JPH07144966A - マイクロ波誘電体磁器組成物 - Google Patents
マイクロ波誘電体磁器組成物Info
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- JPH07144966A JPH07144966A JP5314308A JP31430893A JPH07144966A JP H07144966 A JPH07144966 A JP H07144966A JP 5314308 A JP5314308 A JP 5314308A JP 31430893 A JP31430893 A JP 31430893A JP H07144966 A JPH07144966 A JP H07144966A
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- porcelain composition
- value
- composition
- firing temperature
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 良好な無負荷Ｑｕ、共振周波数の温度係数τ
f 及び比誘電率εr を満足すると共に、それらの性能を
安定的に発揮できるマイクロ波誘電体磁器組成物を提供
する。 【構成】 組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−ｙ）Ｃａ
ＴｉＯ3 ］−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）
〔但し、０．８５≦ｘ≦０．９５、０．５≦ｙ≦０．
６〕で示されることを特徴とする。特に、上記組成式に
おいて、ｘ＝０．９、ｙ＝０．５５前後の値とした場合
に、２５００程度の高いＱｕと、５５前後の高いεｒ
と、良好なτf とが得られると共に、これらの性能の焼
成温度の変化に伴う変動が小さい。
f 及び比誘電率εr を満足すると共に、それらの性能を
安定的に発揮できるマイクロ波誘電体磁器組成物を提供
する。 【構成】 組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−ｙ）Ｃａ
ＴｉＯ3 ］−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）
〔但し、０．８５≦ｘ≦０．９５、０．５≦ｙ≦０．
６〕で示されることを特徴とする。特に、上記組成式に
おいて、ｘ＝０．９、ｙ＝０．５５前後の値とした場合
に、２５００程度の高いＱｕと、５５前後の高いεｒ
と、良好なτf とが得られると共に、これらの性能の焼
成温度の変化に伴う変動が小さい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波誘電体磁器
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、
「Ｑｕ」という。）及び共振周波数の温度係数（以下、
「τf 」という。）を実用的な特性範囲で維持しつつ、
高い比誘電率（以下、「εr 」という。）を備えるマイ
クロ波誘電体磁器組成物に関する。本発明は、マイクロ
波領域における誘電体共振器（特に、基地局用共振
器）、マイクロ波集積回路基板、各種マイクロ波回路の
インピーダンス整合等に利用される。
組成物に関し、更に詳しく言えば、無負荷Ｑ（以下、
「Ｑｕ」という。）及び共振周波数の温度係数（以下、
「τf 」という。）を実用的な特性範囲で維持しつつ、
高い比誘電率（以下、「εr 」という。）を備えるマイ
クロ波誘電体磁器組成物に関する。本発明は、マイクロ
波領域における誘電体共振器（特に、基地局用共振
器）、マイクロ波集積回路基板、各種マイクロ波回路の
インピーダンス整合等に利用される。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波誘電体磁器組成物（以下、
「磁器組成物」という。）は、使用周波数が高周波とな
