JPH0684880A - 薬液処理装置 - Google Patents
薬液処理装置Info
- Publication number
- JPH0684880A JPH0684880A JP23065292A JP23065292A JPH0684880A JP H0684880 A JPH0684880 A JP H0684880A JP 23065292 A JP23065292 A JP 23065292A JP 23065292 A JP23065292 A JP 23065292A JP H0684880 A JPH0684880 A JP H0684880A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- chemical
- treatment
- processing
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の薬液を用いて薬液毎の処理を行う薬液
処理装置に関し、処理槽の相互間で薬液から放出される
ガスが混合しないようにすることを目的とする。 【構成】 酸性薬液による処理槽１１と水洗槽３１とア
ルカリ性薬液による処理槽２１とがその順に並び、処理
槽１１の領域と水洗槽３１の領域との間及び水洗槽３１
の領域と処理槽２１の領域との間の一方または両方が、
エアまたは純水によるカーテン３２で仕切られるように
構成する。１２，２２は薬液タンク、１３，２３はフー
ド、１４，２４は小型の排ガス処理装置、である。
処理装置に関し、処理槽の相互間で薬液から放出される
ガスが混合しないようにすることを目的とする。 【構成】 酸性薬液による処理槽１１と水洗槽３１とア
ルカリ性薬液による処理槽２１とがその順に並び、処理
槽１１の領域と水洗槽３１の領域との間及び水洗槽３１
の領域と処理槽２１の領域との間の一方または両方が、
エアまたは純水によるカーテン３２で仕切られるように
構成する。１２，２２は薬液タンク、１３，２３はフー
ド、１４，２４は小型の排ガス処理装置、である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置の製造など
に用いられる薬液処理装置に係り、特に、複数の薬液を
用いて薬液毎の処理を行う装置に関する。
に用いられる薬液処理装置に係り、特に、複数の薬液を
用いて薬液毎の処理を行う装置に関する。
【０００２】近年の半導体装置の製造におけるウエーハ
処理では、酸，アルカリなど複数の溶液を常温または加
熱して使用する薬液処理工程がある。上記薬液処理装置
はこのような工程に用いられるものである。
処理では、酸，アルカリなど複数の溶液を常温または加
熱して使用する薬液処理工程がある。上記薬液処理装置
はこのような工程に用いられるものである。
【０００３】
【従来の技術】上記薬液処理装置は、薬液処理を行う複
数の処理槽と個々の薬液処理の後に水洗を行う水洗槽と
を備えるものである。
数の処理槽と個々の薬液処理の後に水洗を行う水洗槽と
を備えるものである。
【０００４】そしてその従来例は、薬液から放出される
有害ガスを装置外に排出するため、各処理槽の上方に上
記ガスを吸入するフードが配置されている。フードを通
して装置から排出されたガスは、他の設備からの排出ガ
スと共に、酸，アルカリなど系統別にまとめて水洗浄な
どにより除害処理を行っている。
有害ガスを装置外に排出するため、各処理槽の上方に上
記ガスを吸入するフードが配置されている。フードを通
して装置から排出されたガスは、他の設備からの排出ガ
スと共に、酸，アルカリなど系統別にまとめて水洗浄な
どにより除害処理を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、多種多用な
プロセス工程、化学物質使用設備の排気バランスのばら
つきなどで、或るフードが隣の処理槽からのガスをも吸
入するようになることがあり、排気口内で反応生成物が
生成して白煙が発生したり排気口が閉塞されたりして、
安全性及び周囲の環境に問題が生じていた。
プロセス工程、化学物質使用設備の排気バランスのばら
つきなどで、或るフードが隣の処理槽からのガスをも吸
入するようになることがあり、排気口内で反応生成物が
生成して白煙が発生したり排気口が閉塞されたりして、
安全性及び周囲の環境に問題が生じていた。
【０００６】この問題を解決するためには、処理槽の相
互間で薬液から放出されるガスが混合しないようにすれ
ば良い。本発明は、複数の薬液を用いて薬液毎の処理を
行う薬液処理装置に関し、処理槽の相互間で薬液から放
出されるガスが混合しないようにすることを目的とす
る。
互間で薬液から放出されるガスが混合しないようにすれ
