JPH07183759A - Ａｔカット水晶振動子及び発振器 - Google Patents
Ａｔカット水晶振動子及び発振器Info
- Publication number
- JPH07183759A JPH07183759A JP32517493A JP32517493A JPH07183759A JP H07183759 A JPH07183759 A JP H07183759A JP 32517493 A JP32517493 A JP 32517493A JP 32517493 A JP32517493 A JP 32517493A JP H07183759 A JPH07183759 A JP H07183759A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cut
- cut crystal
- crystal resonator
- dimension
- maximum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
直径２±０．２ｍｍのＡＴカット水晶振動子において、
スプリアス振動の回避とＣＩ値を低減した周波数１１．
７ＭＨＺ〜２２．５ＭＨＺのＡＴカット水晶振動子を提
供する。 【構成】Ｚ′軸に長さｌ、Ｘ軸に幅ｗ、Ｙ′軸に厚みｔ
としたＡＴカット水晶振動片において、長さｌの最大寸
法を４０００μｍ〜４７００μｍ、幅ｗの最大寸法を８
００μｍ〜１３００μｍの範囲内で、振動片の各６面を
コンベックス形状とし、更に幅ｗの最大寸法と厚みｔの
最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５±０．４及び１０．７
±０．１とする。更にコンベックス形状及び加工量を規
定化することにより、周波数１２．０ＭＨＺ〜２２．０
ＭＨＺの範囲内で周波数変動の原因となるスプリアス振
動を回避し、更に屈曲振動を抑えると共に、ＣＩ値を低
減したＡＴカット水晶振動子を開発した。
スプリアス振動の回避とＣＩ値を低減した周波数１１．
７ＭＨＺ〜２２．５ＭＨＺのＡＴカット水晶振動子を提
供する。 【構成】Ｚ′軸に長さｌ、Ｘ軸に幅ｗ、Ｙ′軸に厚みｔ
としたＡＴカット水晶振動片において、長さｌの最大寸
法を４０００μｍ〜４７００μｍ、幅ｗの最大寸法を８
００μｍ〜１３００μｍの範囲内で、振動片の各６面を
コンベックス形状とし、更に幅ｗの最大寸法と厚みｔの
最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５±０．４及び１０．７
±０．１とする。更にコンベックス形状及び加工量を規
定化することにより、周波数１２．０ＭＨＺ〜２２．０
ＭＨＺの範囲内で周波数変動の原因となるスプリアス振
動を回避し、更に屈曲振動を抑えると共に、ＣＩ値を低
減したＡＴカット水晶振動子を開発した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＡＴカット水晶振動子
及び発振器に関する。
及び発振器に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年電子機器分野などで小型軽量化が進
みＡＴカット水晶振動子にも小型軽量化が要求されるよ
うになった。
みＡＴカット水晶振動子にも小型軽量化が要求されるよ
うになった。
【０００３】現在の小型軽量ＡＴカット水晶振動子とし
ては、例えば１９９２年５月２２日に開催された第２１
回ＥＭシンポジウム（電気学会、電子回路技術委員会主
催）にて報告された「超小型ＡＴカット水晶振動子」に
示されている直径２．０ｍｍ長さ６ｍｍのＡＴカット水
晶振動子をあげることができる。
ては、例えば１９９２年５月２２日に開催された第２１
回ＥＭシンポジウム（電気学会、電子回路技術委員会主
催）にて報告された「超小型ＡＴカット水晶振動子」に
示されている直径２．０ｍｍ長さ６ｍｍのＡＴカット水
晶振動子をあげることができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、前述した従来
の技術であるＡＴカット水晶振動子の発振周波数は、１
７．７ＭＨＺ〜４０．０ＭＨＺの限られた周波数範囲で
あった。
の技術であるＡＴカット水晶振動子の発振周波数は、１
７．７ＭＨＺ〜４０．０ＭＨＺの限られた周波数範囲で
あった。
【０００５】直径２．０ｍｍ、長さ６．０ｍｍのＡＴカ
ット水晶振動子に用いるＡＴカット水晶振動片のサイズ
は、水晶単結晶のＸ軸を長さｌ、Ｙ′軸を厚みｔ、Ｚ′
軸を幅ｗとして長さｌの寸法が４０００μｍ〜４７００
μｍ、幅ｗの寸法が８００μｍ〜１３００μｍと小型で
あり、前記ＡＴカット水晶振動片のサイズで１７．７Ｍ
ＨＺ以下の周波数帯を安定発振させるには、主振動であ
る厚みすべり振動のエネルギー閉じ込め効果を増す必要
がある。そのためにＸ軸方向を凸状にコンベックス加工
を行ない等価直列共振抵抗（以下ＣＩ値と称す）を低減
させる必要があった。
ット水晶振動子に用いるＡＴカット水晶振動片のサイズ
は、水晶単結晶のＸ軸を長さｌ、Ｙ′軸を厚みｔ、Ｚ′
軸を幅ｗとして長さｌの寸法が４０００μｍ〜４７００
μｍ、幅ｗの寸法が８００μｍ〜１３００μｍと小型で
あり、前記ＡＴカット水晶振動片のサイズで１７．７Ｍ
ＨＺ以下の周波数帯を安定発振させるには、主振動であ
る厚みすべり振動のエネルギー閉じ込め効果を増す必要
がある。そのためにＸ軸方向を凸状にコンベックス加工
を行ない等価直列共振抵抗（以下ＣＩ値と称す）を低減
させる必要があった。
【０００６】しかし、前記ＡＴカット水晶振動片にコン
ベックス加工を行なうとＸ軸が４０００μｍ〜４７００
μｍと短かいために、Ｘ軸方向に励振する厚みねじれ振
動と思われるスプリアス振動が主振動である厚みすべり
振動の近傍に存在する。そのために、２℃〜１０℃の少
ない温度変化でも周波数のジャンプなど周波数温度特性
に悪影響を及ぼしＡＴカット水晶振動子の特徴である３
次曲線の周波数温度特性を示さなくなる。
ベックス加工を行なうとＸ軸が４０００μｍ〜４７００
μｍと短かいために、Ｘ軸方向に励振する厚みねじれ振
動と思われるスプリアス振動が主振動である厚みすべり
振動の近傍に存在する。そのために、２℃〜１０℃の少
ない温度変化でも周波数のジャンプなど周波数温度特性
に悪影響を及ぼしＡＴカット水晶振動子の特徴である３
次曲線の周波数温度特性を示さなくなる。
【０００７】前述した厚みねじれ振動と思われるスプリ
アス振動を回避し、更にＣＩ値を低減させるためには、
ＡＴカット水晶振動片のｌ寸法を５５００μｍ以上にす
る必要がある。そのため直径２．０ｍｍ、長さ６．０ｍ
ｍのＡＴカット水晶振動子では、１７．７ＭＨＺ以下の