るに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、マイ
クロ波領域でＱｕの大きな磁器組成物が望まれている。
また、この磁器組成物には、マイクロ波領域に適した高
いεr をもち、且つ、τf が小さいことが要求されてい
る。特に、近年では、上記共振器、回路基板等の小型化
等の要請を背景に、高いεr （４５程度以上）を有する
ものが求められている。
「磁器組成物」という。）は、使用周波数が高周波とな
るに従って誘電損失が大きくなる傾向にあるので、マイ
クロ波領域でＱｕの大きな磁器組成物が望まれている。
また、この磁器組成物には、マイクロ波領域に適した高
いεr をもち、且つ、τf が小さいことが要求されてい
る。特に、近年では、上記共振器、回路基板等の小型化
等の要請を背景に、高いεr （４５程度以上）を有する
ものが求められている。
【０００３】そして、これらの要求を満足させる為、
（１─ｘ）Ｌａ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2）Ｏ3 −ｘＣａＴｉ
Ｏ3 で示される組成を有する磁器組成物（特開昭６１−
１２８４１１号公報）、所定のモル比で配合されたＭ
ｇＯ、ＣａＯ、ＴｉＯ2 、Ｎｄ2 Ｏ3 、ＺｎＯ及びＰｂ
Ｏからなる６成分系の磁器組成物（特開昭６１−２９１
４５６号公報）、所定のモル比で配合されたＣａＴｉ
Ｏ3 、Ｌａ2 Ｔｉ2 Ｏ7 、Ｎｄ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2 ）Ｏ
3 及びＭｇＴｉＯ3 ・ＺｎＯ混合物を主成分とする磁器
組成物（特開昭６２−２８３８６２号公報、特開昭６２
−２８３８６３号公報）等が提案されている。
（１─ｘ）Ｌａ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2）Ｏ3 −ｘＣａＴｉ
Ｏ3 で示される組成を有する磁器組成物（特開昭６１−
１２８４１１号公報）、所定のモル比で配合されたＭ
ｇＯ、ＣａＯ、ＴｉＯ2 、Ｎｄ2 Ｏ3 、ＺｎＯ及びＰｂ
Ｏからなる６成分系の磁器組成物（特開昭６１−２９１
４５６号公報）、所定のモル比で配合されたＣａＴｉ
Ｏ3 、Ｌａ2 Ｔｉ2 Ｏ7 、Ｎｄ（Ｍｇ1/2 Ｔｉ1/2 ）Ｏ
3 及びＭｇＴｉＯ3 ・ＺｎＯ混合物を主成分とする磁器
組成物（特開昭６２−２８３８６２号公報、特開昭６２
−２８３８６３号公報）等が提案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現在に
おいては、上記磁器組成物の使用範囲の拡大等に伴い、
上記〜と同様に上記各要求性能（Ｑｕ、εr 等）に
優れた他の磁器組成物の出現が望まれている。また、高
品質の磁器組成物を安定的に得るには、その製造工程の
一つである焼成工程の焼成温度がある程度ばらついて
も、製造される各組成物間の性能に大きなばらつきを生
じさせない（即ち、磁器組成物の「焼成温度の変化に伴
う性能のばらつき」が小さい）ことが必要となる。
おいては、上記磁器組成物の使用範囲の拡大等に伴い、
上記〜と同様に上記各要求性能（Ｑｕ、εr 等）に
優れた他の磁器組成物の出現が望まれている。また、高
品質の磁器組成物を安定的に得るには、その製造工程の
一つである焼成工程の焼成温度がある程度ばらついて
も、製造される各組成物間の性能に大きなばらつきを生
じさせない（即ち、磁器組成物の「焼成温度の変化に伴
う性能のばらつき」が小さい）ことが必要となる。
【０００５】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、上記各要求性能を満足すると共に、それらの要求性
能を安定的に発揮できる磁器組成物を提供することを目
的とする。
り、上記各要求性能を満足すると共に、それらの要求性
能を安定的に発揮できる磁器組成物を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁器組成物は、
