KR20110063145A - 헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치 - Google Patents

헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치 Download PDF

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KR20110063145A
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Abstract

본 발명은 헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치를 개시한 것으로서, 블레이드를 이용하여 잉크젯 헤드의 노즐면을 세정하면서, 이와 동시에 블레이드를 세정하는 것을 특징으로 가진다.
이러한 특징에 의하면, 블레이드에 잔류하는 처리액에 의한 잉크젯 헤드의 역 오염과, 블레이드의 블레이딩 기능 저하를 방지할 수 있다.
잉크젯, 헤드, 세정, 블레이드

Description

헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치{HEAD CLEANING UNIT AND APPARATUS OF DISPECSING TREATING FLUID WITH THE SAME}
본 발명은 헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 잉크젯 방식으로 처리액을 토출하는 헤드를 세정하는 유닛과 이를 구비한 처리액 토출 장치에 관한 것이다.
최근에, 휴대 전화기, 휴대형 컴퓨터 등의 전자 기기의 표시부에 액정 장치, 전계 발광 장치 등으로 불리는 전기 광학 장치인 표시 장치가 널리 이용되고 있으며, 표시 장치에 의해서 풀 컬러를 표시하는 일이 많아지고 있다.
액정 장치에 의한 풀 컬러 표시는, 예를 들어, 액정 층에 의해서 변조되는 광을 컬러 필터에 통과시킴으로써 표시된다. 그리고 컬러 필터는, 예를 들어, 유리 등에 의해 형성된 기판의 표면에 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 도트상의 각색의 필터 요소를 소위 스트라이프 배열, 델타 배열 또는 모자이크 배열 등이라 불리는 소정의 배열로 나란히 함에 의해서 형성된다.
종래, 컬러 필터의 R, G, B 등의 각색의 필터 요소를 패터닝하는 경우, 포토리소그래피법을 사용함이 알려져 있다. 그러나, 포토리소그래피법을 사용하는 경우 에는 공정이 복잡하거나, 각색의 재료 혹은 포토레지스트 등을 다량으로 소비하므로, 코스트가 높게 되는 등의 문제가 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위해, 액적을 토출하는 잉크젯 방식에 의해서 필터 요소의 재료(잉크)를 도트상으로 토출함으로써, 도트상 배열의 필터 요소를 형성하는 방법이 제안되어 있다.
본 발명은 헤드를 세정하면서, 이와 함께 헤드를 세정하는 블레이드를 세정할 수 있는 헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 실시 예에 따른 헤드 세정 유닛은, 잉크젯 헤드의 노즐면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서, 상기 노즐면의 처리액을 비접촉 방식으로 제거하는 블레이딩 부재; 및 상기 블레이딩 부재에 의해 제거된 상기 처리액을 수용하는 배스를 포함하되, 상기 블레이딩 부재는, 상기 노즐면의 길이 방향으로 배치되는 회전 축; 및 상기 회전 축의 원주상에 배치되는 날개 형상의 블레이드를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 배스 내에는, 상기 회전 축의 회전에 의 해 상기 블레이드의 단부가 잠기도록 세정 유체가 제공될 수 있으며, 상기 세정 유체는 솔벤트(Solvent)를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 블레이드는 상기 노즐면의 장변에 상응하는 길이를 가지고, 상기 회전 축의 원주면으로부터 반경 방향으로 수직하게 연장될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 블레이드는, 상기 블레이드의 길이 방향을 기준으로 상기 회전 축이 회전 되는 쪽으로 경사지게 형성된 단부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 회전 축의 원주상에 복수 개의 상기 블레이드가 제공될 수 있으며, 상기 복수 개의 블레이드는 상기 회전 축의 원주상에 원주 방향을 따라 등간격으로 배치될 수 있다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명의 실시 예에 따른 처리액 토출 장치는, 기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛; 상기 기판 지지 유닛의 이동 경로 상부에 이동 가능하게 제공되며, 상기 기판상에 처리액을 토출하는 복수 개의 잉크젯 헤드들; 및 상기 기판 지지 유닛의 일 측에 제공되며, 상기 잉크젯 헤드들의 노즐면을 세정하는 헤드 세정 유닛을 포함하되, 상기 헤드 세정 유닛은, 상기 노즐면의 길이 방향으로 배치되는 회전 축; 상기 회전 축의 원주상에 배치되며, 상기 노즐면의 처리액을 비접촉 방식으로 제거하는 날개 형상의 블레이드; 및 상기 블레이드에 의해 제거된 상기 처리액을 수용하는 배스를 포함한다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 배스 내에는, 상기 회전축의 회전에 의해 상기 블레이드의 단부가 잠기도록 세정 유체가 제공될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 블레이드는 상기 노즐면의 장변에 상응하는 길이를 가지고, 상기 회전 축의 원주면으로부터 반경 방향으로 수직하게 연장될 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 블레이드는, 상기 블레이드의 길이 방향을 기준으로 상기 회전 축의 회전 방향 쪽으로 경사지게 형성된 단부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시 예에 따르면, 상기 블레이드는 상기 회전 축의 원주상에 원주 방향을 따라 등간격으로 복수 개 제공될 수 있다.