ＡＴカット水晶振動子は作成できないという課題があっ
た。
アス振動を回避し、更にＣＩ値を低減させるためには、
ＡＴカット水晶振動片のｌ寸法を５５００μｍ以上にす
る必要がある。そのため直径２．０ｍｍ、長さ６．０ｍ
ｍのＡＴカット水晶振動子では、１７．７ＭＨＺ以下の
ＡＴカット水晶振動子は作成できないという課題があっ
た。
【０００８】そこで本発明は、前述した課題を解決する
ものであり、その目的とするところは、長さｌの寸法が
４０００μｍ〜４７００μｍ、幅ｗの寸法が８００μｍ
〜１３００μｍのＡＴカット水晶振動片を用いて作成し
た直径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０±０．５ｍｍ周
波数、１２．０ＭＨＺ〜２２．０ＭＨＺのＡＴカット水
晶振動子において、スプリアス振動の影響を防止し、更
にＣＩ値を低減する手段を提供するところにある。
ものであり、その目的とするところは、長さｌの寸法が
４０００μｍ〜４７００μｍ、幅ｗの寸法が８００μｍ
〜１３００μｍのＡＴカット水晶振動片を用いて作成し
た直径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０±０．５ｍｍ周
波数、１２．０ＭＨＺ〜２２．０ＭＨＺのＡＴカット水
晶振動子において、スプリアス振動の影響を防止し、更
にＣＩ値を低減する手段を提供するところにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のＡＴカット水晶
振動子及び発振器は、 １）、ＡＴカットで切断された水晶振動片のＺ′軸に長
さｌ、Ｘ軸に幅ｗ、Ｙ′軸を厚みｔとしたＡＴカット水
晶振動片において、向い合うＹ′面、Ｚ′面、Ｘ面の各
６面がそれぞれ中央部が凸形状（言わゆるコンベックス
形状）であることを特徴とする。
振動子及び発振器は、 １）、ＡＴカットで切断された水晶振動片のＺ′軸に長
さｌ、Ｘ軸に幅ｗ、Ｙ′軸を厚みｔとしたＡＴカット水
晶振動片において、向い合うＹ′面、Ｚ′面、Ｘ面の各
６面がそれぞれ中央部が凸形状（言わゆるコンベックス
形状）であることを特徴とする。
【００１０】２）、１）に記載のＡＴカット水晶振動子
において、水晶振動片の長さｌの最大寸法が４０００μ
ｍ〜４７００μｍ、幅ｗの最大寸法が８００μｍ〜１３
００μｍの範囲内で、基本波モードの共振周波数が１
１．７ＭＨＺ〜２２．５ＭＨＺであることを特徴とす
る。
において、水晶振動片の長さｌの最大寸法が４０００μ
ｍ〜４７００μｍ、幅ｗの最大寸法が８００μｍ〜１３
００μｍの範囲内で、基本波モードの共振周波数が１
１．７ＭＨＺ〜２２．５ＭＨＺであることを特徴とす
る。
【００１１】３）、２）に記載のＡＴカット水晶振動子
の前記水晶振動片の各寸法範囲内において、幅ｗの最大
寸法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５±０．
４としたことを特徴とする。
の前記水晶振動片の各寸法範囲内において、幅ｗの最大
寸法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５±０．
４としたことを特徴とする。
【００１２】４）、２）に記載のＡＴカット水晶振動子
の前記水晶振動片の各寸法範囲内において、幅ｗの最大
寸法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを１０．７±
０．１としたことを特徴とする。
の前記水晶振動片の各寸法範囲内において、幅ｗの最大
寸法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを１０．７±
０．１としたことを特徴とする。
【００１３】５）、３）、４）に記載のＡＴカット水晶
振動子において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＺ′
面のＹ′方向の最大寸法が、前記ＡＴカット水晶振動片
中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対して３／４〜１／４の
寸法にコンベックス加工したことを特徴とする。
振動子において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＺ′
面のＹ′方向の最大寸法が、前記ＡＴカット水晶振動片
中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対して３／４〜１／４の
寸法にコンベックス加工したことを特徴とする。
【００１４】６）、５）に記載のＡＴカット水晶振動子
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面の
Ｚ′方向に２０ｍｍ〜８０ｍｍの曲率半径でコンベック
ス加工したことを特徴とする。
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面の
Ｚ′方向に２０ｍｍ〜８０ｍｍの曲率半径でコンベック
ス加工したことを特徴とする。
【００１５】７）、６）に記載のＡＴカット水晶振動子
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＸ面のＹ′
方向の最大寸法が、前記ＡＴカット水晶振動片中央部の
最大Ｙ′の厚み寸法に比べ１０μｍ〜５０μｍ少ない寸
法にコンベックス加工したことを特徴とする。
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＸ面のＹ′
方向の最大寸法が、前記ＡＴカット水晶振動片中央部の
最大Ｙ′の厚み寸法に比べ１０μｍ〜５０μｍ少ない寸
法にコンベックス加工したことを特徴とする。
【００１６】８）、７）に記載のＡＴカット水晶振動子
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面のＸ
方向に０．１ｍｍ〜６０ｍｍの範囲内で連続的に変化す
る曲率半径でコンベックス加工したことを特徴とする。
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面のＸ
方向に０．１ｍｍ〜６０ｍｍの範囲内で連続的に変化す
る曲率半径でコンベックス加工したことを特徴とする。
【００１７】９）、８）に記載のＡＴカット水晶振動子
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面に形
成する励振電極形成前の前記ＡＴカット水晶振動片の周
波数と、前記励振電極形成後の前記ＡＴカット水晶振動
片の周波数変化量が８０００ｐｐｍ〜２５０００ｐｐｍ
であることを特徴とする。
