JP3125126B2 - プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネルの障壁形成方法に係り、より詳細には、電極群の
設けられた絶縁板上に形成された障壁パターンの本焼成
時の障壁パターン形状の変形を抑制し、さらに障壁頂部
の平坦性を向上させることにより歩留および表示特性に
優れたプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法に関
する。
パネルの障壁形成方法に係り、より詳細には、電極群の
設けられた絶縁板上に形成された障壁パターンの本焼成
時の障壁パターン形状の変形を抑制し、さらに障壁頂部
の平坦性を向上させることにより歩留および表示特性に
優れたプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】プラズマディスプレイパネルの一例を示
す。このプラズマディスブレイパネルは、アノード電極
（陽極）８が形成される絶縁板（前面側）１０と、カソ
ード電極（陰極）７が形成される絶縁板（背面側）３の
二枚の絶縁板３、１０の内側に障壁６が形成された構成
よりなる。すなわち、直交するカソード電極群とアノー
ド電極群との電極間に光のクロストークを防ぎ、画面の
コントラストを得るための黒色の障壁６を設け、該電極
内部に希ガスを封入し、該絶縁板３、１０に形成された
両電極７、８の交差部が一つの画素（表示セル）１４に
対応する構成とされている。
す。このプラズマディスブレイパネルは、アノード電極
（陽極）８が形成される絶縁板（前面側）１０と、カソ
ード電極（陰極）７が形成される絶縁板（背面側）３の
二枚の絶縁板３、１０の内側に障壁６が形成された構成
よりなる。すなわち、直交するカソード電極群とアノー
ド電極群との電極間に光のクロストークを防ぎ、画面の
コントラストを得るための黒色の障壁６を設け、該電極
内部に希ガスを封入し、該絶縁板３、１０に形成された
両電極７、８の交差部が一つの画素（表示セル）１４に
対応する構成とされている。
【０００３】そして、該プラズマディスプレイパネル
は、放電空間中で放電時に気体ガス原子を電子により励
起させ、この励起された原子が基底状態に戻ることによ
り発生する紫外線を表示に利用している。カラー表示
は、放電によって生じる紫外線で表示セル内部に塗布さ
れた蛍光体１１〜１３を励起し、赤、緑、青（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）の三原色を発光させて表示する。またこの障壁構造
は、高輝度を得るためのメモリー駆動のため、あるいは
誤放電防止のため障壁形状は密閉型が必要とされてい
る。
は、放電空間中で放電時に気体ガス原子を電子により励
起させ、この励起された原子が基底状態に戻ることによ
り発生する紫外線を表示に利用している。カラー表示
は、放電によって生じる紫外線で表示セル内部に塗布さ
れた蛍光体１１〜１３を励起し、赤、緑、青（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）の三原色を発光させて表示する。またこの障壁構造
は、高輝度を得るためのメモリー駆動のため、あるいは
誤放電防止のため障壁形状は密閉型が必要とされてい
る。
【０００４】ところで、このプラズマディスプレイパネ
ルにおける障壁パターンの形成方法としては、厚膜印
刷の繰り返しによって形成する印刷法と、本発明者ら
が、先に提案したフォトリソグラフィ法を用いた形成法
（特開平２−１６５５３８号公報参照）等がある。この
フォトリソグラフィ法は、感光性ペーストを遮光マスク
を用いて露光積層した後、一括現像することによりパタ
ーンを形成する方法である。そして、この方法によれ
ば、１００μｍ以下のライン幅およびライン間隔をも
ち、かつ１００μｍ以上の高さを有するプラズマディス
プレイパネル用の障壁を得ることができる。
ルにおける障壁パターンの形成方法としては、厚膜印
刷の繰り返しによって形成する印刷法と、本発明者ら
が、先に提案したフォトリソグラフィ法を用いた形成法
（特開平２−１６５５３８号公報参照）等がある。この
フォトリソグラフィ法は、感光性ペーストを遮光マスク
を用いて露光積層した後、一括現像することによりパタ
