JPH10318878A - ヘリウム気密試験装置における試験体保持装置 - Google Patents
ヘリウム気密試験装置における試験体保持装置Info
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- JPH10318878A JPH10318878A JP13265397A JP13265397A JPH10318878A JP H10318878 A JPH10318878 A JP H10318878A JP 13265397 A JP13265397 A JP 13265397A JP 13265397 A JP13265397 A JP 13265397A JP H10318878 A JPH10318878 A JP H10318878A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 上下一対の固定治具で試験体を気密状態に保
持する試験体保持装置において、両治具を分離した際に
試験体が上部固定治具に残ることがなく、確実に下部固
定治具側に分離できる構造のヘリウム気密試験装置にお
ける試験体保持装置を提供する。 【解決手段】 下部固定治具21と上部固定治具31と
からなる試験体保持装置(ベルジャ20)であって、前
記上部固定治具31に、試験体10を上部固定治具31
から下部固定治具21方向に離脱させるための付勢手段
(コイルスプリング37を)設ける。
持する試験体保持装置において、両治具を分離した際に
試験体が上部固定治具に残ることがなく、確実に下部固
定治具側に分離できる構造のヘリウム気密試験装置にお
ける試験体保持装置を提供する。 【解決手段】 下部固定治具21と上部固定治具31と
からなる試験体保持装置(ベルジャ20)であって、前
記上部固定治具31に、試験体10を上部固定治具31
から下部固定治具21方向に離脱させるための付勢手段
(コイルスプリング37を)設ける。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ヘリウム気密試験
装置における試験体保持装置に関し、例えば、気密性を
必要とする機械部品,容器等の気密性能や、鋳造品の状
態あるいは溶接部の状態等をヘリウムのリーク量によっ
て判定するためのヘリウム気密試験装置に使用する試験
体保持装置の構造に関する。
装置における試験体保持装置に関し、例えば、気密性を
必要とする機械部品,容器等の気密性能や、鋳造品の状
態あるいは溶接部の状態等をヘリウムのリーク量によっ
て判定するためのヘリウム気密試験装置に使用する試験
体保持装置の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】例えば、コンプレッサーのハウジング部
品等は、圧縮圧力における気密性とともに、高圧に耐え
得る所定の強度が要求される。このような部品を、例え
ばアルミニウム鋳造品で製造する場合は、鋳造時の
「す」の発生によって気密性の低下や強度の低下を生じ
ることがある。このような鋳造品の「す」や極微細なひ
び,溶接不良等の存在の有無をチェックするための装置
の一つとして、ヘリウム気密試験装置が用いられてい
る。
品等は、圧縮圧力における気密性とともに、高圧に耐え
得る所定の強度が要求される。このような部品を、例え
ばアルミニウム鋳造品で製造する場合は、鋳造時の
「す」の発生によって気密性の低下や強度の低下を生じ
ることがある。このような鋳造品の「す」や極微細なひ
び,溶接不良等の存在の有無をチェックするための装置
の一つとして、ヘリウム気密試験装置が用いられてい
る。
【0003】ヘリウム気密試験装置は、一般に、試験体
をベルジャと呼ばれる試験体保持装置内に気密に保持
し、試験体の内部側及び試験体の外部側であるベルジャ
の内部を真空引きした後、試験体内に所定圧力のヘリウ
ムを充填し、試験体を通してベルジャ内にリークするヘ
リウム量をヘリウムリークディテクタで測定することに
よって試験体の気密試験を行うものであって、試験体内
やベルジャ内を真空排気する経路、試験体内にヘリウム
を充填する経路、ベルジャ内にリークしたヘリウム量を
測定する経路等が設けられている。
をベルジャと呼ばれる試験体保持装置内に気密に保持
し、試験体の内部側及び試験体の外部側であるベルジャ
の内部を真空引きした後、試験体内に所定圧力のヘリウ
ムを充填し、試験体を通してベルジャ内にリークするヘ
リウム量をヘリウムリークディテクタで測定することに
よって試験体の気密試験を行うものであって、試験体内
やベルジャ内を真空排気する経路、試験体内にヘリウム
を充填する経路、ベルジャ内にリークしたヘリウム量を
測定する経路等が設けられている。
【0004】上記ベルジャとしては、試験体を載置する
下部固定治具と、該下部固定治具と合体する上部固定治
