KR100775627B1 - 기판 세정장치 및 세정방법 - Google Patents

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Abstract

대형 기판의 표면을 균일하게 세정할 수 있는 세정장치를 제공한다.
유리기판(W)을 사이에 두고 디스크 브러시(14)와 대치(對峙)하는 위치에는 지지부재(15)가 설치되어 있다. 이 지지부재(15)는 바닥판(4) 아래쪽에 설치되는 실린더(16)와, 상부 바닥판(4a)과 하부 바닥판(4b)을 관통하여 위쪽으로 뻗어 있는 로드(17)와, 이 로드(17)에 브래킷(18)을 통해 부착되는 3개의 PVA제 롤 브러시(19)로 이루어진다.

Description

기판 세정장치 및 세정방법{A substrate cleaning apparatus and cleaning method}
도 1은 본 발명에 따른 세정장치의 전체 측면도.
도 2는 세정중의 기판을 위쪽으로부터 본 도면.
도 3은 디스크 브러시의 종단면도.
도 4는 지지부재의 평면도.
도 5는 다른 실시예에 따른 세정장치의 전체 측면도.
도 6은 도 5의 장치에 의한 세정중의 기판을 위쪽으로부터 본 도면.
도 7은 다른 실시예를 도시하는, 도 6과 동일한 도면.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 세정 컵 2 : 스피너 축
3 : 진공 척 4 : 바닥판
4a : 상부 바닥판 4b : 하부 바닥판
5 : 뒷면 세정노즐 6 : 배기구
7 : 가이드 플레이트 8 : 암
9 : 스크러브(scrub) 유닛 10 : 통체(筒體)
11 : 회전축 12 : 세정액 분출파이프
13 : 홀더 14 : 디스크 브러시
15 : 지지부재 16 : 실린더
17 : 로드 18 : 브래킷
19 : 롤 브러시 20 : 축
24 : 롤 브러시 W : 유리기판
본 발명은 액정표시장치에 포함되는 유리기판 등의 표면을 세정하는 장치와 그 방법에 관한 것이다.
액정표시장치에 포함되는 유리기판에는 TFT 어레이 등이 형성되어 있다. 이 TFT 어레이는 유리기판에 레지스트막을 형성하고, 노광, 에칭 등의 반도체 집적회로의 형성공정과 동일한 방법으로 형성된다.
상기 레지스트막은 스핀 코터 등을 사용하여 유리기판 표면에 레지스트액을 도포한 후에 베이킹하여 형성되나, 레지스트액을 도포하기 전에 유리기판의 표면으로부터 먼지, 이물을 제거해두어야 한다.
먼지를 제거하기 위한 기판 세정방법으로서는, 순수(純水)에 초음파를 부여하여 기판 표면에 분출하거나, 이온수를 기판 표면을 향해 고압으로 제트 분사하는 비접촉식과, 회전하는 디스크 브러시를 기판 표면에 눌러서 먼지를 제거하는 비접촉 세정방법과 접촉(스크러브(scrub)) 세정방법이 있는데, 비접촉 세정방법으로는 기판 표면에 단단하게 부착된 오물이나 패턴 사이에 낀 이물을 제거하기 어렵다.
그렇기 때문에, 디스크 브러시에 의한 스크러브 세정(접촉 세정)이 필요로 된다. 이 스크러브 세정에도, 기판의 가장자리 둘레부를 가이드 핀 등으로 보유한 상태에서 세정하는 메커니컬 보유방식과, 기판의 뒷면 중앙을 진공 척으로 보유한 상태에서 세정하는 흡착보유방식이 있으며, 전자는 기구가 복잡해짐과 동시에 기판이 가이드 핀 등으로부터 떨어지기 쉽고, 기판이 손상되기 쉽다.
한편, 진공 척을 사용한 흡착보유방식에 있어서는, 최근과 같이 기판 치수가 커지면 진공 척으로부터 돌출하는 부분(진공 척에 의해 지지되지 않는 부분)도 커진다. 그리고, 그 돌출하는 부분이 커지면, 그 부분이 자체의 무게에 의해 아래쪽으로 휘어지는 양이 커지고, 그 결과, 디스크 브러시가 접촉하지 않게 되어, 세정 불균일이나 세정 불량을 일으키게 된다.
본 발명은 상기 진공 척을 사용한 기판 세정장치와 세정방법을 개선하기 위해 이루어진 것이다.
