JPH07130307A - 反射防止膜付基板 - Google Patents
反射防止膜付基板Info
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- JPH07130307A JPH07130307A JP27217293A JP27217293A JPH07130307A JP H07130307 A JPH07130307 A JP H07130307A JP 27217293 A JP27217293 A JP 27217293A JP 27217293 A JP27217293 A JP 27217293A JP H07130307 A JPH07130307 A JP H07130307A
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- JP
- Japan
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- film
- mixed
- substrate
- sio
- mixed film
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- Vessels, Lead-In Wires, Accessory Apparatuses For Cathode-Ray Tubes (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】アルカリ遮蔽効果と反射防止効果を兼備した反
射防止膜付基板を提供する 【構成】透光性の基板２上には、アルカリ遮蔽膜である
SiO2膜３と、TiO2とSiO2を有する混合膜４が積層されて
いる。混合膜上にはＡｌから成る導体パターン層５があ
る。導体パターン層に相対する部分の前記混合膜は、熱
処理により有色化されて反射防止効果を奏する。SiO2膜
に接する混合膜の境界面にはSiO2膜が形成され、両膜は
境界面においてよくなじむ。TiO2膜にSiO2が混合すると
全体としての膨張係数はTiO2の膨張係数より低くなる。
従来より膨張係数の小さい本実施例の混合膜は基板との
膨張係数の違いによって剥がれにくい。混合膜はTiO2の
みの膜よりも強度が高い。以上の各点から混合膜はSiO2
膜に対して剥離しにくい。
射防止膜付基板を提供する 【構成】透光性の基板２上には、アルカリ遮蔽膜である
SiO2膜３と、TiO2とSiO2を有する混合膜４が積層されて
いる。混合膜上にはＡｌから成る導体パターン層５があ
る。導体パターン層に相対する部分の前記混合膜は、熱
処理により有色化されて反射防止効果を奏する。SiO2膜
に接する混合膜の境界面にはSiO2膜が形成され、両膜は
境界面においてよくなじむ。TiO2膜にSiO2が混合すると
全体としての膨張係数はTiO2の膨張係数より低くなる。
従来より膨張係数の小さい本実施例の混合膜は基板との
膨張係数の違いによって剥がれにくい。混合膜はTiO2の
みの膜よりも強度が高い。以上の各点から混合膜はSiO2
膜に対して剥離しにくい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蛍光表示管・プラズマ
ディスプレイ・電界発光表示装置等の各種表示装置乃至
これらの原理を用いた光源において有用な反射防止膜付
基板に関するものである。
ディスプレイ・電界発光表示装置等の各種表示装置乃至
これらの原理を用いた光源において有用な反射防止膜付
基板に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光表示管の外囲器において、その表示
面側の基板に反射防止膜を設けたものが知られている。
特開昭６３−２１３２４５号公報には、透光性の前面基
板の内面に形成された陽極の発光表示を、該前面基板を
介して観察する前面発光形の蛍光表示管において、該前
面基板に反射防止膜を設けた例が記載されている。
面側の基板に反射防止膜を設けたものが知られている。
特開昭６３−２１３２４５号公報には、透光性の前面基
板の内面に形成された陽極の発光表示を、該前面基板を
介して観察する前面発光形の蛍光表示管において、該前
面基板に反射防止膜を設けた例が記載されている。
【０００３】この蛍光表示管は、図４に示すように、ソ
ーダライムガラスから成る透光性の基板を前面基板１０
