JPH07136448A - 排気浄化機構 - Google Patents
排気浄化機構Info
- Publication number
- JPH07136448A JPH07136448A JP5290833A JP29083393A JPH07136448A JP H07136448 A JPH07136448 A JP H07136448A JP 5290833 A JP5290833 A JP 5290833A JP 29083393 A JP29083393 A JP 29083393A JP H07136448 A JPH07136448 A JP H07136448A
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- JP
- Japan
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- exhaust
- mist
- ion exchanger
- exhaust gas
- ion
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 排気浄化機構に関し、排気中に含まれる有害
な無機化合物の完全除去を目的とする。 【構成】 湿式洗浄塔（１）の出口側に設けた排気ファ
ン（２）により洗浄塔（１）の入口（４）より吸引した
有害成分を含む排気に、循環ポンプ（６）により循環す
る洗浄水（８）を噴霧して洗浄し、次に、ミストセパレ
ータ（10）を通してミスト（９）を除いた後、排気を消
音器（３）を通して大気中に放出する浄化機構におい
て、ミストセパレータ（10）を通過した排気を更にイオ
ン交換体（15) を通すことを特徴として排気浄化機構を
構成する。
な無機化合物の完全除去を目的とする。 【構成】 湿式洗浄塔（１）の出口側に設けた排気ファ
ン（２）により洗浄塔（１）の入口（４）より吸引した
有害成分を含む排気に、循環ポンプ（６）により循環す
る洗浄水（８）を噴霧して洗浄し、次に、ミストセパレ
ータ（10）を通してミスト（９）を除いた後、排気を消
音器（３）を通して大気中に放出する浄化機構におい
て、ミストセパレータ（10）を通過した排気を更にイオ
ン交換体（15) を通すことを特徴として排気浄化機構を
構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は酸・アルカリなどの有害
成分を含む排気の清浄化機構に関する。大量の情報を高
速に処理する必要から情報処理装置は高密度実装が行な
われており、この装置を構成する電子部品は小形化が推
進され、特に、この装置の主体を構成する半導体装置は
単位素子の小形化による大容量化が進んでＬＳＩやＶＬ
ＳＩが実用化されている。
成分を含む排気の清浄化機構に関する。大量の情報を高
速に処理する必要から情報処理装置は高密度実装が行な
われており、この装置を構成する電子部品は小形化が推
進され、特に、この装置の主体を構成する半導体装置は
単位素子の小形化による大容量化が進んでＬＳＩやＶＬ
ＳＩが実用化されている。
【０００２】こゝで、かゝる半導体素子の形成には薄膜
形成技術，写真蝕刻技術（フォトリソグラフィ），不純
物イオン注入技術などが用いられているが、パターンが
微細となり、また、素子の特性が外部環境により敏感に
影響を受けることから、作業は総てクリーンルーム内で
行なわれているが、これらの作業、特に写真蝕刻技術の
適用に際しては化学薬品の使用が必要であり、そのた
め、排気には有害ガスが含まれているので清浄化処理が
施されている。
形成技術，写真蝕刻技術（フォトリソグラフィ），不純
物イオン注入技術などが用いられているが、パターンが
微細となり、また、素子の特性が外部環境により敏感に
影響を受けることから、作業は総てクリーンルーム内で
行なわれているが、これらの作業、特に写真蝕刻技術の
適用に際しては化学薬品の使用が必要であり、そのた
め、排気には有害ガスが含まれているので清浄化処理が
施されている。
【０００３】
【従来の技術】半導体素子を例とすると、素子の形成に
当たっては基板の洗浄，化学エッチング，レジストの塗
布と除去など化学的な処理工程が必須であり、弗酸，塩
酸などの無機酸や有機溶剤などの薬品が一般に使用され
ていることから、これらの工程からの排気には人体に有
害な成分が含まれており、そのため、排気を水洗洗浄し
て有害成分を除去した後、大気に放出する処理が施され
ている。
当たっては基板の洗浄，化学エッチング，レジストの塗