ーンを形成する方法である。そして、この方法によれ
ば、１００μｍ以下のライン幅およびライン間隔をも
ち、かつ１００μｍ以上の高さを有するプラズマディス
プレイパネル用の障壁を得ることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このフォトリ
ソグラフィ法による障壁形成法の場合は、次のような課
題がある。 感光性ペースト中に多くの樹脂を必要とするため焼
成時の障壁の収縮率が大きい。 密閉型の障壁形状では、障壁の面方向の焼成収縮の
均衡が保たれず、障壁形状が傾斜し、蛍光体塗布時に細
部まで蛍光体が塗布されず歩留が低下する。 障壁パターン頂部は、焼成により樹脂分が揮散しガ
ラス分が軟化するため凸凹が生じ平坦性が損なわれる。
このため発光時に光が他の画素に漏れ発光コントラスト
が低下する、またカラープラズマディスプレイパネルの
場合は色滲みの原因となる。
ソグラフィ法による障壁形成法の場合は、次のような課
題がある。 感光性ペースト中に多くの樹脂を必要とするため焼
成時の障壁の収縮率が大きい。 密閉型の障壁形状では、障壁の面方向の焼成収縮の
均衡が保たれず、障壁形状が傾斜し、蛍光体塗布時に細
部まで蛍光体が塗布されず歩留が低下する。 障壁パターン頂部は、焼成により樹脂分が揮散しガ
ラス分が軟化するため凸凹が生じ平坦性が損なわれる。
このため発光時に光が他の画素に漏れ発光コントラスト
が低下する、またカラープラズマディスプレイパネルの
場合は色滲みの原因となる。
【０００６】本発明は、上述した課題に対処して創案し
たものであって、その目的とする処は、焼成後の障壁形
状の傾斜を抑制し、蛍光体塗布時の歩留を向上させると
ともに、障壁頂部の平坦性を確保しパネルの表示特性に
優れたブラズマディスプレイパネルの障壁形成方法を提
供することにある。
たものであって、その目的とする処は、焼成後の障壁形
状の傾斜を抑制し、蛍光体塗布時の歩留を向上させると
ともに、障壁頂部の平坦性を確保しパネルの表示特性に
優れたブラズマディスプレイパネルの障壁形成方法を提
供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】そして、上記目的を解決
するための手段としての本発明のプラズマディスプレイ
パネルの障壁形成方法は、プラズマディスプレイパネル
の障壁の形成方法において、電極群の設けられた絶縁板
上に所望高さの障壁パターンを形成し、該障壁パターン
を脱バインダー焼成し、該脱バインダー焼成された障壁
形成基板を逆さにして前記障壁パターンを焼成用台板上
に載置して本焼成する構成としている。
するための手段としての本発明のプラズマディスプレイ
パネルの障壁形成方法は、プラズマディスプレイパネル
の障壁の形成方法において、電極群の設けられた絶縁板
上に所望高さの障壁パターンを形成し、該障壁パターン
を脱バインダー焼成し、該脱バインダー焼成された障壁
形成基板を逆さにして前記障壁パターンを焼成用台板上
に載置して本焼成する構成としている。
【０００８】また、本発明の他のプラズマディスプレイ
パネルの障壁形成方法は、プラズマディスプレイパネル
の障壁の形成方法において、電極群の設けられた絶縁板
上に所望高さの障壁パターンを形成し、該障壁パターン
を脱バインダー焼成し、該脱バインダー焼成された障壁
形成基板の前記障壁パターン上に上載せ用荷重基板を載
置して本焼成する構成としている。
パネルの障壁形成方法は、プラズマディスプレイパネル
の障壁の形成方法において、電極群の設けられた絶縁板
上に所望高さの障壁パターンを形成し、該障壁パターン
を脱バインダー焼成し、該脱バインダー焼成された障壁
形成基板の前記障壁パターン上に上載せ用荷重基板を載
置して本焼成する構成としている。
【０００９】また、本発明の他のブラズマディスプレイ
パネルの障壁形成方法は、前記発明において荷重用基板
を障壁形成基板上あるいは上載せ用荷重基板上に１枚ま
たは複数枚載せて本焼成する構成としている。
パネルの障壁形成方法は、前記発明において荷重用基板
を障壁形成基板上あるいは上載せ用荷重基板上に１枚ま
たは複数枚載せて本焼成する構成としている。
【００１０】
【作用】本発明では、上述した障壁形成方法をとること
により、従来の課題を解決した。すなわち、障壁パター
ン成分中に含まれるバインダーの焼成時に、発生するカ