０としている。前面基板１００の内面には透光性のある
ＴｉＯ2 膜１０１が形成され、さらにその上には所定パ
ターンの導体１０２がＡｌによって形成されている。図
示はしないが、この所定パターンの導体１０２の部分に
は蛍光体が被着され、この導体１０２を除く前面基板１
００上には絶縁層が被着されている。そして、前記Ｔｉ
Ｏ2 膜１０１は、Ａｌの前記導体１０２に接している部
分が熱処理によって有色化して反射防止膜となり、蛍光
体の発光を前面基板１００の外側から観察した際の視認
性を向上させている。
ーダライムガラスから成る透光性の基板を前面基板１０
０としている。前面基板１００の内面には透光性のある
ＴｉＯ2 膜１０１が形成され、さらにその上には所定パ
ターンの導体１０２がＡｌによって形成されている。図
示はしないが、この所定パターンの導体１０２の部分に
は蛍光体が被着され、この導体１０２を除く前面基板１
００上には絶縁層が被着されている。そして、前記Ｔｉ
Ｏ2 膜１０１は、Ａｌの前記導体１０２に接している部
分が熱処理によって有色化して反射防止膜となり、蛍光
体の発光を前面基板１００の外側から観察した際の視認
性を向上させている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したＴｉＯ2 膜の
単層構造では、反射防止の機能は得られるが、ソーダラ
イムガラスに対するアルカリ遮蔽膜としての効果は得ら
れない。ソーダライムガラスに含まれるＮａ2 Ｏ3 が電
解するとＮａ+ イオンが生じてマイナス電極側に移動
し、前記絶縁層中のＰｂＯを還元してＰｂを樹枝状に析
出させる。これは鉛樹と呼ばれ、絶縁層の絶縁抵抗を低
下させる原因となる。またＮａの拡散により、蛍光体が
劣化してしまうこともある。このような不都合の原因と
なるアルカリイオンの拡散を、従来のＴｉＯ2 膜の単層
構造で抑えることはできなかった。
単層構造では、反射防止の機能は得られるが、ソーダラ
イムガラスに対するアルカリ遮蔽膜としての効果は得ら
れない。ソーダライムガラスに含まれるＮａ2 Ｏ3 が電
解するとＮａ+ イオンが生じてマイナス電極側に移動
し、前記絶縁層中のＰｂＯを還元してＰｂを樹枝状に析
出させる。これは鉛樹と呼ばれ、絶縁層の絶縁抵抗を低
下させる原因となる。またＮａの拡散により、蛍光体が
劣化してしまうこともある。このような不都合の原因と
なるアルカリイオンの拡散を、従来のＴｉＯ2 膜の単層
構造で抑えることはできなかった。
【０００５】本発明は、アルカリ遮蔽効果と反射防止効
果を兼備した反射防止膜付基板を提供することを目的と
している。
果を兼備した反射防止膜付基板を提供することを目的と
している。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載された反
射防止膜付基板は、透光性の基板と、前記基板上に形成
されたＳｉＯ2 膜と、前記ＳｉＯ2 膜上に形成されたＴ
ｉ，Ｗ，Ｍｏ，Ｖ，Ｎｂから選ばれた金属とＳｉＯ2 と
の混合膜と、前記混合膜上に形成された金属薄膜から成
る導体パターン層とを有し、前記導体パターン層に相対
する前記混合膜が有色化されていることを特徴とする。
射防止膜付基板は、透光性の基板と、前記基板上に形成
されたＳｉＯ2 膜と、前記ＳｉＯ2 膜上に形成されたＴ
ｉ，Ｗ，Ｍｏ，Ｖ，Ｎｂから選ばれた金属とＳｉＯ2 と
の混合膜と、前記混合膜上に形成された金属薄膜から成
る導体パターン層とを有し、前記導体パターン層に相対
する前記混合膜が有色化されていることを特徴とする。
【０００７】請求項２に記載された反射防止膜付基板
は、請求項１記載の反射防止膜付基板において、前記金
属の酸化物がＴｉＯ2 であり、前記混合膜中のＳｉＯ2
の混合量が３〜１５％であることを特徴としている。
は、請求項１記載の反射防止膜付基板において、前記金
属の酸化物がＴｉＯ2 であり、前記混合膜中のＳｉＯ2
の混合量が３〜１５％であることを特徴としている。
【０００８】
【作用】金属の酸化物とＳｉＯ2 から成る反射防止膜と
しての混合膜は、金属の酸化物のみから成る従来の反射
防止膜よりも強度が高く、透光性の基板上に形成された
ＳｉＯ2 膜から剥がれにくい。ＳｉＯ2 膜はアルカリ遮
蔽作用を有する。
しての混合膜は、金属の酸化物のみから成る従来の反射
防止膜よりも強度が高く、透光性の基板上に形成された