ば良い。本発明は、複数の薬液を用いて薬液毎の処理を
行う薬液処理装置に関し、処理槽の相互間で薬液から放
出されるガスが混合しないようにすることを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明による薬液処理装置は、第１の薬液による第
１処理槽と水洗槽と第２の薬液による第２処理槽とがそ
の順に並び、第１処理槽の領域と水洗槽の領域との間及
び水洗槽の領域と第２処理槽の領域との間の一方または
両方が、エアまたは純水によるカーテンで仕切られるこ
とを特徴としている。
に、本発明による薬液処理装置は、第１の薬液による第
１処理槽と水洗槽と第２の薬液による第２処理槽とがそ
の順に並び、第１処理槽の領域と水洗槽の領域との間及
び水洗槽の領域と第２処理槽の領域との間の一方または
両方が、エアまたは純水によるカーテンで仕切られるこ
とを特徴としている。
【０００８】
【作用】上記カーテンが第１処理槽の領域と第２処理槽
の領域との間を仕切るので、両領域のそれぞれに有する
ガスが混合するのを阻止することができる。然も、第１
処理槽と第２処理槽との間に水洗槽があるので、この混
合を阻止する機能が大である。これは、第１の薬液から
放出されるガスと第２の薬液から放出されるガスが混合
しないことである。
の領域との間を仕切るので、両領域のそれぞれに有する
ガスが混合するのを阻止することができる。然も、第１
処理槽と第２処理槽との間に水洗槽があるので、この混
合を阻止する機能が大である。これは、第１の薬液から
放出されるガスと第２の薬液から放出されるガスが混合
しないことである。
【０００９】このことから本薬液処理装置は、処理槽の
相互間で薬液から放出されるガスが混合しないようにな
り、それに伴い、従来例で問題になった白煙の発生や排
気口の閉塞を起こすことがない。
相互間で薬液から放出されるガスが混合しないようにな
り、それに伴い、従来例で問題になった白煙の発生や排
気口の閉塞を起こすことがない。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例について図１の要部構成
図を用いて説明する。図１において、１１，２１は処理
槽、１２，２２は薬液タンク、１３，２３はフード、１
４，２４は小型の排ガス処理装置、１５，１６，１７，
２５，２６，２７はダクト、３１は水洗槽、３２はエア
または純水によるカーテン、である。
図を用いて説明する。図１において、１１，２１は処理
槽、１２，２２は薬液タンク、１３，２３はフード、１
４，２４は小型の排ガス処理装置、１５，１６，１７，
２５，２６，２７はダクト、３１は水洗槽、３２はエア
または純水によるカーテン、である。
【００１１】処理槽１１は、酸性薬液による処理を行う
槽であり、処理槽２１は、アルカリ性薬液による処理を
行う槽である。薬液タンク１２は、処理槽１１用の酸性
薬液を収容し、薬液タンク２２は、処理槽２１用のアル
カリ性薬液を収容する。フード１３は、処理槽１１の上
方に配置されて処理槽１１で酸性薬液から放出されるガ
スを吸入し、フード２３は、処理槽２１の上方に配置さ
れて処理槽２１でアルカリ性薬液から放出されるガスを
吸入する。なお、薬液タンク１２または２２は、処理槽
１１または２１が処理待ちのときにそれぞれの薬液を回
収して待機させる。
槽であり、処理槽２１は、アルカリ性薬液による処理を
行う槽である。薬液タンク１２は、処理槽１１用の酸性
薬液を収容し、薬液タンク２２は、処理槽２１用のアル
カリ性薬液を収容する。フード１３は、処理槽１１の上
方に配置されて処理槽１１で酸性薬液から放出されるガ
スを吸入し、フード２３は、処理槽２１の上方に配置さ
れて処理槽２１でアルカリ性薬液から放出されるガスを
吸入する。なお、薬液タンク１２または２２は、処理槽
１１または２１が処理待ちのときにそれぞれの薬液を回
収して待機させる。
【００１２】排ガス処理装置１４は、上記酸性薬液から
放出されるガスに対して除害機能を有し、排ガス処理装
置２４は、上記アルカリ性薬液から放出されるガスに対
して除害機能を有する。ダクト１５は、フード１３が吸
入したガスを排ガス処理装置１４に送り、ダクト２５
は、フード２３が吸入したガスを排ガス処理装置２４に
送る。ダクト１６は、薬液タンク１２内で上記酸性薬液
から放出されたガスを排ガス処理装置１４に送り、ダク
ト２６は、薬液タンク２２内で上記アルカリ性薬液から
放出されたガスを排ガス処理装置２４に送る。ダクト１
７は、排ガス処理装置１４で除害したガスを装置外に排
出し、ダクト２７は、排ガス処理装置２４で除害したガ
スを装置外に排出する。
放出されるガスに対して除害機能を有し、排ガス処理装
置２４は、上記アルカリ性薬液から放出されるガスに対