ーボンの障壁形成基板への付着を防止するために、予め
脱バインダー焼成した障壁形成基板を本焼成する際に逆
さ置きにすることにより、または障壁形成基板上に荷重
として他の基板を載せることにより、障壁頂部が焼成用
台板あるいは上載せ用荷重基板と接触し、さらに背面あ
るいは上載せ面からの荷重を受けるようになっている。
これにより本焼成時の障壁の面方向の収縮を抑制し、高
さ方向の収縮を促進する。このため障壁の焼成収縮に伴
う障壁形状の傾斜を抑制するように作用する。またこの
際の障壁頂部は、焼成用台板または上載せ用荷重基板と
接触するため障壁頂部の平坦性は、焼成用台板または上
載せ用荷重基板の表面状態に拘束される。よって障壁頂
部の平坦性が確保されるように作用する。さらにこれら
の作用は荷重用基板を１枚あるいは複数枚載せることに
より効果が促されると伴に絶縁板の重量、障壁の材質、
障壁の形状等の変更があっても同等の効果を得ることが
可能となるように作用する。
により、従来の課題を解決した。すなわち、障壁パター
ン成分中に含まれるバインダーの焼成時に、発生するカ
ーボンの障壁形成基板への付着を防止するために、予め
脱バインダー焼成した障壁形成基板を本焼成する際に逆
さ置きにすることにより、または障壁形成基板上に荷重
として他の基板を載せることにより、障壁頂部が焼成用
台板あるいは上載せ用荷重基板と接触し、さらに背面あ
るいは上載せ面からの荷重を受けるようになっている。
これにより本焼成時の障壁の面方向の収縮を抑制し、高
さ方向の収縮を促進する。このため障壁の焼成収縮に伴
う障壁形状の傾斜を抑制するように作用する。またこの
際の障壁頂部は、焼成用台板または上載せ用荷重基板と
接触するため障壁頂部の平坦性は、焼成用台板または上
載せ用荷重基板の表面状態に拘束される。よって障壁頂
部の平坦性が確保されるように作用する。さらにこれら
の作用は荷重用基板を１枚あるいは複数枚載せることに
より効果が促されると伴に絶縁板の重量、障壁の材質、
障壁の形状等の変更があっても同等の効果を得ることが
可能となるように作用する。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら詳細に説明する。ここに、図１〜図３は本発明の
実施例を示し、図１は、絶縁板上の障壁パターンを脱バ
インダー焼成した障壁形成基板を逆さにして焼成用台板
に接触するように置いた概略図である。図２は、絶縁板
上の障壁パターンを脱バインダー焼成した障壁形成基板
の障壁パターン上に上載せ用荷重基板を載せた概略図で
ある。図３（ａ）、（ｂ）は、図１または図２の実施例
の上に荷重用基板を載せた概略図である。
ながら詳細に説明する。ここに、図１〜図３は本発明の
実施例を示し、図１は、絶縁板上の障壁パターンを脱バ
インダー焼成した障壁形成基板を逆さにして焼成用台板
に接触するように置いた概略図である。図２は、絶縁板
上の障壁パターンを脱バインダー焼成した障壁形成基板
の障壁パターン上に上載せ用荷重基板を載せた概略図で
ある。図３（ａ）、（ｂ）は、図１または図２の実施例
の上に荷重用基板を載せた概略図である。
【００１２】まず、そのプラズマディスプレイパネルの
製造方法に際し、本焼成前の障壁の形成方法について説
明する。障壁パターン形成の材料として、ＰｂＯ，Ｂ２
Ｏ３，ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３からなるガラスフリットと
Ａｌ２Ｏ３粉末とＦｅ２Ｏ３，Ｍｎ３Ｏ４，ＣｏＯを主
成分とする黒色顔料からなる配合粉末に紫外線硬化樹脂
と溶剤を混合しペーストを得た。これを、電極群（図４
に示すプラズマディスプレイパネルにおいては、アノー
ド電極群あるいはカソード電極群）が形成された厚み３
ｍｍ、大きさ２１０×１６０ｍｍの絶縁板３上にロール
コーターにてコーティングし、紫外線露光、現像を使っ
てのフォトリソグラフィー法によって、障壁幅６０μ
ｍ、ピッチ６００μｍ、障壁高さ２００μｍの障壁パタ
ーンを形成する。次いで、障壁パターン成分中の樹脂分
が揮散する温度以上であって障壁パターンの焼結が進ま
ない３５０℃〜５００℃で脱バインダー焼成する。この
際の脱バインダー焼成温度が、この温度範囲以下である
と障壁パターン中の樹脂分の揮散が十分行われず、本焼