具とからなるものが、一般に用いられている。このよう
な上下一対の固定治具を用いてヘリウム気密試験を行う
際には、通常、下部固定治具上に試験体を載置して上下
両治具を合体させた後、所定の真空排気操作やヘリウム
充填操作を行ってリーク検査を行う。リーク検査後は、
上下両治具を分離して試験体を次の試験体に交換し、続
けてリーク検査を行うようにしている。
下部固定治具と、該下部固定治具と合体する上部固定治
具とからなるものが、一般に用いられている。このよう
な上下一対の固定治具を用いてヘリウム気密試験を行う
際には、通常、下部固定治具上に試験体を載置して上下
両治具を合体させた後、所定の真空排気操作やヘリウム
充填操作を行ってリーク検査を行う。リーク検査後は、
上下両治具を分離して試験体を次の試験体に交換し、続
けてリーク検査を行うようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のベルジ
ャでは、上下両治具間に試験体を気密に保持するため、
別に用意した試験体押えをナットにより締め付けて試験
体を下部固定治具に押し付けるようにしていた。このた
め、試験体を交換する際にナットを着脱する作業が必要
となり、作業性が悪く、また、効率もよくなかった。
ャでは、上下両治具間に試験体を気密に保持するため、
別に用意した試験体押えをナットにより締め付けて試験
体を下部固定治具に押し付けるようにしていた。このた
め、試験体を交換する際にナットを着脱する作業が必要
となり、作業性が悪く、また、効率もよくなかった。
【0006】一方、試験体押えを用いずに上下両治具間
に試験体を保持すると、上部固定治具に設けたパッキン
(Oリング)が、両治具を合体させた際に試験体に圧接
した状態になるため、上下両治具を分離したときに試験
体が上部固定治具に残ってしまうという問題があった。
特に、上部固定治具に各種配管を接続するとともに、1
個の上部固定治具に対して複数個の下部固定治具を用意
し、リーク検査と試験体の交換とを並行して行うように
した場合は、上部固定治具に試験体が残ることは大きな
問題となる。
に試験体を保持すると、上部固定治具に設けたパッキン
(Oリング)が、両治具を合体させた際に試験体に圧接
した状態になるため、上下両治具を分離したときに試験
体が上部固定治具に残ってしまうという問題があった。
特に、上部固定治具に各種配管を接続するとともに、1
個の上部固定治具に対して複数個の下部固定治具を用意
し、リーク検査と試験体の交換とを並行して行うように
した場合は、上部固定治具に試験体が残ることは大きな
問題となる。
【0007】そこで本発明は、上下一対の固定治具で試
験体を気密状態に保持する試験体保持装置において、両
治具を分離した際に試験体が上部固定治具に残ることが
なく、確実に下部固定治具側に分離できる構造のヘリウ
ム気密試験装置における試験体保持装置を提供すること
を目的としている。
験体を気密状態に保持する試験体保持装置において、両
治具を分離した際に試験体が上部固定治具に残ることが
なく、確実に下部固定治具側に分離できる構造のヘリウ
ム気密試験装置における試験体保持装置を提供すること
を目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のヘリウム気密試験装置における試験体保持
装置は、試験体を載置する下部固定治具と、該下部固定
治具に着脱可能に形成され、下部固定治具との間に試験
体を気密に保持する上部固定治具とからなるヘリウム気
密試験装置の試験体保持装置であって、前記上部固定治
具に、前記試験体を上部固定治具から下部固定治具方向
に離脱させるための付勢手段を設けたことを特徴として
いる。
め、本発明のヘリウム気密試験装置における試験体保持
装置は、試験体を載置する下部固定治具と、該下部固定
治具に着脱可能に形成され、下部固定治具との間に試験
体を気密に保持する上部固定治具とからなるヘリウム気
密試験装置の試験体保持装置であって、前記上部固定治
具に、前記試験体を上部固定治具から下部固定治具方向
に離脱させるための付勢手段を設けたことを特徴として
いる。
【0009】さらに、前記上部固定治具に、前記試験体
の内部側に所定圧力のヘリウムを導入する経路と、試験
体の外部側のガスをヘリウムリークディテクタに導く経
路とを設るとともに、1個の上部固定治具に対して複数
個の下部固定治具を用意し、リーク検査と試験体の交換
とを並行して行うように形成されていることを特徴とし
ている。
の内部側に所定圧力のヘリウムを導入する経路と、試験
体の外部側のガスをヘリウムリークディテクタに導く経
路とを設るとともに、1個の上部固定治具に対して複数
個の下部固定治具を用意し、リーク検査と試験体の交換
とを並行して行うように形成されていることを特徴とし
ている。
【0010】
