JPH07128262A - 蛍光ｘ線分析装置および分析方法 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置および分析方法Info
- Publication number
- JPH07128262A JPH07128262A JP29424593A JP29424593A JPH07128262A JP H07128262 A JPH07128262 A JP H07128262A JP 29424593 A JP29424593 A JP 29424593A JP 29424593 A JP29424593 A JP 29424593A JP H07128262 A JPH07128262 A JP H07128262A
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- Japan
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- sample
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 真空到達時間を短縮するとともに、Ｘ線の防
爆を行う目的以外のために重量化を施すことの無い蛍光
Ｘ線分析装置および分析方法を得ること。 【構成】 試料台１８の測定部位２１にセットされた試
料３にＸ線管１から出射された一次Ｘ線２が照射されて
発生した二次Ｘ線４を検出する検出器５と、一次Ｘ線２
および二次Ｘ線４を真空雰囲気中に保持するために試料
台１８とでＸ線パス部６を形成するベンチ１７と、Ｘ線
パス部６を真空雰囲気にする真空ポンプ１３とを有し、
更に、Ｘ線パス部６の真空シール機構が、Ｘ線管１とベ
ンチ１７間、検出器５とベンチ１７間、および、試料台
１８とベンチ１７間に各々設けられた真空シール部材
９，１０，１９並びに、測定部位２１に形成されている
測定口１８ａの近傍を試料台上面側から包囲する真空シ
ール部材２０からなる。
爆を行う目的以外のために重量化を施すことの無い蛍光
Ｘ線分析装置および分析方法を得ること。 【構成】 試料台１８の測定部位２１にセットされた試
料３にＸ線管１から出射された一次Ｘ線２が照射されて
発生した二次Ｘ線４を検出する検出器５と、一次Ｘ線２
および二次Ｘ線４を真空雰囲気中に保持するために試料
台１８とでＸ線パス部６を形成するベンチ１７と、Ｘ線
パス部６を真空雰囲気にする真空ポンプ１３とを有し、
更に、Ｘ線パス部６の真空シール機構が、Ｘ線管１とベ
ンチ１７間、検出器５とベンチ１７間、および、試料台
１８とベンチ１７間に各々設けられた真空シール部材
９，１０，１９並びに、測定部位２１に形成されている
測定口１８ａの近傍を試料台上面側から包囲する真空シ
ール部材２０からなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は蛍光Ｘ線分析装置および
分析方法に関し、更に詳しくは、液体、粉体のような流
動試料以外の試料について定性、定量分析を行う場合、
Ｘ線管から出射された一次Ｘ線を照射することにより試
料から発生した蛍光Ｘ線および散乱Ｘ線からなる二次Ｘ
線が空気によって吸収されるのを防止して、例えば、Ａ
ｌ，Ｓｉ等の軽元素を正確に測定できるようにＸ線パス
部を真空引きして真空にするための真空シール機構およ
びそのシール方法に関するものである。
分析方法に関し、更に詳しくは、液体、粉体のような流
動試料以外の試料について定性、定量分析を行う場合、
Ｘ線管から出射された一次Ｘ線を照射することにより試
料から発生した蛍光Ｘ線および散乱Ｘ線からなる二次Ｘ
線が空気によって吸収されるのを防止して、例えば、Ａ
ｌ，Ｓｉ等の軽元素を正確に測定できるようにＸ線パス
部を真空引きして真空にするための真空シール機構およ
びそのシール方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】蛍光Ｘ線分析装置の一般的な構成を図２
に示す。図２において、Ｘ線管１から出射された一次Ｘ
線２は試料台の測定部位にセットされた試料３に照射さ
れて蛍光Ｘ線および散乱Ｘ線からなる二次Ｘ線４が発生
する。この二次Ｘ線４は検出器５に入射され、増幅器、
パルス波高分析器およびＭＣＡを通してＣＰＵにて処理
され、定性、定量分析が行われる。
に示す。図２において、Ｘ線管１から出射された一次Ｘ
線２は試料台の測定部位にセットされた試料３に照射さ