成の際に樹脂分の揮散が継続し、絶縁板３に残炭分が付
着する。また、この焼成温度範囲以上であると障壁パタ
ーンの焼結が進行し、本焼成の前に収縮が開始するた
め、障壁形状が変形し不具合が発生する。本実施例で
は、脱バインダー焼成を４５０℃で１２時間行い、脱バ
インダー焼成された障壁２を得た。
製造方法に際し、本焼成前の障壁の形成方法について説
明する。障壁パターン形成の材料として、ＰｂＯ，Ｂ２
Ｏ３，ＳｉＯ２，Ａｌ２Ｏ３からなるガラスフリットと
Ａｌ２Ｏ３粉末とＦｅ２Ｏ３，Ｍｎ３Ｏ４，ＣｏＯを主
成分とする黒色顔料からなる配合粉末に紫外線硬化樹脂
と溶剤を混合しペーストを得た。これを、電極群（図４
に示すプラズマディスプレイパネルにおいては、アノー
ド電極群あるいはカソード電極群）が形成された厚み３
ｍｍ、大きさ２１０×１６０ｍｍの絶縁板３上にロール
コーターにてコーティングし、紫外線露光、現像を使っ
てのフォトリソグラフィー法によって、障壁幅６０μ
ｍ、ピッチ６００μｍ、障壁高さ２００μｍの障壁パタ
ーンを形成する。次いで、障壁パターン成分中の樹脂分
が揮散する温度以上であって障壁パターンの焼結が進ま
ない３５０℃〜５００℃で脱バインダー焼成する。この
際の脱バインダー焼成温度が、この温度範囲以下である
と障壁パターン中の樹脂分の揮散が十分行われず、本焼
成の際に樹脂分の揮散が継続し、絶縁板３に残炭分が付
着する。また、この焼成温度範囲以上であると障壁パタ
ーンの焼結が進行し、本焼成の前に収縮が開始するた
め、障壁形状が変形し不具合が発生する。本実施例で
は、脱バインダー焼成を４５０℃で１２時間行い、脱バ
インダー焼成された障壁２を得た。
【００１３】−実施例１− 以下、そのプラズマディスプレイパネルの製造方法に際
し、本焼成時の障壁の形成方法について説明する。図１
に示す方法では、前記脱バインダー焼成された障壁形成
基板を逆さにして障壁を焼成用台板１に接触するように
してセッティングする。この際の焼成用台板１は、表面
研磨されたアルミナ、炭化珪素等のセラミックス焼結
体、石英ガラスおよび結晶化ガラス等の焼成用のセッタ
ー材を兼用してもよく、または焼成用のセッター材の上
にフロートガラス等の安価な基板を置いて焼成用台板１
として用いてもよい。本実施例では厚さ７ｍｍ、大きさ
２５０×２００ｍｍの焼成用のセッター材の上に厚さ２
ｍｍ、大きさ２５０×２００ｍｍのフロートガラスを置
き、その上に逆さにして障壁を下方にした障壁形成基板
をセッティングした。そして最高温度５６０℃×１５分
で本焼成を行い、障壁を得た。
し、本焼成時の障壁の形成方法について説明する。図１
に示す方法では、前記脱バインダー焼成された障壁形成
基板を逆さにして障壁を焼成用台板１に接触するように
してセッティングする。この際の焼成用台板１は、表面
研磨されたアルミナ、炭化珪素等のセラミックス焼結
体、石英ガラスおよび結晶化ガラス等の焼成用のセッタ
ー材を兼用してもよく、または焼成用のセッター材の上
にフロートガラス等の安価な基板を置いて焼成用台板１
として用いてもよい。本実施例では厚さ７ｍｍ、大きさ
２５０×２００ｍｍの焼成用のセッター材の上に厚さ２
ｍｍ、大きさ２５０×２００ｍｍのフロートガラスを置
き、その上に逆さにして障壁を下方にした障壁形成基板
をセッティングした。そして最高温度５６０℃×１５分
で本焼成を行い、障壁を得た。
【００１４】−実施例２− また、図２に示す方法では、脱バインダー焼成した障壁
形成基板上に、上載せ用荷重基板４を障壁パターン全面
に接触するようにしてセッティングする。この際の上載
せ用荷重基板４は、例えばアルミナ、炭化珪素等のセラ
ミックス焼結体、石英ガラスおよび結晶化ガラス等であ
って、障壁の本焼成温度で変形、収縮を伴わない基板で
あればよい。本実施例では、絶縁板３とほぼ同一サイズ
の厚み３ｍｍ、大きさ２１０×１６０ｍｍの表面を研磨
した結晶化ガラスを障壁形成基板上に載せてセッティン
グした。そして最高温度５６０℃×１５分で本焼成を行
い、障壁を得た。
形成基板上に、上載せ用荷重基板４を障壁パターン全面
に接触するようにしてセッティングする。この際の上載
せ用荷重基板４は、例えばアルミナ、炭化珪素等のセラ
ミックス焼結体、石英ガラスおよび結晶化ガラス等であ
って、障壁の本焼成温度で変形、収縮を伴わない基板で
あればよい。本実施例では、絶縁板３とほぼ同一サイズ