본 발명에 의하면, 헤드를 세정하면서, 이와 함께 헤드를 세정하는 블레이드를 세정할 수 있다.
그리고 본 발명에 의하면, 블레이드에 잔류하는 처리액에 의한 헤드의 역오염을 최소화할 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 블레이드에 잔류하는 처리액에 의한 블레이드의 기능 저하를 방지할 수 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 헤드 세정 유닛과, 이를 구비한 처리액 토출 장치를 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
( 실시 예 )
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 처리액 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다. 도 1의 처리액 도포 설비(1)는 대상물에 잉크젯 방식으로 처리액을 도포한다. 예를 들어, 대상물은 액정 디스플레이 패널의 컬러 필터 기판일 수 있으며, 처리액은 용매에 안료 입자가 혼합된 적색(R), 녹색(G), 청색(B)의 잉크일 수 있다. 잉크는 컬러 필터 기판상에 격자 모양의 패턴으로 배열된 블랙매트릭스의 내부 영역에 도포될 수 있다.
도 1을 참조하면, 처리액 도포 설비(1)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 처리액 공급부(60), 그리고 제어부(70)를 포함한다. 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)는 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치되고, 서로 간에 인접하게 위치할 수 있다. 처리액 토출부(10)를 중심으로 기판 이송부(20)와 마주하는 위치에 처리액 공급부(60)와 제어부(70)가 배치되며, 처리액 공급부(60)와 제어부(70)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 기판 이송부(20)를 중심으로 처리액 토출부(10)와 마주하는 위치에 로딩부(40)와 언로딩부(50)가 배치되며, 로딩부(40)와 언로딩부(50)는 제 2 방향(Ⅱ)으로 일렬 배치될 수 있다. 그리고 베이크부(30)는 기판 이송부(20)의 일측에 인접하게 배치될 수 있다.
여기서, 제 1 방향(Ⅰ)은 처리액 토출부(10)와 기판 이송부(20)의 배열 방향이고, 제 2 방향(Ⅱ)은 수평면 상에서 제 1 방향(Ⅰ)에 수직한 방향이고, 제 3 방향(Ⅲ)은 제 1 방향(Ⅰ)과 제 2 방향(Ⅱ)에 수직한 방향이다.
처리액(잉크)이 도포될 기판은 로딩부(40)로 반입된다. 기판 이송부(40)는 로딩부(40)에 반입된 기판을 처리액 토출부(10)로 이송한다. 처리액 토출부(10)는 처리액 공급부(60)로부터 처리액을 공급받고, 잉크젯 방식으로 기판상에 처리액을 토출한다. 기판 이송부(20)는 처리액 토출부(10)로부터 베이크부(30)로 기판을 이송한다. 베이크부(30)는 기판을 가열하여 기판에 토출된 처리액(잉크)의 고형 성분을 제외한 나머지 액상 물질(용매)을 증발시킨다. 기판 이송부(20)는 베이크부(30)로부터 언로딩부(50)로 기판을 이송한다. 처리액이 도포된 기판은 언로딩부(50)로부터 반출된다. 그리고, 제어부(70)는 처리액 토출부(10), 기판 이송부(20), 베이크부(30), 로딩부(40), 언로딩부(50), 그리고 처리액 공급부(60)의 전반적인 동작을 제어한다.
도 2는 도 1의 처리액 토출부의 사시도이고, 도 3은 도 2의 처리액 토출부의 평면도이다. 도 2 및 도 3을 참조하면, 처리액 토출부(10)는 기판 지지 유닛(100), 헤드 유닛(200), 이동 유닛(300,400), 제 1 헤드 세정 유닛(500), 그리고 제 2 헤드 세정 유닛(600)을 포함한다.