れて蛍光Ｘ線および散乱Ｘ線からなる二次Ｘ線４が発生
する。この二次Ｘ線４は検出器５に入射され、増幅器、
パルス波高分析器およびＭＣＡを通してＣＰＵにて処理
され、定性、定量分析が行われる。
【０００３】この際、例えば、Ａｌ，Ｓｉ等の軽元素を
正確に測定するためにはＸ線パス部６を真空にして二次
Ｘ線４が空気によって吸収されるのを防止する必要があ
る。
正確に測定するためにはＸ線パス部６を真空にして二次
Ｘ線４が空気によって吸収されるのを防止する必要があ
る。
【０００４】従来の蛍光Ｘ線分析装置においては、図３
に示すように、この真空シール機構が、Ｘ線管１とベン
チ７間、検出器５とベンチ７間、および、Ｘ線防爆用の
蓋８とベンチ７間に各々設けられたＯ−リング９，１
０，１１からなり、真空ホース１２を介して真空ポンプ
１３による真空引きでＸ線パス部６を真空状態にしてい
た。
に示すように、この真空シール機構が、Ｘ線管１とベン
チ７間、検出器５とベンチ７間、および、Ｘ線防爆用の
蓋８とベンチ７間に各々設けられたＯ−リング９，１
０，１１からなり、真空ホース１２を介して真空ポンプ
１３による真空引きでＸ線パス部６を真空状態にしてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この真空シー
ル機構では、Ｘ線パス部６と試料室１５間は真空シール
が施されておらず、試料室１５が試料台１６の測定部位
に形成されている測定口１６ａを介してＸ線パス部６に
連通しているから、Ｘ線パス部６に加えて試料室１５の
真空引きも同時に行われることになる。したがって、試
料３が大きくなるとそれを収める蓋８および試料室１５
も当然大きくする必要があるから、真空引きを行う容量
が増大し、真空到達時間が遅くなってしまう。そのた
め、これを補うためには、排気量の大きな高価な真空ポ
ンプが必要となったり、試料室１５内が真空状態のとき
に大気圧により試料室１５が破損しない程度の強度を持
たせるために蓋８をより厚くする必要がある。元来、蓋
８はＸ線の防爆を行うために必要とされるものであっ
て、蓋８にはＸ線の防爆を行う目的のために１０ｍｍ程
の厚みを有する鉄、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、シンチュ
ウ等の金属が用いられているけれども、この目的とは無
関係に、厚みをより厚くした蓋を必要とするから、蓋は
重くなるとともに、高価となる。
ル機構では、Ｘ線パス部６と試料室１５間は真空シール
が施されておらず、試料室１５が試料台１６の測定部位
に形成されている測定口１６ａを介してＸ線パス部６に
連通しているから、Ｘ線パス部６に加えて試料室１５の
真空引きも同時に行われることになる。したがって、試
料３が大きくなるとそれを収める蓋８および試料室１５
も当然大きくする必要があるから、真空引きを行う容量
が増大し、真空到達時間が遅くなってしまう。そのた
め、これを補うためには、排気量の大きな高価な真空ポ
ンプが必要となったり、試料室１５内が真空状態のとき
に大気圧により試料室１５が破損しない程度の強度を持
たせるために蓋８をより厚くする必要がある。元来、蓋
８はＸ線の防爆を行うために必要とされるものであっ
て、蓋８にはＸ線の防爆を行う目的のために１０ｍｍ程
の厚みを有する鉄、ステンレス鋼（ＳＵＳ）、シンチュ
ウ等の金属が用いられているけれども、この目的とは無
関係に、厚みをより厚くした蓋を必要とするから、蓋は
重くなるとともに、高価となる。
【０００６】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、真空到達時間を短縮
するとともに、Ｘ線の防爆を行う目的以外のために重量
化を施すことの無い蛍光Ｘ線分析装置および分析方法を
得ることである。
もので、その目的とするところは、真空到達時間を短縮
するとともに、Ｘ線の防爆を行う目的以外のために重量
化を施すことの無い蛍光Ｘ線分析装置および分析方法を
得ることである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の蛍光Ｘ線分析装
置は、試料台と、この試料台の測定部位にセットされた
試料にＸ線管から出射された一次Ｘ線が照射されて発生
した二次Ｘ線を検出する検出器と、前記一次Ｘ線および
二次Ｘ線を真空雰囲気中に保持するために前記試料台と
でＸ線パス部を形成するベンチと、真空ホースを介して
前記Ｘ線パス部を真空雰囲気にする真空ポンプとを有