組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−ｙ）ＣａＴｉＯ3］
−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）〔但し、０．
８５≦ｘ≦０．９５、０．５≦ｙ≦０．６〕で示される
ことを特徴とする。
組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−ｙ）ＣａＴｉＯ3］
−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）〔但し、０．
８５≦ｘ≦０．９５、０．５≦ｙ≦０．６〕で示される
ことを特徴とする。
【０００７】上記の如く「ｘ」の範囲を定めるのは、以
下の理由による。即ち、ｘが０．８５未満の場合には、
高いＱｕを得られず、ｘが０．９５を越える場合には、
τfが許容範囲外の大きな正の値になり、またＱｕもｘ
が０．９５の場合と比べると減少傾向となり好ましくな
い。また、ｘが上記範囲内の場合には、高Ｑｕと高εｒ
を維持できると共に、Ｑｕ、εr 及びτf の値の上記
「性能のばらつき」が小さいからである。特に、ｘが
０．９程度の場合に、高いεｒを維持しつつ高いＱｕが
得られると共に、上記「性能のばらつき」も小さく好ま
しい。また、上記の如く「ｙ」の値を定めるのは、ｙが
０．５未満の場合には、Ｑｕの値が小さくなると共に、
τf が許容範囲外の大きな正の値をとり、ｙが０．６を
越えるとεｒが低下するからである。
下の理由による。即ち、ｘが０．８５未満の場合には、
高いＱｕを得られず、ｘが０．９５を越える場合には、
τfが許容範囲外の大きな正の値になり、またＱｕもｘ
が０．９５の場合と比べると減少傾向となり好ましくな
い。また、ｘが上記範囲内の場合には、高Ｑｕと高εｒ
を維持できると共に、Ｑｕ、εr 及びτf の値の上記
「性能のばらつき」が小さいからである。特に、ｘが
０．９程度の場合に、高いεｒを維持しつつ高いＱｕが
得られると共に、上記「性能のばらつき」も小さく好ま
しい。また、上記の如く「ｙ」の値を定めるのは、ｙが
０．５未満の場合には、Ｑｕの値が小さくなると共に、
τf が許容範囲外の大きな正の値をとり、ｙが０．６を
越えるとεｒが低下するからである。
【０００８】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。 （１）試験片の作製 本実施例の各試験片は、組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −
（１−ｙ）ＣａＴｉＯ3］−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・
２ＴｉＯ2 ）で表される磁器組成物（但し、各試験例毎
に、表１及び２に示す様にｘ、ｙ及び焼成温度の少なく
とも１つが異なる。）となる様に、所定の調合粉末を用
いて作製したものである。
る。 （１）試験片の作製 本実施例の各試験片は、組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −
（１−ｙ）ＣａＴｉＯ3］−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・
２ＴｉＯ2 ）で表される磁器組成物（但し、各試験例毎
に、表１及び２に示す様にｘ、ｙ及び焼成温度の少なく
とも１つが異なる。）となる様に、所定の調合粉末を用
いて作製したものである。
【０００９】
【表１】
【００１０】
【表２】
【００１１】これらの調合粉末を構成する出発原料とし
ては、ＴｉＯ2 粉末（純度；９９．９８％）、ＭｇＯ粉
末（純度；９９．３％）、ＣａＣＯ3 粉末（純度；９
９．７％）、Ｌａ2 Ｏ3 粉末（純度；９９．９％）を用
いた。そして、上記各調合粉末を所定量（約５６０ｇ）
ずつ、アイリッヒミキサーにより、２０〜３０分掛けて
一次粉砕した。次いで、大気雰囲気中にて、１１００℃
