JPH09236933A - 欠陥修正装置 - Google Patents
欠陥修正装置Info
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- JPH09236933A JPH09236933A JP4344196A JP4344196A JPH09236933A JP H09236933 A JPH09236933 A JP H09236933A JP 4344196 A JP4344196 A JP 4344196A JP 4344196 A JP4344196 A JP 4344196A JP H09236933 A JPH09236933 A JP H09236933A
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Abstract
除去できる欠陥修正装置を提供する。 【解決手段】 切欠部12を有する回転テーブル10上
にインクタンク13〜16、攪拌方式の簡易洗浄装置1
7およびエアーパージ装置18を順次配置する。アクチ
ュエータ2およびインデックス用モータ21によって、
針1にインク75を付着させ、カラーフィルタ70の欠
陥部73に針1を接触させてインク75を塗布する。欠
陥修正後、針1を洗浄装置17で洗浄し、エアーパージ
装置18で針1の付着物を除去する。洗浄液30が汚れ
てきても、洗浄液30が乾燥して針1に汚れが残ること
がない。
Description
し、特に、基板上に形成されたパターンの欠陥部を修正
するための欠陥修正装置に関する。
と称す)のカラー化がめざましく、LCDのカラー化に
欠かせない部材としてのカラーフィルタの需要も急速に
高まってきている。しかし、生産工程においてカラーフ
ィルタに種々の欠陥が発生するため、カラーフィルタの
歩留りは70〜80%程度になっている。欠陥が発生し
たカラーフィルタをすべて廃棄したのではコスト高にな
るので、カラーフィルタの欠陥部を修正して使用可能な
状態にする必要がある。
す一部破断した平面図である。図7を参照して、カラー
フィルタ70は透明基板71を含む。透明基板71上に
は、RGBの色付き部分72が一定の周期で形成される
とともに、黒色の部分72′がマトリックス状に形成さ
れている。色付き部分72あるいは黒色のマトリックス
部72′の形成時に透明基板71に異物が付着していた
場合、異物が付着していた部分が色抜け部(欠陥部)7
3,73′となる。
方法を示す図である。まず、図8(a)に示すように、
針74の先端部に修正用のインク75を付着させる。次
いで、図8(b)に示すように、その針74の先端を欠
陥部73に接触させてインク75を欠陥部73に付着さ
せる。次いで、図8(c)に示すように、針74を欠陥
部73から離間させ、インク75を乾燥させて欠陥部7
3の修正を終了する。これと同様に黒色のマトリックス
部72′の欠陥部73′も修正する。
す図である。欠陥部73,73′がその周囲と同じ色の
インク75,75′で覆われている。修正されたカラー
フィルタ70は良品として扱われる。
うに欠陥部73,73′が色付き部分72と黒色のマト
リックス部分72′に分布している場合や、複数の欠陥
部73が互いに異なる色の複数の色付き部分72に分布
している場合、修正の途中で針74を洗浄してインク7
5と異なる色のインクを針74に付着させる必要があ
る。針74の洗浄方法として、従来は、洗浄液に超音波
エネルギを与えて洗浄する超音波洗浄方式が採用されて
いた。
洗浄液が汚れてきた場合に、汚れを含む洗浄液が針74
に付着して乾燥し、針74に汚れが残るという問題があ
った。
なる上、保守が複雑になるという問題があった。
正液塗布用の針の付着物を十分に除去でき、低価格で、
保守が簡単な欠陥修正装置を提供することである。
基板上に形成されたパターンの欠陥部を修正するための
欠陥修正装置であって、欠陥部を修正するための修正液
を貯える修正液容器、先端に設けられている針に修正液
容器内の修正液を付着させて基板上の欠陥部に塗布する
針駆動手段、および針駆動手段の針に空気を吹きつけて
針の付着物を除去する空気噴出手段を備えて構成され
る。
手段の針を洗浄液で洗浄する洗浄手段を備え、空気噴出
手段は洗浄手段によって洗浄された針に空気を吹きつけ
る。
手段は、洗浄液を貯える洗浄液容器、および洗浄液容器
内の洗浄液を攪拌する攪拌手段を含み、針駆動手段は洗
浄液容器内の洗浄液に針を浸して洗浄させる。
3のいずれかの針駆動手段は、針の上端部が固定される
可動部材、および針の先端を基板に押しつけたときの接
触圧が一定に保たれるように、可動部材を上下動自在に
支持する支持部材を含む。
部材は、弾性部材を介して可動部材を上下動自在に支持
する。
部材は、玉軸受を介して可動部材を上下動自在に支持す
る。
る欠陥修正装置のインク塗布機構の構成を示す一部省略
した斜視図である。
インク塗布用の針1と、針1を垂直方向に駆動させるた
めの位置決め用アクチュエータ2とを備える。針1は、
保持部材4を介してアクチュエータ2の駆動軸3の先端
部に設けられる。図2に示すように、保持部材4の下端
面には垂直の穴5が形成されていて、この穴5に衝撃吸
収用のスプリング6とともに針1の上端部が挿入されて
いる。
られた回転テーブル10と、回転テーブル10上に円周
方向に順次配置された複数のインクタンク13〜16、
洗浄装置17およびエアーパージ装置18とを備える。
立設されている。また、回転テーブル10には、インク
塗布時に針1を通過させるための切欠部12が形成され
