JPH07152153A - 感光性ペースト - Google Patents
感光性ペーストInfo
- Publication number
- JPH07152153A JPH07152153A JP30054093A JP30054093A JPH07152153A JP H07152153 A JPH07152153 A JP H07152153A JP 30054093 A JP30054093 A JP 30054093A JP 30054093 A JP30054093 A JP 30054093A JP H07152153 A JPH07152153 A JP H07152153A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photosensitive paste
- bttb
- photosensitive
- detx
- phosphor
- Prior art date
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- Granted
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- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】フォトリソグラフィ法で高精度なパターン形成
ができる体色が黄色の蛍光体を粉体材料として含む感光
性ペーストを提供する。 【構成】感光性ペーストは、分散剤と硬化剤と光重合開
始剤と光重合促進剤を含有している感光性ビークルと、
体色が黄色の蛍光体とから成る感光性ペーストにおい
て、前記光重合開始剤が2,4 −ジエチルチオキサントン
（DETX）と3,3,4,4−テトラ−（トリ−ブチルペルオキ
シカルボニル）ベンゾフェノン（BTTB）から成る。フォ
トリソグラフィ法における紫外線の露光により、従来例
に比較して充分な硬化反応が得られ、正確かつ精密なパ
ターン形成が行えた。これは、BTTBを加えたことによっ
て感光性ペーストが高感度化したためである。露光時に
は、DETXとBTTBがレドックス反応をし、更にトリエタノ
ールアミンは、DETX及びBTTBとそれぞれ電荷移動錯体の
形成を経て水素引き抜き反応を行う。
ができる体色が黄色の蛍光体を粉体材料として含む感光
性ペーストを提供する。 【構成】感光性ペーストは、分散剤と硬化剤と光重合開
始剤と光重合促進剤を含有している感光性ビークルと、
体色が黄色の蛍光体とから成る感光性ペーストにおい
て、前記光重合開始剤が2,4 −ジエチルチオキサントン
（DETX）と3,3,4,4−テトラ−（トリ−ブチルペルオキ
シカルボニル）ベンゾフェノン（BTTB）から成る。フォ
トリソグラフィ法における紫外線の露光により、従来例
に比較して充分な硬化反応が得られ、正確かつ精密なパ
ターン形成が行えた。これは、BTTBを加えたことによっ
て感光性ペーストが高感度化したためである。露光時に
は、DETXとBTTBがレドックス反応をし、更にトリエタノ
ールアミンは、DETX及びBTTBとそれぞれ電荷移動錯体の
形成を経て水素引き抜き反応を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、感光性ペーストに関す
るものである。
るものである。
【０００２】
【従来の技術】溶剤現像の感光性ペーストは、一般に感
光性ビークルと粉体材料から成る。感光性ビークルは分
散剤と硬化剤と光重合開始剤と光重合促進剤から成り、
粉体材料としては無機物質が用いられる。
光性ビークルと粉体材料から成る。感光性ビークルは分
散剤と硬化剤と光重合開始剤と光重合促進剤から成り、
粉体材料としては無機物質が用いられる。
【０００３】例えば、無機物質である粉体材料として蛍
光体を用いれば、蛍光表示管等における蛍光体の表示パ
ターンを、この感光性ペーストを利用してフォトリソグ
ラフィ法で製造できる。即ち、図４（ａ）に示すように
感光性ペースト１００をスクリーン印刷で基板１０１の
表面に塗布し、同図（ｂ）に示すようにマスク１０２を
介して紫外線を照射するフォトリソグラフィの手法によ
り、照射された部分１０３のみを硬化させる。そして同
図（ｃ）に示すように、１１１トリクロロエタンによる
現像工程で、硬化していない未露光部分を除去し、所望
のパターンを形成する。
光体を用いれば、蛍光表示管等における蛍光体の表示パ
ターンを、この感光性ペーストを利用してフォトリソグ
ラフィ法で製造できる。即ち、図４（ａ）に示すように
感光性ペースト１００をスクリーン印刷で基板１０１の
表面に塗布し、同図（ｂ）に示すようにマスク１０２を
介して紫外線を照射するフォトリソグラフィの手法によ
り、照射された部分１０３のみを硬化させる。そして同
図（ｃ）に示すように、１１１トリクロロエタンによる
現像工程で、硬化していない未露光部分を除去し、所望
のパターンを形成する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記手法によるパター
ン形成は、体色が白色の蛍光体を粉体材料にした場合に
は問題なく行えた。しかしながら、体色が黄色の蛍光
体、例えば（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａｇ，Ｃｌ等のようなオレ
ンジ・赤色系統の発光色を有する蛍光体を粉体材料と
し、これを感光性ビークルに混合して形成した感光性ペ
