JPH071674B2 - プラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方法Info
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- JPH071674B2 JPH071674B2 JP33759789A JP33759789A JPH071674B2 JP H071674 B2 JPH071674 B2 JP H071674B2 JP 33759789 A JP33759789 A JP 33759789A JP 33759789 A JP33759789 A JP 33759789A JP H071674 B2 JPH071674 B2 JP H071674B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は近年進展著しいパーソナルコンピュータやオフ
ィスワークステーション、ないしは将来の発展が期待さ
れる壁かけテレビ等に用いられるプラズマディスプレイ
パネルのスペーサの製造方法に関する。
ィスワークステーション、ないしは将来の発展が期待さ
れる壁かけテレビ等に用いられるプラズマディスプレイ
パネルのスペーサの製造方法に関する。
〔従来の技術〕 従来のプラズマディスプレイパネルとしては、多数の種
類があるが、ここでは第６図（ａ），（ｂ）に示した構
造のものについて説明する。
類があるが、ここでは第６図（ａ），（ｂ）に示した構
造のものについて説明する。
図において、11はガラスよりなる第１絶縁基板、12はガ
ラスよりなる第２絶縁基板、13は行電極、14は列電極、
15はHe,Xe等の放電ガスが充填される放電ガス空間、16
は第１絶縁基板11と第２絶縁基板12の間隔を定め、また
画素20を区切るスペーサ、17は放電ガスの放電により発
生する紫外光を可視光に変換する螢光体、18は行電極を
覆う絶縁体、19は絶縁体を放電より保護する、MgO等よ
りなる保護膜である。
ラスよりなる第２絶縁基板、13は行電極、14は列電極、
15はHe,Xe等の放電ガスが充填される放電ガス空間、16
は第１絶縁基板11と第２絶縁基板12の間隔を定め、また
画素20を区切るスペーサ、17は放電ガスの放電により発
生する紫外光を可視光に変換する螢光体、18は行電極を
覆う絶縁体、19は絶縁体を放電より保護する、MgO等よ
りなる保護膜である。
ところで、スペーサの製造方法として、従来はスクリー
ン印刷法が多く用いられている。すなわち、スペーサの
パターンと同じパターンをもつスクリーン版を用い、低
融点ガラス粉末、或いは低融点ガラス粉末にAl2O3等の
微細な粒子を混合したスペーサ材料をビヒクルやシンナ
ーとともに混合してペーストとし、スクリーン印刷を行
い、乾燥後焼成してスペーサを形成していた。また、１
回の印刷で所定の高さが得られない場合は、スクリーン
印刷と乾燥を繰り返し、最後に焼成を行って必要な高さ
のスペーサを形成していた。
ン印刷法が多く用いられている。すなわち、スペーサの
パターンと同じパターンをもつスクリーン版を用い、低
融点ガラス粉末、或いは低融点ガラス粉末にAl2O3等の
微細な粒子を混合したスペーサ材料をビヒクルやシンナ
ーとともに混合してペーストとし、スクリーン印刷を行
い、乾燥後焼成してスペーサを形成していた。また、１
回の印刷で所定の高さが得られない場合は、スクリーン
印刷と乾燥を繰り返し、最後に焼成を行って必要な高さ
のスペーサを形成していた。
また、このようなスクリーン印刷法による方法ではな
く、数10μｍ以上の厚さをもつ感光性樹脂膜を用いる、
いわゆるアディティブ法と呼ばれる方法もある（「新し
いスクリーン印刷技術とその高精度化・各種トラブル対
策」、日本科学技術協会編集，ソフト技術出版部、昭和
61年10月６日,349頁参照）。この方法によれば、フォト
リソグラフィーにより基板上の感光性樹脂膜をパターン
化し、スペーサを形成する部分の感光性樹脂膜を除去
し、この部分にスペーサとなるペーストを埋め込み、ペ
ーストを固化させスペーサを形成する。この方法では、
スクリーン印刷法に比較してパターンの精度が大面積に
わたり格段に向上する。
く、数10μｍ以上の厚さをもつ感光性樹脂膜を用いる、