ている。
GBおよび黒の各色のインクやインクの固着を防ぐため
の溶剤が適宜注入されている。
液30を貯える洗浄タンク31と、洗浄タンク31内の
洗浄液30を攪拌して洗浄効果を高めるための回転ペラ
32と、回転ペラ32を駆動させるためのモータ33と
を含む。洗浄タンク31の上面には小孔34が開口され
ている。針1は、この小孔34を介して洗浄液30に浸
され洗浄される。
に、耐圧ケース40を含む。ケース40には、針1を挿
入するための小孔41と、針1にエアーを噴射するため
の複数のエアー噴射口42と、外部から噴射用のエアー
を供給するためのエアー供給口43と、噴射されたエア
ーを外部に排気するための排気口44と、噴射されたエ
アーから洗浄液30のミストなどを除去するためのフィ
ルタ45とが設けられている。針1は小孔41を介して
ケース40内に挿入される。エアー供給口43から供給
されたエアーは、図5に示すように、複数のエアー噴射
口42を介して四方から針1に噴射される。これによ
り、針1に付着していた洗浄液30などが吹き飛ばされ
る。噴射されたエアーは、フィルタ45によって洗浄液
30のミストなどを除去された後、排気口44を介して
外部に排出される。
ブル10の回転軸11を回転させるためのインデックス
用モータ21と、回転軸11とともに回転するインデッ
クス板22と、インデックス板22を介して回転テーブ
ル10の回転位置を検出するためのインデックス用セン
サ23と、インデックス板22を介して回転テーブル1
0の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原
点復帰用センサ24とを備える。モータ21は、センサ
23,24の出力に基づいて制御され、回転テーブル1
0を回転させて切欠部12、インクタンク13〜16、
洗浄装置17およびエアーパージ装置18のうちのいず
れかを針1の下方に位置させる。
インデックス用モータ21は図示しないZ軸テーブルに
固定され、欠陥修正の対象となるカラーフィルタ70は
針1の下方の図示しないXYテーブル上に載置される。
明する。まず、図示しないXYテーブルおよびZ軸テー
ブルを駆動させて、針1をカラーフィルタ70の欠陥部
73の上方の所定の位置に位置させる。次いで、回転テ
ーブル10を回転させて、欠陥部73に塗布すべきイン
ク75が貯えられたインクタンク11〜14を針1の下
方に位置させ、アクチュエータ2によって針1を上下さ
せ針1の先端部にインク75を付着させる。
部12を針1の下方に位置させ、アクチュエータ2によ
って針1を下降させて針1の先端をカラーフィルタ70
の欠陥部73に接触させ、インク75を欠陥部73に塗
布する(図8参照)。このとき針1の先端とカラーフィ
ルタ70の間に生じる衝撃力は図2のスプリング6によ
って吸収され、針1およびカラーフィルタ70の破損が
防止される。
って針1を元の位置に上昇させ、回転テーブル10を回
転させて洗浄装置17を針1の下方に位置させる。次い
で、アクチュエータ2によって針1を下降させ、針1の
先端部を図3で示した小孔34を介して洗浄液30中に
没入させる。針1は、回転ペラ32で攪拌された洗浄液
30で洗浄される。
1を元の位置に上昇させ、回転テーブル10を回転させ
てエアーパージ装置18を針1の下方に位置させる。次
いで、アクチュエータ2によって針1を下降させ、針1
の先端部を図4で示した小孔41に挿入する。針1の先
端部にエアー噴射口42からエアーが噴射され、針1に
付着した洗浄液30などが除去される。
よって針を元の位置に上昇させ、欠陥の修正を終了す
る。
液30を除去するためのエアーパージ装置18を設けた
ので、たとえ洗浄液30が汚れてきた場合でも洗浄液3
0が乾燥して針1に汚れが残ることがない。
に、洗浄液30を回転ペラ32で攪拌する方式の簡易な
洗浄装置17を用いたので、装置コストの低減化および
保守の簡単化を図ることができる。
ンク75を用いてカラーフィルタ70を修正する装置に
適用された場合について説明したが、塗布する材料はイ
ンク75のみならず、感光性レジストや熱硬化型のペー
ストでもよい。また、欠陥修正の対象もカラーフィルタ
70だけでなく、プリント基板をはじめ、パターンが描
画されている基板なら何でもよい。
で示したように、針1にスプリング6を取付け、このス
プリング6により針1とカラーフィルタ70の接触時の
衝撃力を軽減していた。しかし、この方法では、針1の
降下量が変化してしまうと、針1に取付けられたスプリ
ング6の収縮量が変化し、針1とカラーフィルタ70の
間に働く接触力が変化してしまう。これによりインク7
5の塗布状態が変化してしまうおそれがある。この実施
の形態では、この問題が解決される。
陥修正装置の要部の構成を示す斜視図である。図6を参
照して、この欠陥修正装置が図1の欠陥修正装置と異な
る点は、針1がスライダ50を介してアクチュエータ2
の駆動軸3に取付けられている点である。
軸3に固定される一方案内部材51と、針1が固定され
る他方案内部材52とを含む。一方案内部材51は、複
数のボール53を介して他方案内部材52を上下動自在
に支持するとともに、図示しないストッパにより他方案
内部材52の落下を防止している。
は、針1の先端が所定の食い込み量だけカラーフィルタ
70の表面位置を通過するように設定される。アクチュ
エータ2によってスライダ50および針1が降下される
と、針1の先端がカラーフィルタ70の表面に接触した
時点で針1および他方案内部材52が停止し、一方案内
部材51のみが上記食い込み量だけ行き過ぎて停止す