【発明の実施の形態】図1乃至図3は、本発明のヘリウ
ム気密試験装置における試験体保持装置(ベルジャ)の
一形態例を示すもので、図1はベルジャを開放した状態
を示す断面図、図2はベルジャを閉じた状態を示す断面
図、図3は開放途中の状態を示す断面図である。
ム気密試験装置における試験体保持装置(ベルジャ)の
一形態例を示すもので、図1はベルジャを開放した状態
を示す断面図、図2はベルジャを閉じた状態を示す断面
図、図3は開放途中の状態を示す断面図である。
【0011】本形態例で対象とする試験体10は、コン
プレッサーの回転軸を挿通する軸孔11を有するアルミ
ニウム鋳造品からなるキャップ材であって、コンプレッ
サー本体部に嵌着される大径部12と、前記軸孔11を
有する小径部13と、外周のフランジ14とを備えてい
る。この試験体10を収容するベルジャ20は、下部固
定治具21と上部固定治具31とからなるもので、下部
固定治具21は、前記試験体10の大径部12を挿入す
る上方が開口したリング状の挿入溝22を有するととも
に、その周囲上面に、試験体10のフランジ14の下面
に当接するOリング23と、上部固定治具31の下面に
当接するOリング24とが設けられ、さらに、挿入溝2
2の内周側には、ガスガイドブロック25が設けられて
いる。
プレッサーの回転軸を挿通する軸孔11を有するアルミ
ニウム鋳造品からなるキャップ材であって、コンプレッ
サー本体部に嵌着される大径部12と、前記軸孔11を
有する小径部13と、外周のフランジ14とを備えてい
る。この試験体10を収容するベルジャ20は、下部固
定治具21と上部固定治具31とからなるもので、下部
固定治具21は、前記試験体10の大径部12を挿入す
る上方が開口したリング状の挿入溝22を有するととも
に、その周囲上面に、試験体10のフランジ14の下面
に当接するOリング23と、上部固定治具31の下面に
当接するOリング24とが設けられ、さらに、挿入溝2
2の内周側には、ガスガイドブロック25が設けられて
いる。
【0012】また、上部固定治具31は、下部固定治具
21の上面から突出する試験体10を気密に覆う蓋付の
筒状体からなるもので、筒体部32の下部外周には、下
面が前記Oリング24に当接するフランジ33が設けら
れ、蓋部34には、試験体10の内部側に連通する内部
連通管35と、試験体10の外部側に連通する外部連通
管36とが気密に貫通して設けられるとともに、該蓋部
34の下面には、試験体10を下部固定治具21方向に
付勢押圧するためのコイルスプリング37及びリング状
の押し板38が設けられ、筒体部32の下部には、試験
体10のフランジ14を下部固定治具21に圧着させる
ためのリング状の押し板39が設けられている。さら
に、前記内部連通管35には、試験体10の軸孔11内
に進入する突出部40が設けられており、該突出部40
の外周には、軸孔11の内周面に当接する2個のOリン
グ41が設けられ、突出部40内には、前記ガスガイド
ブロック25が嵌入する嵌合孔42が設けられている。
21の上面から突出する試験体10を気密に覆う蓋付の
筒状体からなるもので、筒体部32の下部外周には、下
面が前記Oリング24に当接するフランジ33が設けら
れ、蓋部34には、試験体10の内部側に連通する内部
連通管35と、試験体10の外部側に連通する外部連通
管36とが気密に貫通して設けられるとともに、該蓋部
34の下面には、試験体10を下部固定治具21方向に
付勢押圧するためのコイルスプリング37及びリング状
の押し板38が設けられ、筒体部32の下部には、試験
体10のフランジ14を下部固定治具21に圧着させる
ためのリング状の押し板39が設けられている。さら
に、前記内部連通管35には、試験体10の軸孔11内
に進入する突出部40が設けられており、該突出部40
の外周には、軸孔11の内周面に当接する2個のOリン
グ41が設けられ、突出部40内には、前記ガスガイド
ブロック25が嵌入する嵌合孔42が設けられている。
【0013】前記コイルスプリング37は、押し板38
を介して試験体10を均等に押圧できるように、複数個
が同一円周上に等間隔に設けられるもので、鍔付きスリ
ーブ43を介してボルト44により蓋部34に取り付け
られている。
を介して試験体10を均等に押圧できるように、複数個
が同一円周上に等間隔に設けられるもので、鍔付きスリ
ーブ43を介してボルト44により蓋部34に取り付け
られている。
【0014】また、下部固定治具21上面に設けられた
Oリング23は、試験体10のフランジ14の下面にの
み当接し、大径部12の外周部には全く当接しないか、
僅かに当接するような状態で設けられている。
Oリング23は、試験体10のフランジ14の下面にの
み当接し、大径部12の外周部には全く当接しないか、
僅かに当接するような状態で設けられている。