ＳｉＯ2 膜から剥がれにくい。ＳｉＯ2 膜はアルカリ遮
蔽作用を有する。
【０００９】
【実施例】本発明者は、アルカリ遮蔽効果と反射防止効
果を同時に実現する従来知られていない手段として、ま
ずアルカリ遮蔽膜と反射防止膜を積層させる着想を得
た。しかしながら、従来のアルカリ遮蔽膜であるＳｉＯ
2 膜の上に、単にＴｉＯ2 膜を形成しただけでは、Ａｌ
をパターニングする工程においてＴｉＯ2 膜が剥離して
しまい、反射防止効果が得られなくなるという問題点が
あることが判明した。そこで本発明者は、さらに鋭意研
究を続けた結果、このような問題点を解決する手段を見
いだすに至ったのである。以下に、図１〜図３と表１及
び表２を参照して本発明の一実施例を説明する。本実施
例は、発光素子である蛍光表示管の外囲器に有用な反射
防止膜付基板１に関する。
果を同時に実現する従来知られていない手段として、ま
ずアルカリ遮蔽膜と反射防止膜を積層させる着想を得
た。しかしながら、従来のアルカリ遮蔽膜であるＳｉＯ
2 膜の上に、単にＴｉＯ2 膜を形成しただけでは、Ａｌ
をパターニングする工程においてＴｉＯ2 膜が剥離して
しまい、反射防止効果が得られなくなるという問題点が
あることが判明した。そこで本発明者は、さらに鋭意研
究を続けた結果、このような問題点を解決する手段を見
いだすに至ったのである。以下に、図１〜図３と表１及
び表２を参照して本発明の一実施例を説明する。本実施
例は、発光素子である蛍光表示管の外囲器に有用な反射
防止膜付基板１に関する。
【００１０】図１に示すように、ソーダライムガラスか
ら成る透光性の基板２の上には、アルカリ遮蔽膜として
ＳｉＯ2 膜３が形成されている。このＳｉＯ2 膜３は、
従来のＳｉＯ2 膜３と異なり塩素を含まない。ＳｉＯ2
膜中の塩素は焼成工程において基板中のＮａイオンを引
き寄せてしまい、前述したような鉛樹等の問題を発生さ
せる。そこで、本実施例ではＳｉＯ2 形成液を製造する
際に、ＨＣｌを用いて原料物質を加水分解する工程をと
らず、製品中にＣｌが汚染物質として残留しないように
配慮した。
ら成る透光性の基板２の上には、アルカリ遮蔽膜として
ＳｉＯ2 膜３が形成されている。このＳｉＯ2 膜３は、
従来のＳｉＯ2 膜３と異なり塩素を含まない。ＳｉＯ2
膜中の塩素は焼成工程において基板中のＮａイオンを引
き寄せてしまい、前述したような鉛樹等の問題を発生さ
せる。そこで、本実施例ではＳｉＯ2 形成液を製造する
際に、ＨＣｌを用いて原料物質を加水分解する工程をと
らず、製品中にＣｌが汚染物質として残留しないように
配慮した。
【００１１】具体的には、テトラエトキシシランのモノ
マー（Ｃ2 Ｈ5 Ｏ）4 Ｓｉに水を加え、さらに加水分解
反応と縮合反応を早めるための触媒として、Ｃｌを含ま
ない酸、例えばプロピオン酸や酢酸等の有機酸を加え
る。かかる反応を室温で攪拌しながら行わせ、形成液を
得る。これをロールコータ等を用いて前記基板２に塗布
して成膜し、これを乾燥した後５００〜５４０℃で焼成
する。形成液中に含まれていた有機酸は燃焼して分解
し、基板の表面にはＣｌを含まない有機ＳｉＯ2 ポリマ
ーから成るアルカリ遮蔽膜が得られる。
マー（Ｃ2 Ｈ5 Ｏ）4 Ｓｉに水を加え、さらに加水分解
反応と縮合反応を早めるための触媒として、Ｃｌを含ま
ない酸、例えばプロピオン酸や酢酸等の有機酸を加え
る。かかる反応を室温で攪拌しながら行わせ、形成液を
得る。これをロールコータ等を用いて前記基板２に塗布
して成膜し、これを乾燥した後５００〜５４０℃で焼成
する。形成液中に含まれていた有機酸は燃焼して分解
し、基板の表面にはＣｌを含まない有機ＳｉＯ2 ポリマ
ーから成るアルカリ遮蔽膜が得られる。
【００１２】前記ＳｉＯ2 膜３の厚さは本実施例では１
０００〜２０００オングストロームとした。この厚さ
は、形成液の粘度で調整できる。形成液の粘度を高くす
れば膜厚は大きくなり、粘度を小さくすれば膜厚も小さ
くなる。
０００〜２０００オングストロームとした。この厚さ
は、形成液の粘度で調整できる。形成液の粘度を高くす
れば膜厚は大きくなり、粘度を小さくすれば膜厚も小さ
くなる。
【００１３】次に、前記基板２上に形成されたＳｉＯ2
膜３の上には、金属の酸化物と前述したＳｉＯ2 を含む
混合膜４が形成されている。混合膜４の厚さは３００〜
５００オングストロームである。混合膜４を形成する形
成液は、有機Ｔｉ溶液に、前記有機ＳｉＯ2 ポリマーを