の温度の下、２時間仮焼を行った。尚、このときの昇温
速度は２００℃／ｈであり、降温速度は−２００℃／ｈ
であった。
ては、ＴｉＯ2 粉末（純度；９９．９８％）、ＭｇＯ粉
末（純度；９９．３％）、ＣａＣＯ3 粉末（純度；９
９．７％）、Ｌａ2 Ｏ3 粉末（純度；９９．９％）を用
いた。そして、上記各調合粉末を所定量（約５６０ｇ）
ずつ、アイリッヒミキサーにより、２０〜３０分掛けて
一次粉砕した。次いで、大気雰囲気中にて、１１００℃
の温度の下、２時間仮焼を行った。尚、このときの昇温
速度は２００℃／ｈであり、降温速度は−２００℃／ｈ
であった。
【００１２】更に、これらの各仮焼粉末５００ｇに、所
定の有機バインダー２９ｇと水３００〜４００ｇを加
え、ボールミル（２０ｍｍφのアルミナボール、回転
数；９０ｒｐｍ）により、２３時間掛けて２次粉砕を行
った。その後、真空凍結乾燥（真空度；約０．４Ｔｏｒ
ｒ、真空乾燥時間；約２０時間、凍結温度；−２０〜−
４０℃、乾燥温度；４０〜５０℃）により造粒し、これ
らの造粒された原料を用いて１０００ｋｇ／ｃｍ2 のプ
レス圧で１９ｍｍφ×１０ｍｍｔ（高さ）の円柱状に成
形した。
定の有機バインダー２９ｇと水３００〜４００ｇを加
え、ボールミル（２０ｍｍφのアルミナボール、回転
数；９０ｒｐｍ）により、２３時間掛けて２次粉砕を行
った。その後、真空凍結乾燥（真空度；約０．４Ｔｏｒ
ｒ、真空乾燥時間；約２０時間、凍結温度；−２０〜−
４０℃、乾燥温度；４０〜５０℃）により造粒し、これ
らの造粒された原料を用いて１０００ｋｇ／ｃｍ2 のプ
レス圧で１９ｍｍφ×１０ｍｍｔ（高さ）の円柱状に成
形した。
【００１３】次に、これらの成形体を大気中５００℃、
３時間にて脱脂し、その後、１３５０〜１４７５℃の範
囲の温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍ
φ×８ｍｍｔ（高さ）の円柱状に研磨して、各試験片を
作製した。尚、この焼成工程における昇温速度は１００
℃／ｈで、降温速度は−１００℃／ｈであった。
３時間にて脱脂し、その後、１３５０〜１４７５℃の範
囲の温度で、４時間焼成し、最後に両端面を約１６ｍｍ
φ×８ｍｍｔ（高さ）の円柱状に研磨して、各試験片を
作製した。尚、この焼成工程における昇温速度は１００
℃／ｈで、降温速度は−１００℃／ｈであった。
【００１４】（２）性能試験とその評価 以上の各試験片の性能を評価するために、以下に述べる
各項目の試験と評価を行った。 Ａ．マイクロ波誘電特性 εr 、Ｑｕ及びτf 平行導体板型誘電体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）
等により行った。尚、測定周波数は、３．１〜４．０Ｇ
Ｈｚである。但し、各表中のＱｕ値は、３．５ＧＨｚに
換算したものである。また、τf は３０〜８０℃の温度
領域で測定し、τf ＝（ｆ80−ｆ30）／（ｆ30×Δ
Ｔ）、ΔＴ＝８０−３０＝５０℃にて算出した。 焼結密度 アルキメデス法により測定した。
各項目の試験と評価を行った。 Ａ．マイクロ波誘電特性 εr 、Ｑｕ及びτf 平行導体板型誘電体円柱共振器法（ＴＥ011 ＭＯＤＥ）
等により行った。尚、測定周波数は、３．１〜４．０Ｇ
Ｈｚである。但し、各表中のＱｕ値は、３．５ＧＨｚに
換算したものである。また、τf は３０〜８０℃の温度
領域で測定し、τf ＝（ｆ80−ｆ30）／（ｆ30×Δ
Ｔ）、ΔＴ＝８０−３０＝５０℃にて算出した。 焼結密度 アルキメデス法により測定した。
【００１５】これらの結果を上記表１、２及び図１〜８
に示す。尚、これらの図のうち、図１〜４は、上記
「ｘ」の値と、各特性値（εr 、Ｑｕ等）との関係を示
すグラフ（但し、図１〜３は、焼成温度１４７５℃の場
合を示す。）である。また、図５〜８は、表２に示され
る各試験例〔組成式ｘ（０．５５ＭｇＴｉＯ3 −０．４
５ＣａＴｉＯ3 ）−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ
2 ）で示されるもの〕において、焼成温度（焼成温度；
１３５０〜１５００℃）と各試験片の特性値（εr、Ｑ
ｕ等）との関係を示している。更に、表３は同試験例に
おいて、焼成温度が各試験片の特性値（εr 、Ｑｕ等）
に与える影響〔焼成温度を１３５０〜１５００℃間で変
化させた場合の各特性値の変動（同表中に±を付して示
した特性値のばらつき）〕を示している。
に示す。尚、これらの図のうち、図１〜４は、上記
「ｘ」の値と、各特性値（εr 、Ｑｕ等）との関係を示
すグラフ（但し、図１〜３は、焼成温度１４７５℃の場
合を示す。）である。また、図５〜８は、表２に示され
る各試験例〔組成式ｘ（０．５５ＭｇＴｉＯ3 −０．４
５ＣａＴｉＯ3 ）−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ
2 ）で示されるもの〕において、焼成温度（焼成温度；
１３５０〜１５００℃）と各試験片の特性値（εr、Ｑ
ｕ等）との関係を示している。更に、表３は同試験例に
おいて、焼成温度が各試験片の特性値（εr 、Ｑｕ等）
に与える影響〔焼成温度を１３５０〜１５００℃間で変
化させた場合の各特性値の変動（同表中に±を付して示
した特性値のばらつき）〕を示している。
【００１６】
【表３】
【００１７】表１によれば、ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−
ｙ）ＣａＴｉＯ3 のｙの値が大きくなるに従って、Ｑｕ
の値が大きくなり、またτｆは小さくなる傾向にある。
一方、εｒはｙの値の増加に伴って減少する傾向にあ
る。但し、これらのＬａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 を含有しな
い磁器組成物（ｘ＝１）では、εｒは高い値を示してい
るが、Ｑｕ及びτｆの値が十分とは言えない。
ｙ）ＣａＴｉＯ3 のｙの値が大きくなるに従って、Ｑｕ
の値が大きくなり、またτｆは小さくなる傾向にある。
一方、εｒはｙの値の増加に伴って減少する傾向にあ
る。但し、これらのＬａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 を含有しな
い磁器組成物（ｘ＝１）では、εｒは高い値を示してい
るが、Ｑｕ及びτｆの値が十分とは言えない。
【００１８】一方、表２に示す０．５５ＭｇＴｉＯ3 −
０．４５ＣａＴｉＯ3 に、所定量のＬａ2 Ｏ3 ・２Ｔｉ
Ｏ2 を添加した磁器組成物では、Ｑｕはｘの値が大きく
なるに従って増加し、ｘ＝０．８付近で、上記表１に示
す各組成物よりも大きな値を示し、ｘ＝０．９付近で良
好な値になる（図１参照）。しかしながら、ｘの値が
０．９を越えると減少する傾向にある。また、εｒは、
Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 を所定量〔組成物全体の１０％
（モル比）〕以上含有することにより、約２０近く低下
するが、いずれも５５前後の良好な値を示している（図
２参照）。
０．４５ＣａＴｉＯ3 に、所定量のＬａ2 Ｏ3 ・２Ｔｉ
Ｏ2 を添加した磁器組成物では、Ｑｕはｘの値が大きく
なるに従って増加し、ｘ＝０．８付近で、上記表１に示
す各組成物よりも大きな値を示し、ｘ＝０．９付近で良
好な値になる（図１参照）。しかしながら、ｘの値が
０．９を越えると減少する傾向にある。また、εｒは、
Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 を所定量〔組成物全体の１０％
（モル比）〕以上含有することにより、約２０近く低下
するが、いずれも５５前後の良好な値を示している（図
２参照）。
【００１９】更に、τf は、ｘの値が０．７未満の範囲
では、ｘの値が大きくなるに従って、減少する傾向にあ
る。しかしながら、ｘの値が０．７を越えると正の大き
な値に向かうものの、表１に示す組成物よりも遙かに小
さな値になっている（図３参照）。また、焼結密度は、