して除害機能を有する。ダクト１５は、フード１３が吸
入したガスを排ガス処理装置１４に送り、ダクト２５
は、フード２３が吸入したガスを排ガス処理装置２４に
送る。ダクト１６は、薬液タンク１２内で上記酸性薬液
から放出されたガスを排ガス処理装置１４に送り、ダク
ト２６は、薬液タンク２２内で上記アルカリ性薬液から
放出されたガスを排ガス処理装置２４に送る。ダクト１
７は、排ガス処理装置１４で除害したガスを装置外に排
出し、ダクト２７は、排ガス処理装置２４で除害したガ
スを装置外に排出する。
【００１３】水洗槽３１は、純水により水洗を行う槽で
あり、処理槽１１と２１との間に配置される。カーテン
３２は、エアまたは純水によるカーテン、即ちエアカー
テンまたは純水シャワーのカーテンであり、二つ設けて
処理槽１１の領域と水洗槽３１の領域の間及び水洗槽３
１の領域と処理槽２１の領域との間を仕切り、個々の領
域にある空気及びガスが他の領域に入り込まないように
する。
あり、処理槽１１と２１との間に配置される。カーテン
３２は、エアまたは純水によるカーテン、即ちエアカー
テンまたは純水シャワーのカーテンであり、二つ設けて
処理槽１１の領域と水洗槽３１の領域の間及び水洗槽３
１の領域と処理槽２１の領域との間を仕切り、個々の領
域にある空気及びガスが他の領域に入り込まないように
する。
【００１４】従って、処理槽１１用の酸性薬液から放出
されるガスの除害を行う排ガス処理装置１４は、処理槽
２１用のアルカリ性薬液から放出されるガスの混入が防
止され、同時に、処理槽２１用のアルカリ性薬液から放
出されるガスの除害を行う排ガス処理装置２４は、処理
槽１１用の酸性薬液から放出されるガスの混入が防止さ
れる。こことから、本実施例は、従来例で問題になった
白煙の発生や排気口の閉塞を起こすことがない。
されるガスの除害を行う排ガス処理装置１４は、処理槽
２１用のアルカリ性薬液から放出されるガスの混入が防
止され、同時に、処理槽２１用のアルカリ性薬液から放
出されるガスの除害を行う排ガス処理装置２４は、処理
槽１１用の酸性薬液から放出されるガスの混入が防止さ
れる。こことから、本実施例は、従来例で問題になった
白煙の発生や排気口の閉塞を起こすことがない。
【００１５】この実施例では装置内に排ガス処理装置１
４及び２４を配設してあるが、このようなやり方は、他
の設備と共に排気を集中して大気中に放出する際に、多
種多用なプロセス工程、化学物質使用設備の排気バラン
スのばらつきに対する対策として有効である。
４及び２４を配設してあるが、このようなやり方は、他
の設備と共に排気を集中して大気中に放出する際に、多
種多用なプロセス工程、化学物質使用設備の排気バラン
スのばらつきに対する対策として有効である。
【００１６】なお、実施例におけるカーテン３２は、上
述のように二つであるのが望ましいが、その中の一方を
省略しても良い。それは、水洗槽３１の領域にある空気
や水蒸気などが隣の領域に混入しても問題になることが
殆どないからである。
述のように二つであるのが望ましいが、その中の一方を
省略しても良い。それは、水洗槽３１の領域にある空気
や水蒸気などが隣の領域に混入しても問題になることが
殆どないからである。
【００１７】また、実施例では１１，２１で示される処
理槽が三つ以上となる場合には、隣合わせる処理槽の間
に水洗槽を配置して実施例のような構成にすれば良い。
理槽が三つ以上となる場合には、隣合わせる処理槽の間
に水洗槽を配置して実施例のような構成にすれば良い。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、複
数の薬液を用いて薬液毎の処理を行う薬液処理装置に関
し、処理槽の相互間で薬液から放出されるガスが混合し
ないようにすることができて、この混合による白煙の発
生や排気口の閉塞が防止され、安全性の確保及び環境汚
染の防止に寄与するところが大きい。
数の薬液を用いて薬液毎の処理を行う薬液処理装置に関
し、処理槽の相互間で薬液から放出されるガスが混合し
ないようにすることができて、この混合による白煙の発
生や排気口の閉塞が防止され、安全性の確保及び環境汚
染の防止に寄与するところが大きい。
【図１】 実施例の要部構成図
１１，２１ 処理槽 １２，２２ 薬液タンク １３，２３ フード １４，２４ 小型の排ガス処理装置 １５，１６，１７，２５，２６，２７ ダクト ３１ 水洗槽 ３２ エアまたは純水によるカーテン
Claims (1)
- 【請求項１】 第１の薬液による第１処理槽と水洗槽と
第２の薬液による第２処理槽とがその順に並び、 第１処理槽の領域と水洗槽の領域との間及び水洗槽の領
域と第２処理槽の領域との間の一方または両方が、エア
または純水によるカーテンで仕切られることを特徴とす
る薬液処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23065292A JPH0684880A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 薬液処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23065292A JPH0684880A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 薬液処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684880A true JPH0684880A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=16911158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23065292A Withdrawn JPH0684880A (ja) | 1992-08-31 | 1992-08-31 | 薬液処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0684880A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101469762B1 (ko) * | 2008-07-31 | 2014-12-08 | 주식회사 케이씨텍 | 기판세정장치 |
-
1992
- 1992-08-31 JP JP23065292A patent/JPH0684880A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101469762B1 (ko) * | 2008-07-31 | 2014-12-08 | 주식회사 케이씨텍 | 기판세정장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH038821B2 (ja) | ||
| JP2003010638A (ja) | プラズマ排ガス処理方法と該方法を利用した排ガス放電処理塔ならびに前記プラズマ排ガス処理塔を搭載した排ガス処理装置 | |
| JPH0684880A (ja) | 薬液処理装置 | |
| JPH11168067A (ja) | 半導体製造排ガスの除害装置及び除害方法 | |
| JPH0763583B2 (ja) | 半導体排ガス除害方法とその装置 | |
| CN116324277A (zh) | 排气处理设备 | |
| KR100269416B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
| JPH0766165A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH0745581A (ja) | 半導体基板薬液処理装置 | |
| JPH08117536A (ja) | 空気洗浄装置 | |
| JPH07136448A (ja) | 排気浄化機構 | |
| JP3257539B2 (ja) | 排気ダクト内の反応生成物除去装置 | |
| KR102351614B1 (ko) | 기판처리장치 | |
| JPH0233238Y2 (ja) | ||
| JP2006156792A (ja) | 半導体製造装置の排ガス除害装置 | |
| JP3144036B2 (ja) | 薬液処理装置及び薬液処理方法 | |
| JPH02277556A (ja) | クリーンドラフト | |
| JPH0788319A (ja) | 排気除害システム | |
| JPH11137951A (ja) | 半導体製造排ガスの除害装置及び除害方法 | |
| US20020182130A1 (en) | Method and apparatus for combustion toxicity-elimination of PFC gas | |
| JPH0779948B2 (ja) | 半導体製造装置の排ガス処理装置 | |
| JP2941538B2 (ja) | ドライクリーナの排水処理方法 | |
| JP4415067B2 (ja) | 物体の薬液による処理方法および薬液処理装置 | |
| JPH0234825Y2 (ja) | ||
| JPS63182039A (ja) | ドラフト装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991102 |