷ単体の成分量が減
少することによりＣｕ厚膜の焼結反応が安定し、緻密で
高強度の表層導体厚膜が形成される。以上は主として、
Ｗ−Ｉｒの混合物について述べてきたが、ＭｏとＩｒ、
あるいはＭｏやＷとその他のＰｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの
１種又は２種以上の組合せにおいても同等の効果が得ら
れる。
発明におけるＷ又は／およびＭｏ粉末よりなる内部導体
とＣｕを主成分とする導体厚膜とを接続するための材料
として好適なものである。Ｉｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃ
ｒの１種又は２種以上はＷ又は／およびＭｏの還元力を
抑制する金属であり、最も好ましい組合せは、Ｗ−Ｉｒ
である。このＷ−Ｉｒ混合物について、その作用を説明
すると、図２に示すように、アルミナ基板１のスルーホ
ール３内の内部導体２の上部に、Ｗ−Ｉｒ混合焼結層４
材料を充填して同時焼成すると、ＩｒがＷへ固溶して合
金化するとともに、一部のＩｒは内部導体２のＷと界面
６において固溶して、接合を強固にする。次にＣｕを主
成分とする導体厚膜層５のペーストをもって、アルミナ
基板１のスルーホール３におけるＷ−Ｉｒ混合焼結層４
の周囲に塗布し焼成すると、Ｉｒの一部はＣｕ厚膜との
界面７においてＣｕと固溶し、強固な接合層を形成し、
Ｃｕ厚膜の接合強度が向上する。又、前述のようにＩｒ
によってＣｕに対して還元力の強いＷ単体の成分量が減
少することによりＣｕ厚膜の焼結反応が安定し、緻密で
高強度の表層導体厚膜が形成される。以上は主として、
Ｗ−Ｉｒの混合物について述べてきたが、ＭｏとＩｒ、
あるいはＭｏやＷとその他のＰｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの
１種又は２種以上の組合せにおいても同等の効果が得ら
れる。
【００１０】
【実施例】次に実施例と比較例によって本発明を詳細に
説明する。図１は、本発明製品の一例で、多層のアルミ
ナ質基板１の内部に内部導体２が配置され、その表層ア
ルミナ質基板１のスルーホール３の外面側にＷ又は／お
よびＭｏとＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２
種以上との混合焼結層４があり、その周辺にはＣｕ厚膜
層５が形成される。最終的にはチップ部品Ｍをはんだ等
の接合材８を介してＣｕ厚膜層に配置する。
説明する。図１は、本発明製品の一例で、多層のアルミ
ナ質基板１の内部に内部導体２が配置され、その表層ア
ルミナ質基板１のスルーホール３の外面側にＷ又は／お
よびＭｏとＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２
種以上との混合焼結層４があり、その周辺にはＣｕ厚膜
層５が形成される。最終的にはチップ部品Ｍをはんだ等
の接合材８を介してＣｕ厚膜層に配置する。
【００１１】実施例１ 平均粒径３〜４μｍφのＷ粉末に同等の粒度分布を有す
るＩｒ粉末を加え、エチルセルロース樹脂を主として溶
剤に溶解した有機バインダと混合し、ペーストを作成し
た。アルミナ質セラミック基板の表面のスルーホール部
に当該ペーストを充填印刷して基板と同時焼成した。次
に当該スルーホール部を中心として、市販のＣｕペース
ト（ＤｕＰｏｎｔ社製＃９９２２）を２ｍｍ×２ｍｍ角
の大きさに印刷して焼成し、製品とした。この製品の接
着強度を初期強度と１５０℃高温保管後の強度で評価し
た。測定方法は、２３５℃±５℃の溶融半田槽に製品を
浸漬後、２ｍｍ×２ｍｍ角の大きさのランドに引張試験
用のリード線（線径０．６ｍｍφ）を半田付けし、ピー
ル引張法により、初期強度と１５０℃で１０００時間保
管後の強度を測定した。製品の組成並びに接着強度並び
に評価を表１に示す。併せて比較例として、この発明の
組成外の例の試験結果も表１に併記する。なお比較例の
Ｎo.１０はＰｔメタロオーガニックペーストによるメタ
ライズ層をＷ膜上に形成したものである。
るＩｒ粉末を加え、エチルセルロース樹脂を主として溶
剤に溶解した有機バインダと混合し、ペーストを作成し
た。アルミナ質セラミック基板の表面のスルーホール部
に当該ペーストを充填印刷して基板と同時焼成した。次
に当該スルーホール部を中心として、市販のＣｕペース
ト（ＤｕＰｏｎｔ社製＃９９２２）を２ｍｍ×２ｍｍ角
の大きさに印刷して焼成し、製品とした。この製品の接
着強度を初期強度と１５０℃高温保管後の強度で評価し
た。測定方法は、２３５℃±５℃の溶融半田槽に製品を
浸漬後、２ｍｍ×２ｍｍ角の大きさのランドに引張試験
用のリード線（線径０．６ｍｍφ）を半田付けし、ピー
ル引張法により、初期強度と１５０℃で１０００時間保
管後の強度を測定した。製品の組成並びに接着強度並び
に評価を表１に示す。併せて比較例として、この発明の
組成外の例の試験結果も表１に併記する。なお比較例の
Ｎo.１０はＰｔメタロオーガニックペーストによるメタ