布と除去など化学的な処理工程が必須であり、弗酸，塩
酸などの無機酸や有機溶剤などの薬品が一般に使用され
ていることから、これらの工程からの排気には人体に有
害な成分が含まれており、そのため、排気を水洗洗浄し
て有害成分を除去した後、大気に放出する処理が施され
ている。
【０００４】図４は従来より使用されている排気浄化機
構の説明図であって、湿式洗浄塔（スクラバー）１と排
気ファン２と消音器３とから構成されている。すなわ
ち、後引き排気方式をとり、排気ファン２により吸引さ
れて入口４から入ってきた排気は漏れ棚式洗浄域５にお
いて循環ポンプ６によりシャワー７より散布される洗浄
水８よりなるミスト９の中を通ることにより塵埃と大部
分の薬品成分は除去されている。
構の説明図であって、湿式洗浄塔（スクラバー）１と排
気ファン２と消音器３とから構成されている。すなわ
ち、後引き排気方式をとり、排気ファン２により吸引さ
れて入口４から入ってきた排気は漏れ棚式洗浄域５にお
いて循環ポンプ６によりシャワー７より散布される洗浄
水８よりなるミスト９の中を通ることにより塵埃と大部
分の薬品成分は除去されている。
【０００５】然し、この処理により排気中にはミスト９
が多量に混入しているので、次にミストセパレータ10で
ミストを除去している。こゝでミストセパレータ10はデ
ミスタ（Demister) とも言われており、乱流を作ってミ
ストを機壁に衝突させて液化するものである。このよう
にしてミスト９を除いた排気は排気ファン２により排出
されるが、排気ファン２の排気音が大きいので一般に消
音器３を通して消音した後、大気中に放出している。
が多量に混入しているので、次にミストセパレータ10で
ミストを除去している。こゝでミストセパレータ10はデ
ミスタ（Demister) とも言われており、乱流を作ってミ
ストを機壁に衝突させて液化するものである。このよう
にしてミスト９を除いた排気は排気ファン２により排出
されるが、排気ファン２の排気音が大きいので一般に消
音器３を通して消音した後、大気中に放出している。
【０００６】然し、このような排気浄化機構では有害成
分の除去は完全ではなく、そのため、湿式洗浄塔１の周
辺の機器は錆び易いと云う問題がある。そこで、湿式洗
浄塔１の先端を細くして排気の流速を７〜８ｍ／秒程度
に高めて放出したり、煙突を設けて放出端を工場の建屋
より高くするなどの対策がなされている。
分の除去は完全ではなく、そのため、湿式洗浄塔１の周
辺の機器は錆び易いと云う問題がある。そこで、湿式洗
浄塔１の先端を細くして排気の流速を７〜８ｍ／秒程度
に高めて放出したり、煙突を設けて放出端を工場の建屋
より高くするなどの対策がなされている。
【０００７】一方、空調用フィルタを使用してミストセ
パレータ10より逃れてきたミストを除去しょうとする
と、フィルタの表面に水の膜ができ、これによる圧損が
バブルポイント200mm Aq程度まで上昇する場合は目詰ま
りによって圧損が変動し、工場内装置の排気量が変動す
るなどの問題を生じていた。
パレータ10より逃れてきたミストを除去しょうとする
と、フィルタの表面に水の膜ができ、これによる圧損が
バブルポイント200mm Aq程度まで上昇する場合は目詰ま
りによって圧損が変動し、工場内装置の排気量が変動す
るなどの問題を生じていた。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来の排気浄化機構で
は塵埃は除去されるものゝ、ミストセパレータではミス
トの一部は大気中に放出されることから、ミストに溶解
している化学成分は完全には除去できないと云う問題が
あり、また、ガラス繊維からなるフィルタを用いると、
ミストの付着による水膜で目詰まりを生じて圧損が高ま
ると云う問題がある。そこで、これらの問題を生ずるこ
となく化学成分を完全に除去することが課題である。
は塵埃は除去されるものゝ、ミストセパレータではミス
トの一部は大気中に放出されることから、ミストに溶解
している化学成分は完全には除去できないと云う問題が
あり、また、ガラス繊維からなるフィルタを用いると、
ミストの付着による水膜で目詰まりを生じて圧損が高ま
ると云う問題がある。そこで、これらの問題を生ずるこ
となく化学成分を完全に除去することが課題である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題は湿式洗浄塔
の出口に排気ファンを設置して後引き排気方式をとる排
気洗浄機構において、排気ファンと消音器との間にイオ
ン交換体を設け、またこのイオン交換体を排気ファンの