ーストを用いると、前述したような手法によるパターン
形成がうまくいかなかった。
ン形成は、体色が白色の蛍光体を粉体材料にした場合に
は問題なく行えた。しかしながら、体色が黄色の蛍光
体、例えば（ＺｎＣｄ）Ｓ：Ａｇ，Ｃｌ等のようなオレ
ンジ・赤色系統の発光色を有する蛍光体を粉体材料と
し、これを感光性ビークルに混合して形成した感光性ペ
ーストを用いると、前述したような手法によるパターン
形成がうまくいかなかった。
【０００５】前記感光性ペーストは、光重合開始剤とし
て２，４−ジエチルチオキサントン（ＤＥＴＸ）を有し
ている。図５（ａ）にその構造式を示す。このＤＥＴＸ
の吸収波長は、図５（ｂ）に示すように２００〜４２０
ｎｍの範囲しかない。そして、黄色の蛍光体がこの波長
帯の光を吸収してしまう為、露光された部分の特に内部
が充分に硬化せず、現像後に所望のパターンが得られな
くなるものと考えられる。
て２，４−ジエチルチオキサントン（ＤＥＴＸ）を有し
ている。図５（ａ）にその構造式を示す。このＤＥＴＸ
の吸収波長は、図５（ｂ）に示すように２００〜４２０
ｎｍの範囲しかない。そして、黄色の蛍光体がこの波長
帯の光を吸収してしまう為、露光された部分の特に内部
が充分に硬化せず、現像後に所望のパターンが得られな
くなるものと考えられる。
【０００６】本発明は、フォトリソグラフィ法でパター
ン形成ができる体色が黄色の蛍光体を粉体材料として含
む感光性ペーストを提供することを目的としている。
ン形成ができる体色が黄色の蛍光体を粉体材料として含
む感光性ペーストを提供することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された感
光性ペーストは、分散剤と硬化剤と光重合開始剤と光重
合促進剤を含有している感光性ビークルと、粉体材料と
から成る感光性ペーストにおいて、前記光重合開始剤が
２，４−ジエチルチオキサントン（ＤＥＴＸ）と３，
３，４，４−テトラ−（トリ−ブチルペルオキシカルボ
ニル）ベンゾフェノン（ＢＴＴＢ）から成ることを特徴
とする。
光性ペーストは、分散剤と硬化剤と光重合開始剤と光重
合促進剤を含有している感光性ビークルと、粉体材料と
から成る感光性ペーストにおいて、前記光重合開始剤が
２，４−ジエチルチオキサントン（ＤＥＴＸ）と３，
３，４，４−テトラ−（トリ−ブチルペルオキシカルボ
ニル）ベンゾフェノン（ＢＴＴＢ）から成ることを特徴
とする。
【０００８】請求項２に記載された感光性ペーストは、
請求項１の感光性ペーストにおいて粉体材料が蛍光体で
ある。
請求項１の感光性ペーストにおいて粉体材料が蛍光体で
ある。
【０００９】請求項３に記載された感光性ペーストは、
請求項２の感光性ペーストにおいて蛍光体の体色が黄色
である。
請求項２の感光性ペーストにおいて蛍光体の体色が黄色
である。
【００１０】
【作用】感光性ペーストの膜に紫外線を照射すると、Ｂ
ＴＴＢが開裂し、ラジカルを発生する。発生したラジカ
ルは紫外線が届かない感光性ペーストの膜の内部や下方
にまで拡散し、硬化剤の重合を進める。
ＴＴＢが開裂し、ラジカルを発生する。発生したラジカ
ルは紫外線が届かない感光性ペーストの膜の内部や下方
にまで拡散し、硬化剤の重合を進める。
【００１１】
【実施例】図１〜図３及び表１を参照して本発明の第１
実施例を説明する。本実施例の感光性ペーストは、感光
性ビークルと、粉体材料としての蛍光体を有している。
感光性ビークルは、次の１）〜５）の成分を含む。 １）分散剤としての水溶性のセルロース誘導体、例えば
メチルセルロースやエチルセルロース。 ２）硬化剤として、アクリロイル基、メタクリロイル基
を有し、溶剤可溶性の光重合モノマー、例えばＤＰＣＡ
６０。 ３）光重合促進剤として、溶剤可溶性の第３級アミン、
例えばトリエタノールアミン。
実施例を説明する。本実施例の感光性ペーストは、感光
性ビークルと、粉体材料としての蛍光体を有している。
感光性ビークルは、次の１）〜５）の成分を含む。 １）分散剤としての水溶性のセルロース誘導体、例えば
メチルセルロースやエチルセルロース。 ２）硬化剤として、アクリロイル基、メタクリロイル基
を有し、溶剤可溶性の光重合モノマー、例えばＤＰＣＡ
６０。 ３）光重合促進剤として、溶剤可溶性の第３級アミン、
例えばトリエタノールアミン。
【００１２】４）光重合開始剤として、２，４−ジエチ
ルチオキサントン（ＤＥＴＸ）と、３，３，４，４−テ
トラ−（トリ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフ
ェノン（ＢＴＴＢ）。ここで、図２はＢＴＴＢの構造式
であり、図３にはＢＴＴＢの吸収波長を示す。 ５）反応性希釈剤として、粘度調整作用のあるＨＥＭＡ
（２−ヒドロキシメタクリレート）。
ルチオキサントン（ＤＥＴＸ）と、３，３，４，４−テ
トラ−（トリ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフ
ェノン（ＢＴＴＢ）。ここで、図２はＢＴＴＢの構造式
であり、図３にはＢＴＴＢの吸収波長を示す。 ５）反応性希釈剤として、粘度調整作用のあるＨＥＭＡ
（２−ヒドロキシメタクリレート）。
【００１３】粉体材料としては蛍光体（ＺｎＣｄ）Ｓ：
Ａｇ，Ｃｌを用いる。
Ａｇ，Ｃｌを用いる。
【００１４】前記感光性ビークルと前記蛍光体を混合し
て、本実施例の感光性ペーストを得た。前記感光性ビー
クルの各成分と前記蛍光体の組成の一例を、従来例の感
光性ペーストの場合と比較して重量％で表１に示す。
て、本実施例の感光性ペーストを得た。前記感光性ビー
クルの各成分と前記蛍光体の組成の一例を、従来例の感
光性ペーストの場合と比較して重量％で表１に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】次に、本実施例の感光性ペーストを用いて
所定パターンの蛍光体膜を形成する工程について図１
（ａ）〜図１（ｄ）を参照して説明する。
所定パターンの蛍光体膜を形成する工程について図１
（ａ）〜図１（ｄ）を参照して説明する。
【００１７】 図１（ａ）に示すように、感光性ペー
スト１をスクリーン印刷法で基板２上に所定の厚さで一
様に塗布する。
スト１をスクリーン印刷法で基板２上に所定の厚さで一
様に塗布する。
【００１８】 図１（ｂ）に示すように、所定パター
ンの開口が設けられたマスク３を通して紫外線を露光す
る。紫外線の照射を受けた部分４が硬化する。
ンの開口が設けられたマスク３を通して紫外線を露光す
る。紫外線の照射を受けた部分４が硬化する。
【００１９】 図１（ｃ）に示すように、前記基板２
を１１０〜１３０℃で５〜１０分間加熱する。これによ
って、感光性ペースト１内において、紫外線によるラジ
カル反応が膜の下方まで拡散し、硬化剤の重合を早め
る。この工程は、形成しようとする蛍光体の膜厚が３０
μｍ以上である場合に特に有効である。なお、形成しよ
うとする蛍光体のパターンの精度が低い場合または厚さ
が小さい場合には、この工程は省略してもよい。
を１１０〜１３０℃で５〜１０分間加熱する。これによ
って、感光性ペースト１内において、紫外線によるラジ
カル反応が膜の下方まで拡散し、硬化剤の重合を早め
る。この工程は、形成しようとする蛍光体の膜厚が３０
μｍ以上である場合に特に有効である。なお、形成しよ
うとする蛍光体のパターンの精度が低い場合または厚さ
が小さい場合には、この工程は省略してもよい。
【００２０】 図１（ｄ）に示すように、１，１，１
−トリクロルエタンをスプレーで所定の圧力をかけて前
記基板２に噴射し、紫外線の照射されていない未硬化部
分を除去する。これによって前記マスク３に対応した所
定パターンの蛍光体パターンが形成される。
−トリクロルエタンをスプレーで所定の圧力をかけて前
記基板２に噴射し、紫外線の照射されていない未硬化部
分を除去する。これによって前記マスク３に対応した所
定パターンの蛍光体パターンが形成される。
【００２１】 前記基板２を乾燥する。
【００２２】本実施例の感光性ペーストは、体色が黄色
の蛍光体を含むにもかかわらず、フォトリソグラフィ法
における紫外線の露光により、従来例に比較して充分な
硬化反応が得られ、正確かつ精密なパターン形成が行え
た。具体的な一例を挙げれば、ラインアンドスペースが
５０μｍという高精度なパターンが形成できた。
の蛍光体を含むにもかかわらず、フォトリソグラフィ法
における紫外線の露光により、従来例に比較して充分な
硬化反応が得られ、正確かつ精密なパターン形成が行え
た。具体的な一例を挙げれば、ラインアンドスペースが
５０μｍという高精度なパターンが形成できた。
【００２３】これは、ＢＴＴＢを加えたことによって感
光性ペーストが高感度化したためであると考えられる。
露光時の反応としては、ＤＥＴＸとＢＴＴＢがレドック
ス反応をし、更にトリエタノールアミンは、ＤＥＴＸ及
びＢＴＴＢとそれぞれ電荷移動錯体の形成を経て水素引
き抜き反応を行うと考えられる。
光性ペーストが高感度化したためであると考えられる。
露光時の反応としては、ＤＥＴＸとＢＴＴＢがレドック
ス反応をし、更にトリエタノールアミンは、ＤＥＴＸ及
びＢＴＴＢとそれぞれ電荷移動錯体の形成を経て水素引
き抜き反応を行うと考えられる。
【００２４】
【発明の効果】本発明の感光性ペーストは、光重合開始
剤としてＤＥＴＸに加えてＢＴＴＢを含んでいるので、
粉体材料として含む蛍光体の体色が黄色であってもパタ
ーン形成が可能となり、特に形成される蛍光体のパター
ンの微細化が可能となった。
剤としてＤＥＴＸに加えてＢＴＴＢを含んでいるので、
粉体材料として含む蛍光体の体色が黄色であってもパタ
ーン形成が可能となり、特に形成される蛍光体のパター
ンの微細化が可能となった。
【００２５】
【図１】本考案の一実施例の工程図である。
【図２】本考案の一実施例で用いられるＢＴＴＢの構造
式を示す図である。
式を示す図である。
【図３】本考案の一実施例で用いられるＢＴＴＢのＵＶ
吸収曲線を示す図である。
吸収曲線を示す図である。
【図４】従来の感光性ペーストによる蛍光膜の形成を示
す工程図である。
す工程図である。
【図５】（ａ）はＤＥＴＸの構造式を示す図であり、
（ｂ）はＤＥＴＸのＵＶ吸収曲線を示す図である。
（ｂ）はＤＥＴＸのＵＶ吸収曲線を示す図である。
１ 感光性ペースト
Claims (3)
- 【請求項１】 分散剤と硬化剤と光重合開始剤と光重合
促進剤を含有している感光性ビークルと、粉体材料とか
ら成る感光性ペーストにおいて、前記光重合開始剤が
２，４−ジエチルチオキサントン（ＤＥＴＸ）と３，
３，４，４−テトラ−（トリ−ブチルペルオキシカルボ
ニル）ベンゾフェノン（ＢＴＴＢ）から成ることを特徴
とする感光性ペースト。 - 【請求項２】 粉体材料として蛍光体を含有している請
求項１記載の感光性ペースト。 - 【請求項３】 蛍光体の体色が黄色である請求項２記載
の感光性ペースト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5300540A JP3028718B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 感光性ペースト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5300540A JP3028718B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 感光性ペースト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07152153A true JPH07152153A (ja) | 1995-06-16 |
| JP3028718B2 JP3028718B2 (ja) | 2000-04-04 |
Family
ID=17886059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5300540A Expired - Fee Related JP3028718B2 (ja) | 1993-11-30 | 1993-11-30 | 感光性ペースト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3028718B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5792589A (en) * | 1996-02-06 | 1998-08-11 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Radiation sensitive composition containing a fluorescent substance dispersed therein |
| GB2352243A (en) * | 1999-07-22 | 2001-01-24 | Fuji Electric Co Ltd | Fluorescent conversion filter |
| WO2005052691A1 (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 厚膜パターンの形成方法、電子部品の製造方法、およびフォトリソグラフィー用感光性ペースト |
-
1993
- 1993-11-30 JP JP5300540A patent/JP3028718B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5792589A (en) * | 1996-02-06 | 1998-08-11 | Japan Synthetic Rubber Co., Ltd. | Radiation sensitive composition containing a fluorescent substance dispersed therein |
| GB2352243A (en) * | 1999-07-22 | 2001-01-24 | Fuji Electric Co Ltd | Fluorescent conversion filter |
| US6358652B1 (en) | 1999-07-22 | 2002-03-19 | Fuji Electric Co., Ltd. | Fluorescent conversion filter and organic light-emitting device equipped with the fluorescent conversion filter |
| GB2352243B (en) * | 1999-07-22 | 2003-03-19 | Fuji Electric Co Ltd | Flourescent conversion filter and organic light-emitting device equipped with the flourescent conversion filter |
| WO2005052691A1 (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-09 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 厚膜パターンの形成方法、電子部品の製造方法、およびフォトリソグラフィー用感光性ペースト |
| US8298754B2 (en) | 2003-11-25 | 2012-10-30 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method for forming thick film pattern, method for manufacturing electronic component, and photolithography photosensitive paste |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3028718B2 (ja) | 2000-04-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080204 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090204 Year of fee payment: 9 |
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