기판 지지 유닛(100)은 기판이 놓이는 지지판(110)을 가진다. 지지판(110)은 사각형 형상의 판일 수 있다. 지지판(110)의 하면에는 회전 구동 모터(120)의 회전 축이 연결된다. 회전 구동 모터(120)는 지지판(110)에 놓인 기판이 기설정된 위치에 정렬되도록 지지판(110)을 회전시킨다.
지지판(110)과 회전 구동 모터(120)는 직선 구동 부재(130)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다. 직선 구동 부재(130)는 슬라이더(132)와 가이드 부재(134)를 포함한다. 회전 구동 모터(120)는 슬라이더(132)의 상면에 설치된다. 가이드 부재(134)는 베이스(B)의 상면 중앙부에 제 1 방향(Ⅰ)으로 길게 연장된다. 슬라이더(132)에는 리니어 모터(미도시)가 내장되며, 슬라이더(132)는 가이드 부재(134)를 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동한다.
헤드 유닛(200)은 기판에 처리액을 토출한다. 헤드 유닛(200)은 잉크젯 헤드들(210a, 210b)과, 잉크젯 헤드들(210a, 210b)이 결합되는 브라켓(220)을 포함한다. 잉크젯 헤드들(210a, 210b) 중 하나의 잉크젯 헤드(210a)는 브라켓(220)의 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 일 측면에 결합되고, 다른 하나의 잉크젯 헤드(210b)는 브라켓(220)의 제 1 방향(Ⅰ)을 향하는 다른 일 측면에 결합될 수 있다.
잉크젯 헤드들(210a, 210b) 각각은 적색(R) 헤드(212), 녹색(G) 헤드(214) 및 청색(B) 헤드(216)를 포함한다. 적색(R) 헤드(212)는 기판상의 적색 화소 형성 을 위해 적색 잉크를 토출하고, 녹색(G) 헤드(214)는 녹색 화소의 형성을 위해 녹색 잉크를 토출하며, 청색(B) 헤드(216)는 청색 화소의 형성을 위해 청색 잉크를 토출할 수 있다. 적색(R) 헤드(212), 녹색(G) 헤드(214) 및 청색(B) 헤드(216)는 제 2 방향(Ⅱ)을 따라 일렬로 배열될 수 있으며, 액적을 토출하는 잉크젯 방식으로 지지판(110)에 놓인 기판(S)에 처리액을 토출한다.
이동 유닛(300,400)들은 지지판(110)이 이동되는 경로의 상부에서 헤드 유닛(200)을 이동시킬 수 있다. 제 1 이동 유닛(300)은 헤드 유닛(200)을 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동시키고, 제 2 이동 유닛(400)은 헤드 유닛(200)을 제 2 방향(Ⅱ)과 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시킬 수 있다.
제 2 이동 유닛(400)은 수평 지지대(410)와 슬라이더(420)를 포함한다. 수평 지지대(410)는 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 베이스(B)의 상부에 위치한다. 수평 지지대(410)에는 가이드 레일(412)이 제공된다. 가이드 레일(412)은 길이 방향이 제 2 방향(Ⅱ)을 향하도록 길게 연장된다. 슬라이더(420)는 가이드 레일(412)을 따라 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 슬라이더(420)에는 직선 구동력을 제공하는 리니어 모터(미도시)가 내장된다. 헤드 유닛(200)의 브라켓(220)이 슬라이더(420)에 결합되고, 슬라이더(420)의 직선 이동에 의해 브라켓(220)에 설치된 잉크젯 헤드들(210a,210b)이 제 2 방향(Ⅱ)으로 직선 이동한다. 한편, 슬라이더(420)에는 헤드 유닛(200)의 브라켓(220)을 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동시키는 구동 부재(미도시)가 제공된다.