消音器として働かせる構成をとることにより解決するこ
とができる。
の出口に排気ファンを設置して後引き排気方式をとる排
気洗浄機構において、排気ファンと消音器との間にイオ
ン交換体を設け、またこのイオン交換体を排気ファンの
消音器として働かせる構成をとることにより解決するこ
とができる。
【００１０】
【作用】本発明は作業工程で使用する弗酸，塩酸などの
強酸やアンモニアなどのアルカリの蒸気が排気中に含ま
れており、これが一旦はミスト中に溶解して捕獲される
ものゝ、ミストがミストセパレータ（デミスター）で完
全には除去されず、そのために化学成分が大気中に放散
されることから、ミストセパレータ（デミスター）を通
り抜けてきたミストをイオン交換体を通し、酸やアルカ
リ成分をイオン交換させ、水にして除くものである。
強酸やアンモニアなどのアルカリの蒸気が排気中に含ま
れており、これが一旦はミスト中に溶解して捕獲される
ものゝ、ミストがミストセパレータ（デミスター）で完
全には除去されず、そのために化学成分が大気中に放散
されることから、ミストセパレータ（デミスター）を通
り抜けてきたミストをイオン交換体を通し、酸やアルカ
リ成分をイオン交換させ、水にして除くものである。
【００１１】こゝで、イオン交換体はミストにより目詰
まりを生じないことが必要であり、そのため、本発明は
イオン交換体をハニカム（Hony-comb)状をした複数の板
状体とした。図３はこの一例を示すもので、イオン交換
樹脂を加工して多数の孔12をもつイオン交換層13を形成
し、この複数個を間隙をおいて積層するが、この際に孔
12の位置を変えることによりミストを含む排気がそれぞ
れのイオン交換層13に衝突しながら孔12を通過するよう
にすれば、ミストをイオン交換層13に衝突させ、ミスト
中にイオンを含む場合はイオン交換を行なわせることが
できる。
まりを生じないことが必要であり、そのため、本発明は
イオン交換体をハニカム（Hony-comb)状をした複数の板
状体とした。図３はこの一例を示すもので、イオン交換
樹脂を加工して多数の孔12をもつイオン交換層13を形成
し、この複数個を間隙をおいて積層するが、この際に孔
12の位置を変えることによりミストを含む排気がそれぞ
れのイオン交換層13に衝突しながら孔12を通過するよう
にすれば、ミストをイオン交換層13に衝突させ、ミスト
中にイオンを含む場合はイオン交換を行なわせることが
できる。
【００１２】また、イオン交換層13を排気方向から相互
に角度をずらせて配置するとミキシング効果を生じてよ
り容易にミストをイオン交換層13に衝突させることがで
きる。このように、本発明はミストセパレータ（デミス
ター）の次にイオン交換体を配置することで、ミスト中
に含まれる酸やアルカリ成分をイオン交換させ、水にし
て除くものである。
に角度をずらせて配置するとミキシング効果を生じてよ
り容易にミストをイオン交換層13に衝突させることがで
きる。このように、本発明はミストセパレータ（デミス
ター）の次にイオン交換体を配置することで、ミスト中
に含まれる酸やアルカリ成分をイオン交換させ、水にし
て除くものである。
【００１３】なお、本発明に係るイオン交換層13は陽イ
オン交換樹脂と陰イオン交換樹脂の混合体でも良く、こ
の場合は使い捨てとなるが、一方、イオン交換層13を陽
イオン交換樹脂または陰イオン交換樹脂の単一樹脂で構
成し、これを組合せて使用すれば、再生が可能で繰り返
し使用することができる。
オン交換樹脂と陰イオン交換樹脂の混合体でも良く、こ
の場合は使い捨てとなるが、一方、イオン交換層13を陽
イオン交換樹脂または陰イオン交換樹脂の単一樹脂で構
成し、これを組合せて使用すれば、再生が可能で繰り返
し使用することができる。
【００１４】次に、従来の排気浄化機構においては、排
気ファンの騒音が大きいために排気ファンを設ける位置
によって消音器を使用する必要があったが、本発明に係
る排気浄化機構では、所定の空隙を隔てゝ配列するイオ
ン交換層13からなるイオン交換体15は消音器として働く
ので、消音器に代替することができる。
気ファンの騒音が大きいために排気ファンを設ける位置
によって消音器を使用する必要があったが、本発明に係
る排気浄化機構では、所定の空隙を隔てゝ配列するイオ
ン交換層13からなるイオン交換体15は消音器として働く
ので、消音器に代替することができる。
【００１５】次に、従来の排気浄化機構ではミストは取
り切れないので排気口から放出しているが、本発明に係
る排気浄化機構ではミスト中の酸やアルカリ成分はない