含む形成液を混合して得る。
膜３の上には、金属の酸化物と前述したＳｉＯ2 を含む
混合膜４が形成されている。混合膜４の厚さは３００〜
５００オングストロームである。混合膜４を形成する形
成液は、有機Ｔｉ溶液に、前記有機ＳｉＯ2 ポリマーを
含む形成液を混合して得る。
【００１４】前記有機Ｔｉ溶液を含む有機Ｔｉ化合物と
しては、テトラアルコキシチタンの化合物群としてテト
ライソプロキシチタン（ＴＰＴ）、テトラ−ｎ−プトキ
シチタン（ＴＢＴ）等がある。
しては、テトラアルコキシチタンの化合物群としてテト
ライソプロキシチタン（ＴＰＴ）、テトラ−ｎ−プトキ
シチタン（ＴＢＴ）等がある。
【００１５】このような有機Ｔｉと前述したＳｉＯ2 を
含む形成液を、ロールコータ等を用いて前記ＳｉＯ2 膜
３上に塗布し、成膜する。これを乾燥して焼成すれば、
ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 を含む前記混合膜４が得られる。
含む形成液を、ロールコータ等を用いて前記ＳｉＯ2 膜
３上に塗布し、成膜する。これを乾燥して焼成すれば、
ＴｉＯ2 とＳｉＯ2 を含む前記混合膜４が得られる。
【００１６】次に、前記混合膜４の上には、Ａｌから成
る導体パターン層５が形成されている。この導体パター
ン層５は、前記混合膜４の上にスパッタ法でＡｌ膜をべ
たに形成し、これをフォトリソグラフィ法でパターニン
グして形成する。この導体パターン層５は、蛍光表示管
の基板においては透光性の陽極導体となる部分であり、
この上に蛍光体が被着される。
る導体パターン層５が形成されている。この導体パター
ン層５は、前記混合膜４の上にスパッタ法でＡｌ膜をべ
たに形成し、これをフォトリソグラフィ法でパターニン
グして形成する。この導体パターン層５は、蛍光表示管
の基板においては透光性の陽極導体となる部分であり、
この上に蛍光体が被着される。
【００１７】本実施例において、ＳｉＯ2 膜３と混合膜
４と導電パターン層５が積層された前記基板２は、蛍光
表示管の製造における焼成工程等において焼成される。
これによって、高温で活性化されたＡｌが混合膜４中の
ＴｉＯ2 の酸素の一部を奪う。このため透明なＴｉＯ2
の内、導電パターン層５に相対した部分は還元されて有
色化している。
４と導電パターン層５が積層された前記基板２は、蛍光
表示管の製造における焼成工程等において焼成される。
これによって、高温で活性化されたＡｌが混合膜４中の
ＴｉＯ2 の酸素の一部を奪う。このため透明なＴｉＯ2
の内、導電パターン層５に相対した部分は還元されて有
色化している。
【００１８】本実施例によれば、（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｏ2 を
含む混合膜４は、ＳｉＯ2 膜３に対して剥離しにくい。
これは、一つにはＳｉＯ2 膜３に接する混合膜４の境界
面にもＳｉＯ2 膜が形成され、両膜が境界面においてよ
くなじんでいるからであると考えられる。また、ＴｉＯ
2 膜にＳｉＯ2 が混合すると、全体としての膨張係数は
ＴｉＯ2 の膨張係数からより低いＳｉＯ2 の膨張係数に
近づく。このため、従来の反射防止膜であるＴｉＯ2 が
蛍光表示管の駆動時等の温度上昇によって剥がれ易かっ
たのに対し、より膨張係数の小さい本実施例の混合膜４
は基板２との膨張係数の違いによって剥がれにくいもの
と考えられる。さらに、混合膜の方が、ＴｉＯ2 のみの
膜よりも強度が高いためもあると考えられる。
含む混合膜４は、ＳｉＯ2 膜３に対して剥離しにくい。
これは、一つにはＳｉＯ2 膜３に接する混合膜４の境界
面にもＳｉＯ2 膜が形成され、両膜が境界面においてよ
くなじんでいるからであると考えられる。また、ＴｉＯ
2 膜にＳｉＯ2 が混合すると、全体としての膨張係数は
ＴｉＯ2 の膨張係数からより低いＳｉＯ2 の膨張係数に
近づく。このため、従来の反射防止膜であるＴｉＯ2 が
蛍光表示管の駆動時等の温度上昇によって剥がれ易かっ
たのに対し、より膨張係数の小さい本実施例の混合膜４
は基板２との膨張係数の違いによって剥がれにくいもの
と考えられる。さらに、混合膜の方が、ＴｉＯ2 のみの
膜よりも強度が高いためもあると考えられる。
【００１９】また、本実施例によれば、Ｃｌを含まない
ＳｉＯ2 膜３はアルカリ遮蔽膜として高い効果を有し、
蛍光表示管の基板に応用した場合に従来問題となってい