제 1 이동 유닛(300)은 가이드 레일들(310)과 슬라이더들(320)을 포함한다. 가이드 레일(310)들은 길이 방향이 제 1 방향(Ⅰ)을 향하도록 길게 연장되고, 기판 지지 유닛(100)의 가이드 부재(134)를 중심으로 베이스(B) 상면의 양측 가장자리부에 각각 배치된다. 슬라이더들(320) 각각은 각각의 가이드 레일(310)을 따라 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동되도록 가이드 레일(310)에 결합된다. 슬라이더들(320)에는 직선 구동력을 제공하는 리니어 모터(미도시)를 내장된다. 제 2 이동 유닛(400)의 수평 지지대(410)의 양단이 슬라이더들(320)에 각각 연결된다. 슬라이더들(320)이 리니어 모터(미도시)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동되면, 수평 지지대(410) 및 이에 결합된 브라켓(220)과 잉크젯 헤드들(210a,210b)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동된다.
헤드 유닛(200)은 제 1 이동 유닛(300)과 제 2 이동 유닛(400)에 의해 제 1 방향(Ⅰ), 제 2 방향(Ⅱ), 그리고 제 3 방향(Ⅲ)으로 직선 이동될 수 있고, 기판이 놓이는 지지판(110)은 슬라이더(132) 및 가이드 부재(134)에 의해 제 1 방향(Ⅰ)으로 직선 이동될 수 있다. 기판상에 처리액 토출시, 헤드 유닛(200)은 기설정된 위치에 고정되고, 기판이 놓이는 지지판(110)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다. 이와 달리, 기판이 놓이는 지지판(110)이 기설정된 위치에 고정되고, 헤드 유닛(200)이 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다.
제 1 헤드 세정 유닛(500)과, 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 노즐 면, 즉 처리액을 토출하는 노즐들이 형성된 면을 주기적으로 세정한다. 통상적으로, 1 매의 기판에 대한 처리액 토출 공정이 진행된 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면의 세정이 진행될 수 있다.
제 1 헤드 세정 유닛(500)과 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 베이스(B) 상면의 기판 지지 유닛(100)의 일측에 제공될 수 있으며, 제 1 방향(Ⅰ)으로 일렬로 배치될 수 있다. 잉크젯 헤드들(210a,210b)은 제 1 이동 유닛(300)과 제 2 이동 유닛(400)에 의해 제 1 헤드 세정 유닛(500)과 제 2 헤드 세정 유닛(600)의 상부로 이동되고, 세정 공정의 진행 중 제 1 헤드 세정 유닛(500)과 제 2 헤드 세정 유닛(500,600)의 상부에서 제 1 방향(Ⅰ)으로 이동될 수 있다.
제 1 헤드 세정 유닛(500)은 퍼징(Purging) 공정과 블레이딩(Blading) 공정을 진행하고, 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 블로팅(Blotting) 공정을 진행한다. 퍼징(Purging) 공정, 블레이딩(Blading) 공정, 그리고 블로팅(Blotting) 공정은 순차적으로 진행된다. 퍼징(Purging) 공정은 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 내부에 수용된 처리액의 일부를 고압으로 분사하는 공정이다. 블레이딩(Blading) 공정은, 퍼징(Purging) 공정 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 비접촉 방식으로 제거하는 공정이다. 블로팅(Blotting) 공정은, 블레이딩(Blading) 공정 후, 잉크젯 헤드들(210a,210b)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 접촉 방식으로 제거하는 공정이다.
도 4는 도 2 및 도 3의 제 1 헤드 세정 유닛의 측단면도이고, 도 5는 도 2 및 도 3의 제 1 헤드 세정 유닛을 다른 측면에서 바라본 측단면도이다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 제 1 헤드 세정 유닛(500)은 배스(Bath, 510)와 블레이딩 부재(520)를 포함한다.
배스(510)는 상부가 개방된 통 형상을 가진다. 배스(510) 내에는 세정 유체가 일정 수위로 채워진다. 예를 들어, 세정 유체로는 솔벤트(Solvent)가 사용될 수 있다. 배스(510)는 퍼징 공정시 잉크젯 헤드(212)에서 토출되는 처리액을 수용할 수 있으며, 또한 블레이딩 공정시 블레이딩 부재(520)에 의해 잉크젯 헤드(212)의 노즐부(217) 하면, 즉 노즐면으로부터 제거된 처리액을 수용할 수 있다.
블레이딩 부재(520)는 잉크젯 헤드(212)의 노즐면의 처리액을 비접촉 방식으로 제거한다. 블레이딩 부재(520)는 회전 축(522)과, 블레이드(523)를 포함한다.
