JP2003139644A - ヘリウムリークテスト方法及びヘリウムリークテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 孔付凸部を有する被試験体の凸部に装着した
キャップを抜き取る手間を省くことができるヘリウムリ
ークテスト装置を提供する。 【解決手段】 ヘリウムリークテスト終了後、バルブＶ
１を閉にし、バルブＶ３、Ｖ５を開にして、被試験体１
の内部に加圧された窒素ガスＮ２または乾燥空気を加え
る。これにより被試験体１内部の圧力が高くなり、被試
験体１に装着されたキャップ２が吹き飛ばされる。吹き
飛んだキャップ２はキャップ収集部１２に入り込む。こ
のキャップを抜き取るために使用した窒素ガスはヘリウ
ムガスとともにバルブＶ５を通して排気される。キャッ
プ２が飛んだ後、バルブＶ３、Ｖ５を閉にし、クランプ
９を緩めて蓋４を開け、被試験体を取り外す。そして、
新たな被試験体にキャップを装着してチャンバーにセッ
トし、次のテストを行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ヘリウムリークテ
スト方法及び装置、特に孔付き凸部を有する被試験体の
該凸部にキャップを装着してヘリウムリークテストを行
う方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ヘリウムリークテストを行う場
合、被試験体をチャンバ内に封止した後、このチャンバ
内にヘリウムガスを導入し、被試験体から漏出してくる
ヘリウムガスを吸引してリークを検出しているが、被試
験体が孔を有する凸部を備えている場合には、この凸部
にキャップを装着してテストを行っている。

【０００３】図２に被試験体の孔を有する凸部にキャッ
プを装着してヘリウムリークテストを行う従来の装置を
示す。被試験体１は有底筒状のもので凸部を有し、この
凸部には孔が空いている。この被試験体１をテストする
場合、凸部にキャップ２を装着して孔をシールした後、
その開口端側を下にしてチャンバのワーク台３に載置す
る。そして、チャンバの蓋４を閉めると、バネ５を有す
る押圧体６が被試験体１をウレタンパッキン７に圧接す
る。さらに、クランプ９を締め付けることにより、チャ
ンバ内が機密に封止されるとともに、被試験体１がウレ
タンパッキン７に密接に圧接される。

【０００４】次に、バルブＶ１を閉にして、ヘリウムリ
ークディテクタ１０単独または粗引きポンプ１１との並
列排気（バルブ Ｖ２開）によりガス流通路８を介して
被試験体１内部を真空引きする。そして、ヘリウムリー
クディテクタ１０により検出しているヘリウム測定値の
バックグラウンド値が所定値以下に低下したら、バルブ
Ｖ１を一定時間開き、ヘリウムＨｅを被試験体１に吹き
付けてヘリウムリークテストを行う。

【０００５】リークテストの終了後、クランプ９を外
し、蓋４を開けた後、窒素ガスＮ２または乾燥ガスをリ
ークディテクタを通して流し、配管およびガス流通路８
の通気を行う。そして、リークテスト装置から被試験体
１を取り外した後、取り外した被試験体１のキャップ２
を手動またはキャップ抜き治具により取り外して、リー
クテストを完了する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】従来、孔付き凸部を有
する被試験体のヘリウムリークテストは上記のようにし
て行われているが、リークテスト終了後、被試験体に装
着したキャップを手動またはキャップ抜き治具を使用し
て取り外し、その後、次の被試験体のテストを開始して
おり、手間がかかり、被試験体の数が多い場合には非常
に時間がかかるという問題がある。また、治具を使用す
る場合には、被試験体の形状に応じて治具を作成する必
要があり、作成にも時間がかかるという問題がある。

【０００７】本発明は、上記のような課題に鑑み創案さ
れたもので、リークテスト終了後キャップ抜き取りの時
間、手間を大幅に短縮、削減することができるヘリウム
リークテスト装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明のヘリウムリーク
テスト装置は、上記目的を達成するため、孔付き凸部を
有する被試験体の該凸部にキャップを装着してチャンバ
に着脱可能に装着し、被試験体とチャンバとの間の空間
を封止するとともに、チャンバにヘリウムガスを導入
し、被試験体内部に漏出したヘリウムガスを吸引するこ
とによりリークを検出するヘリウムリークテスト方法及
び装置において、被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空
気を導入する機構を備え、リークテスト終了後、被試験
体内部に前記窒素ガスまたは乾燥空気を加えることによ
って、被試験体のキャップを取り外すとともに、被試験
体内部を大気ベントすることを特徴とする。また、前記
チャンバにはキャップ収集部を備えたことを特徴とす
る。本発明は上記のように構成されており、リークテス
ト終了後、被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を加
えて被試験体のキャップを圧力によって自動的に取り外
すことができるので、キャップ抜き取りの手間が省け、
テスト時間を短縮することができる。さらに、チャンバ
にキャップ収集部を備えていれば、テスト終了後キャッ
プを拾う手間が省け、さらにテスト時間の短縮を図るこ
とができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明のヘリウムリークテ
スト装置の一実施例を図面を用いて詳細に説明する。図
１は本発明のヘリウムリークテスト装置を示す図であ
る。この装置は、バネ５を有する押圧体６を備えた蓋４
とワーク台３よりなるチャンバを有し、蓋４にはキャッ
プ収集部１２とバルブＶ４及びＶ５をそれぞれ備えたガ
ス導管が接続されている。蓋４とワーク台３は蝶番で結
合され、クランプ９により締め付けることができるよう
になっている。また、ワーク台３にはガス流通路８が設
けられているとともに、その上部にウレタンパッキン７
を備えている。さらに、ガス流通路８にはバルブＶ１、
Ｖ３に繋がるガス導管が接続され、バルブＶ１の後端部
にはヘリウムリークディテクタ１０とバルブＶ２、粗引
きポンプ１１が並列に接続されている。