즉, 본 발명에 따른 기판 세정장치는 세정 컵과, 이 세정 컵 내에 배치되는 진공 척과, 이 진공 척으로 흡착 보유된 기판 표면을 스크러브 세정하는 브러시를 구비한 기판 세정장치이며, 또한, 진공 척으로부터 돌출하는 상기 기판의 부분을 브러시가 스크러브 세정할 때, 그 돌출하는 부분을 아래쪽에서 지지하는 지지부재를 설치하는 구성으로 하였다.
여기서, 기판 표면을 스크러브 세정하는 브러시로는, 디스크 브러시 또는 롤 브러시 중 어느 것이어도 좋다.
상기 지지부재로서 승강이 가능한 롤 브러시를 구비한 것으로 하면, 기판 표면을 세정함과 동시에, 기판 뒷면에 세정액을 공급하여 뒷면의 세정도 행할 수 있다.
또, 본 발명에 따른 기판 세정방법은 세정 컵 내에 배치한 진공 척으로 기판을 흡착 보유하고, 이 상태에서 진공 척을 회전시켜서 기판을 수평면 내에서 회전시키고, 수평으로 회전하는 기판의 표면에 회전하는 브러시를 접촉하여 기판 표면을 스크러브 세정하는 방법에 있어서, 상기 브러시로 진공 척으로부터 돌출하는 기판 표면을 스크러브 세정할 때, 진공 척으로부터 돌출하는 그 기판의 부분이 휘어지지 않도록 아래쪽에서 지지부재로 지지하면서 스크러브 세정하도록 하였다.
[실시예]
이하에 본 발명의 실시형태를 첨부 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 기판 표면을 스크러브 세정하는 브러시로서 디스크 브러시를 적용한 세정장치의 전체 측면도이고, 도 2는 세정중의 기판을 위쪽에서 본 도면이고, 도 3은 디스크 브러시의 종단면도이고, 도 4는 지지부재의 평면도이다.
기판 세정장치는 세정 컵(1) 내에 스피너 축(2)이 아래쪽으로부터 삽입되어, 이 스피너 축(2)의 상단에 진공 척(3)이 설치되어 있다. 이 진공 척(3)의 상면에는 진공 펌프에 연결되는 개구가 형성되어 있다.
상기 스피너 축(2)이 관통하는 바닥판(4)은 중앙부가 높고 주변부가 낮게 되 고, 상부 바닥판(4a)과 하부 바닥판(4b)으로 이루어지는 내부를 공동(空洞)으로 하는 이중 구조를 이루며, 상부 바닥판(4a)에는 기판(W)의 뒷면에 세정액을 분출하는 뒷면 세정노즐(5)이 설치되고, 하부 바닥판(4b)에는 감압장치에 연결되는 배기구(6)가 형성되고, 세정 컵(1) 내의 상부 내측에는 유리기판(W)으로부터 흩어져 날아온 세정액을 아래쪽으로 인도하는 가이드 플레이트(7)를 설치하고 있다.
또, 세정 컵(1)의 위쪽에는 암(8)이 설치되어 있고, 이 암(8)의 선단에 스크러브 유닛(9)이 부착되어 있다. 상기 암(8)은 도 2에 도시하는 바와 같이 수평면 내에서 요동 가능하게 되고, 그 결과, 스크러브 유닛(9)은 진공 척(3)으로 흡착 보유된 유리기판(W)의 대각선을 따라 이동한다. 또한, 암(8)은 요동하는 것에 한정하지 않고 직선으로 움직이는 것이어도 좋다.
상기 스크러브 유닛(9)의 구체적인 구조는 도 3에 도시하는 바와 같이, 통체(筒體)(10) 내측에 파이프 형상의 회전축(11)이 배치되고, 이 회전축(11) 내에 세정액 분출 파이프(12)가 위치하고, 회전축(11) 하단에는 홀더(13)를 통해 디스크 브러시(14)가 부착되어 있다.
한편, 유리기판(W)을 사이에 두고 디스크 브러시(14)와 대치(對峙)하는 위치에는 지지부재(15)가 설치되어 있다. 이 지지부재(15)는 바닥판(4)의 아래쪽에 설치되는 실린더(16)와, 상부 바닥판(4a)과 하부 바닥판(4b)을 관통하여 위쪽으로 뻗어 있는 로드(17)와, 이 로드(17)에 브래킷(18)을 통해 부착되는 3개의 PVA제 롤 브러시(19)로 이루어진다.
상기 롤 브러시(19)는 유리기판(W)의 회전에 추종하여 회전할 수 있도록, 그 축(20)은 유리기판(W)의 회전방향과 직교하는 방향으로 세트되어 있다.