회전 축(522)은 그 외주면에 결합되는 블레이드(523)의 단부가 회전 축(522)의 회전에 의해 세정 유체에 잠기도록 배스(510) 내에 수평하게 배치된다. 구체적으로, 회전 축(522)은 배스(510)에 채워진 세정 유체의 액수위면으로부터 블레이드(523)의 길이 보다 짧은 거리만큼 상향 이격되도록 배치된다. 회전 축(522)은 길이 방향이 잉크젯 헤드(212) 노즐면의 길이 방향을 향하도록 배치된다. 여기서, 잉크젯 헤드(212) 노즐면의 길이 방향은 잉크젯 헤드(212)의 노즐면에 제공된 노즐들(219)이 배열된 방향이다. 회전 축(522)의 양단은 베어링 부재들(524)에 의해 회전 가능하게 지지되며, 베어링 부재들(524)은 배스(510)의 측벽에 결합된다.
회전 축(522)은 회전 구동 부재(530)에 의해 회전된다. 회전 구동 부재(530)는 구동 모터(532)와, 구동 모터(532)에 연결된 구동 축(534)을 포함한다. 구동 축(534)은 커플링 부재 등에 의해 회전 축(522)에 연결되며, 구동 모터(532)의 회전력을 회전 축(522)에 전달하다.
블레이드(523)는 회전 축(522)의 원주상에 원주 방향을 따라 복수 개 제공될 수 있다. 블레이드들(523)은 회전 축(522)의 원주 면상에 원주 방향을 따라 등간격으로 배치될 수 있다. 이와 달리, 블레이드(523)는 하나만 제공될 수도 있다.
블레이드(523)는 날개 형상을 가진다. 구체적으로, 블레이드(523)는 노즐면의 장변에 상응하는 길이를 가지고, 회전 축(522)의 원주면으로부터 반경 방향으로 수직하게 연장될 수 있다. 블레이드는(523)의 단부(523a)는, 잉크제 헤드(212)의 노즐면에 잔류하는 처리액을 제거하기 위한 것으로, 블레이드(523)의 길이 방향을 기준으로 회전 축(522)이 회전 되는 쪽으로 경사지게 형성될 수 있다.
앞서 설명한 바와 같이, 제 1 헤드 세정 유닛(500)은 퍼징(Purging) 공정과 블레이딩(Blading) 공정을 진행할 수 있으며, 이들 공정의 진행에 대해 설명하면 다음과 같다.
잉크젯 헤드(212)는, 처리액 토출 공정의 진행 후, 제 1 및 제 2 이동 유닛(도 2의 도면 참조 번호 300, 400)에 의해 제 1 헤드 세정 유닛(500)의 배스(510) 상부로 이동된다. 잉크젯 헤드(212)는 압력 조절 부재(213)가 제공하는 양압에 의해 배스(510)로 처리액을 토출한다.(퍼징 공정)
이후, 잉크젯 헤드(212)는 노즐부(217)의 노즐면에 잔류한 처리액이 블레이드(523)의 단부에 접촉되도록 아래로 이동한다. 블레이드들(523)은 회전축(522)의 회전에 의해 회전되면서, 노즐부(217)의 노즐면에 잔류하는 처리액과 접촉하여 노즐면으로부터 연속적으로 처리액을 제거한다.(블레이딩 공정)
노즐면으로부터 제거된 처리액 중 일부는 배스(510)로 낙하하여 수용되고, 일부는 블레이드(523)의 표면에 잔류한다. 블레이드(523)의 표면에 잔류하는 처리액은, 회전축(522)의 회전에 의해 블레이드(523)가 세정 유체에 잠기는 동안 세정된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 제 1 헤드 세정 유닛(500)은, 블레이드(523)를 이용하여 잉크젯 헤드(212)를 세정하면서, 이와 동시에 블레이드(523)를 세정할 수 있다. 이를 통해, 블레이드(523)에 잔류하는 처리액에 의한 잉크젯 헤드(212)의 역 오염과, 블레이드(523)의 블레이딩 기능 저하를 방지할 수 있다.
도 4 및 도 5에서 설명되지 않은 도면 번호 215는 잉크젯 헤드(212)로 처리액을 공급하는 처리액 공급 부재이다.