【0015】上記ベルジャ20を使用して試験体10の
リーク検査を行う際には、まず、図1に示すように、下
部固定治具21と上部固定治具31とを開放した状態
で、下部固定治具21の挿入溝22に試験体10の大径
部12を挿入するようにしてセットする。次に、図2に
示すように、下部固定治具21と上部固定治具31とを
合体させ、両治具間に試験体10を挟着する。これによ
り、ベルジャ20の内外が前記Oリング24によって気
密に仕切られ、Oリング23及びOリング41によりベ
ルジャ20内における試験体10の内部側と外部側とが
気密に仕切られた状態となる。
リーク検査を行う際には、まず、図1に示すように、下
部固定治具21と上部固定治具31とを開放した状態
で、下部固定治具21の挿入溝22に試験体10の大径
部12を挿入するようにしてセットする。次に、図2に
示すように、下部固定治具21と上部固定治具31とを
合体させ、両治具間に試験体10を挟着する。これによ
り、ベルジャ20の内外が前記Oリング24によって気
密に仕切られ、Oリング23及びOリング41によりベ
ルジャ20内における試験体10の内部側と外部側とが
気密に仕切られた状態となる。
【0016】この状態で、内部連通管35及びガスガイ
ドブロック25を介して試験体10内の真空引きや試験
体10内へのヘリウムの充填等を行い、外部連通管36
を介して試験体外部側の真空引きを行ってリーク検査等
を行う。
ドブロック25を介して試験体10内の真空引きや試験
体10内へのヘリウムの充填等を行い、外部連通管36
を介して試験体外部側の真空引きを行ってリーク検査等
を行う。
【0017】リーク検査終了後に下部固定治具21を上
部固定治具31から分離すると、図3に示すように、試
験体10を上部固定治具31から下部固定治具21方向
に離脱させるための付勢手段である前記コイルスプリン
グ37の作用によって試験体10が押し板38を介して
下部固定治具21方向に押圧され、上部固定治具31か
ら離れて下部固定治具21上に載置された状態となる。
すなわち、前記コイルスプリング37は、前記突出部4
0の外周に設けた2個のOリング41と軸孔11の内周
面との間に発生する摩擦力よりも強い力で試験体10を
下部固定治具21の方向に押圧し、試験体10を上部固
定治具31から強制的に分離し、図1に示す状態に戻
す。したがって、リーク検査後の試験体10は、両治具
を分離した際に上部固定治具31に残ることがなく、確
実に下部固定治具21上に載置された状態になるので、
検査後の試験体10の抜き取りは、試験体10を下部固
定治具21から上方に抜き取るようにするだけでよくな
り、新たな試験体10のセットは、下部固定治具21上
に試験体10を載置するだけの作業で行うことができ
る。このため、試験体10の着脱を極めて容易に行うこ
とができ、多数の試験体10の試験を行う際の作業性を
大幅に向上させることができる。
部固定治具31から分離すると、図3に示すように、試
験体10を上部固定治具31から下部固定治具21方向
に離脱させるための付勢手段である前記コイルスプリン
グ37の作用によって試験体10が押し板38を介して
下部固定治具21方向に押圧され、上部固定治具31か
ら離れて下部固定治具21上に載置された状態となる。
すなわち、前記コイルスプリング37は、前記突出部4
0の外周に設けた2個のOリング41と軸孔11の内周
面との間に発生する摩擦力よりも強い力で試験体10を
下部固定治具21の方向に押圧し、試験体10を上部固
定治具31から強制的に分離し、図1に示す状態に戻
す。したがって、リーク検査後の試験体10は、両治具
を分離した際に上部固定治具31に残ることがなく、確
実に下部固定治具21上に載置された状態になるので、
検査後の試験体10の抜き取りは、試験体10を下部固
定治具21から上方に抜き取るようにするだけでよくな
り、新たな試験体10のセットは、下部固定治具21上
に試験体10を載置するだけの作業で行うことができ
る。このため、試験体10の着脱を極めて容易に行うこ
とができ、多数の試験体10の試験を行う際の作業性を
大幅に向上させることができる。
【0018】図4及び図5は、ヘリウム気密試験装置に
おけるリーク検査部の構成例を示すもので、図4は概略
平面図、図5は作動順序を説明するための概略正面図で
ある。このヘリウム気密試験装置は、試験体10を収容
するベルジャ20を2個一組として試験を行うようにし
たもので、前述のように下部固定治具21と上部固定治
具31とにより形成されたベルジャ20の上部固定治具
31を上部固定板51に2個固着するとともに、下部固
定治具21は、5枚の下部可動板52a〜52eに各2
個ずつ設置している。また、上部固定板51の下方に
は、下部可動板52a〜52eに設置されている下部固
定治具21を、上部固定板51に固着されている上部固
