JPH07171515A - 洗浄装置 - Google Patents
洗浄装置Info
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- JPH07171515A JPH07171515A JP31855093A JP31855093A JPH07171515A JP H07171515 A JPH07171515 A JP H07171515A JP 31855093 A JP31855093 A JP 31855093A JP 31855093 A JP31855093 A JP 31855093A JP H07171515 A JPH07171515 A JP H07171515A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- brush
- cleaning
- washing
- color filter
- rotary brush
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005406 washing Methods 0.000 title abstract 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 80
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 241000904500 Oxyspora paniculata Species 0.000 abstract description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Brushes (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 回転ブラシ内部に侵入したごみや異物の除去
率を高めた洗浄装置を提供する。 【構成】 カラーフィルタを洗浄する前の回転ブラシ12
の洗浄時に、ブラシ洗浄治具15をカラーフィルタと同様
に洗浄位置に挿入する。各回転ブラシ12を回転駆動し、
各ノズル13からは洗浄水を供給する。ブラシ洗浄治具15
を、洗浄位置で静止状態またはカラーフィルタと同様の
移送状態で各回転ブラシ12と接触させる。回転ブラシ12
の毛先は、メッシュ状または穴状に形成されたブラシ洗
浄治具15の表面の凹凸部16と接触する。回転ブラシ12に
加わる衝撃は、従来に比べて大きく、複雑な振動となる
ので、回転ブラシ12の隣接した毛先が良くほぐれ、侵入
した異物を洗浄液とともに洗い流す。
率を高めた洗浄装置を提供する。 【構成】 カラーフィルタを洗浄する前の回転ブラシ12
の洗浄時に、ブラシ洗浄治具15をカラーフィルタと同様
に洗浄位置に挿入する。各回転ブラシ12を回転駆動し、
各ノズル13からは洗浄水を供給する。ブラシ洗浄治具15
を、洗浄位置で静止状態またはカラーフィルタと同様の
移送状態で各回転ブラシ12と接触させる。回転ブラシ12
の毛先は、メッシュ状または穴状に形成されたブラシ洗
浄治具15の表面の凹凸部16と接触する。回転ブラシ12に
加わる衝撃は、従来に比べて大きく、複雑な振動となる
ので、回転ブラシ12の隣接した毛先が良くほぐれ、侵入
した異物を洗浄液とともに洗い流す。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、洗浄対象物の被洗浄面
に洗浄液を供給し、接触する回転ブラシで洗浄する洗浄
装置に関する。
に洗浄液を供給し、接触する回転ブラシで洗浄する洗浄
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、大判のガラス基板、たとえばカ
ラー液晶表示装置などに用いられる有機被膜を施したカ
ラーフィルタの洗浄には、被洗浄面に洗浄液を供給する
とともに、回転ブラシを接触させて洗浄を行なう、いわ
ゆる枚葉式ブラシ洗浄装置が多く利用されている。この
ような洗浄装置による洗浄レベルには、近年、ますます
高品位が求められている。
ラー液晶表示装置などに用いられる有機被膜を施したカ
ラーフィルタの洗浄には、被洗浄面に洗浄液を供給する
とともに、回転ブラシを接触させて洗浄を行なう、いわ
ゆる枚葉式ブラシ洗浄装置が多く利用されている。この
ような洗浄装置による洗浄レベルには、近年、ますます
高品位が求められている。
【０００３】そして、この枚葉式ブラシ洗浄装置による