において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面に形
成する励振電極形成前の前記ＡＴカット水晶振動片の周
波数と、前記励振電極形成後の前記ＡＴカット水晶振動
片の周波数変化量が８０００ｐｐｍ〜２５０００ｐｐｍ
であることを特徴とする。
【００１８】１０）、９）に記載のＡＴカット水晶振動
子において、前記ＡＴカット水晶振動片のＹ′面のＺ′
方向側面部をサポートする部材であるインナーリード
に、半田及び導電性接着剤にて接合したことを特徴とす
る。
子において、前記ＡＴカット水晶振動片のＹ′面のＺ′
方向側面部をサポートする部材であるインナーリード
に、半田及び導電性接着剤にて接合したことを特徴とす
る。
【００１９】１１）、１０）に記載のＡＴカット水晶振
動子のベースとベースを真空又は、不活性雰囲気圧入気
密封止し、ＡＴカット水晶振動片が真空又は、不活性雰
囲気中に保たれたことを特徴とする。
動子のベースとベースを真空又は、不活性雰囲気圧入気
密封止し、ＡＴカット水晶振動片が真空又は、不活性雰
囲気中に保たれたことを特徴とする。
【００２０】１２）、１１）に記載のＡＴカット水晶振
動子において、該ＡＴカット水晶振動子のサイズが、直
径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０±０．５ｍｍである
ことを特徴とする。
動子において、該ＡＴカット水晶振動子のサイズが、直
径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０±０．５ｍｍである
ことを特徴とする。
【００２１】１３）、１２）に記載のＡＴカット水晶振
動子において、該ＡＴカット水晶振動子を樹脂等により
モールドしたことを特徴とする。
動子において、該ＡＴカット水晶振動子を樹脂等により
モールドしたことを特徴とする。
【００２２】１４）、１２）に記載のＡＴカット水晶振
動子とＩＣ（集積回路）等で発振回路を構成し、樹脂等
により一体モールド成形したことを特徴とする。
動子とＩＣ（集積回路）等で発振回路を構成し、樹脂等
により一体モールド成形したことを特徴とする。
【００２３】
【実施例】図１は本発明のＡＴカット水晶振動子の一実
施例を示す断面斜視図である。以下に本発明について実
施例に基づき詳細に説明する。
施例を示す断面斜視図である。以下に本発明について実
施例に基づき詳細に説明する。
【００２４】図２は本発明のＡＴカット水晶振動子（以
下振動子と称す）のＡＴカット水晶振動片（以下振動片
と称す）の斜視図であり、ＡＴカットで切断された水晶
単結晶のＺ′軸方向に長さｌ、Ｘ軸に幅ｗ、Ｙ′軸に厚
みｔを取ってある。前記の振動片は、向い合うＹ′、
Ｚ′、Ｘ′の各６面がそれぞれ中央部が凸形状（言わゆ
るコンベックス形状）である。
下振動子と称す）のＡＴカット水晶振動片（以下振動片
と称す）の斜視図であり、ＡＴカットで切断された水晶
単結晶のＺ′軸方向に長さｌ、Ｘ軸に幅ｗ、Ｙ′軸に厚
みｔを取ってある。前記の振動片は、向い合うＹ′、
Ｚ′、Ｘ′の各６面がそれぞれ中央部が凸形状（言わゆ
るコンベックス形状）である。
【００２５】また前記振動片の長さｌの最大寸法は４０
００μｍ〜４７００μｍ、幅ｗの最大寸法は８００μｍ
〜１３００μｍとなっている。
００μｍ〜４７００μｍ、幅ｗの最大寸法は８００μｍ
〜１３００μｍとなっている。
【００２６】また前記振動片の幅ｗの最大寸法と厚みｔ
の最大寸法との辺比ｗ／ｔは、 １） ９．５±０．４ ２） １０．７±０．１ となるように、幅ｗの最大寸法及び厚みｔの最大寸法は
選択されている。
の最大寸法との辺比ｗ／ｔは、 １） ９．５±０．４ ２） １０．７±０．１ となるように、幅ｗの最大寸法及び厚みｔの最大寸法は
選択されている。
【００２７】振動片の長さｌの最大寸法を４０００〜４
７００μｍと規定してあるが、図３にコンベックス加工
後（コンベックス加工については後で述べる）の振動片
のｌ寸法とＣＩ値の関係を示した。図３に示すようにＣ
Ｉ値３０Ω以下を確保するために振動片のｌ寸法は４０
００μｍ以上としてある。また４７００μｍ以上では長
さ６±０．５ｍｍの振動子に入らないため振動片の長さ
は４７００μｍ以下としてある。
７００μｍと規定してあるが、図３にコンベックス加工
後（コンベックス加工については後で述べる）の振動片
のｌ寸法とＣＩ値の関係を示した。図３に示すようにＣ
Ｉ値３０Ω以下を確保するために振動片のｌ寸法は４０
００μｍ以上としてある。また４７００μｍ以上では長
さ６±０．５ｍｍの振動子に入らないため振動片の長さ
は４７００μｍ以下としてある。
【００２８】図４にコンベックス加工後（コンベックス
加工については後で述べる）の振動片のｗ寸法とＣＩ値
の関係を示すが、幅ｗの寸法が８００μｍ以下ではＣＩ
値を確保できないために、振動片の幅ｗの寸法は８００
μｍ以上としてある。前記振動片の幅ｗの寸法が８００
μｍ以上であるために、本発明の振動子の最大発振周波
数は、後述する本発明の辺比ｗ／ｔ＝１０．７±０．１
を使用しスプリアス振動を回避した振動子とすると、辺
比ｗ／ｔ＝１０．７±０．１の最大辺比ｗ／ｔ＝１０．
８を使用した時の振動片の厚み寸法は、７４．０７μｍ
となる。故に、本発明の振動子の最大発振周波数は、計
算式１６７０／ｔ［ＭＨＺ］にｔ＝７４．０７×１０-6
［ｍ］を代入して２２．５ＭＨＺ以下となる。
加工については後で述べる）の振動片のｗ寸法とＣＩ値
の関係を示すが、幅ｗの寸法が８００μｍ以下ではＣＩ
値を確保できないために、振動片の幅ｗの寸法は８００
μｍ以上としてある。前記振動片の幅ｗの寸法が８００
μｍ以上であるために、本発明の振動子の最大発振周波
数は、後述する本発明の辺比ｗ／ｔ＝１０．７±０．１
を使用しスプリアス振動を回避した振動子とすると、辺
比ｗ／ｔ＝１０．７±０．１の最大辺比ｗ／ｔ＝１０．
８を使用した時の振動片の厚み寸法は、７４．０７μｍ
となる。故に、本発明の振動子の最大発振周波数は、計
算式１６７０／ｔ［ＭＨＺ］にｔ＝７４．０７×１０-6
［ｍ］を代入して２２．５ＭＨＺ以下となる。
【００２９】また振動片のｗ寸法が１３００μｍ以上で
は、直径２．０±０．２ｍｍの振動子に入れると耐衝撃
性に対する品質を低下させるために、振動片の幅ｗの寸
法は、１３００μｍ以下としてある。そのために、本発
明の振動子の最小発振周波数は、後述する本発明の辺比
ｗ／ｔ＝９．５±０．４を使用しスプリアス振動を回避
した振動子とすると、辺比ｗ／ｔ＝９．５±０．４の最
小辺比ｗ／ｔ＝９．１を使用した時の振動片の厚み寸法
は、１４２．９μｍとなる。故に、本発明の振動子の最
小発振周波数は、１１．７ＭＨＺ以上となる。
は、直径２．０±０．２ｍｍの振動子に入れると耐衝撃