ｘの値に影響され易く、ｘの値が大きくなると減少する
傾向にあるが、いずれも許容範囲内の数値を示している
（図４、８等参照）。以上より、ｙが０．５５前後
（０．５≦ｙ≦０．６０）で、ｘが０．９前後（０．８
５≦ｘ≦０．９５）の場合に、良好な誘電特性が得られ
る。
では、ｘの値が大きくなるに従って、減少する傾向にあ
る。しかしながら、ｘの値が０．７を越えると正の大き
な値に向かうものの、表１に示す組成物よりも遙かに小
さな値になっている（図３参照）。また、焼結密度は、
ｘの値に影響され易く、ｘの値が大きくなると減少する
傾向にあるが、いずれも許容範囲内の数値を示している
（図４、８等参照）。以上より、ｙが０．５５前後
（０．５≦ｙ≦０．６０）で、ｘが０．９前後（０．８
５≦ｘ≦０．９５）の場合に、良好な誘電特性が得られ
る。
【００２０】また、図５及び表３によれば、ｘ＝０．８
の場合にはＱｕ値のばらつきが±１２０であるのに対し
て、ｘ＝０．９の場合には±５０となり、約５／１２に
迄低減されている。更に、εｒは、ｘ＝０．９の場合
に、ｘ＝０．８の場合に比べ、ばらつきが約２／３にな
っている。また、τｆは、ｘ＝０．８、０．９いずれの
場合もばらつきが少ない。更に、焼結密度は、ｘが０．
８以上の場合に、安定した状態（焼成温度１４５０℃以
上で、低下割合がやや大きくなるが）を示している（図
８参照）。
の場合にはＱｕ値のばらつきが±１２０であるのに対し
て、ｘ＝０．９の場合には±５０となり、約５／１２に
迄低減されている。更に、εｒは、ｘ＝０．９の場合
に、ｘ＝０．８の場合に比べ、ばらつきが約２／３にな
っている。また、τｆは、ｘ＝０．８、０．９いずれの
場合もばらつきが少ない。更に、焼結密度は、ｘが０．
８以上の場合に、安定した状態（焼成温度１４５０℃以
上で、低下割合がやや大きくなるが）を示している（図
８参照）。
【００２１】尚、ｘ＝０．６、ｘ＝０．７の場合は、１
４２５℃未満の低い焼成温度でも磁器組成物が十分に緻
密化しているが、マイクロ波の波形が出ずに、Ｑｕ、ε
ｒ及びτｆの測定が不可能であった。また、これらの場
合に、焼成温度を１４７５℃以上と高くした場合には、
液相が生成し、セッターへの滲み出しが著しかった。以
上より、０．８５≦ｘ≦０．９５、０．５０≦ｙ≦０．
６０の範囲の場合に、焼成温度による性能のばらつきが
小さい。
４２５℃未満の低い焼成温度でも磁器組成物が十分に緻
密化しているが、マイクロ波の波形が出ずに、Ｑｕ、ε
ｒ及びτｆの測定が不可能であった。また、これらの場
合に、焼成温度を１４７５℃以上と高くした場合には、
液相が生成し、セッターへの滲み出しが著しかった。以
上より、０．８５≦ｘ≦０．９５、０．５０≦ｙ≦０．
６０の範囲の場合に、焼成温度による性能のばらつきが
小さい。
【００２２】Ｂ．結晶構造 上記表２に示す試験例Ｎｏ．２３４（ｘ＝０．９、焼成
温度；１４２５℃）、２３３（ｘ＝０．８、焼成温度；
１４２５℃）、２３２（ｘ＝０．７、焼成温度；１４２
５℃）及び２１２（ｘ＝０．７、焼成温度；１４７５
℃）の各試験片の結晶構造をＸ線により分析した。これ
らの結果を図９〜１４に示す。これらのうちで、試験例
Ｎｏ．２３４においては、ＭｇＴｉＯ3 （各図中「○」
で表示）及びＣａＴｉＯ3 （各図中「●」で表示）のピ
ークが表れた。また、その他の試験片では、これらに加
えて、Ｌａ0.66ＴｉＯ2.9993（結晶形；斜方晶形、格子
定数；ａ＝３．８６９、ｂ＝３．８８２、ｃ＝７．７８
２、ＤX ；＝５．３２５、各図中「△」で表示）のピー
クが表れた。
温度；１４２５℃）、２３３（ｘ＝０．８、焼成温度；
１４２５℃）、２３２（ｘ＝０．７、焼成温度；１４２
５℃）及び２１２（ｘ＝０．７、焼成温度；１４７５
℃）の各試験片の結晶構造をＸ線により分析した。これ
らの結果を図９〜１４に示す。これらのうちで、試験例
Ｎｏ．２３４においては、ＭｇＴｉＯ3 （各図中「○」
で表示）及びＣａＴｉＯ3 （各図中「●」で表示）のピ
ークが表れた。また、その他の試験片では、これらに加