【００１０】孔が空いている凸部を有する、有底筒状の
被試験体１をテストする場合には、凸部にキャップ２を
装着して孔をシールした後、その開口端側を下にして被
試験体１をチャンバのワーク台３に載置する。そして、
チャンバの蓋４を閉めると、バネ５を有する押圧体６が
被試験体１を押圧し、被試験体１はウレタンパッキン７
に押圧される。さらに、クランプ９を締め付けることに
より、チャンバ内が気密に封止されるとともに、被試験
体１がさらにウレタンパッキン７に密接に押圧される。

【００１１】次に、バルブＶ１を開、バルブＶ３、Ｖ
４、Ｖ５を閉にして、ヘリウムリークディテクタ１０単
独または粗引きポンプ１１との並列排気（バルブＶ２
開）によりガス流通路８を介して被試験体１内部を真空
引きする。そして、ヘリウムリークディテクタ１０によ
り検出しているヘリウム測定値のバックグラウンド値が
所定値以下に低下したら、バルブＶ４を一定時間開いて
ヘリウムＨｅを被試験体１に吹き付け、ヘリウムリーク
ディテクタ１０がヘリウムの有無または漏出量を計測す
る。

【００１２】ヘリウムリークテスト終了後、バルブＶ１
を閉にし、バルブＶ３、Ｖ５を開にして、被試験体１の
内部にガス流通路８を介して加圧された窒素ガスＮ２ま
たは乾燥空気を加える。これにより被試験体１内部の圧
力が高くなり、被試験体１に装着されたキャップ２が吹
き飛ばされる。吹き飛んだキャップ２はキャップ収集部
１２に入り込む。このキャップを抜き取るために使用し
た窒素ガスはヘリウムガスとともにバルブＶ５を介して
排気される。キャップ２が飛んだ後、バルブＶ３、Ｖ５
を閉にし、クランプ９を緩めて蓋４を開け、被試験体を
取り外す。そして、次の被試験体にキャップを装着し、
それをチャンバーにセットして、次のテストを行う。キ
ャップ収集部１２内のキャップ２は、キャップ収集部１
２内がいっぱいになったとき、まとめて排出すればよ
い。

【００１３】上記実施例では、手動で被試験体にキャッ
プを装着した後、被試験体をチャンバーにセットし、蓋
を閉め、クランプで締め付けたが、あらかじめキャップ
を装着した多数の被試験体を用意し、蓋の開け閉め、被
試験体のセット、クランプの締め付け等を自動化するこ
ともできる。また、上記実施例ではチャンバーの蓋にキ
ャップ収集部を設けたが、キャップ収集部を設けなくと
もよく、この場合には、テスト終了後被試験体とキャッ
プを手で取り除けばよい。

【００１４】

【発明の効果】本発明のヘリウムリークテスト装置は上
記のように構成されており、リークテスト終了後、被試
験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を加えて被試験体の
キャップを自動的に取り外すことができるので、キャッ
プ抜き取りの手間が省け、大量の被試験体を試験する場
合には、試験時間を大幅に短縮することができる。さら
に、チャンバにキャップ収集部を備えていれば、試験終
了後キャップを集める手間が省け、一定個数の被試験体
の試験が終了した後、まとめてキャップを排出すること
ができるので、さらに試験時間の短縮を図ることができ
る。また、キャップを抜き取るための被試験体の形状に
応じた多くの治具は不要となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のリークテスト装置を示す図である。

【図２】従来のリークテスト装置を示す図である。

【符号の説明】

１ 被試験体 ２ キャップ ３ ワーク台 ４ 蓋 ５ バネ ６ 押圧体 ７ ウレタンパッキン ８ ガス流通路 ９ クランプ １０ ヘリウムリークディテクタ １１ 粗引きポンプ １２ キャップ収集部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 孔付き凸部を有する被試験体の該凸部に
   キャップを装着してヘリウムリークテストを行う方法に
   おいて、リークテスト終了後、ヘリウムリークテスト装
   置上で被試験体内部に窒素ガスまたは乾燥空気を加える
   ことによって、被試験体のキャップを取り外すことを特
   徴とするヘリウムリークテスト方法。
2. 【請求項２】 孔付き凸部を有する被試験体の該凸部に
   キャップを装着してチャンバに被試験体を着脱可能に装
   着し、被試験体とチャンバとの間の空間を封止するとと
   もに、チャンバにヘリウムガスを導入し、被試験体内部
   に漏出したヘリウムガスを吸引することによりリークを
   検出するヘリウムリークテスト装置において、被試験体
   内部に窒素ガスまたは乾燥空気を導入する機構を備え、
   リークテスト終了後、被試験体内部に前記窒素ガスまた
   は乾燥空気を加えることによって、被試験体のキャップ
   を取り外すとともに、被試験体内部を大気ベントするこ
   とを特徴とするヘリウムリークテスト装置。
3. 【請求項３】 前記チャンバにキャップ収集部を備えた
   ことを特徴とする、請求項２記載のヘリウムリークテス
   ト装置。