性に対する品質を低下させるために、振動片の幅ｗの寸
法は、１３００μｍ以下としてある。そのために、本発
明の振動子の最小発振周波数は、後述する本発明の辺比
ｗ／ｔ＝９．５±０．４を使用しスプリアス振動を回避
した振動子とすると、辺比ｗ／ｔ＝９．５±０．４の最
小辺比ｗ／ｔ＝９．１を使用した時の振動片の厚み寸法
は、１４２．９μｍとなる。故に、本発明の振動子の最
小発振周波数は、１１．７ＭＨＺ以上となる。
【００３０】つぎに振動片の幅ｗの最大寸法と厚みｔの
最大寸法との辺比ｗ／ｔについて説明する。
最大寸法との辺比ｗ／ｔについて説明する。
【００３１】図５（ａ）は辺比ｗ／ｔを ｗ／ｔ＝９．５−０．４ とした場合の周波数温度特性を示した図であり温度の低
温側−３０℃以下は、スプリアス振動の影響を受けて周
波数の変動が生じている。一般的な水晶振動子の動作温
度範囲は−２０℃以上であり、辺比ｗ／ｔ＝９．５−
０．４以下では、水晶振動子の動作温度範囲内でスプリ
アス振動の影響を受ける。
温側−３０℃以下は、スプリアス振動の影響を受けて周
波数の変動が生じている。一般的な水晶振動子の動作温
度範囲は−２０℃以上であり、辺比ｗ／ｔ＝９．５−
０．４以下では、水晶振動子の動作温度範囲内でスプリ
アス振動の影響を受ける。
【００３２】図５（ｂ）は辺比ｗ／ｔを ｗ／ｔ＝９．５ とした場合の周波数温度特性を示した図でありスプリア
ス振動が回避されているために、３次曲線の周波数温度
特性を示している。
ス振動が回避されているために、３次曲線の周波数温度
特性を示している。
【００３３】図５（ｃ）は辺比ｗ／ｔを ｗ／ｔ＝９．５＋０．４ に設計した場合の周波数温度特性を示した図である。図
５（ｃ）に示すように周波数温度特性は時計方向に回転
した状態となる。周波数温度特性が時計方向に回転する
のは、辺比ｗ／ｔ＝１０．２の近傍に屈曲振動のスプリ
アス振動が存在するため屈曲振動の特徴である２次の周
波数温度特性の影響を受けるためである。辺比ｗ／ｔ＝
９．５＋０．４以上は、屈曲振動の影響を強く受けるた
めに、水晶振動子の一般的な動作温度範囲である−２０
℃〜＋８０℃の周波数温度特性は±３０ｐｐｍ以上とな
ってしまう。
５（ｃ）に示すように周波数温度特性は時計方向に回転
した状態となる。周波数温度特性が時計方向に回転する
のは、辺比ｗ／ｔ＝１０．２の近傍に屈曲振動のスプリ
アス振動が存在するため屈曲振動の特徴である２次の周
波数温度特性の影響を受けるためである。辺比ｗ／ｔ＝
９．５＋０．４以上は、屈曲振動の影響を強く受けるた
めに、水晶振動子の一般的な動作温度範囲である−２０
℃〜＋８０℃の周波数温度特性は±３０ｐｐｍ以上とな
ってしまう。
【００３４】故に辺比ｗ／ｔを ｗ／ｔ＝９．５±０．４ に設計することで水晶振動子の一般的な動作温度範囲−
２０℃〜＋８０℃においては、周波数ジャンプなどを起
すスプリアス振動を回避し、更に周波数温度特性を時計
方向に回転させる屈曲振動のスプリアス振動の影響を抑
えた振動子を作成することができる。
２０℃〜＋８０℃においては、周波数ジャンプなどを起
すスプリアス振動を回避し、更に周波数温度特性を時計
方向に回転させる屈曲振動のスプリアス振動の影響を抑
えた振動子を作成することができる。
【００３５】また本願の他の辺比ｗ／ｔである ｗ／ｔ＝１０．７±０．１ は、ｗ／ｔ＝１０．７−０．１以下の辺比ｗ／ｔでは屈
曲振動のスプリアス振動の影響を受ける。ｗ／ｔ＝１
０．７＋０．１は、屈曲振動以外のスプリアス振動によ
り周波数温度特性が変動する。
曲振動のスプリアス振動の影響を受ける。ｗ／ｔ＝１
０．７＋０．１は、屈曲振動以外のスプリアス振動によ
り周波数温度特性が変動する。
【００３６】故に辺比ｗ／ｔを ｗ／ｔ＝１０．７±０．１ に設計することでｗ／ｔ＝９．５±０．４と同様に、ス
プリアス振動の影響を抑えた振動子を作成することがで
きる。
プリアス振動の影響を抑えた振動子を作成することがで
きる。
【００３７】次に振動片のコンベックス加工について説
明する。
明する。
【００３８】図６（ａ）は向い合うＹ′面のＺ′方向
に、２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内で連続的に変化する曲
率半径でコンベックス加工し、向い合うＺ′面のＹ′方
向の最大寸法が振動片中央部の最大Ｙ′の厚みに対して
１／２までコンベックス加工した時の周波数温度特性図
である。図６（ｂ）は前記のコンベックス加工を向い合
うＺ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大
Ｙ′の厚み寸法に対し３／４と少ないコンベックス加工
量にした時の周波数温度特性図である。図６（ａ）と図
６（ｂ）から分かるように、向い合うＹ′面のＺ′方向
に２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内で連続的に変化する曲率
半径でコンベックス加工を行なうことで、辺比ｗ／ｔの
項で説明した屈曲振動の影響を抑えていることが分か
る。また向い合うＺ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片
中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対し１／４以下では耐衝
撃性に問題が起こるため、向い合うＺ′面のＹ′方向の
最大寸法は、振動片中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対し
３／４〜１／４となる。また前記によりＣＩ値低減の効
果もある。
に、２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内で連続的に変化する曲
率半径でコンベックス加工し、向い合うＺ′面のＹ′方
向の最大寸法が振動片中央部の最大Ｙ′の厚みに対して
１／２までコンベックス加工した時の周波数温度特性図
である。図６（ｂ）は前記のコンベックス加工を向い合
うＺ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大
Ｙ′の厚み寸法に対し３／４と少ないコンベックス加工
量にした時の周波数温度特性図である。図６（ａ）と図
６（ｂ）から分かるように、向い合うＹ′面のＺ′方向
に２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内で連続的に変化する曲率
半径でコンベックス加工を行なうことで、辺比ｗ／ｔの
項で説明した屈曲振動の影響を抑えていることが分か
る。また向い合うＺ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片
中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対し１／４以下では耐衝
撃性に問題が起こるため、向い合うＺ′面のＹ′方向の
最大寸法は、振動片中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対し
３／４〜１／４となる。また前記によりＣＩ値低減の効
果もある。
【００３９】図７は、図６の項で説明した向い合うＹ′
面のＺ′方向に、２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内で連続的
に変化する曲率半径でコンベックス加工し、向い合う
Ｚ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大Ｙ′
の厚み寸法に対して１／２までコンベックス加工した振
動片を、更にＹ′面のＸ方向に０．１ｍｍ〜６０ｍｍの
範囲内で連続的に変化する曲率半径でコンベックス加工
した時の振動片中央部の最大Ｙ′の厚み寸法と、向い合
うＸ面のＹ′方向の最大寸法の差とＣＩ値との関係を示
した図である。図７に示すように、Ｙ′面のＸ方向にコ
ンベックス加工をすることで主振動である厚みすべり振
動のエネルギー閉じ込めの効果が増すことが分かる。ま
た振動片中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対し向い合うＸ
面のＹ′方向の最大寸法差が１０μｍ〜５０μｍであれ
ば充分に主振動である厚みすべり振動のエネルギーを閉
じ込めることができる。故に前記寸法差を１０μｍ〜５
０μｍとする。
面のＺ′方向に、２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内で連続的
に変化する曲率半径でコンベックス加工し、向い合う
Ｚ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大Ｙ′
の厚み寸法に対して１／２までコンベックス加工した振
動片を、更にＹ′面のＸ方向に０．１ｍｍ〜６０ｍｍの
範囲内で連続的に変化する曲率半径でコンベックス加工
した時の振動片中央部の最大Ｙ′の厚み寸法と、向い合
うＸ面のＹ′方向の最大寸法の差とＣＩ値との関係を示
した図である。図７に示すように、Ｙ′面のＸ方向にコ
ンベックス加工をすることで主振動である厚みすべり振
動のエネルギー閉じ込めの効果が増すことが分かる。ま
た振動片中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対し向い合うＸ
面のＹ′方向の最大寸法差が１０μｍ〜５０μｍであれ
ば充分に主振動である厚みすべり振動のエネルギーを閉
じ込めることができる。故に前記寸法差を１０μｍ〜５
０μｍとする。
【００４０】図８は振動片の向い合うＹ′面に形成する
励振電極の形成前後の振動片の周波数変化量とＣＩ値の
関係を示した図である。図８に示すように周波数変化量
が５０００ｐｐｍ以下では、厚みすべり振動のエネルギ
ー閉じ込めが不充分でありＣＩ値は上昇している。また
２５０００ｐｐｍ以上になると励振電極の質量が多すぎ
振動片の厚みすべり振動を阻害してＣＩ値が上昇する。
故に本発明の振動片に形成する励振電極の形成前後の前
記振動片の周波数変化量は、８０００ｐｐｍ〜２５００
０ｐｐｍとなる。
励振電極の形成前後の振動片の周波数変化量とＣＩ値の
関係を示した図である。図８に示すように周波数変化量
が５０００ｐｐｍ以下では、厚みすべり振動のエネルギ
ー閉じ込めが不充分でありＣＩ値は上昇している。また
２５０００ｐｐｍ以上になると励振電極の質量が多すぎ
振動片の厚みすべり振動を阻害してＣＩ値が上昇する。
故に本発明の振動片に形成する励振電極の形成前後の前
記振動片の周波数変化量は、８０００ｐｐｍ〜２５００
０ｐｐｍとなる。
【００４１】次に本発明の振動子の構造及び振動子のサ
イズについての一実施例を説明する。
イズについての一実施例を説明する。
【００４２】図１は本発明の振動子の断面斜視図であ
る。振動子は向い合うＹ′面にＣｒ及びＡｇまたはＡｕ
で形成された励振電極２と、接続電極３を有する振動片
１を、ベース４に貫通するインナーリード５の端部と、
前記接続電極３の端部とを半田及び導電性接着剤にて接
合してある。前記ベース４とケース６は半田を用いて真
空中で封着されていることにより、前記振動片１は真空
又は不活性雰囲気に保たれている。
る。振動子は向い合うＹ′面にＣｒ及びＡｇまたはＡｕ
で形成された励振電極２と、接続電極３を有する振動片
１を、ベース４に貫通するインナーリード５の端部と、
前記接続電極３の端部とを半田及び導電性接着剤にて接
合してある。前記ベース４とケース６は半田を用いて真
空中で封着されていることにより、前記振動片１は真空
又は不活性雰囲気に保たれている。
【００４３】図９は本発明の振動子の斜視図であり振動
子８のサイズは、直径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０
±０．５ｍｍとなっている。
子８のサイズは、直径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０
±０．５ｍｍとなっている。
【００４４】図１０は前述した振動子８を金属リード９
に溶接し、樹脂１０にてモールドした水晶振動子１２の
構造断面図である。振動子８を樹脂１０にてモールドし
たことにより水晶振動子１２の表面実装を可能とした。
に溶接し、樹脂１０にてモールドした水晶振動子１２の
構造断面図である。振動子８を樹脂１０にてモールドし
たことにより水晶振動子１２の表面実装を可能とした。
【００４５】図１１は前述した振動子８とＩＣ（集積回
路）１３などで発振回路を構成し、樹脂１５にて一体成
形モールドした発振器１６の断面図である。振動子８の
直径が２．０±０．２ｍｍと小型な振動子であるため
に、発振器１６の厚さは３ｍｍ以下と小型な発振器とな
っている。
路）１３などで発振回路を構成し、樹脂１５にて一体成
形モールドした発振器１６の断面図である。振動子８の
直径が２．０±０．２ｍｍと小型な振動子であるため
に、発振器１６の厚さは３ｍｍ以下と小型な発振器とな
っている。
【００４６】
【発明の効果】以上述べたように本発明は、ＡＴカット
水晶振動片の長さｌの最大寸法が４０００μｍ〜４７０
０μｍ、幅ｗの最大寸法が８００μｍ〜１３００μｍと
小型な振動片で、１１．７ＭＨＺ〜２２．５ＭＨＺの周
波数範囲内において、周波数ジャンプなどを起こすスプ
リアス振動を回避し、更に周波数温度特性を時計方向に
回転させる屈曲振動の影響を抑え、更にＣＩ値を低減す
ることができるＡＴカット水晶振動子であるという効果
を有する。
水晶振動片の長さｌの最大寸法が４０００μｍ〜４７０
０μｍ、幅ｗの最大寸法が８００μｍ〜１３００μｍと
小型な振動片で、１１．７ＭＨＺ〜２２．５ＭＨＺの周
波数範囲内において、周波数ジャンプなどを起こすスプ
リアス振動を回避し、更に周波数温度特性を時計方向に
回転させる屈曲振動の影響を抑え、更にＣＩ値を低減す
ることができるＡＴカット水晶振動子であるという効果
を有する。
【００４７】更に本発明のＡＴカット水晶振動子は、直
径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０±０．５ｍｍと小型
であるという効果を有する。
径２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０±０．５ｍｍと小型
であるという効果を有する。
【００４８】更に本発明のＡＴカット水晶振動子を樹脂
モールドした小型ＡＴカット水晶振動子及び樹脂モール
ドした小型発振器を作成できるという効果及び表面実装
を可能にしたという効果を有する。
モールドした小型ＡＴカット水晶振動子及び樹脂モール
ドした小型発振器を作成できるという効果及び表面実装
を可能にしたという効果を有する。
【図１】本発明のＡＴカット水晶振動子の断面斜視図。
【図２】本発明のＡＴカット水晶振動子のＡＴカット水
晶振動片の斜視図。
晶振動片の斜視図。
【図３】本発明のＡＴカット水晶振動片の長さｌの寸法
とＣＩ値の関係図。
とＣＩ値の関係図。
【図４】本発明のＡＴカット水晶振動片の幅ｗの寸法と
ＣＩ値の関係図。
ＣＩ値の関係図。
【図５】（ａ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の幅ｗ
の最大寸法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５
−０．４とした場合の周波数温度特性図。 （ｂ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の幅ｗの最大寸
法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５とした場
合の周波数温度特性図。 （ｃ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の幅ｗの最大寸
法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５＋０．４
とした場合の周波数温度特性図。
の最大寸法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５
−０．４とした場合の周波数温度特性図。 （ｂ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の幅ｗの最大寸
法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５とした場
合の周波数温度特性図。 （ｃ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の幅ｗの最大寸
法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５＋０．４
とした場合の周波数温度特性図。
【図６】（ａ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の向い
合うＺ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大
Ｙ′の厚み寸法に対し１／２までコンベックス加工した
場合の周波数温度特性図。 （ｂ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の向い合うＺ′
面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大Ｙ′の厚
み寸法に対し３／４までコンベックス加工した場合の周
波数温度特性図。
合うＺ′面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大
Ｙ′の厚み寸法に対し１／２までコンベックス加工した
場合の周波数温度特性図。 （ｂ） 本発明のＡＴカット水晶振動片の向い合うＺ′
面のＹ′方向の最大寸法が振動片中央部の最大Ｙ′の厚
み寸法に対し３／４までコンベックス加工した場合の周
波数温度特性図。
【図７】本発明のＡＴカット水晶振動片中央部の最大
Ｙ′の厚みに対し、向い合うＸ面のＹ′方向の最大寸法
の差とＣＩ値との関係図。
Ｙ′の厚みに対し、向い合うＸ面のＹ′方向の最大寸法
の差とＣＩ値との関係図。
【図８】本発明のＡＴカット水晶振動片に形成する励振
電極形成前後の振動片の周波数変化量とＣＩ値の関係
図。
電極形成前後の振動片の周波数変化量とＣＩ値の関係
図。
【図９】本発明のＡＴカット水晶振動子の斜視図。
【図１０】本発明の樹脂モールドしたＡＴカット水晶振
動子の構造断面図。
動子の構造断面図。
【図１１】本発明のＡＴカット水晶振動子とＩＣなどで
構成する発振回路を一体樹脂モールドした発振器の断面
図。
構成する発振回路を一体樹脂モールドした発振器の断面
図。
１ ＡＴカット水晶振動片 ２ 励振電極 ３ 接続電極 ４ ベース ５ インナーリード ６ ケース ７ ＡＴカット水晶振動片 ８ ＡＴカット水晶振動子 ９ 金属リード １０ 樹脂 １１ ＡＴカット水晶振動片 １２ 樹脂モールドしたＡＴカット水晶振動子 １３ ＩＣ １４ 金属フレーム １５ 樹脂 １６ 樹脂モールドした発振器
Claims (14)
- 【請求項１】ＡＴカットで切断された水晶振動片のＺ′
軸に長さｌ、Ｘ軸に幅ｗ、Ｙ′軸を厚みｔとしたＡＴカ
ット水晶振動片において、向い合うＹ′面、Ｚ′面、Ｘ
面の各６面のそれぞれ中央部が凸形状（言わゆるコンベ
ックス形状）であることを特徴とするＡＴカット水晶振
動子。 - 【請求項２】請求項１に記載のＡＴカット水晶振動子に
おいて、水晶振動片の長さｌの最大寸法が４０００μｍ
〜４７００μｍ、幅ｗの最大寸法が８００μｍ〜１３０
０μｍの範囲内で、基本波モードの共振周波数が１１．
７ＭＨＺ〜２２．５ＭＨＺであることを特徴とするＡＴ
カット水晶振動子。 - 【請求項３】請求項２に記載のＡＴカット水晶振動子の
前記水晶振動片の各寸法範囲内において、幅ｗの最大寸
法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを９．５±０．４
としたことを特徴とするＡＴカット水晶振動子。 - 【請求項４】請求項２に記載のＡＴカット水晶振動子の