えて、Ｌａ0.66ＴｉＯ2.9993（結晶形；斜方晶形、格子
定数；ａ＝３．８６９、ｂ＝３．８８２、ｃ＝７．７８
２、ＤX ；＝５．３２５、各図中「△」で表示）のピー
クが表れた。
【００２３】従って、各試験片を構成する磁器組成物が
ＭｇＴｉＯ3 、ＣａＴｉＯ3 及びＬａ0.66ＴｉＯ2.9993
の混晶系であることが判る。そして、ｘの値が小さくな
る（Ｌａ2 Ｏ3 の含有量が増加する）に従って、ＭｇＴ
ｉＯ3 のピークが減少し、Ｌａ0.66ＴｉＯ2.9993（各図
中「△」で表示）のピークが増加する傾向にある。ま
た、図１１と１２を比較すれば、焼成温度の上昇によっ
ても、Ｌａ0.66ＴｉＯ2.9993（各図中「△」で表示）の
ピークが増加することが判る。
ＭｇＴｉＯ3 、ＣａＴｉＯ3 及びＬａ0.66ＴｉＯ2.9993
の混晶系であることが判る。そして、ｘの値が小さくな
る（Ｌａ2 Ｏ3 の含有量が増加する）に従って、ＭｇＴ
ｉＯ3 のピークが減少し、Ｌａ0.66ＴｉＯ2.9993（各図
中「△」で表示）のピークが増加する傾向にある。ま
た、図１１と１２を比較すれば、焼成温度の上昇によっ
ても、Ｌａ0.66ＴｉＯ2.9993（各図中「△」で表示）の
ピークが増加することが判る。
【００２４】Ｃ．微細組織構造 本性能評価においては、各試験片の平均結晶粒径の測定
を行った。上記試験例Ｎｏ．２３１（ｘ＝０．６、焼成
温度；１４２５℃）〜２３４の各試験片の平均結晶粒径
をIntercept 法により測定した結果を図１３に示す。こ
れによれば、（１−ｘ）の値（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2
の比率）が増加するに従って、平均結晶粒径は大きくな
っている。
を行った。上記試験例Ｎｏ．２３１（ｘ＝０．６、焼成
温度；１４２５℃）〜２３４の各試験片の平均結晶粒径
をIntercept 法により測定した結果を図１３に示す。こ
れによれば、（１−ｘ）の値（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2
の比率）が増加するに従って、平均結晶粒径は大きくな
っている。
【００２５】尚、本発明においては、前記具体的実施例
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。
に示すものに限られず、目的、用途に応じて本発明の範
囲内で種々変更した実施例とすることができる。即ち、
前記仮焼温度等の仮焼条件、焼成温度等の焼成条件等は
種々選択できる。
【００２６】
【発明の効果】以上の様に、本発明の磁器組成物は、Ｑ
ｕ及びτf が実用的な特性範囲で維持されると共に、高
いεr を備えている。また、焼成ばらつきの小さな磁器
組成物であるため、高品質な誘電体を安定的に製造でき
る。
ｕ及びτf が実用的な特性範囲で維持されると共に、高
いεr を備えている。また、焼成ばらつきの小さな磁器
組成物であるため、高品質な誘電体を安定的に製造でき
る。
【図１】組成式ｘ（０．５５ＭｇＴｉＯ3 −０．４５Ｃ
ａＴｉＯ3 ）−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）
で示される磁器組成物において、ｘとＱｕとの関係を示
すグラフである。
ａＴｉＯ3 ）−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２ＴｉＯ2 ）
で示される磁器組成物において、ｘとＱｕとの関係を示
すグラフである。
【図２】図１と同様の磁器組成物において、ｘとεr と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図３】図１と同様の磁器組成物において、ｘとτf と
の関係を示すグラフである。
の関係を示すグラフである。
【図４】図１と同様の磁器組成物において、ｘと焼結密
度との関係を焼成温度毎に示すグラフである。
度との関係を焼成温度毎に示すグラフである。