ライズ層をＷ膜上に形成したものである。
【００１２】
【表１】
【００１３】実施例、比較例共に溶融半田槽内に浸漬す
ることによる半田濡れ面積率は良好で、実用上問題のな
いレベルであった。実施例１に示すＷとＩｒとの組成比
のペーストおよびアルミナ粉末を添加したペーストを用
いた例では、いずれも初期強度と高温放置試験後の強度
が大きく良好な結果を得た。Ｐｔメタライズ層形成方式
のＮo.１０を含めて、比較例においては、初期強度と高
温放置試験後の強度不足が顕著であり、接合性能が実施
例に比して劣っている。
ることによる半田濡れ面積率は良好で、実用上問題のな
いレベルであった。実施例１に示すＷとＩｒとの組成比
のペーストおよびアルミナ粉末を添加したペーストを用
いた例では、いずれも初期強度と高温放置試験後の強度
が大きく良好な結果を得た。Ｐｔメタライズ層形成方式
のＮo.１０を含めて、比較例においては、初期強度と高
温放置試験後の強度不足が顕著であり、接合性能が実施
例に比して劣っている。
【００１４】実施例２ 実施例１におけるＷの一部をＭｏに代えた以外は実施例
１と同様にして、強度試験をした。混合焼結層形成用ペ
ースの組成と接着強度の試験結果を表２に示す。
１と同様にして、強度試験をした。混合焼結層形成用ペ
ースの組成と接着強度の試験結果を表２に示す。
【００１５】
【表２】
【００１６】実施例３ 実施例１においてＩｒに代えてＰｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒ
を用いた例を表３に示す。
を用いた例を表３に示す。
【００１７】
【表３】
【００１８】
【発明の効果】この発明はアルミナ質セラミック多層配
線基板における内部導体と表層導体との接合が優れ、接
合強度並びに導電性にすぐれ、又、精密配線が可能であ
るため、電子回路部品の小型化に有効である。さらに、
この発明の製造法によれば、従来に比して焼成工程を一
部省略することができ、しかも製品の寸法のバラツキも
少ないので、生産性が高く、付加価値の高いセラミック
多層配線基板を製造することができる。
線基板における内部導体と表層導体との接合が優れ、接
合強度並びに導電性にすぐれ、又、精密配線が可能であ
るため、電子回路部品の小型化に有効である。さらに、
この発明の製造法によれば、従来に比して焼成工程を一
部省略することができ、しかも製品の寸法のバラツキも
少ないので、生産性が高く、付加価値の高いセラミック
多層配線基板を製造することができる。
【図１】この発明の実施例の断面図である。
【図２】この発明の要部の作用の説明図である。
【図３】従来例の説明図である。
１ アルミナ質基板 ２ 内部導体 ３ スルーホール ４ 混合焼結層 ５ Ｃｕ厚膜層 Ｍ チップ部品 ８ はんだ等の接合材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 沢田 孝二 山口県美祢市大嶺町東分字岩倉2701番１ 株式会社住友金属セラミックス内 (72)発明者 野村 徹 愛知県刈谷市昭和町一丁目１番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 宮瀬 善行 愛知県刈谷市昭和町一丁目１番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 長坂 崇 愛知県刈谷市昭和町一丁目１番地 日本電 装株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 Ｗ又は／およびＭｏを主成分とする配線
導体層を内蔵したアルミナ質セラミック多層基板の表面
に、Ｃｕを主成分とする金属厚膜の表面導体層部分を接
続し、該表面導体層の接続部分であるアルミナ質基板の
スルーホール部に、Ｗ又は／およびＭｏ４０〜９０ｗｔ
％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上
の１０〜６０ｗｔ％の混合焼結層を設けてなることを特
徴とするセラミック多層配線基板。 - 【請求項２】 混合焼結層がさらに３０ｗｔ％以下のア
ルミナを含有する請求項１記載のセラミック多層基板。 - 【請求項３】 Ｗ又は／およびＭｏ粉を主成分とする配
線導体形成材料を内蔵させてアルミナ質基板材料を多層
に形成し、その表層の導体との接続部分であるスルーホ
ールに、Ｗ又は／およびＭｏ４０〜９０ｗｔ％とＩｒ，
Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上の粉末１０
〜６０ｗｔ％を有機バインダとともに混合したペースト
を充填し、基板と内部導体を同時に焼成し、次いで表層
にＣｕを主成分とする導体厚膜形成用ペーストを配して
焼成することを特徴とするセラミック多層配線基板の製
造法。 - 【請求項４】 Ｗ又は／およびＭｏ粉末４０〜９０ｗｔ
％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上
の粉末１０〜６０ｗｔ％にさらに３０ｗｔ％以下のアル
ミナ粉末を添加して有機バインダとともに混合したペー
ストを用いる請求項３記載セラミック多層配線基板の製
造法。 - 【請求項５】 Ｗ又は／およびＭｏ粉末４０〜９０ｗｔ
％とＩｒ，Ｐｔ，Ｎｉ，Ｔｉ，Ｃｒの１種又は２種以上
の粉末１０〜６０ｗｔ％を有機バインダとともに混合し
てなることを特徴とする多層配線基板用導電材料。 - 【請求項６】 さらに３０ｗｔ％以下のアルミナ粉末を
含有する請求項５記載の多層配線基板用導電材料。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33083193A JP3286651B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | セラミック多層配線基板およびその製造法並びにセラミック多層配線基板用導電材料 |
| DE69408432T DE69408432T2 (de) | 1993-12-27 | 1994-12-22 | Keramisches Mehrschichtschaltungssubstrat, Verfahren zu seiner Herstellung und elektrisch leitfähiges Material zur Verwendung in keramischem Mehrschichtschaltungssubstrat |
| EP94120404A EP0660651B1 (en) | 1993-12-27 | 1994-12-22 | Multilayer ceramic circuit substrate, process for producing the same, and electrically conductive material for use in multilayer ceramic circuit substrate |
| US08/362,129 US5627344A (en) | 1993-12-27 | 1994-12-22 | Multilayer ceramic circuit substrate, process for producing the same, and electrically conductive material for use in multilayer ceramic circuit substrate |
| US08/561,539 US5729893A (en) | 1993-12-27 | 1995-11-22 | Process for producing a multilayer ceramic circuit substrate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33083193A JP3286651B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | セラミック多層配線基板およびその製造法並びにセラミック多層配線基板用導電材料 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07193372A true JPH07193372A (ja) | 1995-07-28 |
| JP3286651B2 JP3286651B2 (ja) | 2002-05-27 |
Family
ID=18237031
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33083193A Expired - Lifetime JP3286651B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | セラミック多層配線基板およびその製造法並びにセラミック多層配線基板用導電材料 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US5627344A (ja) |
| EP (1) | EP0660651B1 (ja) |
| JP (1) | JP3286651B2 (ja) |
| DE (1) | DE69408432T2 (ja) |
Cited By (2)
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| KR101101574B1 (ko) * | 2009-09-18 | 2012-01-02 | 삼성전기주식회사 | 세라믹 기판 및 그의 제조 방법 |
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| JP3704864B2 (ja) | 1997-02-12 | 2005-10-12 | 株式会社デンソー | 半導体素子の実装構造 |
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