다시, 도 2 및 도 3을 참조하면, 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 제 1 헤드 세정 유닛(500)의 일측에 배치될 수 있다. 제 2 헤드 세정 유닛(600)은 블로팅(Blotting) 공정을 진행한다. 제 2 헤드 세정 유닛(600)은, 제 1 헤드 세정 유닛(500)에서의 블레이딩(Blading) 공정 완료 후, 잉크젯 헤드(212)의 처리액 토출면에 잔류하는 처리액을 접촉 방식으로 제거하는 블로팅(Blotting) 공정을 진행한다. 제 2 헤드 세정 유닛(600)의 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
이하에 설명된 도면들은 단지 예시의 목적을 위한 것이고, 본 발명의 범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 처리액 도포 설비의 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1의 처리액 토출부의 사시도이다.
도 3은 도 2의 처리액 토출부의 평면도이다.
도 4는 도 2 및 도 3의 제 1 헤드 세정 유닛의 측단면도이다.
도 5는 도 2 및 도 3의 제 1 헤드 세정 유닛을 다른 측면에서 바라본 측단면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100: 기판 지지 유닛 200: 헤드 유닛
300: 제 1 이동 유닛 400: 제 2 이동 유닛
500: 제 1 헤드 세정 유닛 510: 배스
520: 블레이딩 부재 522: 회전축
523: 블레이드 600: 제 2 헤드 세정 유닛

Claims (12)

  1. 잉크젯 헤드의 노즐면을 세정하는 헤드 세정 유닛에 있어서,
    상기 노즐면의 처리액을 비접촉 방식으로 제거하는 블레이딩 부재; 및
    상기 블레이딩 부재에 의해 제거된 상기 처리액을 수용하는 배스를 포함하되,
    상기 블레이딩 부재는,
    상기 노즐면의 길이 방향으로 배치되는 회전 축; 및
    상기 회전 축의 원주상에 배치되는 날개 형상의 블레이드를 포함하는 헤드 세정 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 배스 내에는, 상기 회전 축의 회전에 의해 상기 블레이드의 단부가 잠기도록 세정 유체가 제공되는 헤드 세정 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 세정 유체는 솔벤트(Solvent)를 포함하는 헤드 세정 유닛.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 블레이드는 상기 노즐면의 장변에 상응하는 길이를 가지고, 상기 회전 축의 원주면으로부터 반경 방향으로 연장되는 헤드 세정 유닛.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 블레이드는,
    상기 블레이드의 길이 방향을 기준으로 상기 회전 축이 회전 되는 쪽으로 경사지게 형성된 단부를 포함하는 헤드 세정 유닛.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 회전 축의 원주상에 복수 개의 상기 블레이드가 제공되는 헤드 세정 유닛.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수 개의 블레이드는 상기 회전 축의 원주상에 원주 방향을 따라 등간격으로 배치되는 헤드 세정 유닛.
  8. 기판이 놓이며 제 1 방향으로 직선 이동 가능한 기판 지지 유닛;
    상기 기판 지지 유닛의 이동 경로 상부에 이동 가능하게 제공되며, 상기 기판상에 처리액을 토출하는 복수 개의 잉크젯 헤드들; 및
    상기 기판 지지 유닛의 일 측에 제공되며, 상기 잉크젯 헤드들의 노즐면을 세정하는 헤드 세정 유닛을 포함하되,
    상기 헤드 세정 유닛은,
    상기 노즐면의 길이 방향으로 배치되는 회전 축;
    상기 회전 축의 원주상에 배치되며, 상기 노즐면의 처리액을 비접촉 방식으로 제거하는 날개 형상의 블레이드; 및
    상기 블레이드에 의해 제거된 상기 처리액을 수용하는 배스를 포함하는 처리액 토출 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 배스 내에는, 상기 회전축의 회전에 의해 상기 블레이드의 단부가 잠기도록 세정 유체가 제공되는 처리액 토출 장치.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 블레이드는 상기 노즐면의 장변에 상응하는 길이를 가지고, 상기 회전 축의 원주면으로부터 반경 방향으로 연장되는 처리액 토출 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 블레이드는,
    상기 블레이드의 길이 방향을 기준으로 상기 회전 축의 회전 방향 쪽으로 경사지게 형성된 단부를 포함하는 처리액 토출 장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    상기 블레이드는 상기 회전 축의 원주상에 원주 방향을 따라 등간격으로 복수 개 제공되는 처리액 토출 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20150137691A (ko) * 2014-05-30 2015-12-09 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 헤드 세정 방법
CN115802637A (zh) * 2023-02-08 2023-03-14 苏州康尼格电子科技股份有限公司 Pcba封装设备

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