の厚み３ｍｍ、大きさ２１０×１６０ｍｍの表面を研磨
した結晶化ガラスを障壁形成基板上に載せてセッティン
グした。そして最高温度５６０℃×１５分で本焼成を行
い、障壁を得た。
【００１５】−実施例３− また、図３（ａ）に示す方法では、上記図１に示した方
法の上に、さらに荷重として基板を１枚または数枚載せ
たセッティングとしている。この荷重用基板５として、
例えばアルミナ、炭化珪素等のセラミックス焼結体、石
英ガラスおよび結晶化ガラス等や安価なフロートガラス
であればよく、障壁の本焼成温度で変形、収縮を伴わな
い基板であればよい。またその枚数は、障壁の形成され
た絶縁板３と荷重用基板５の総重量、障壁材料の強度、
障壁の形状等によって決められるものであって、本実施
例の障壁形状では、絶縁板３としてのガラスが厚み３ｍ
ｍ、大きさ２１０×１６０ｍｍの場合であって、荷重用
基板５は絶縁板３とほぼ同一サイズのフロートガラス１
枚を使用した。そして最高温度５６０℃×１５分で本焼
成を行い、障壁を得た。
法の上に、さらに荷重として基板を１枚または数枚載せ
たセッティングとしている。この荷重用基板５として、
例えばアルミナ、炭化珪素等のセラミックス焼結体、石
英ガラスおよび結晶化ガラス等や安価なフロートガラス
であればよく、障壁の本焼成温度で変形、収縮を伴わな
い基板であればよい。またその枚数は、障壁の形成され
た絶縁板３と荷重用基板５の総重量、障壁材料の強度、
障壁の形状等によって決められるものであって、本実施
例の障壁形状では、絶縁板３としてのガラスが厚み３ｍ
ｍ、大きさ２１０×１６０ｍｍの場合であって、荷重用
基板５は絶縁板３とほぼ同一サイズのフロートガラス１
枚を使用した。そして最高温度５６０℃×１５分で本焼
成を行い、障壁を得た。
【００１６】−実施例４− また、図３（ｂ）に示す方法では、上記図２に示した方
法の上に、さらに荷重として基板を１枚または数枚載せ
たセッティングとしている。この荷重用基板５として、
例えばアルミナ、炭化珪素等のセラミックス焼結体、石
英ガラスおよび結晶化ガラス等や安価なフロートガラス
であればよく、障壁の本焼成温度で変形、収縮を伴わな
い基板であればよい。またその枚数は、上載せ用荷重基
板４と荷重用基板５の総重量、障壁材料の強度、障壁の
形状等によって決められるものであって、本実施例の障
壁形状では、上載せ用荷重基板４としての厚み３ｍｍ、
大きさ２１０×１６０ｍｍの表面を研磨した結晶化ガラ
スの上に、荷重用基板５としてほぼ同一サイズのフロー
トガラス１枚を使用した。そして最高温度５６０℃×１
５分で本焼成を行い、障壁を得た。
法の上に、さらに荷重として基板を１枚または数枚載せ
たセッティングとしている。この荷重用基板５として、
例えばアルミナ、炭化珪素等のセラミックス焼結体、石
英ガラスおよび結晶化ガラス等や安価なフロートガラス
であればよく、障壁の本焼成温度で変形、収縮を伴わな
い基板であればよい。またその枚数は、上載せ用荷重基
板４と荷重用基板５の総重量、障壁材料の強度、障壁の
形状等によって決められるものであって、本実施例の障
壁形状では、上載せ用荷重基板４としての厚み３ｍｍ、
大きさ２１０×１６０ｍｍの表面を研磨した結晶化ガラ
スの上に、荷重用基板５としてほぼ同一サイズのフロー
トガラス１枚を使用した。そして最高温度５６０℃×１
５分で本焼成を行い、障壁を得た。
【００１７】次に、上述した実施例１〜実施例４の作用
・効果を確認するために、従来例と比較し、障壁形状の
傾斜角度θおよび障壁頂部の平坦性についての評価を行
った。そして、その結果を表１に示す。なお図５は、評
価を行うためのフォトリソグラフィー法によって形成し
た障壁幅６０μｍ、ピッチ６００μｍ、障壁高さ２００
μｍの密閉型障壁の部分拡大図であり、図６は、本焼成
後の密閉型障壁形状の斜視図である。
・効果を確認するために、従来例と比較し、障壁形状の
傾斜角度θおよび障壁頂部の平坦性についての評価を行
った。そして、その結果を表１に示す。なお図５は、評
価を行うためのフォトリソグラフィー法によって形成し
た障壁幅６０μｍ、ピッチ６００μｍ、障壁高さ２００
μｍの密閉型障壁の部分拡大図であり、図６は、本焼成
後の密閉型障壁形状の斜視図である。
【００１８】
【表１】
【００１９】そして表１に示すように実施例１〜実施例