ものゝ、ミストが出ることには変わりはなく、場合によ
っては目立って観察されているが、これを見えなくする
には出口側に加温用熱交換器を設けて加温し、露点以上
にして放出すれば水蒸気白煙を生ずることなく放散させ
ることができる。そこで、必要に応じて加温用熱交換器
を設けるものである。
り切れないので排気口から放出しているが、本発明に係
る排気浄化機構ではミスト中の酸やアルカリ成分はない
ものゝ、ミストが出ることには変わりはなく、場合によ
っては目立って観察されているが、これを見えなくする
には出口側に加温用熱交換器を設けて加温し、露点以上
にして放出すれば水蒸気白煙を生ずることなく放散させ
ることができる。そこで、必要に応じて加温用熱交換器
を設けるものである。
【００１６】
実施例１：図１は湿式洗浄塔１として従来のものを使用
し、排気ファン２に続いて設けられていた消音器の代わ
りにイオン交換体15と加熱用熱交換器16を設けた例であ
り、イオン交換体としては繊維状をしたイオン交換樹脂
を用い、寸法が500 ×500×50mm（厚さ）のハニカム状
をした陽イオン交換層と陰イオン交換層をつくり、20 m
m の間隔を置いて孔が重ならないように交互に４個積層
して使用した。また、その先に加熱用熱交換器16を設置
して排気を露点以上になるよう加熱することにより白煙
の発生を無くすることができた。 実施例２：図２は従来の湿式洗浄塔に連続してイオン交
換体15を設けた例であり、この場合は寸法が500 ×500
×50mm（厚さ）のハニカム状をした陽イオン交換層と陰
イオン交換層を作り、これを排気方向にそれぞれ10度づ
つ傾けると共に傾斜方向を180 度づつ変え、イオン交換
体と衝突し易く構成し、ミストを含む排気はそのまゝ排
気した。このようにイオン交換体を構成することにより
圧損を最小に抑えることができ、また、有害成分の排出
を無くすることができた。
し、排気ファン２に続いて設けられていた消音器の代わ
りにイオン交換体15と加熱用熱交換器16を設けた例であ
り、イオン交換体としては繊維状をしたイオン交換樹脂
を用い、寸法が500 ×500×50mm（厚さ）のハニカム状
をした陽イオン交換層と陰イオン交換層をつくり、20 m
m の間隔を置いて孔が重ならないように交互に４個積層
して使用した。また、その先に加熱用熱交換器16を設置
して排気を露点以上になるよう加熱することにより白煙
の発生を無くすることができた。 実施例２：図２は従来の湿式洗浄塔に連続してイオン交
換体15を設けた例であり、この場合は寸法が500 ×500
×50mm（厚さ）のハニカム状をした陽イオン交換層と陰
イオン交換層を作り、これを排気方向にそれぞれ10度づ
つ傾けると共に傾斜方向を180 度づつ変え、イオン交換
体と衝突し易く構成し、ミストを含む排気はそのまゝ排
気した。このようにイオン交換体を構成することにより
圧損を最小に抑えることができ、また、有害成分の排出
を無くすることができた。
【００１７】
【発明の効果】本発明の実施により従来ミスト中に含ま
れて部分的に放出されていた有害なガス成分を完全に除
くことが可能となりこれにより環境の保全を達成するこ
とができる。
れて部分的に放出されていた有害なガス成分を完全に除
くことが可能となりこれにより環境の保全を達成するこ
とができる。
【図１】 本発明に係る排気浄化機構の構成図である。
【図２】 本発明に係る別の排気浄化機構の構成図であ
る。
る。
【図３】 ハニカム状をしたイオン交換体の斜視図であ
る。
る。
【図４】 従来より使用されている排気浄化機構の構成
図である。
図である。
１ 湿式洗浄塔 ２ 排気ファン ５ 漏れ棚式洗浄域 ６ 循環ポンプ ７ シャワー ８ 洗浄水 ９ ミスト 10 ミストセパレータ 12 孔 13 イオン交換層 15 イオン交換体 16 加温用熱交換器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｂ０１Ｄ 53/34 ＺＡＢ 53/42 53/46 Ｂ０１Ｊ 47/00 Ｚ Ｂ０１Ｄ 53/34 １１９ １２０ Ａ
Claims (3)
- 【請求項１】 入口（４）より吸引した有害成分を含む
排気に、循環ポンプ（６）により循環する洗浄水（８）
をミスト（９）として噴射して洗浄する漏れ棚式洗浄域
（５）と、洗浄の終わった排気に含まれているミスト
（９）を除くミストセパレータ（10) とよりなる湿式洗
浄塔（１）と、 該湿式洗浄塔（１）の出口側に設けられ、該湿式洗浄塔
（１）より洗浄の終わった排気を吸引する排気ファン
（２）と、 を少なくとも有する排気浄化機構において、 前記ミストセパレータ（10) の後にイオン交換体（15)
を備えることを特徴とする排気浄化機構。 - 【請求項２】 前記イオン交換体（15）がハニカム状を
した複数のイオン交換層（13）よりなり、該イオン交換
層（13）が陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹脂との混
合物または、それぞれ単一なイオン交換樹脂の組合せよ
りなることを特徴とする請求項１記載の排気浄化機構。 - 【請求項３】 前記イオン交換体（15）が排気ファン
（２）の消音器として働くことを特徴とする請求項１お
よび２記載の排気浄化機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290833A JPH07136448A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 排気浄化機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5290833A JPH07136448A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 排気浄化機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07136448A true JPH07136448A (ja) | 1995-05-30 |
Family
ID=17761079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5290833A Pending JPH07136448A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 排気浄化機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07136448A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11156139A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-15 | Toshiba Corp | 外気処理装置及び外気清浄化システム |
| JPH11226338A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-24 | Takuma Co Ltd | イオン交換フィルタ及びその製造方法及びフィルタ装置 |
| JP2002301332A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-15 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 無機酸を含む気体の処理方法、処理装置、処理システム、及び、洗浄処理装置 |
| JP2008238114A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Ｃｏ２回収装置及びｃｏ２吸収液回収方法 |
-
1993
- 1993-11-19 JP JP5290833A patent/JPH07136448A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11156139A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-15 | Toshiba Corp | 外気処理装置及び外気清浄化システム |
| JPH11226338A (ja) * | 1998-02-19 | 1999-08-24 | Takuma Co Ltd | イオン交換フィルタ及びその製造方法及びフィルタ装置 |
| JP2002301332A (ja) * | 2001-04-05 | 2002-10-15 | Nomura Micro Sci Co Ltd | 無機酸を含む気体の処理方法、処理装置、処理システム、及び、洗浄処理装置 |
| JP2008238114A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Ｃｏ２回収装置及びｃｏ２吸収液回収方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20021203 |