た鉛樹等の不都合は解消された。
ＳｉＯ2 膜３はアルカリ遮蔽膜として高い効果を有し、
蛍光表示管の基板に応用した場合に従来問題となってい
た鉛樹等の不都合は解消された。
【００２０】次に、前記実施例における混合膜４のより
具体的な構成例及びその作用効果について説明する。次
に示す表１は、前記混合膜を形成する際の形成液におけ
る有機Ｓｉの重量％と、混合膜表面におけるＳｉのＴｉ
に対する存在比と、混合膜表面におけるＮａのＴｉに対
する存在比との関係を、従来のＴｉＯ2 膜との対比にお
いて示したものである。
具体的な構成例及びその作用効果について説明する。次
に示す表１は、前記混合膜を形成する際の形成液におけ
る有機Ｓｉの重量％と、混合膜表面におけるＳｉのＴｉ
に対する存在比と、混合膜表面におけるＮａのＴｉに対
する存在比との関係を、従来のＴｉＯ2 膜との対比にお
いて示したものである。
【００２１】
【表１】
【００２２】表１から明らかなように、Ｓｉの調合割合
が多くなる程、混合膜の表面にＳｉＯ2 が多くなる。従
って、前述したようにアルカリ遮蔽膜である前記ＳｉＯ
2 膜とのなじみが良くなると考えられる。
が多くなる程、混合膜の表面にＳｉＯ2 が多くなる。従
って、前述したようにアルカリ遮蔽膜である前記ＳｉＯ
2 膜とのなじみが良くなると考えられる。
【００２３】表１の右欄及びこれをグラフ化した図２に
示すように、本実施例によれば混合膜の表面におけるＮ
ａの析出量はＴｉ比で０．０４以下であり、従来のＴｉ
Ｏ2膜の場合の０．２１を大幅に下回っており、実用上
問題ないと考えられる比０．１の半分以下の値である。
示すように、本実施例によれば混合膜の表面におけるＮ
ａの析出量はＴｉ比で０．０４以下であり、従来のＴｉ
Ｏ2膜の場合の０．２１を大幅に下回っており、実用上
問題ないと考えられる比０．１の半分以下の値である。
【００２４】一般に基板からのＮａの析出によって蛍光
表示管の蛍光体は劣化し、またカソードが毒化されるた
め、使用につれて蛍光表示管の発光表示輝度は低下して
いく。しかしながら本実施例によれば、前述のようにＮ
ａの析出が従来より抑えられているので、所定時間点灯
後の輝度残存率は高い。実験によれば、１６８時間点灯
した後の輝度残存率は、本実施例を１００％とすると、
従来例は８０％しかなかった。
表示管の蛍光体は劣化し、またカソードが毒化されるた
め、使用につれて蛍光表示管の発光表示輝度は低下して
いく。しかしながら本実施例によれば、前述のようにＮ
ａの析出が従来より抑えられているので、所定時間点灯
後の輝度残存率は高い。実験によれば、１６８時間点灯
した後の輝度残存率は、本実施例を１００％とすると、
従来例は８０％しかなかった。
【００２５】次に示す表２は、前記混合膜を形成する際
の形成液における有機Ｓｉの重量％と、混合膜の膜強度
（ｍＮ）との関係を、従来のＴｉＯ2 膜との対比におい
て示したものである。
の形成液における有機Ｓｉの重量％と、混合膜の膜強度
（ｍＮ）との関係を、従来のＴｉＯ2 膜との対比におい
て示したものである。
【００２６】
【表２】
【００２７】表１及びこれをグラフ化した図３に示すよ
うに、本実施例によれば混合膜の強度が概ね２５０から
３００付近で一定しており、従来のＴｉＯ2 膜の強度を
大幅に上回っている。従って、前述したようにアルカリ
遮蔽膜である前記ＳｉＯ2 膜３と剥がれにくくなったと
考えられる。
うに、本実施例によれば混合膜の強度が概ね２５０から
３００付近で一定しており、従来のＴｉＯ2 膜の強度を
大幅に上回っている。従って、前述したようにアルカリ
遮蔽膜である前記ＳｉＯ2 膜３と剥がれにくくなったと
考えられる。
【００２８】以上説明した一実施例においては、前記混
合膜４が含む金属酸化物としてＴｉＯ2 を例示した。こ
の他、Ｗ，Ｍｏ，Ｖ，Ｎｂ等の金属の酸化物も本発明に
おける混合膜に使用できる。
合膜４が含む金属酸化物としてＴｉＯ2 を例示した。こ
の他、Ｗ，Ｍｏ，Ｖ，Ｎｂ等の金属の酸化物も本発明に
おける混合膜に使用できる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、基板上にアルカリ遮蔽
膜としてＳｉＯ2 膜を設け、その上にＴｉＯ2 等に金属
酸化物とＳｉＯ2 を含む混合膜を反射防止膜として設け
た。このため、基板から析出するＮａ量は従来の約１／