いわゆるアディティブ法と呼ばれる方法もある（「新し
いスクリーン印刷技術とその高精度化・各種トラブル対
策」、日本科学技術協会編集，ソフト技術出版部、昭和
61年10月６日,349頁参照）。この方法によれば、フォト
リソグラフィーにより基板上の感光性樹脂膜をパターン
化し、スペーサを形成する部分の感光性樹脂膜を除去
し、この部分にスペーサとなるペーストを埋め込み、ペ
ーストを固化させスペーサを形成する。この方法では、
スクリーン印刷法に比較してパターンの精度が大面積に
わたり格段に向上する。
ところで、プラズマディスプレイパネルでは、できるだ
け放電ガス空間15を大きくして、高輝度の発光を得るた
め、幅が狭く高さの高いスペーサが要求される。たとえ
ば、幅100μｍに対して高さ100μｍ以上のスペーサが望
ましい。しかしながら、従来のスクリーン印刷方式で
は、このような、いわゆる高アスペクト比のスペーサを
一度の印刷で作成できないため、スペーサ材料であるペ
ーストの印刷と乾燥を数回以上、多い場合は10回以上も
繰り返し行う必要があった。この場合、毎回の印刷にお
いて目合わせが必要となるが、精度の良い目合わせは困
難であり、またスクリーン版の伸縮もあるため、必ずし
も下のパターンと上のパターンの整合がとれなかった。
このため、高アスペクト比のスペーサを広い面積にわた
って精度良く作成することは困難であった。
け放電ガス空間15を大きくして、高輝度の発光を得るた
め、幅が狭く高さの高いスペーサが要求される。たとえ
ば、幅100μｍに対して高さ100μｍ以上のスペーサが望
ましい。しかしながら、従来のスクリーン印刷方式で
は、このような、いわゆる高アスペクト比のスペーサを
一度の印刷で作成できないため、スペーサ材料であるペ
ーストの印刷と乾燥を数回以上、多い場合は10回以上も
繰り返し行う必要があった。この場合、毎回の印刷にお
いて目合わせが必要となるが、精度の良い目合わせは困
難であり、またスクリーン版の伸縮もあるため、必ずし
も下のパターンと上のパターンの整合がとれなかった。
このため、高アスペクト比のスペーサを広い面積にわた
って精度良く作成することは困難であった。
また、アディティブ法を用いた場合は、スクリーン印刷
法に比較してパターンの精度は格段に向上するものの、
高コストになるとともに、感光性樹脂膜にスペーサとな
るべき深溝の高アスペクト比の空間を形成することは想
到に困難であった。
法に比較してパターンの精度は格段に向上するものの、
高コストになるとともに、感光性樹脂膜にスペーサとな
るべき深溝の高アスペクト比の空間を形成することは想
到に困難であった。
本発明の目的はこれらの技術的困難を解決する、高アス
ペクト比のスペーサを広い面積にわたり精度良く低コス
トで容易に作成するプラズマディスプレイパネルのスペ
ーサの製造方法を提供することにある。
ペクト比のスペーサを広い面積にわたり精度良く低コス
トで容易に作成するプラズマディスプレイパネルのスペ
ーサの製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明に係るプラズマディス
プレイパネルのスペーサの製造方法においては、放電ガ
スを封入する二枚の絶縁基板と、絶縁基板上に配置され
た放電用電極と、画素を区切るスペーサとを少なくとも
有するプラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方
法であって、 所定パターンのスペーサ基体を基板上に形成する第１の
工程と、 所定のスペーサ幅よりも広いスペーサのパターンをもつ
スクリーン版を用いて前記スペーサ基体上にスペーサ材
料を積層印刷することにより、所定高さのスペーサを形
成する第２の工程とを少なくとも有するものである。ま
た、本発明に係るプラズマディスプレイパネルのスペー
サの製造方法においては、放電ガスを封入する二枚の絶
縁基板と、絶縁基板上に配置された放電用電極と、画素
を区切るスペーサとを少なくとも有するプラズマディス
プレイパネルのスペーサの製造方法であって、 所定のパターンをもつスペーサ基体を基板上に形成する
第１の工程と、 全面ベタの印刷部をもつスクリーン版を用いて前記スペ
ーサ基体上にスペーサ材料を積層印刷することにより、