し、更に、前記Ｘ線パス部の真空シール機構が、前記Ｘ
線管とベンチ間、前記検出器とベンチ間、および、前記
試料台とベンチ間に各々設けられた真空シール部材並び
に、前記測定部位に形成されている測定口の近傍を試料
台上面側から包囲する真空シール部材からなる。
置は、試料台と、この試料台の測定部位にセットされた
試料にＸ線管から出射された一次Ｘ線が照射されて発生
した二次Ｘ線を検出する検出器と、前記一次Ｘ線および
二次Ｘ線を真空雰囲気中に保持するために前記試料台と
でＸ線パス部を形成するベンチと、真空ホースを介して
前記Ｘ線パス部を真空雰囲気にする真空ポンプとを有
し、更に、前記Ｘ線パス部の真空シール機構が、前記Ｘ
線管とベンチ間、前記検出器とベンチ間、および、前記
試料台とベンチ間に各々設けられた真空シール部材並び
に、前記測定部位に形成されている測定口の近傍を試料
台上面側から包囲する真空シール部材からなる。
【０００８】また、本発明では、上記真空シール機構を
用いることによって、前記試料の非照射面側の大気雰囲
気から前記Ｘ線パス部を隔離して二次Ｘ線の検出を行
い、終了後は、前記Ｘ線パス部内の真空排気を行うこと
からなる蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
用いることによって、前記試料の非照射面側の大気雰囲
気から前記Ｘ線パス部を隔離して二次Ｘ線の検出を行
い、終了後は、前記Ｘ線パス部内の真空排気を行うこと
からなる蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【０００９】本発明における真空シール部材としては、
Ｏ−リング、ゴムパッキン、あるいは、伸縮性を有する
ベロー等、要は、真空シール可能な部材であればこれら
に限らない。しかも、測定部位に形成されている測定口
の近傍を試料台上面側から包囲する真空シール部材以外
のものは、接着剤でも可能である。しかし、測定口の近
傍を試料台上面側から包囲する真空シール部材は、試料
を直接載置するものであることから、接着剤を使用する
ことはできず、このため、例えば、試料台上面における
測定口の近傍に該測定口を包囲する溝を設け、真空シー
ル部材として前記Ｏ−リング、ゴムパッキン、あるい
は、伸縮性を有するベローを使用し、これらをこの溝に
嵌入設置するとで対処するのが好ましい。
Ｏ−リング、ゴムパッキン、あるいは、伸縮性を有する
ベロー等、要は、真空シール可能な部材であればこれら
に限らない。しかも、測定部位に形成されている測定口
の近傍を試料台上面側から包囲する真空シール部材以外
のものは、接着剤でも可能である。しかし、測定口の近
傍を試料台上面側から包囲する真空シール部材は、試料
を直接載置するものであることから、接着剤を使用する
ことはできず、このため、例えば、試料台上面における
測定口の近傍に該測定口を包囲する溝を設け、真空シー
ル部材として前記Ｏ−リング、ゴムパッキン、あるい
は、伸縮性を有するベローを使用し、これらをこの溝に
嵌入設置するとで対処するのが好ましい。
【００１０】本発明における試料は、液体、粉体のよう
な流動試料以外のもの、すなわち、固体であって、しか
も、試料台の測定部位にセットされた試料の下面が平滑
面であるのが好ましい。
な流動試料以外のもの、すなわち、固体であって、しか
も、試料台の測定部位にセットされた試料の下面が平滑
面であるのが好ましい。
【００１１】また、この試料の厚みに関しては、Ｘ線パ
ス部が真空状態のとき、大気圧により破損しない１ｍｍ
程度の厚みを有する試料を用いることが必要である。
ス部が真空状態のとき、大気圧により破損しない１ｍｍ
程度の厚みを有する試料を用いることが必要である。
【００１２】なお、本発明において使用するＸ線防爆用
の蓋体は、Ｘ線防爆の目的を有するとともに、ベンチに
載置されることで試料室を形成するものであって、例え
ば、１０ｍｍ程の厚みを有する鉄、ステンレス鋼（ＳＵ
Ｓ）、シンチュウ等の金属や、２ｍｍ程の厚みを有する
前記金属の内側または外側に、２ｍｍ程の厚みを有する
鉛を張りつけたものが多用されている。
の蓋体は、Ｘ線防爆の目的を有するとともに、ベンチに
載置されることで試料室を形成するものであって、例え
ば、１０ｍｍ程の厚みを有する鉄、ステンレス鋼（ＳＵ
Ｓ）、シンチュウ等の金属や、２ｍｍ程の厚みを有する
前記金属の内側または外側に、２ｍｍ程の厚みを有する
鉛を張りつけたものが多用されている。
【００１３】また本発明では、試料が厚く、そのためＸ