洗浄を図２を参照して説明する。
洗浄を図２を参照して説明する。
【０００４】図２において、11は洗浄対象物であるカラ
ーフィルタで、このカラーフィルタ11は図示しない移送
機構により水平方向に移送される。そして、このカラー
フィルタ11の移送軌跡の上下には、回転ブラシ12がそれ
ぞれカラーフィルタ11の被洗浄面と接触するように複数
配置されている。また、これら回転ブラシ12の近くに
は、それぞれ純水などの洗浄液を供給するノズル13が配
置されている。
ーフィルタで、このカラーフィルタ11は図示しない移送
機構により水平方向に移送される。そして、このカラー
フィルタ11の移送軌跡の上下には、回転ブラシ12がそれ
ぞれカラーフィルタ11の被洗浄面と接触するように複数
配置されている。また、これら回転ブラシ12の近くに
は、それぞれ純水などの洗浄液を供給するノズル13が配
置されている。
【０００５】そして、このような洗浄装置では、カラー
フィルタ11を何回か洗浄使用すると、回転ブラシ12のブ
ラシ内部にごみや異物が侵入するので、高品位の洗浄レ
ベルを維持するには、このごみや異物を除去するブラシ
クリーニングを行なわなければならない。
フィルタ11を何回か洗浄使用すると、回転ブラシ12のブ
ラシ内部にごみや異物が侵入するので、高品位の洗浄レ
ベルを維持するには、このごみや異物を除去するブラシ
クリーニングを行なわなければならない。
【０００６】従来、このブラシクリーニングは、図２で
示したカラーフィルタ11が移送される上部の回転ブラシ
12と下部の回転ブラシ12との間に、カラーフィルタ11と
ほぼ同形状の素硝子などによるブラシ洗浄治具を、カラ
ーフィルタ11の代りに挿入した状態で行なう。すなわ
ち、この挿入されたブラシ洗浄治具を静止させた状態、
あるいは、カラーフィルタ11と同様の移送状態にて、ノ
ズル13から洗浄液を供給しながら、上下の回転ブラシ12
を回転させ、これら回転ブラシ12の先端部をブラシ洗浄
治具の表面に接触させて衝撃を加えることにより、回転
ブラシ12をクリーニングしている。
示したカラーフィルタ11が移送される上部の回転ブラシ
12と下部の回転ブラシ12との間に、カラーフィルタ11と
ほぼ同形状の素硝子などによるブラシ洗浄治具を、カラ
ーフィルタ11の代りに挿入した状態で行なう。すなわ
ち、この挿入されたブラシ洗浄治具を静止させた状態、
あるいは、カラーフィルタ11と同様の移送状態にて、ノ
ズル13から洗浄液を供給しながら、上下の回転ブラシ12
を回転させ、これら回転ブラシ12の先端部をブラシ洗浄
治具の表面に接触させて衝撃を加えることにより、回転
ブラシ12をクリーニングしている。
【０００７】しかし、このような従来のブラシクリーニ
ング方法では、回転ブラシ12内に侵入したごみや異物を
完全に除去しきれない。その原因として、回転ブラシ12
に衝撃を与えるブラシ洗浄治具、すなわち、前述した素
硝子の表面状態が平面であることが考えられる。すなわ
ち、素硝子の表面が平面であるため、この素硝子の表面
に接触する回転ブラシ12の先端部に対する衝撃も比較的
弱く、しかも素直なものであり、前述のように、回転ブ
ラシ12内に侵入したごみや異物を完全に除去することが
困難である。
ング方法では、回転ブラシ12内に侵入したごみや異物を
完全に除去しきれない。その原因として、回転ブラシ12
に衝撃を与えるブラシ洗浄治具、すなわち、前述した素
硝子の表面状態が平面であることが考えられる。すなわ
ち、素硝子の表面が平面であるため、この素硝子の表面
に接触する回転ブラシ12の先端部に対する衝撃も比較的
弱く、しかも素直なものであり、前述のように、回転ブ
ラシ12内に侵入したごみや異物を完全に除去することが
困難である。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】このように従来のブラ
シクリーニング方法は、回転ブラシの先端と接触するブ
ラシ洗浄治具の表面状態が平面であるため、回転ブラシ
内部に侵入したごみや異物を完全に除去できない問題を
有している。
シクリーニング方法は、回転ブラシの先端と接触するブ
ラシ洗浄治具の表面状態が平面であるため、回転ブラシ
内部に侵入したごみや異物を完全に除去できない問題を
有している。
【０００９】本発明の目的は、回転ブラシ内部に侵入し
たごみや異物の除去率を高めたを洗浄装置を提供するこ
とにある。
たごみや異物の除去率を高めたを洗浄装置を提供するこ
とにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の洗浄装置は、洗
浄対象物の被洗浄面に洗浄液を供給し、この被洗浄面に
接触する回転ブラシにより洗浄する洗浄装置において、
前記洗浄対象物と同等の条件で前記回転ブラシと接触可
能で、この回転ブラシとの接触面に多数の凹凸部を規則
的に形成したブラシ洗浄治具を有するものである。
浄対象物の被洗浄面に洗浄液を供給し、この被洗浄面に
接触する回転ブラシにより洗浄する洗浄装置において、
前記洗浄対象物と同等の条件で前記回転ブラシと接触可
能で、この回転ブラシとの接触面に多数の凹凸部を規則
的に形成したブラシ洗浄治具を有するものである。
【００１１】
【作用】本発明は、洗浄対象物と同等の条件で回転ブラ
シと接触するブラシ洗浄治具の表面形状に多数の凹凸部
を規則的に形成したものとしたので、この凹凸部と接触
する回転ブラシに対して強くしかも複雑な衝撃を与える
ことができ、回転ブラシ内に侵入したごみや数十ミクロ
ン程度の異物の除去が可能となり、傷の発生を有効に防
止した高品位の洗浄レベルを維持することができる。
シと接触するブラシ洗浄治具の表面形状に多数の凹凸部
を規則的に形成したものとしたので、この凹凸部と接触
する回転ブラシに対して強くしかも複雑な衝撃を与える
ことができ、回転ブラシ内に侵入したごみや数十ミクロ
ン程度の異物の除去が可能となり、傷の発生を有効に防
止した高品位の洗浄レベルを維持することができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の洗浄装置の一実施例を図１を
参照して説明する。
参照して説明する。
【００１３】この洗浄装置も、図２で示す洗浄対象物で
あるカラーフィルタ11の移送軌跡の上下に、複数の回転
ブラシ12を配置しており、これら回転ブラシ12の先端が
カラーフィルタ11の被洗浄面と接触するように構成して
いる。また、これら回転ブラシ12の近くには、それぞれ
純水などの洗浄液を供給するノズル13が配置されてい
る。
あるカラーフィルタ11の移送軌跡の上下に、複数の回転
ブラシ12を配置しており、これら回転ブラシ12の先端が
カラーフィルタ11の被洗浄面と接触するように構成して
いる。また、これら回転ブラシ12の近くには、それぞれ
純水などの洗浄液を供給するノズル13が配置されてい
る。
【００１４】また、図１において、15はブラシ洗浄治具
で、このブラシ洗浄治具15は表面が、カラーフィルタ11
の被洗浄面と同等の条件で回転ブラシ12と接触するよう
に形成されている。すなわち、ブラシ洗浄治具15の板厚
ｔはカラーフィルタ11と同じ寸法に設定し、また、長さ
は上下に配置された２つの回転ブラシ12，12間のスパン
Ｐ以上の寸法に設定する。
で、このブラシ洗浄治具15は表面が、カラーフィルタ11
の被洗浄面と同等の条件で回転ブラシ12と接触するよう
に形成されている。すなわち、ブラシ洗浄治具15の板厚
ｔはカラーフィルタ11と同じ寸法に設定し、また、長さ
は上下に配置された２つの回転ブラシ12，12間のスパン
Ｐ以上の寸法に設定する。
【００１５】そして、このブラシ洗浄治具15の表面、す
なわち回転ブラシ12との接触面には、図３または図４で
示すように、多数の凹凸部16が規則的に形成されてい
る。すなわち、凹凸部16は、図３に示すような碁盤の目
のような等間隔に、または、図４で示すような千鳥状
に、それぞれ形成されたメッシュ状または穴状のもので
ある。
なわち回転ブラシ12との接触面には、図３または図４で
示すように、多数の凹凸部16が規則的に形成されてい
る。すなわち、凹凸部16は、図３に示すような碁盤の目
のような等間隔に、または、図４で示すような千鳥状
に、それぞれ形成されたメッシュ状または穴状のもので
ある。
【００１６】次に、上記実施例の動作について説明す
る。
る。
【００１７】まず、ブラシ洗浄治具15は、図２で示した
カラーフィルタ11を洗浄する前の回転ブラシ12の洗浄時
に、図示のようにカラーフィルタ11と同様の洗浄位置に
挿入される。このとき、各回転ブラシ12は回転駆動され
ており、また、各ノズル13からは洗浄水が供給されてい
る。そして、ブラシ洗浄治具15は、上述した洗浄位置に
おいて、静止状態またはカラーフィルタ11と同様の移送
状態で各回転ブラシ12と接触する。
カラーフィルタ11を洗浄する前の回転ブラシ12の洗浄時
に、図示のようにカラーフィルタ11と同様の洗浄位置に
挿入される。このとき、各回転ブラシ12は回転駆動され
ており、また、各ノズル13からは洗浄水が供給されてい
る。そして、ブラシ洗浄治具15は、上述した洗浄位置に
おいて、静止状態またはカラーフィルタ11と同様の移送
状態で各回転ブラシ12と接触する。
【００１８】この場合、回転ブラシ12の毛先は、前述の
ようにメッシュ状または穴状に形成されたブラシ洗浄治
具15の凹凸部16と接触することになる。このとき、回転
ブラシ12に加わる衝撃は、従来の素硝子等のような表面
が平面の場合に比べて大きく、しかも複雑な振動となる
ので、回転ブラシ12の隣接した毛先が良くほぐれ、これ
ら毛先の間に侵入した異物が洗浄液とともに洗い流され
る。なお、このときノズル13から供給される洗浄液の量
は、回転ブラシ12の寿命を保つため、１０Nl/min以上で
あることが望ましい。
ようにメッシュ状または穴状に形成されたブラシ洗浄治
具15の凹凸部16と接触することになる。このとき、回転
ブラシ12に加わる衝撃は、従来の素硝子等のような表面
が平面の場合に比べて大きく、しかも複雑な振動となる
ので、回転ブラシ12の隣接した毛先が良くほぐれ、これ
ら毛先の間に侵入した異物が洗浄液とともに洗い流され
る。なお、このときノズル13から供給される洗浄液の量
は、回転ブラシ12の寿命を保つため、１０Nl/min以上で
あることが望ましい。
【００１９】ここで、図２で示したカラーフィルタ11が
大判のガラス基板の場合で、特に有機被膜を施したカラ
ーフィルタである場合は、洗浄には線径７０μｍ〜１５
０μｍの線材を束ねた回転ブラシ12が使用される。この
とき、回転ブラシ12のクリーニングを行なわず、回転ブ
ラシ12内にカラーフィルタ11の表面の硬度より硬い数十
μｍ程度の異物が介在していると、洗浄後の１０Ｗの蛍
光灯反射光検査で傷の発生が認められた。
大判のガラス基板の場合で、特に有機被膜を施したカラ
ーフィルタである場合は、洗浄には線径７０μｍ〜１５
０μｍの線材を束ねた回転ブラシ12が使用される。この
とき、回転ブラシ12のクリーニングを行なわず、回転ブ
ラシ12内にカラーフィルタ11の表面の硬度より硬い数十
μｍ程度の異物が介在していると、洗浄後の１０Ｗの蛍
光灯反射光検査で傷の発生が認められた。
【００２０】これに対し、カラーフィルタ11の洗浄前
に、回転ブラシ12に対するブラシ洗浄治具15を挿入し、
ブラシ洗浄治具15の表面に形成した凹凸部16により、回
転ブラシ12の毛先に対して強く、複雑な衝撃を与える
と、回転ブラシ12内に侵入していたごみや異物を洗浄液
とともに洗い流し、除去することができる。このため、
その後の洗浄時におけるカラーフィルタ11が有機被膜を
施したカラーフィルタであっても、その表面に洗浄によ
る傷が発生することはなく、清浄な洗浄状態を維持する
ことができる。
に、回転ブラシ12に対するブラシ洗浄治具15を挿入し、
ブラシ洗浄治具15の表面に形成した凹凸部16により、回
転ブラシ12の毛先に対して強く、複雑な衝撃を与える
と、回転ブラシ12内に侵入していたごみや異物を洗浄液
とともに洗い流し、除去することができる。このため、
その後の洗浄時におけるカラーフィルタ11が有機被膜を
施したカラーフィルタであっても、その表面に洗浄によ
る傷が発生することはなく、清浄な洗浄状態を維持する
ことができる。
【００２１】
【発明の効果】本発明の洗浄装置によれば、多数の凹凸
部を表面に形成したブラシ洗浄治具を、洗浄対象物に対
する洗浄前に、この洗浄対象物と同等の条件で回転ブラ
シと接触するように挿入し、このブラシ洗浄治具の凹凸
部を回転ブラシの毛先に当てるようにしたので、回転ブ
ラシ内に介在しているごみや数十ミクロン程度の異物も
除去可能となり、洗浄対象物に洗浄による傷の発生を有
効に防止し、高品位の洗浄レベルを維持することができ
る。
部を表面に形成したブラシ洗浄治具を、洗浄対象物に対
する洗浄前に、この洗浄対象物と同等の条件で回転ブラ
シと接触するように挿入し、このブラシ洗浄治具の凹凸
部を回転ブラシの毛先に当てるようにしたので、回転ブ
ラシ内に介在しているごみや数十ミクロン程度の異物も
除去可能となり、洗浄対象物に洗浄による傷の発生を有
効に防止し、高品位の洗浄レベルを維持することができ
る。
【図１】本発明の洗浄装置の一実施例のブラシの洗浄状
態について示す正面図である。
態について示す正面図である。
【図２】一般的な洗浄装置のカラーフィルタの洗浄状態
を示す正面図である。
を示す正面図である。
【図３】図１で示したブラシ洗浄治具の表面の凹凸部形
状の一例を示す平面図である。
状の一例を示す平面図である。
【図４】図１で示したブラシ洗浄治具の表面の凹凸部形
状の他の例を示す平面図である。
状の他の例を示す平面図である。
11 洗浄対象物としてのカラーフィルタ 12 回転ブラシ 15 ブラシ洗浄治具 16 凹凸部
Claims (1)
- 【請求項１】 洗浄対象物の被洗浄面に洗浄液を供給
し、この被洗浄面に接触する回転ブラシにより洗浄する
洗浄装置において、 前記洗浄対象物と同等の条件で前記回転ブラシと接触可
能で、この回転ブラシとの接触面に多数の凹凸部を規則
的に形成したブラシ洗浄治具を有することを特徴とした
洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31855093A JPH07171515A (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31855093A JPH07171515A (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07171515A true JPH07171515A (ja) | 1995-07-11 |
Family
ID=18100387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31855093A Pending JPH07171515A (ja) | 1993-12-17 | 1993-12-17 | 洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07171515A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005345502A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Asahi Kasei Chemicals Corp | 印刷版製造装置 |
| KR101338812B1 (ko) * | 2012-08-17 | 2013-12-06 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 세정 방법 및 이에 사용되는 기판 세정 장치 |
| KR200483042Y1 (ko) * | 2016-01-22 | 2017-04-10 | 주식회사 리젬 | 화장용 브러시 세척키트 |
| JP6473491B1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-02-20 | 株式会社ジェッター | メダル類の研磨装置 |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP31855093A patent/JPH07171515A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005345502A (ja) * | 2004-05-31 | 2005-12-15 | Asahi Kasei Chemicals Corp | 印刷版製造装置 |
| JP4485258B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2010-06-16 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 印刷版製造装置、及び印刷版の製造方法 |
| KR101338812B1 (ko) * | 2012-08-17 | 2013-12-06 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 세정 방법 및 이에 사용되는 기판 세정 장치 |
| KR200483042Y1 (ko) * | 2016-01-22 | 2017-04-10 | 주식회사 리젬 | 화장용 브러시 세척키트 |
| JP6473491B1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-02-20 | 株式会社ジェッター | メダル類の研磨装置 |
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