る。
多少ばらついても、針1の先端には常に針1および他方
案内部材52の重量がかかるため、針1とカラーフィル
タ70の接触圧は一定に保たれ、インク75の塗布状態
は一定に保たれる。
ので、スプリング6のような弾性部材を介して針1を支
持した場合に比べ、ダンピングなどの影響を受けること
なく針1を安定に支持できる。したがって、針1の先端
が安定し、インク75の塗布状態も安定する。
液塗布用の針に空気を吹きつけて付着物を除去するの
で、針の付着物を容易かつ十分に除去できる。
気を吹きつければ、針に汚れた洗浄液が残ることもな
く、針の付着物を一層確実に除去できる。
れば、超音波洗浄方式を採用していた従来に比べ、装置
の低価格化および保守の簡単化を図ることができる。
と、この可動部材を上下動自在に支持する支持部材とを
針駆動手段に設ければ、針の降下量が多少ばらついて
も、針の先端と基板の接触圧を一定に保つことができ、
修正液の塗布状態を一定に保つことができる。
材を支持することとすれば、針駆動手段を容易に構成で
きる。
を支持することとすれば、針を安定に支持することがで
きる。
インク塗布機構の構成を示す一部省略した斜視図であ
る。
る。
ある。
部破断した正面図である。
要部の構成を示す斜視図である。
した平面図である。
法を説明するための図である。
を示す一部破断した平面図である。
Claims (6)
- 【請求項1】 基板上に形成されたパターンの欠陥部を
修正するための欠陥修正装置であって、 前記欠陥部を修正するための修正液を貯える修正液容
器、 先端に設けられている針に前記修正液容器内の修正液を
付着させて前記基板上の欠陥部に塗布する針駆動手段、
および前記針駆動手段の針に空気を吹きつけて該針の付
着物を除去する空気噴出手段を備える、欠陥修正装置。 - 【請求項2】 さらに、前記針駆動手段の針を洗浄液で
洗浄する洗浄手段を備え、 前記空気噴出手段は前記洗浄手段によって洗浄された針
に空気を吹きつける、請求項1に記載の欠陥修正装置。 - 【請求項3】 前記洗浄手段は、 前記洗浄液を貯える洗浄液容器、および前記洗浄液容器
内の洗浄液を攪拌する攪拌手段を含み、 前記針駆動手段は前記洗浄液容器内の洗浄液に前記針を
浸して洗浄させる、請求項2に記載の欠陥修正装置。 - 【請求項4】 前記針駆動手段は、 前記針の上端部が固定される可動部材、および前記針の
先端を前記基板に押しつけたときの接触圧が一定に保た
れるように、前記可動部材を上下動自在に支持する支持
部材を含む、請求項1ないし3のいずれかに記載の欠陥
修正装置。 - 【請求項5】 前記支持部材は、弾性部材を介して前記
可動部材を上下動自在に支持する、請求項4に記載の欠
陥修正装置。 - 【請求項6】 前記支持部材は、玉軸受を介して前記可
動部材を上下動自在に支持する、請求項4に記載の欠陥
修正装置。
Priority Applications (3)
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---|---|---|---|
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TW085114535A TW333631B (en) | 1996-02-29 | 1996-11-25 | Modification method and apparatus of defects |
KR1019960064061A KR100399673B1 (ko) | 1996-02-29 | 1996-12-11 | 결함수정방법및그장치 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
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JPH09236933A true JPH09236933A (ja) | 1997-09-09 |
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ID=12663797
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JP4344196A Expired - Lifetime JP2997642B2 (ja) | 1996-02-29 | 1996-02-29 | 欠陥修正装置 |
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JP (1) | JP2997642B2 (ja) |
Cited By (10)
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- 1996-02-29 JP JP4344196A patent/JP2997642B2/ja not_active Expired - Lifetime
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CN106526912B (zh) * | 2016-11-23 | 2019-06-11 | 南京华东电子信息科技股份有限公司 | 面板修复ink装置 |
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JP2997642B2 (ja) | 2000-01-11 |
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