５以下になり、充分なアルカリ遮蔽効果が得られた。
膜としてＳｉＯ2 膜を設け、その上にＴｉＯ2 等に金属
酸化物とＳｉＯ2 を含む混合膜を反射防止膜として設け
た。このため、基板から析出するＮａ量は従来の約１／
５以下になり、充分なアルカリ遮蔽効果が得られた。
【００３０】また、混合膜は、ＴｉＯ2 膜より強度が強
く、ＴｉＯ2 膜より熱膨張係数が小さいので、ＳｉＯ2
膜に対して剥離しにくく、従来品より良好な反射効果が
得られる。
く、ＴｉＯ2 膜より熱膨張係数が小さいので、ＳｉＯ2
膜に対して剥離しにくく、従来品より良好な反射効果が
得られる。
【００３１】更に混合膜は有色化されているので、対面
する金属薄膜の反射率を低下させるという反射防止効果
を有する。
する金属薄膜の反射率を低下させるという反射防止効果
を有する。
【図１】本発明の一実施例の断面図である。
【図２】本発明の一実施例において、混合膜の表面にお
けるＮａ／Ｔｉ比と、形成液における調合割合Ｓｉ／Ｔ
ｉ（％）との関係を示すグラフである。
けるＮａ／Ｔｉ比と、形成液における調合割合Ｓｉ／Ｔ
ｉ（％）との関係を示すグラフである。
【図３】本発明の一実施例において、混合膜の膜強度
と、形成液における調合割合Ｓｉ／Ｔｉ（％）との関係
を示すグラフである。
と、形成液における調合割合Ｓｉ／Ｔｉ（％）との関係
を示すグラフである。
【図４】従来の反射防止膜を有する反射防止膜付基板の
断面図である。
断面図である。
１ 反射防止膜付基板 ２ 透光性の基板 ３ ＳｉＯ2 膜 ４ 混合膜 ５ 導電パターン層
Claims (2)
- 【請求項１】 透光性の基板と、前記基板上に形成され
たＳｉＯ2 膜と、前記ＳｉＯ2 膜上に形成されたＴｉ，
Ｗ，Ｍｏ，Ｖ，Ｎｂから選ばれた金属とＳｉＯ2 との混
合膜と、前記混合膜上に形成された金属薄膜から成る導
体パターン層とを有し、前記導体パターン層に相対する
前記混合膜が有色化されていることを特徴とする反射防
止膜付基板。 - 【請求項２】 前記金属の酸化物がＴｉＯ2 であり、前
記混合膜中のＳｉＯ 2 の混合量が３〜１５％である請求
項１記載の反射防止膜付基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27217293A JP2809068B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 反射防止膜付基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27217293A JP2809068B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 反射防止膜付基板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07130307A true JPH07130307A (ja) | 1995-05-19 |
| JP2809068B2 JP2809068B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=17510082
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27217293A Expired - Lifetime JP2809068B2 (ja) | 1993-10-29 | 1993-10-29 | 反射防止膜付基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2809068B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5751106A (en) * | 1995-12-22 | 1998-05-12 | Futaba Denshi Kogyo K.K. | Fluorescent display tube |
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1993
- 1993-10-29 JP JP27217293A patent/JP2809068B2/ja not_active Expired - Lifetime
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