線漏れの心配が必要でない場合や、装置全体をＸ線防爆
室に入れる必要のない場合は、蓋体は無くてもよい。
線漏れの心配が必要でない場合や、装置全体をＸ線防爆
室に入れる必要のない場合は、蓋体は無くてもよい。
【００１４】
【作用】試料を試料台の測定部位にセットすると、試料
の測定面が、試料室側または試料の非照射面側の大気雰
囲気中とは反対の、真空シール部材で包囲されたＸ線パ
ス部に対面することから、Ｘ線パス部内のみ真空にで
き、従来、試料室がＸ線パス部に連通することによる試
料室の真空引きや、しかも試料が大きくなることに伴う
それを収める蓋体および試料室の大型化により真空引き
を行う容量が増大し、真空到達時間が遅くなってしまっ
たり、これを補うために、排気量の大きな高価な真空ポ
ンプが必要としていたのを回避できるとともに、特に、
大型試料を用いる場合、試料室内が真空状態のときに大
気圧により試料室が破損しない程度の強度を持たせるた
めに蓋体をより厚くする必要があり、重くなるととも
に、高価となっていたのを、蓋体の強度をＸ線の防爆を
行う目的だけにのみ達成でき、これにより軽量かつ安価
にできる。
の測定面が、試料室側または試料の非照射面側の大気雰
囲気中とは反対の、真空シール部材で包囲されたＸ線パ
ス部に対面することから、Ｘ線パス部内のみ真空にで
き、従来、試料室がＸ線パス部に連通することによる試
料室の真空引きや、しかも試料が大きくなることに伴う
それを収める蓋体および試料室の大型化により真空引き
を行う容量が増大し、真空到達時間が遅くなってしまっ
たり、これを補うために、排気量の大きな高価な真空ポ
ンプが必要としていたのを回避できるとともに、特に、
大型試料を用いる場合、試料室内が真空状態のときに大
気圧により試料室が破損しない程度の強度を持たせるた
めに蓋体をより厚くする必要があり、重くなるととも
に、高価となっていたのを、蓋体の強度をＸ線の防爆を
行う目的だけにのみ達成でき、これにより軽量かつ安価
にできる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。な
お、それによって本発明は限定を受けるものではない。
図１において、蛍光Ｘ線分析装置は、試料台１８と、こ
の試料台１８の測定部位２１にセットされた試料３にＸ
線管１から出射された一次Ｘ線２が照射されて発生した
二次Ｘ線４を検出する検出器５と、前記一次Ｘ線および
二次Ｘ線を真空雰囲気中に保持するために試料台１８と
でＸ線パス部６を形成するベンチ１７と、このベンチに
載置されることで試料室２２を形成するＸ線防爆用の蓋
体２３と、真空ホース１２を介してＸ線パス部６を真空
雰囲気にする真空ポンプ１３とを有し、更に、Ｘ線パス
部６の真空シール機構が、Ｘ線管１とベンチ１７間、検
出器５とベンチ１７間、および、試料台１８とベンチ１
７間に各々設けられた真空シール部材並びに、測定部位
２１に形成されている測定口１８ａの近傍を試料台上面
側から包囲する真空シール部材から主としてなる。
お、それによって本発明は限定を受けるものではない。
図１において、蛍光Ｘ線分析装置は、試料台１８と、こ
の試料台１８の測定部位２１にセットされた試料３にＸ
線管１から出射された一次Ｘ線２が照射されて発生した
二次Ｘ線４を検出する検出器５と、前記一次Ｘ線および
二次Ｘ線を真空雰囲気中に保持するために試料台１８と
でＸ線パス部６を形成するベンチ１７と、このベンチに
載置されることで試料室２２を形成するＸ線防爆用の蓋
体２３と、真空ホース１２を介してＸ線パス部６を真空
雰囲気にする真空ポンプ１３とを有し、更に、Ｘ線パス
部６の真空シール機構が、Ｘ線管１とベンチ１７間、検
出器５とベンチ１７間、および、試料台１８とベンチ１
７間に各々設けられた真空シール部材並びに、測定部位
２１に形成されている測定口１８ａの近傍を試料台上面
側から包囲する真空シール部材から主としてなる。
【００１６】更に、真空シール部材が、Ｏ−リング９，
１０，１９からなり、かつ、試料台上面における測定口
１８ａの近傍に該測定口を包囲する溝３０を設け、この
溝にＯ−リング２０が嵌入設置されている。
１０，１９からなり、かつ、試料台上面における測定口
１８ａの近傍に該測定口を包囲する溝３０を設け、この
溝にＯ−リング２０が嵌入設置されている。
【００１７】この実施例のものは上記構成を有するか
ら、試料３を試料台１８の測定部位２１にセットする
と、試料３の測定面が、試料室側とは反対の、Ｏ−リン