所定高さのスペーサを形成する第２の工程とを少なくと
も有するものである。
プレイパネルのスペーサの製造方法においては、放電ガ
スを封入する二枚の絶縁基板と、絶縁基板上に配置され
た放電用電極と、画素を区切るスペーサとを少なくとも
有するプラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方
法であって、 所定パターンのスペーサ基体を基板上に形成する第１の
工程と、 所定のスペーサ幅よりも広いスペーサのパターンをもつ
スクリーン版を用いて前記スペーサ基体上にスペーサ材
料を積層印刷することにより、所定高さのスペーサを形
成する第２の工程とを少なくとも有するものである。ま
た、本発明に係るプラズマディスプレイパネルのスペー
サの製造方法においては、放電ガスを封入する二枚の絶
縁基板と、絶縁基板上に配置された放電用電極と、画素
を区切るスペーサとを少なくとも有するプラズマディス
プレイパネルのスペーサの製造方法であって、 所定のパターンをもつスペーサ基体を基板上に形成する
第１の工程と、 全面ベタの印刷部をもつスクリーン版を用いて前記スペ
ーサ基体上にスペーサ材料を積層印刷することにより、
所定高さのスペーサを形成する第２の工程とを少なくと
も有するものである。
本発明は上述の工程を用いることにより、従来技術の課
題を解決した。すなわち、スクリーン印刷の特性を利用
して、自己整合的にスペーサの高さを高くでき、しか
も、目合わせ作業を簡素化するようにした。
題を解決した。すなわち、スクリーン印刷の特性を利用
して、自己整合的にスペーサの高さを高くでき、しか
も、目合わせ作業を簡素化するようにした。
第１図（ａ）に本発明の概念図を示す。第１図（ａ）に
おいて、スクリーン版１は全面ベタの印刷面を持つ。ス
キージ２の移動につれて印刷が行われるが、ペースト６
はスクリーン版１と凸部４が接触したところだけに塗布
されるため、第１図（ａ）の場合は、凸部４上にだけペ
ースト被着部５が形成される。このような作用により、
凸部４上にのみ、目合わせなしでペースト６を印刷する
ことができる。
おいて、スクリーン版１は全面ベタの印刷面を持つ。ス
キージ２の移動につれて印刷が行われるが、ペースト６
はスクリーン版１と凸部４が接触したところだけに塗布
されるため、第１図（ａ）の場合は、凸部４上にだけペ
ースト被着部５が形成される。このような作用により、
凸部４上にのみ、目合わせなしでペースト６を印刷する
ことができる。
なお、この方式を用いる場合、第１図（ｂ）に示すよう
に凸部４の間でスクリーン版１がスキージ２により押し
込まれて、スクリーン版１より押し出されたペースト滲
出部７が基板３と接触すると、基板３上にまでペースト
６が印刷されてしまう。これを避けるためには、 （１）凸部４の高さを高く、望ましくは20μｍ以上とす
る。
に凸部４の間でスクリーン版１がスキージ２により押し
込まれて、スクリーン版１より押し出されたペースト滲
出部７が基板３と接触すると、基板３上にまでペースト
６が印刷されてしまう。これを避けるためには、 （１）凸部４の高さを高く、望ましくは20μｍ以上とす
る。
（２）さらに、凸部４の相互の間隔を、凸部４の高さに
比較して極端に大きくしない。印刷条件にもよるが、高
さ50μｍに対して間隔は2mm以下程度が望ましい。
比較して極端に大きくしない。印刷条件にもよるが、高
さ50μｍに対して間隔は2mm以下程度が望ましい。
（３）印刷において、スキージ圧はあまり高くしないよ
うにして、スキージ２がスクリーン版１を押し下げすぎ
ないようにする。
うにして、スキージ２がスクリーン版１を押し下げすぎ
ないようにする。
（４）ペースト精度を低くしすぎないこと。低すぎる
と、ペースト滲出部７の厚さが厚くなり、無用の部分で
第１図（ｂ）のような状態でペースト６が基板３に印刷
される。
と、ペースト滲出部７の厚さが厚くなり、無用の部分で
第１図（ｂ）のような状態でペースト６が基板３に印刷
される。
以上のようなスクリーン印刷に伴う一般的な注意を払う
ことが必要である。
ことが必要である。
なお、凸部４の間隔をとれないような場合には、スクリ
ーン版として全面ベタの印刷面を有するものではなく、
凸部４と同一のパターンを有し、かつ、凸部４の幅より
も幅広の印刷部をもつスクリーンを用いれば、凸部４の