또한, 지지부재(15)의 선단에 부착되는 부재로서는 롤 브러시(19)에 한정되지 않으나, 롤 브러시(19)를 선택함으로써 진공 척으로부터 돌출하는 유리기판(W)의 부분을 지지할 뿐만 아니라, 세정액을 공급함으로써 뒷면을 세정할 수 있게 된다.
이상에 있어서, 유리기판(W)의 표면을 세정하려면, 우선, 세정 컵(1) 내에 유리기판(W)을 반입하고, 진공 척(3)으로 유리 기판(W)의 하면 중앙을 흡착 보유한다. 이후, 암(8)을 선회(旋回)(하강)시키고, 실린더 로드(17)를 상승시키고, 디스크 브러시(14)를 유리기판(W)의 표면에, 롤 브러시(19)를 진공 척(3)으로부터 돌출하는 유리기판(W)의 부분의 하면에 접촉시키고, 유리기판(W)을 아래쪽에서 지지하면서 스피너 축(2)에 의해 유리기판(W)을 수평으로 회전시킨다.
유리기판(W)의 수평회전과 동시에, 또는 약간 빨리 세정액 분출파이프(12)로부터 유리기판(W)의 표면에 세정액을 공급하고, 또, 뒷면 세정노즐(5)로부터 유리기판(W)의 뒷면에 세정액을 공급한다.
이후, 스피너 축(2)의 저속회전을 계속하고, 유리기판(W)을 수평면 내에서 천천히 회전시킴과 동시에, 암(8)을 요동시키거나 직선으로 움직여서 유리기판(W)의 표면을 스크러브 세정한다.
이후, 암(8)을 후퇴시켜서 유리 기판(W) 상으로부터 디스크 브러시(14)를 빼내고, 지지부재(15)의 로드(17)를 내려서 롤 브러시(19)를 유리기판(W)의 뒷면으로부터 떼낸다.
이후, 다시 스피너 축(2)을 회전시켜서 건조처리를 행한 후, 유리기판(W)을 세정 컵(1)으로부터 다음 공정으로 반출한다.
도 5 및 도 6은 다른 실시예를 도시하는, 도 1 및 도 2와 동일한 도면이며, 이 실시예에 있어서는, 상기 실시예의 디스크 브러시(14) 대신에 롤 브러시(24)를 암(8)에 부착하고 있다.
상기 롤 브러시(24)의 길이는 너무 길면 기판으로부터 돌출하는 부분이 많아지므로, 상기 디스크 브러시(14)의 한변의 길이와 동일한 정도이거나, 도 7에 도시하는 바와 같이, 기판(W)의 짧은 쪽 변의 1/2 정도로 한다. 그리고, 롤 브러시(24)의 이동도 요동에 한정하지 않고, 도 7에 도시하는 바와 같이 직선으로 움직이는 것이어도 좋다.
이상으로 설명한 바와 같이 본 발명에 의하면, 유리기판 등을 세정하는데 있어서, 자체의 무게에 의해 크게 휘어지는 부분을 롤 브러시 등에 의해 아래쪽에서 지지하면서 디스크 브러시로 스크러브 세정하도록 하였으므로, 세정 불균일이나 세정 불량이 발생함이 없이, 기판의 치수가 커지는 것에 대처할 수 있다.

Claims (3)

  1. 세정 컵과, 이 세정 컵 내에 배치되는 진공 척과, 이 진공 척으로 흡착 보유된 기판 표면을 스크러브 세정하는 브러시를 구비한 기판 세정장치에 있어서, 이 기판 세정장치는 진공 척으로부터 돌출하는 상기 기판의 부분을 상기 브러시가 스크러브 세정할 때에, 그 돌출하는 부분을 아래쪽에서 지지하는 지지부재를 설치한 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 지지부재는 승강이 가능한 롤 브러시를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판 세정장치.
  3. 세정 컵 내에 배치한 진공 척으로 기판을 흡착 보유하고, 이 상태에서 진공 척을 회전시켜서 기판을 수평면 내에서 회전시키고, 수평으로 회전하는 기판의 표면에 회전하는 브러시를 접촉하여 기판 표면을 스크러브 세정하는 방법에 있어서, 상기 브러시로 진공 척으로부터 돌출하는 기판 표면을 스크러브 세정할 때에, 진공 척으로부터 돌출하는 그 기판의 부분이 휘어지지 않도록 아래쪽에서 지지부재로 지지하면서 스크러브 세정하는 것을 특징으로 하는 기판 세정방법.
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