グ９，１０，１９，２０で包囲されたＸ線パス部６に対
面することから、Ｘ線パス部６内のみ真空にでき、従
来、試料室がＸ線パス部に連通することによる試料室の
真空引きや、しかも試料が大きくなることに伴うそれを
収める蓋体および試料室の大型化により真空引きを行う
容量が増大し、真空到達時間が遅くなってしまったり、
これを補うために、排気量の大きな高価な真空ポンプが
必要としていたのを回避できるとともに、特に、大型試
料を用いる場合、試料室内が真空状態のときに大気圧に
より試料室が破損しない程度の強度を持たせるために蓋
体をより厚くする必要があり、重くなるとともに、高価
となっていたのを、蓋体２３の強度をＸ線の防爆を行う
目的だけにのみ達成できる。
ら、試料３を試料台１８の測定部位２１にセットする
と、試料３の測定面が、試料室側とは反対の、Ｏ−リン
グ９，１０，１９，２０で包囲されたＸ線パス部６に対
面することから、Ｘ線パス部６内のみ真空にでき、従
来、試料室がＸ線パス部に連通することによる試料室の
真空引きや、しかも試料が大きくなることに伴うそれを
収める蓋体および試料室の大型化により真空引きを行う
容量が増大し、真空到達時間が遅くなってしまったり、
これを補うために、排気量の大きな高価な真空ポンプが
必要としていたのを回避できるとともに、特に、大型試
料を用いる場合、試料室内が真空状態のときに大気圧に
より試料室が破損しない程度の強度を持たせるために蓋
体をより厚くする必要があり、重くなるとともに、高価
となっていたのを、蓋体２３の強度をＸ線の防爆を行う
目的だけにのみ達成できる。
【００１８】また、真空状態を大気圧に戻すとき、真空
ポンプ１３を停止し、電磁弁１４を開けると空気が、電
磁弁１４から真空ホース１２、排気管２８を通ってＸ線
パス部６に流入する。この状態で、蓋体２３を開け、試
料３を取り外す。このように、従来は、真空引きの際、
試料室の１５の空気も排気していたが、本実施例では、
Ｘ線パス部６のみ排気するだけでよいので、真空到達時
間の短縮ができるとともに、大気圧に戻す時間も短縮で
きる。
ポンプ１３を停止し、電磁弁１４を開けると空気が、電
磁弁１４から真空ホース１２、排気管２８を通ってＸ線
パス部６に流入する。この状態で、蓋体２３を開け、試
料３を取り外す。このように、従来は、真空引きの際、
試料室の１５の空気も排気していたが、本実施例では、
Ｘ線パス部６のみ排気するだけでよいので、真空到達時
間の短縮ができるとともに、大気圧に戻す時間も短縮で
きる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
試料を試料台の測定部位にセットすると、試料の測定面
が、試料室側または試料の非照射面側の大気雰囲気中と
は反対の、真空シール部材で包囲されたＸ線パス部に対
面することから、Ｘ線パス部内のみ真空にでき、従来、
試料室がＸ線パス部に連通することによる試料室の真空
引きや、しかも試料が大きくなることに伴うそれを収め
る蓋体および試料室の大型化により真空引きを行う容量
が増大し、真空到達時間が遅くなってしまったり、これ
を補うために、排気量の大きな高価な真空ポンプが必要
としていたのを回避できるとともに、特に、大型試料を
用いる場合、試料室内が真空状態のときに大気圧により
試料室が破損しない程度の強度を持たせるために蓋体を
より厚くする必要があり、重くなるとともに、高価とな
っていたのを、蓋体の強度をＸ線の防爆を行う目的だけ
にのみ達成でき、これにより軽量かつ安価にできる効果
がある。
試料を試料台の測定部位にセットすると、試料の測定面
が、試料室側または試料の非照射面側の大気雰囲気中と
は反対の、真空シール部材で包囲されたＸ線パス部に対
面することから、Ｘ線パス部内のみ真空にでき、従来、
試料室がＸ線パス部に連通することによる試料室の真空
引きや、しかも試料が大きくなることに伴うそれを収め
る蓋体および試料室の大型化により真空引きを行う容量
が増大し、真空到達時間が遅くなってしまったり、これ
を補うために、排気量の大きな高価な真空ポンプが必要
としていたのを回避できるとともに、特に、大型試料を
用いる場合、試料室内が真空状態のときに大気圧により
試料室が破損しない程度の強度を持たせるために蓋体を
より厚くする必要があり、重くなるとともに、高価とな
っていたのを、蓋体の強度をＸ線の防爆を行う目的だけ
にのみ達成でき、これにより軽量かつ安価にできる効果
がある。
【図１】本発明の一実施例を示す全体構成説明図であ
る。
る。
【図２】一般の蛍光Ｘ線分析装置を示す全体構成説明図
である。。
である。。
【図３】従来例を示す全体構成説明図である。
１…Ｘ線管、３…試料、５…検出器、６…Ｘ線パス部、
９，１０，１９，２０…Ｏ−リング（真空シール部
材）、１２…真空ホース、１３…真空ポンプ、１７…ベ
ンチ、１８…試料台、１８ａ…測定口、２１…試料台の
測定部位、２２…試料室、２３…蓋体。
９，１０，１９，２０…Ｏ−リング（真空シール部
材）、１２…真空ホース、１３…真空ポンプ、１７…ベ
ンチ、１８…試料台、１８ａ…測定口、２１…試料台の
測定部位、２２…試料室、２３…蓋体。
Claims (3)
- 【請求項１】 試料台と、この試料台の測定部位にセッ
トされた試料にＸ線管から出射された一次Ｘ線が照射さ
れて発生した二次Ｘ線を検出する検出器と、前記一次Ｘ
線および二次Ｘ線を真空雰囲気中に保持するために前記
試料台とでＸ線パス部を形成するベンチと、真空ホース
を介して前記Ｘ線パス部を真空雰囲気にする真空ポンプ
とを有し、更に、前記Ｘ線パス部の真空シール機構が、
前記Ｘ線管とベンチ間、前記検出器とベンチ間、およ
び、前記試料台とベンチ間に各々設けられた真空シール
部材並びに、前記測定部位に形成されている測定口の近
傍を試料台上面側から包囲する真空シール部材からなる
蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項２】 真空シール部材が、Ｏ−リング、ゴムパ
ッキン、伸縮性を有するベロー、あるいは、接着剤のい
ずれかからなり、かつ、試料台上面における測定口の近
傍に該測定口を包囲する溝を設け、この溝に前記Ｏ−リ
ング、ゴムパッキン、あるいは、伸縮性を有するベロー
が嵌入設置される請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。 - 【請求項３】 Ｘ線管から出射された一次Ｘ線を試料台
の測定部位にセットされた試料に照射して二次Ｘ線を発
生させ、この二次Ｘ線を検出器に入射して定性、定量分
析を行う蛍光Ｘ線分析方法において、前記一次Ｘ線およ
び二次Ｘ線の通過路であるＸ線パス部内を真空ホースを
介して真空ポンプで真空雰囲気に保持するとともに、真
空シール機構によって前記試料の非照射面側の大気雰囲
気から前記Ｘ線パス部を隔離して二次Ｘ線の検出を行
い、終了後は、前記Ｘ線パス部内の真空排気を行うこと
からなる蛍光Ｘ線分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29424593A JPH07128262A (ja) | 1993-10-30 | 1993-10-30 | 蛍光ｘ線分析装置および分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29424593A JPH07128262A (ja) | 1993-10-30 | 1993-10-30 | 蛍光ｘ線分析装置および分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07128262A true JPH07128262A (ja) | 1995-05-19 |
Family
ID=17805235
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29424593A Pending JPH07128262A (ja) | 1993-10-30 | 1993-10-30 | 蛍光ｘ線分析装置および分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07128262A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0955539A2 (de) * | 1998-05-07 | 1999-11-10 | Bruker AXS Analytical X-Ray Systems GmbH | Kompaktes Röntgenspektrometer |
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-
1993
- 1993-10-30 JP JP29424593A patent/JPH07128262A/ja active Pending
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