定治具31に向けて上昇させるためのシリンダー(図示
せず)が設けられ、各下部可動板52a〜52eには、
下部固定治具21を上部固定治具31の直下に移動させ
るためのシリンダー(図示せず)がそれぞれ設けられて
いる。
おけるリーク検査部の構成例を示すもので、図4は概略
平面図、図5は作動順序を説明するための概略正面図で
ある。このヘリウム気密試験装置は、試験体10を収容
するベルジャ20を2個一組として試験を行うようにし
たもので、前述のように下部固定治具21と上部固定治
具31とにより形成されたベルジャ20の上部固定治具
31を上部固定板51に2個固着するとともに、下部固
定治具21は、5枚の下部可動板52a〜52eに各2
個ずつ設置している。また、上部固定板51の下方に
は、下部可動板52a〜52eに設置されている下部固
定治具21を、上部固定板51に固着されている上部固
定治具31に向けて上昇させるためのシリンダー(図示
せず)が設けられ、各下部可動板52a〜52eには、
下部固定治具21を上部固定治具31の直下に移動させ
るためのシリンダー(図示せず)がそれぞれ設けられて
いる。
【0019】前記上部固定治具31には、前記同様に内
部連通管35と外部連通管36とがそれぞれ設けられて
おり、内部連通管35には、試験体10内を排気した
り、試験体10内にヘリウムを充填したりする経路が接
続され、外部連通管36には、試験体10の外部側空間
を真空引きしてリークしたヘリウム量を測定する経路等
が接続されている。
部連通管35と外部連通管36とがそれぞれ設けられて
おり、内部連通管35には、試験体10内を排気した
り、試験体10内にヘリウムを充填したりする経路が接
続され、外部連通管36には、試験体10の外部側空間
を真空引きしてリークしたヘリウム量を測定する経路等
が接続されている。
【0020】このように形成したヘリウム気密試験装置
は、下部可動板52a〜52eに設けた下部固定治具2
1に試験体10を載置し、図5(a)に示すように、一
つの下部可動板52aを前進させて下部固定治具21を
上部固定治具31の直下に移動させ(図5(b))、下
部固定治具21を上昇用シリンダーのピストンロッド5
3により上昇させて上部固定治具31と合体させた後
(図5(c))、内部連通管35及び外部連通管36を
介して所定のリーク検査を2個の試験体について同時に
行う。1回のリーク検査が終了したら、下部固定治具2
1を下降させ(図5(d))、下部可動板52aを元の
位置に後退させた後(図5(e))、次の下部可動板5
2bを前進させて同じ動作を繰り返す。
は、下部可動板52a〜52eに設けた下部固定治具2
1に試験体10を載置し、図5(a)に示すように、一
つの下部可動板52aを前進させて下部固定治具21を
上部固定治具31の直下に移動させ(図5(b))、下
部固定治具21を上昇用シリンダーのピストンロッド5
3により上昇させて上部固定治具31と合体させた後
(図5(c))、内部連通管35及び外部連通管36を
介して所定のリーク検査を2個の試験体について同時に
行う。1回のリーク検査が終了したら、下部固定治具2
1を下降させ(図5(d))、下部可動板52aを元の
位置に後退させた後(図5(e))、次の下部可動板5
2bを前進させて同じ動作を繰り返す。
【0021】このように、上部固定板51に上部固定治
具31を固設するとともに、複数の下部可動板52a〜
52eに下部固定治具21をそれぞれ設置し、下部固定
治具21を順次移動させて試験を行うことにより、下部
固定治具21への試験体10のセットと試験体10のリ
ーク検査とを並行して行うことができ、試験効率を高め
ることができる。また、複数の下部固定治具21に対し
て1個、本例では5個に対して1個の上部固定治具31
を用意すればよく、さらに、各配管を上部固定治具31
にのみ接続することにより、設備の大幅な簡略化が図れ
る。特に、下部固定治具21の移動を直線的に移動する
下部可動板52a〜52eによって行うので、位置精度
も容易に向上させることができる。
具31を固設するとともに、複数の下部可動板52a〜
52eに下部固定治具21をそれぞれ設置し、下部固定
治具21を順次移動させて試験を行うことにより、下部
固定治具21への試験体10のセットと試験体10のリ
ーク検査とを並行して行うことができ、試験効率を高め
ることができる。また、複数の下部固定治具21に対し
て1個、本例では5個に対して1個の上部固定治具31
を用意すればよく、さらに、各配管を上部固定治具31
にのみ接続することにより、設備の大幅な簡略化が図れ
る。特に、下部固定治具21の移動を直線的に移動する
下部可動板52a〜52eによって行うので、位置精度
も容易に向上させることができる。
【0022】このように1個の上部固定治具31に対し
て複数個の下部固定治具21を使用し、複数個の下部固