間においてペーストが印刷されることがなくなる。この
場合はスクリーン版１と基板３の間で目合わせが必要と
なるが、スクリーン版のパターン幅を十分広くしておけ
ば、ごく荒い目合わせで十分であり、またスクリーン版
の伸縮にも対応できる。
ーン版として全面ベタの印刷面を有するものではなく、
凸部４と同一のパターンを有し、かつ、凸部４の幅より
も幅広の印刷部をもつスクリーンを用いれば、凸部４の
間においてペーストが印刷されることがなくなる。この
場合はスクリーン版１と基板３の間で目合わせが必要と
なるが、スクリーン版のパターン幅を十分広くしておけ
ば、ごく荒い目合わせで十分であり、またスクリーン版
の伸縮にも対応できる。
次に実施例を用いて本発明を詳しく説明する。
（実施例１） プラズマディスプレイパネルとしては第６図に示した構
造のものを作成した。第１絶縁基板11及び第２絶縁基板
12には2mm厚さのソーダガラスを用い、行電極13には厚
膜の銀電極を、列電極14には透明ネサ膜（SnO2を主成分
とする透明導電材料）を、放電ガス空間15に充填するガ
スとしてはXeを２％含有するHeを250Torrの圧力で用い
た。また、スペーサ16は幅100,高さ100μm,ピッチ0.6mm
として低融点ガラスよりなる厚膜の絶縁体18上に形成し
た。螢光体17としては一般的なZn2SiO4:Mnを用い、緑色
発光を得た。さらにスペーサ16まで形成した第１絶縁基
板11上にMgOよりなる保護膜19を約１μｍ真空蒸着で形
成した。
造のものを作成した。第１絶縁基板11及び第２絶縁基板
12には2mm厚さのソーダガラスを用い、行電極13には厚
膜の銀電極を、列電極14には透明ネサ膜（SnO2を主成分
とする透明導電材料）を、放電ガス空間15に充填するガ
スとしてはXeを２％含有するHeを250Torrの圧力で用い
た。また、スペーサ16は幅100,高さ100μm,ピッチ0.6mm
として低融点ガラスよりなる厚膜の絶縁体18上に形成し
た。螢光体17としては一般的なZn2SiO4:Mnを用い、緑色
発光を得た。さらにスペーサ16まで形成した第１絶縁基
板11上にMgOよりなる保護膜19を約１μｍ真空蒸着で形
成した。
スペーサの形成はまず第２図（ａ）に示したように高さ
50μm,幅100μｍのスペーサ基体8aをスクリーン印刷法
で印刷・乾燥した。ペーストとしては低融点ガラス，Al
2O3粉及びビヒクルとシンナーを混合したものを用い
た。この上に電極取り出し部となる周辺部を除いてベタ
の全面印刷面をもつスクリーン版を用い、まったく目合
わせなしで第２図（ｂ）に示したように高さ50μｍのペ
ースト被着部５を印刷・乾燥し、最後にスペーサ基体8a
とともに約550℃で焼成してスペーサ16とした。
50μm,幅100μｍのスペーサ基体8aをスクリーン印刷法
で印刷・乾燥した。ペーストとしては低融点ガラス，Al
2O3粉及びビヒクルとシンナーを混合したものを用い
た。この上に電極取り出し部となる周辺部を除いてベタ
の全面印刷面をもつスクリーン版を用い、まったく目合
わせなしで第２図（ｂ）に示したように高さ50μｍのペ
ースト被着部５を印刷・乾燥し、最後にスペーサ基体8a
とともに約550℃で焼成してスペーサ16とした。
なお、印刷条件としては、スクリーン版として250メッ
シュのステンレス版を使用した。ペーストの粘度はだれ
や、１回塗りでの厚さの点である程度高い方が良く、本
実施例では200,000cpsのものを用いた。この方法を用い
ることにより、従来は目合わせが必要であった重ね塗り
工程の目合わせが不要となり、パネル製造時のスループ
ットかが大幅に向上した。また、目合わせミスが全くな
くなったので、歩溜りを大きく改善することができた。
シュのステンレス版を使用した。ペーストの粘度はだれ
や、１回塗りでの厚さの点である程度高い方が良く、本
実施例では200,000cpsのものを用いた。この方法を用い
ることにより、従来は目合わせが必要であった重ね塗り
工程の目合わせが不要となり、パネル製造時のスループ
ットかが大幅に向上した。また、目合わせミスが全くな
くなったので、歩溜りを大きく改善することができた。
（実施例２） 次に本発明の第２の実施例について説明する。
プラズマディスプレイパネルとしては第１の実施例とス