前記水晶振動片の各寸法範囲内において、幅ｗの最大寸
法と厚みｔの最大寸法との辺比ｗ／ｔを１０．７±０．
１としたことを特徴とするＡＴカット水晶振動子。 - 【請求項５】請求項３または４に記載のＡＴカット水晶
振動子において、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＺ′
面のＹ′方向の最大寸法が、前記ＡＴカット水晶振動片
中央部の最大Ｙ′の厚み寸法に対して、３／４〜１／４
の寸法にコンベックス加工したことを特徴とするＡＴカ
ット水晶振動子。 - 【請求項６】請求項５に記載のＡＴカット水晶振動子に
おいて、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面のＺ′
方向に２０ｍｍ〜８０ｍｍの範囲内で連続的に変化する
曲率半径でコンベックス加工したことを特徴とするＡＴ
カット水晶振動子。 - 【請求項７】請求項６に記載のＡＴカット水晶振動子に
おいて、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＸ面のＹ′方
向の最大寸法が、前記ＡＴカット水晶振動片中央部の最
大Ｙ′の厚み寸法に比べ１０μｍ〜５０μｍ少ない寸法
にコンベックス加工したことを特徴とするＡＴカット水
晶振動子。 - 【請求項８】請求項７に記載のＡＴカット水晶振動子に
おいて、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面のＸ方
向に０．１ｍｍ〜６０ｍｍの範囲内で連続的に変化する
曲率半径でコンベックス加工したことを特徴とするＡＴ
カット水晶振動子。 - 【請求項９】請求項８に記載のＡＴカット水晶振動子に
おいて、ＡＴカット水晶振動片の向い合うＹ′面に形成
する励振電極形成前の前記ＡＴカット水晶振動片の周波
数と、前記励振電極形成後の前記ＡＴカット水晶振動片
の周波数変化量が８０００ｐｐｍ〜２５０００ｐｐｍで
あることを特徴とするＡＴカット水晶振動子。 - 【請求項１０】請求項９に記載のＡＴカット水晶振動子
において、前記ＡＴカット水晶振動片のＹ′面のＺ′方
向側面部をサポートする部材であるインナーリードに、
半田及び導電性接着剤にて接合したことを特徴とするＡ
Ｔカット水晶振動子。 - 【請求項１１】請求項１０に記載のＡＴカット水晶振動
子のベースとケースを真空又は、不活性雰囲気圧入気密
封止し、ＡＴカット水晶振動片が真空又は、不活性雰囲
気中に保たれたことを特徴とするＡＴカット水晶振動
子。 - 【請求項１２】請求項１１に記載のＡＴカット水晶振動
子において、該ＡＴカット水晶振動子のサイズが、直径
２．０±０．２ｍｍ、長さ６．０±０．５ｍｍであるこ
とを特徴とするＡＴカット水晶振動子。 - 【請求項１３】請求項１２に記載のＡＴカット水晶振動
子において、該ＡＴカット水晶振動子を樹脂等によりモ
ールドしたことを特徴とするＡＴカット水晶振動子。 - 【請求項１４】請求項１２記載のＡＴカット水晶振動子
とＩＣ（集積回路）等で発振回路を構成し、樹脂等によ
り一体モールド成形したことを特徴とする発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32517493A JPH07183759A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | Ａｔカット水晶振動子及び発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32517493A JPH07183759A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | Ａｔカット水晶振動子及び発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07183759A true JPH07183759A (ja) | 1995-07-21 |
Family
ID=18173839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32517493A Pending JPH07183759A (ja) | 1993-12-22 | 1993-12-22 | Ａｔカット水晶振動子及び発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07183759A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017038568A1 (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| WO2017051781A1 (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| WO2017057167A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| WO2017057137A1 (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| WO2017057091A1 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| WO2017061478A1 (ja) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
-
1993
- 1993-12-22 JP JP32517493A patent/JPH07183759A/ja active Pending
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107852147A (zh) * | 2015-09-01 | 2018-03-27 | 株式会社村田制作所 | 水晶片以及水晶振子 |
| WO2017038568A1 (ja) * | 2015-09-01 | 2017-03-09 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| US9985603B2 (en) | 2015-09-01 | 2018-05-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal blank and quartz crystal resonator unit |