定治具21を順次移動させて連続的にリーク検査を行う
際には、ベルジャ20を開放したときに上部固定治具3
1に試験体10が残ると、次の試験体10の試験を行う
ことができなくなるので、上部固定治具31に残った試
験体10を手作業で取外す必要があるが、前述のよう
に、試験体10を上部固定治具31から下部固定治具2
1方向に離脱させるための付勢手段(コイルスプリング
37)を設けたことにより、上部固定板51に固設した
上部固定治具31に試験体10が残ることがなくなるの
で、多数の試験体10のリーク検査を円滑に行うことが
でき、生産性を大幅に向上させることができる。
て複数個の下部固定治具21を使用し、複数個の下部固
定治具21を順次移動させて連続的にリーク検査を行う
際には、ベルジャ20を開放したときに上部固定治具3
1に試験体10が残ると、次の試験体10の試験を行う
ことができなくなるので、上部固定治具31に残った試
験体10を手作業で取外す必要があるが、前述のよう
に、試験体10を上部固定治具31から下部固定治具2
1方向に離脱させるための付勢手段(コイルスプリング
37)を設けたことにより、上部固定板51に固設した
上部固定治具31に試験体10が残ることがなくなるの
で、多数の試験体10のリーク検査を円滑に行うことが
でき、生産性を大幅に向上させることができる。
【0023】図6はヘリウム気密試験装置の一例を示す
系統図である。このヘリウム気密試験装置は、5系統の
試験回路A,B,C,D,Eを有するもので、各試験回
路には、試験体10を収容するベルジャ20がそれぞれ
設けられている。
系統図である。このヘリウム気密試験装置は、5系統の
試験回路A,B,C,D,Eを有するもので、各試験回
路には、試験体10を収容するベルジャ20がそれぞれ
設けられている。
【0024】例えば、図6において一番上に示す第1の
試験回路のベルジャ20内にセットした試験体10の試
験を行う場合は、まず、前記内部連通管35に接続する
配管の自動弁61と自動弁62とが開き、真空ポンプ6
3によって試験体10内が、例えば10-2Torrにな
るまで真空排気が行われる。所定の真空排気が完了する
と、自動弁62が閉じて自動弁64が開き、回収容器6
5内のヘリウムが自動弁64及び自動弁61を通って試
験体10内に導入される。この回収容器65から試験体
10へのヘリウムの導入は、回収容器65と試験体10
との圧力差によって行われ、両者の圧力が略均衡するま
で行われる。
試験回路のベルジャ20内にセットした試験体10の試
験を行う場合は、まず、前記内部連通管35に接続する
配管の自動弁61と自動弁62とが開き、真空ポンプ6
3によって試験体10内が、例えば10-2Torrにな
るまで真空排気が行われる。所定の真空排気が完了する
と、自動弁62が閉じて自動弁64が開き、回収容器6
5内のヘリウムが自動弁64及び自動弁61を通って試
験体10内に導入される。この回収容器65から試験体
10へのヘリウムの導入は、回収容器65と試験体10
との圧力差によって行われ、両者の圧力が略均衡するま
で行われる。
【0025】次に、自動弁64が閉じて自動弁66が開
き、高圧ヘリウム容器67内のヘリウムが、手動弁6
8,手動弁69,圧力調整器70,自動弁66及び自動
弁61を経て試験体10内に供給される。試験体10内
への所定圧力、例えば17kg/cm2 Gのヘリウムの
充填が完了すると、自動弁61と自動弁66とが閉じて
自動弁71が開き、自動弁61と自動弁66との間の配
管内のヘリウムが放出される。
き、高圧ヘリウム容器67内のヘリウムが、手動弁6
8,手動弁69,圧力調整器70,自動弁66及び自動
弁61を経て試験体10内に供給される。試験体10内
への所定圧力、例えば17kg/cm2 Gのヘリウムの
充填が完了すると、自動弁61と自動弁66とが閉じて
自動弁71が開き、自動弁61と自動弁66との間の配
管内のヘリウムが放出される。
【0026】試験体10内を所定圧力のヘリウムで加圧
した状態を所定時間保持し、圧力低下を生じないことが
確認されると、前記外部連通管36に接続する配管の自
動弁72が開いて真空ポンプ73によるベルジャ20内
の真空排気が行われる。ベルジャ20内が所定の真空
度,例えば10-3Torrに達すると、自動弁72が閉
じて自動弁74が開き、真空ポンプ75によってベルジ
ャ20内のガスが吸引され、ヘリウムリークディテクタ
76によるヘリウムのリーク量の測定が行われ、試験体
10の合否が判定される。
した状態を所定時間保持し、圧力低下を生じないことが
確認されると、前記外部連通管36に接続する配管の自
動弁72が開いて真空ポンプ73によるベルジャ20内
の真空排気が行われる。ベルジャ20内が所定の真空
度,例えば10-3Torrに達すると、自動弁72が閉