４については、障壁形状の傾斜角度が改善されほぼ垂直
に近いものであるのに対して、従来例では、傾斜角度が
大きく均一な蛍光体塗布等の作業が困難であり、歩留低
下の原因となった。また、実施例１〜実施例４では障壁
頂部の平坦性は、従来例に比べ向上した。この結果、誤
放電、色滲み等の放電パラツキが減少し、放電特性の優
れたプラズマディスプレイパネルの作製が可能となっ
た。
４については、障壁形状の傾斜角度が改善されほぼ垂直
に近いものであるのに対して、従来例では、傾斜角度が
大きく均一な蛍光体塗布等の作業が困難であり、歩留低
下の原因となった。また、実施例１〜実施例４では障壁
頂部の平坦性は、従来例に比べ向上した。この結果、誤
放電、色滲み等の放電パラツキが減少し、放電特性の優
れたプラズマディスプレイパネルの作製が可能となっ
た。
【００２０】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。また、前述の実施例では、絶
縁板の背面側基板に障壁形成した構成を示したが、例え
ば、絶縁板の前面側基板に障壁形成した場合や電極、保
護膜、反射膜等の付いた基板に障壁形成した場合等につ
いても同様である。
れるものでなく、本発明の要旨を変更しない範囲内で変
形実施できる構成を含む。また、前述の実施例では、絶
縁板の背面側基板に障壁形成した構成を示したが、例え
ば、絶縁板の前面側基板に障壁形成した場合や電極、保
護膜、反射膜等の付いた基板に障壁形成した場合等につ
いても同様である。
【００２１】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
のプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法によれ
ば、障壁が亀裂のない垂直形状になるので、画素への蛍
光体塗布が細部まで均一となり、蛍光体塗布工程等の歩
留が向上するという効果を有する。
のプラズマディスプレイパネルの障壁形成方法によれ
ば、障壁が亀裂のない垂直形状になるので、画素への蛍
光体塗布が細部まで均一となり、蛍光体塗布工程等の歩
留が向上するという効果を有する。
【００２２】また、障壁頂部の平坦性が向上することに
より、誤放電、色滲み等がなくなり放電特性が向上でき
るという効果を有する。
より、誤放電、色滲み等がなくなり放電特性が向上でき
るという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の実施例１を示し、絶縁板上の障壁パ
ターンを脱バインダー焼成した障壁形成基板を逆さにし
て焼成用台板に接触するように置いた概略図である。
ターンを脱バインダー焼成した障壁形成基板を逆さにし
て焼成用台板に接触するように置いた概略図である。
【図２】 本発明の実施例２を示し、絶縁板上の障壁パ
ターンを脱バインダー焼成した障壁形成基板の障壁パタ
ーン上に上載せ用荷重基板を載せた概略図である。
ターンを脱バインダー焼成した障壁形成基板の障壁パタ
ーン上に上載せ用荷重基板を載せた概略図である。
【図３】 本発明の実施例３または４を示し、図１また
は図２の実施例の上に、さらに１枚または複数枚の荷重
用基板を載せた概略図である。
は図２の実施例の上に、さらに１枚または複数枚の荷重
用基板を載せた概略図である。
【図４】 プラズマディスプレイパネルの一例の模式図
である。
である。
【図５】 実施例の作用・効果を確認するために行った
評価に用いたフォトリソグラフィー法によって形成した
密閉型障壁の平面図の部分拡大図である。
評価に用いたフォトリソグラフィー法によって形成した
密閉型障壁の平面図の部分拡大図である。
【図６】 実施例の作用・効果を確認するために行った
評価に用いたフォトリソグラフィー法によって形成した
密閉型障壁形状の斜視図である。
評価に用いたフォトリソグラフィー法によって形成した
密閉型障壁形状の斜視図である。
１・・・焼成用台板、２・・・脱バインダー焼成した障
壁、３・・・絶縁板（背面側）、４・・・上載せ用荷重
基板、５・・・荷重用基板、６・・・障壁、７・・・カ
ソード電極（陰極）、８・・・アノード電極（陽極）、
９・・・補助陽極、１０・・・絶縁板（前面側）、１１
〜１３・・・Ｒ、Ｇ、Ｂ蛍光体、１４・・・画素（表示
セル）、θ・・・障壁形状の傾斜角度