ペーサの部分を除き他は同様である。本実施例では幅50
μm,高さ200μm,ピッチ0.6mmのスペーサ16を形成した。
ペーサの部分を除き他は同様である。本実施例では幅50
μm,高さ200μm,ピッチ0.6mmのスペーサ16を形成した。
スペーサの形成は、まず厚さ50μｍのシート状の感光性
樹脂膜、いわゆるドライフィルムを、絶縁体18までを積
層した第１絶縁基板11上に貼り付け、スペーサのネガパ
ターンを形成した。さらに、これに低融点ガラスとAl2O
3粉末を混合したペーストを埋め込み、これを焼成し
て、第３図（ａ）に示す高さ50μm,幅50μｍのスペーサ
基体8bを形成した。この上に、ベタの全面印刷面をもつ
スクリーン版を用い、まったく目合わせなしで第３図
（ｂ）〜（ｄ）に示したように50μｍ高さずつ３回の印
刷・乾燥を行い、高さ200μｍとし、最後に焼成してス
ペーサ16を形成することができた。
樹脂膜、いわゆるドライフィルムを、絶縁体18までを積
層した第１絶縁基板11上に貼り付け、スペーサのネガパ
ターンを形成した。さらに、これに低融点ガラスとAl2O
3粉末を混合したペーストを埋め込み、これを焼成し
て、第３図（ａ）に示す高さ50μm,幅50μｍのスペーサ
基体8bを形成した。この上に、ベタの全面印刷面をもつ
スクリーン版を用い、まったく目合わせなしで第３図
（ｂ）〜（ｄ）に示したように50μｍ高さずつ３回の印
刷・乾燥を行い、高さ200μｍとし、最後に焼成してス
ペーサ16を形成することができた。
本実施例ではスペーサ基体8bをアディティブ法により形
成したので、厚膜としては幅の狭い50μｍ幅のスペーサ
を、大面積にわたり精度良く形成できた。しかも、まっ
たく目合わせなしで、自己整合的に高さを200μｍまで
高くすることができた。幅50μｍという値は、通常のス
クリーン印刷法では実現不可能な値であり、また高さ20
0μｍという値は従来のアディティブ法のみでは実現が
非常に難しいものであり、本発明の効果が非常に高いこ
とがわかった。しかも、プロセスは非常に単純なので、
製造コストを安くできた。
成したので、厚膜としては幅の狭い50μｍ幅のスペーサ
を、大面積にわたり精度良く形成できた。しかも、まっ
たく目合わせなしで、自己整合的に高さを200μｍまで
高くすることができた。幅50μｍという値は、通常のス
クリーン印刷法では実現不可能な値であり、また高さ20
0μｍという値は従来のアディティブ法のみでは実現が
非常に難しいものであり、本発明の効果が非常に高いこ
とがわかった。しかも、プロセスは非常に単純なので、
製造コストを安くできた。
（実施例３） 次に本発明の第２の実施例について説明する。
第３の実施例では、幅50μm,高さ200μm,ピッチ2mmのス
ペーサ16を形成した。スペーサ16の間隔が1.95mmと大き
いため、スクリーン版として全面ベタの印刷面ではな
く、第４図に示すように、スペーサ基体8cのパターンと
同じパターンを有し、スペーサ基体8cよりも200μｍ広
い、幅250μｍの印刷部９を有するススクリーン版１を
用いた。このため、目合わせ及びスクリーン版の伸縮に
対して±100μｍの精度が要求される。しかし、この程
度の目合わせはガラス基板の一辺と、他辺の一点を固定
する、いわゆる三点支持法で十分再現できる。またスク
リーン版の伸縮もこの誤差範囲内におさめられる。本実
施例の利点は、スペーサ基体8cのピッチが大きい場合、
不要のペーストがスキージの移動によりスクリーン版か
ら押し出されて、基板３上のスペーサ基体8c以外の部分
に付着することを防止できることにある。
ペーサ16を形成した。スペーサ16の間隔が1.95mmと大き
いため、スクリーン版として全面ベタの印刷面ではな
く、第４図に示すように、スペーサ基体8cのパターンと
同じパターンを有し、スペーサ基体8cよりも200μｍ広
い、幅250μｍの印刷部９を有するススクリーン版１を
用いた。このため、目合わせ及びスクリーン版の伸縮に
対して±100μｍの精度が要求される。しかし、この程
度の目合わせはガラス基板の一辺と、他辺の一点を固定
する、いわゆる三点支持法で十分再現できる。またスク
リーン版の伸縮もこの誤差範囲内におさめられる。本実
施例の利点は、スペーサ基体8cのピッチが大きい場合、