| JP6150092B1 (ja) * | 2015-09-01 | 2017-06-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| WO2017051781A1 (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| CN108028638B (zh) * | 2015-09-25 | 2021-01-05 | 株式会社村田制作所 | 水晶片以及水晶振子 |
| US10425057B2 (en) | 2015-09-25 | 2019-09-24 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal blank and quartz crystal resonator unit |
| JPWO2017051781A1 (ja) * | 2015-09-25 | 2017-09-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| CN108028638A (zh) * | 2015-09-25 | 2018-05-11 | 株式会社村田制作所 | 水晶片以及水晶振子 |
| WO2017057091A1 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| JPWO2017057091A1 (ja) * | 2015-09-28 | 2017-10-05 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| US10418964B2 (en) | 2015-09-28 | 2019-09-17 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal blank and quartz crystal resonator unit |
| JPWO2017057167A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-10-05 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| US10411673B2 (en) | 2015-09-30 | 2019-09-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal blank and quartz crystal resonator unit |
| WO2017057167A1 (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| JPWO2017057137A1 (ja) * | 2015-10-02 | 2017-12-21 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| US10361675B2 (en) | 2015-10-02 | 2019-07-23 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Quartz crystal blank and quartz crystal resonator unit |
| WO2017057137A1 (ja) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
| WO2017061478A1 (ja) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | 株式会社村田製作所 | 水晶片及び水晶振動子 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP2357728A1 (en) | Surface acoustic wave resonator, surface acoustic wave oscillator, and surface acoustic wave module device | |
| JP2004200917A (ja) | 圧電振動片と圧電振動片を利用した圧電デバイス、ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 | |
| JP2010103803A (ja) | 弾性表面波共振子、弾性表面波発振器および弾性表面波モジュール装置 | |
| KR20110076824A (ko) | 진동편, 진동자, 발진기, 전자기기, 및 주파수 조정 방법 | |
| US6518688B1 (en) | Piezoelectric vibration device | |
| JP2004088138A (ja) | 水晶振動子の保持構造 | |
| GB1560537A (en) | Piezoelectric microresonator | |
| JPH07183759A (ja) | Ａｔカット水晶振動子及び発振器 | |
| JP2004135357A (ja) | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器とそれらの製造方法 | |
| KR102561011B1 (ko) | 감소된 가속 민감도를 가지는 발진기 | |
| JP2005136938A (ja) | 弾性表面波素子片、弾性表面波デバイスおよび弾性表面波デバイスを用いた装置 | |
| JPS58141022A (ja) | 厚みすべり水晶振動子 | |
| JP2000040938A (ja) | 超高周波圧電デバイス | |
| US5399997A (en) | Oscillation circuit | |
| JP2001257558A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2884569B2 (ja) | オーバートーン用矩形状ａｔカット水晶振動子の製造方法 | |
| JP2003273703A (ja) | 水晶振動子と水晶振動子の製造方法 | |
| JP3194442B2 (ja) | Ｓｃカットの水晶振動子 | |
| JP2884568B2 (ja) | 矩形状ａｔカット水晶振動子の製造方法 | |
| JP2003283292A (ja) | 圧電共振子およびそれを用いたフィルタ・デュプレクサ・通信装置 | |
| JPH04276915A (ja) | 厚み辷り水晶振動子 | |
| JP3258078B2 (ja) | 水晶振動子 | |
| JPS62183208A (ja) | オ−バト−ン用水晶振動子 | |
| JPH10217084A (ja) | 球状ポット | |
| JPS586618A (ja) | 弾性表面波共振子 |