壁、３・・・絶縁板（背面側）、４・・・上載せ用荷重
基板、５・・・荷重用基板、６・・・障壁、７・・・カ
ソード電極（陰極）、８・・・アノード電極（陽極）、
９・・・補助陽極、１０・・・絶縁板（前面側）、１１
〜１３・・・Ｒ、Ｇ、Ｂ蛍光体、１４・・・画素（表示
セル）、θ・・・障壁形状の傾斜角度
Claims (3)
- 【請求項１】プラズマディスプレイパネルの障壁の形成
方法において、電極群の設けられた絶縁板上に所望高さ
の障壁パターンを形成し、該障壁パターンを脱バインダ
ー焼成し、該脱バインダー焼成された障壁形成基板を逆
さにして前記障壁パターンを焼成用台板上に載置して本
焼成することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
の障壁形成方法。 - 【請求項２】プラズマディスプレイパネルの障壁の形成
方法において、電極群の設けられた絶縁板上に所望高さ
の障壁パターンを形成し、該障壁パターンを脱バインダ
ー焼成し、該脱バインダー焼成された障壁形成基板の前
記障壁パターン上に上載せ用荷重基板を載置して本焼成
することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの障
壁形成方法。 - 【請求項３】 請求項１ならびに２において荷重用基板
を障壁形成基板上あるいは上載せ用荷重基板上に１枚ま
たは複数枚載置して本焼成することを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの障壁形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18038994A JP3125126B2 (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18038994A JP3125126B2 (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0817345A JPH0817345A (ja) | 1996-01-19 |
| JP3125126B2 true JP3125126B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=16082384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18038994A Expired - Fee Related JP3125126B2 (ja) | 1994-06-27 | 1994-06-27 | プラズマディスプレイパネルの障壁形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3125126B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100232136B1 (ko) * | 1996-08-20 | 1999-12-01 | 구자홍 | 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽구조 및 격벽제조방법 |
| KR100672546B1 (ko) * | 1999-10-18 | 2007-01-23 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 표시소자의 기판 소성용 지그 |
| KR100599612B1 (ko) * | 2002-01-26 | 2006-07-12 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조 방법 |
-
1994
- 1994-06-27 JP JP18038994A patent/JP3125126B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0817345A (ja) | 1996-01-19 |
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Legal Events
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