じて自動弁74が開き、真空ポンプ75によってベルジ
ャ20内のガスが吸引され、ヘリウムリークディテクタ
76によるヘリウムのリーク量の測定が行われ、試験体
10の合否が判定される。
【0027】合否の判定が完了すると、自動弁74が閉
じて自動弁77が開き、ベルジャ20内に空気が導入さ
れてベルジャ20内が大気圧に復帰するとともに、自動
弁78及び自動弁79が開いて試験体10内のヘリウム
が前記回収容器65に回収される。この試験体10から
回収容器65へのヘリウムの回収も、試験体10と回収
容器65との圧力差によって行われ、両者の圧力が略均
衡するまで行われる。
じて自動弁77が開き、ベルジャ20内に空気が導入さ
れてベルジャ20内が大気圧に復帰するとともに、自動
弁78及び自動弁79が開いて試験体10内のヘリウム
が前記回収容器65に回収される。この試験体10から
回収容器65へのヘリウムの回収も、試験体10と回収
容器65との圧力差によって行われ、両者の圧力が略均
衡するまで行われる。
【0028】回収容器65へのヘリウムの回収が終了す
ると、自動弁79が閉じて自動弁80が開き、試験体1
0内に残存するヘリウムが自動弁78,自動弁80を経
て大気圧付近まで放出され、次いで自動弁80が閉じて
自動弁81が開き、真空ポンプ82によって試験体10
内に残るヘリウムが排気される。最後に、自動弁81が
閉じて自動弁83が開き、圧力調整器84から自動弁8
3,自動弁78を経て試験体10内に空気が導入され
る。
ると、自動弁79が閉じて自動弁80が開き、試験体1
0内に残存するヘリウムが自動弁78,自動弁80を経
て大気圧付近まで放出され、次いで自動弁80が閉じて
自動弁81が開き、真空ポンプ82によって試験体10
内に残るヘリウムが排気される。最後に、自動弁81が
閉じて自動弁83が開き、圧力調整器84から自動弁8
3,自動弁78を経て試験体10内に空気が導入され
る。
【0029】その後、試験回路Aではベルジャ20を開
放して試験体10の交換が行われるとともに、次の試験
回路Bにおける試験体10のリーク検査が行われる。こ
の試験回路Bにおける試験体10のリーク検査では、試
験体10内に充填するヘリウムとして、中間圧力までは
前記回収容器65内に回収されているヘリウムが再利用
され、中間圧力から所定圧力までの範囲で高圧ヘリウム
容器67内のヘリウムが新たに用いられる。以後、各試
験回路A〜Eにおいて試験体10のリーク検査が同様に
して行われる。
放して試験体10の交換が行われるとともに、次の試験
回路Bにおける試験体10のリーク検査が行われる。こ
の試験回路Bにおける試験体10のリーク検査では、試
験体10内に充填するヘリウムとして、中間圧力までは
前記回収容器65内に回収されているヘリウムが再利用
され、中間圧力から所定圧力までの範囲で高圧ヘリウム
容器67内のヘリウムが新たに用いられる。以後、各試
験回路A〜Eにおいて試験体10のリーク検査が同様に
して行われる。
【0030】なお、ベルジャの形状は、試験体の形状に
応じた任意の形状で形成することが可能であり、ヘリウ
ム気密試験装置における各配管経路も、試験回路の数や
試験体の状態等に応じて適宜最適な構成を選択すること
ができる。
応じた任意の形状で形成することが可能であり、ヘリウ
ム気密試験装置における各配管経路も、試験回路の数や
試験体の状態等に応じて適宜最適な構成を選択すること
ができる。
【0031】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のヘリウム
気密試験装置における試験体保持装置によれば、ベルジ
ャを開放した際に試験体が上部固定治具に残ることがな
いので、試験体の交換を容易に行うことができ、多数の
試験体のリーク検査を効率よく行うことができる。
気密試験装置における試験体保持装置によれば、ベルジ
ャを開放した際に試験体が上部固定治具に残ることがな
いので、試験体の交換を容易に行うことができ、多数の
試験体のリーク検査を効率よく行うことができる。
【図1】 本発明の試験体保持装置の一形態例を示すも
ので、試験体を収容するベルジャを開放した状態を示す
断面図である。
ので、試験体を収容するベルジャを開放した状態を示す
断面図である。
【図2】 同じくベルジャを閉じた状態を示す断面図で
ある。
ある。
【図3】 同じく開放途中の状態を示す断面図である。
【図4】 ヘリウム気密試験装置におけるリーク検査部
の構成例を示す概略平面図である。
の構成例を示す概略平面図である。
【図5】 同じく作動順序を説明するための概略正面図
である。
である。
【図6】 ヘリウム気密試験装置の一例を示す系統図で
ある。
ある。
10…試験体、11…軸孔、12…大径部、13…小径
部、14…フランジ、20…ベルジャ、21…下部固定
治具、22…挿入溝、23,24…Oリング、25…ガ
スガイドブロック、31…上部固定治具、32…筒体
部、33…フランジ、34…蓋部、35…内部連通管、
36…外部連通管、37…コイルスプリング、38,3
9…押し板、40…突出部、41…Oリング、42…嵌
合孔、43…鍔付きスリーブ、44…ボルト,51…上
部固定板、52a〜52e…下部可動板、53…ピスト
ンロッド
部、14…フランジ、20…ベルジャ、21…下部固定
治具、22…挿入溝、23,24…Oリング、25…ガ
スガイドブロック、31…上部固定治具、32…筒体
部、33…フランジ、34…蓋部、35…内部連通管、
36…外部連通管、37…コイルスプリング、38,3
9…押し板、40…突出部、41…Oリング、42…嵌
合孔、43…鍔付きスリーブ、44…ボルト,51…上
部固定板、52a〜52e…下部可動板、53…ピスト
ンロッド
Claims (2)
- 【請求項1】 試験体を載置する下部固定治具と、該下
部固定治具に着脱可能に形成され、下部固定治具との間
に試験体を気密に保持する上部固定治具とからなるヘリ
ウム気密試験装置の試験体保持装置であって、前記上部
固定治具に、前記試験体を上部固定治具から下部固定治
具方向に離脱させるための付勢手段を設けたことを特徴
とするヘリウム気密試験装置における試験体保持装置。 - 【請求項2】 前記上部固定治具は、前記試験体の内部
側に所定圧力のヘリウムを導入する経路と、試験体の外
部側のガスをヘリウムリークディテクタに導く経路とが
設けられており、1個の上部固定治具に対して複数個の
下部固定治具が用意されていることを特徴とする請求項
1記載のヘリウム気密試験装置における試験体保持装
置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13265397A JPH10318878A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | ヘリウム気密試験装置における試験体保持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13265397A JPH10318878A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | ヘリウム気密試験装置における試験体保持装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10318878A true JPH10318878A (ja) | 1998-12-04 |
Family
ID=15086361
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13265397A Pending JPH10318878A (ja) | 1997-05-22 | 1997-05-22 | ヘリウム気密試験装置における試験体保持装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10318878A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113916462A (zh) * | 2021-10-12 | 2022-01-11 | 深圳华尔升智控技术有限公司 | 一种用于氦质谱检漏仪的防爆型真空检测罩 |
KR102549629B1 (ko) * | 2022-10-27 | 2023-06-30 | (주)성우 | 이차전지용 캡조립체 검사장치 |
KR102549628B1 (ko) * | 2022-10-27 | 2023-06-30 | (주)성우 | 이차전지용 캡조립체 검사유닛 |
-
1997
- 1997-05-22 JP JP13265397A patent/JPH10318878A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113916462A (zh) * | 2021-10-12 | 2022-01-11 | 深圳华尔升智控技术有限公司 | 一种用于氦质谱检漏仪的防爆型真空检测罩 |
CN113916462B (zh) * | 2021-10-12 | 2023-10-13 | 深圳华尔升智控技术有限公司 | 一种用于氦质谱检漏仪的防爆型真空检测罩 |
KR102549629B1 (ko) * | 2022-10-27 | 2023-06-30 | (주)성우 | 이차전지용 캡조립체 검사장치 |
KR102549628B1 (ko) * | 2022-10-27 | 2023-06-30 | (주)성우 | 이차전지용 캡조립체 검사유닛 |
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