不要のペーストがスキージの移動によりスクリーン版か
ら押し出されて、基板３上のスペーサ基体8c以外の部分
に付着することを防止できることにある。
なお、以上の実施例では第６図のプラズマディスプレイ
パネルを例として説明したが、本発明はこれに限らず、
いかなる形態のプラズマディスプレイパネルのスペーサ
の形成にも利用できることはいうまでもない。また、プ
ラズマディスプレイパネルに限らず、高アスペクト比が
要求されるスペーサの形成法として、いかなる製品にも
応用できることもいうまでもない。
パネルを例として説明したが、本発明はこれに限らず、
いかなる形態のプラズマディスプレイパネルのスペーサ
の形成にも利用できることはいうまでもない。また、プ
ラズマディスプレイパネルに限らず、高アスペクト比が
要求されるスペーサの形成法として、いかなる製品にも
応用できることもいうまでもない。
また、本実施例と異なり、第５図（ａ）〜（ｄ）に示す
ようにスペーサ16の一部又は全部を金属ペーストを用い
て金属部10を形成し、電極を兼ねさせることも可能であ
る。
ようにスペーサ16の一部又は全部を金属ペーストを用い
て金属部10を形成し、電極を兼ねさせることも可能であ
る。
以上で述べたように、本発明によれば、アスペクト比の
高いスペーサを容易に製造することができる。また、特
に、大面積にわたり、アスペクト比の高いスペーサを精
度良く、容易に、しかも安価に製造することが可能であ
る。従って、高いアスペクト比を要求される場合や、大
面積にわたり精度良く、アスペクト比の高いスペーサを
要求される大画面のプラズマディスプレイパネルのスペ
ーサを容易に、かつ、安価に製造することができ、工業
上非常に有用である。
高いスペーサを容易に製造することができる。また、特
に、大面積にわたり、アスペクト比の高いスペーサを精
度良く、容易に、しかも安価に製造することが可能であ
る。従って、高いアスペクト比を要求される場合や、大
面積にわたり精度良く、アスペクト比の高いスペーサを
要求される大画面のプラズマディスプレイパネルのスペ
ーサを容易に、かつ、安価に製造することができ、工業
上非常に有用である。
第１図（ａ），（ｂ）は本発明のプラズマディスプレイ
のスペーサの製造方法を説明した概念図、第２図
（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施例を示す説明図、
第３図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は本発明の第２
の実施例を示す説明図、第４図は本発明の第３の実施例
におけるスクリーン版パターンを示す説明図、第５図
（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）はスペーサの一部又は
全部を金属部とした場合の図、第６図（ａ）はプラズマ
ディスプレイの一例を示した図、第６図（ｂ）は第６図
（ａ）のa-a′線断面図である。 １……スクリーン版、２……スキージ ３……基板、４……凸部 5,5a,5b,5c……ペースト被着部 8a,8b,8c……スペーサ基体、16……スペーサ
のスペーサの製造方法を説明した概念図、第２図
（ａ），（ｂ）は本発明の第１の実施例を示す説明図、
第３図（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は本発明の第２
の実施例を示す説明図、第４図は本発明の第３の実施例
におけるスクリーン版パターンを示す説明図、第５図
（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）はスペーサの一部又は
全部を金属部とした場合の図、第６図（ａ）はプラズマ
ディスプレイの一例を示した図、第６図（ｂ）は第６図
（ａ）のa-a′線断面図である。 １……スクリーン版、２……スキージ ３……基板、４……凸部 5,5a,5b,5c……ペースト被着部 8a,8b,8c……スペーサ基体、16……スペーサ
Claims (2)
- 【請求項１】放電ガスを封入する二枚の絶縁基板と、絶
縁基板上に配置された放電用電極と、画素を区切るスペ
ーサとを少なくとも有するプラズマディスプレイパネル
のスペーサの製造方法であって、 所定パターンのスペーサ基体を基板上に形成する第１の
工程と、 所定のスペーサ幅よりも広いスペーサのパターンをもつ
スクリーン版を用いて前記スペーサ基体上にスペーサ材
料を積層印刷することにより、所定高さのスペーサを形
成する第２の工程とを少なくとも有することを特徴とす
るプラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方法。 - 【請求項２】放電ガスを封入する二枚の絶縁基板と、絶
縁基板上に配置された放電用電極と、画素を区切るスペ
ーサとを少なくとも有するプラズマディスプレイパネル
のスペーサの製造方法であって、 所定のパターンをもつスペーサ基体を基板上に形成する
第１の工程と、 全面ベタの印刷部をもつスクリーン版を用いて前記スペ
ーサ基体上にスペーサ材料を積層印刷することにより、
所定高さのスペーサを形成する第２の工程とを少なくと
も有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
のスペーサの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33759789A JPH071674B2 (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | プラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33759789A JPH071674B2 (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | プラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03196441A JPH03196441A (ja) | 1991-08-27 |
| JPH071674B2 true JPH071674B2 (ja) | 1995-01-11 |
Family
ID=18310146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33759789A Expired - Fee Related JPH071674B2 (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 | プラズマディスプレイパネルのスペーサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH071674B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05101776A (ja) * | 1991-10-08 | 1993-04-23 | Nec Corp | プラズマデイスプレイパネルの製造方法 |
| KR100400206B1 (ko) * | 1996-07-23 | 2004-04-14 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계효과전자방출소자의스페이서제조방법 |
| KR19980041209A (ko) * | 1996-11-30 | 1998-08-17 | 손욱 | 타원구형 스페이서를 채용한 전계 효과 전자 방출 소자 및 그 조립방법 |
| KR100464301B1 (ko) * | 1998-04-13 | 2005-04-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | 가스방전 표시소자 격벽 제조방법 |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP33759789A patent/JPH071674B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03196441A (ja) | 1991-08-27 |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
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