【図５】図１と同様の磁器組成物において、ｘを各値に
定めたときの焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフであ
る。
定めたときの焼成温度とＱｕとの関係を示すグラフであ
る。
【図６】図１と同様の磁器組成物において、ｘを各値に
定めたときの焼成温度とεr との関係を示すグラフであ
る。
定めたときの焼成温度とεr との関係を示すグラフであ
る。
【図７】図１と同様の磁器組成物において、ｘを各値に
定めたときの焼成温度とτf との関係を示すグラフであ
る。
定めたときの焼成温度とτf との関係を示すグラフであ
る。
【図８】図１と同様の磁器組成物において、ｘを各値に
定めたときの焼成温度と焼結密度との関係を示すグラフ
である。
定めたときの焼成温度と焼結密度との関係を示すグラフ
である。
【図９】試験例Ｎｏ．２３４の試験片のＸ線回折の結果
を示すグラフである。
を示すグラフである。
【図１０】試験例Ｎｏ．２３３の試験片のＸ線回折の結
果を示すグラフである。
果を示すグラフである。
【図１１】試験例Ｎｏ．２３２の試験片のＸ線回折の結
果を示すグラフである。
果を示すグラフである。
【図１２】試験例Ｎｏ．２１２の試験片のＸ線回折の結
果を示すグラフである。
果を示すグラフである。
【図１３】図１と同様の組成物からなる試験片におい
て、（１−ｘ）の値と平均結晶粒径の関係を示すグラフ
である。
て、（１−ｘ）の値と平均結晶粒径の関係を示すグラフ
である。
Claims (1)
- 【請求項１】 組成式ｘ［ｙＭｇＴｉＯ3 −（１−ｙ）
ＣａＴｉＯ3 ］−（１−ｘ）（Ｌａ2 Ｏ3 ・２Ｔｉ
Ｏ2 ）〔但し、０．８５≦ｘ≦０．９５、０．５≦ｙ≦
０．６〕で示されることを特徴とするマイクロ波誘電体
磁器組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31430893A JP3242243B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31430893A JP3242243B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07144966A true JPH07144966A (ja) | 1995-06-06 |
| JP3242243B2 JP3242243B2 (ja) | 2001-12-25 |
Family
ID=18051797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31430893A Expired - Fee Related JP3242243B2 (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | マイクロ波誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3242243B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114075070A (zh) * | 2020-08-13 | 2022-02-22 | 华为技术有限公司 | 一种复相微波陶瓷材料及其制作方法和电子器件 |
-
1993
- 1993-11-19 JP JP31430893A patent/JP3242243B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114075070A (zh) * | 2020-08-13 | 2022-02-22 | 华为技术有限公司 | 一种复相微波陶瓷材料及其制作方法和电子器件 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3242243B2 (ja) | 2001-12-25 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |