JPH0711449A - メッキ用接着剤組成物 - Google Patents

メッキ用接着剤組成物

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JPH0711449A
JPH0711449A JP5175893A JP17589393A JPH0711449A JP H0711449 A JPH0711449 A JP H0711449A JP 5175893 A JP5175893 A JP 5175893A JP 17589393 A JP17589393 A JP 17589393A JP H0711449 A JPH0711449 A JP H0711449A
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JP
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plating
weight
epoxy resin
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JP5175893A
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Taku Nonaka
卓 野中
Shingo Sasaki
新吾 佐佐木
Tomohisa Kamimura
知久 上村
Toshiaki Hagino
俊昭 萩野
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Daiabondo Kogyo Kk
NIPPON DRAWING KK
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Daiabondo Kogyo Kk
NIPPON DRAWING KK
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 プリント基板等のプラスチック板に、耐熱性
に優れ、かつ剥離強度の高い金属膜の形成を可能にする
メッキ用接着剤組成物を提供する。 【構成】 ノボラック型エポキシ樹脂に不飽和モノカル
ボン酸および多価カルボン酸無水物を反応して得られる
光硬化性樹脂100重量部、光硬化触媒1〜20重量
部、反応性希釈剤5〜50重量部、エポキシ樹脂5〜1
00重量部、粒径5μm以下で、かつ含有水分0.1重
量%以下の無機フィラー50〜200重量部とからな
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プリント基板用等のプ
ラスチック板等に無電解メッキを施すに先立って塗布す
る無電解メッキ用接着剤組成物に関するものである。
【0002】
【従来の技術】無電解メッキ用接着剤組成物は、特開昭
59─182959号公報、特開平3─109475号
公報等に記載され公知となっているように、プリント基
板用等のプラスチック板等の全面に塗布し、熱硬化させ
た後、その上に回路形成部以外の部分にレジストをスク
リーン印刷によって塗布し、レジストを硬化させ、次い
で回路形成部に無電解メッキを施すことにより、基板と
金属膜との良好な接着性を有するプリント基板を得るた
めに使用されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
無電解メッキ用接着剤組成物は、熱硬化性であるため、
プラスチック基板等の全面に塗布した上に、レジストを
回路形成部以外の部分にスクリーン印刷による塗布を行
うため、スクリーンの構造のみならず、スクリーンの仕
上げ精度、スクリーンセットのテンション等により印刷
精度に限界があるので、基板回路の微細化に対する要望
が高度となるにつれ、その対応が困難となってきてい
る。
【0004】また、一般に接着剤組成物とプラスチック
基板や金属膜との接着強度も未だ十分でなく、プリント
基板のハンダ工程などにおいて、剥離が生ずるなどの欠
点もあった。
【0005】本発明は、かかる現状に鑑み、高密度配線
化を可能にするとともに、耐熱性に優れ、剥離強度の高
い金属膜の形成を可能にするメッキ用接着剤組成物の提
供を目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明のメッキ用接着剤
組成物は、かかる目的を達成するものであって、ノボラ
ック型エポキシ樹脂に不飽和モノカルボン酸および多価
カルボン酸無水物を反応して得られる光硬化性樹脂10
0重量部、光硬化触媒1〜20重量部、反応性希釈剤5
〜50重量部、エポキシ樹脂5〜100重量部、粒径5
μm以下で、かつ含有水分0.1重量%以下の無機フィ
ラー50〜200重量部とからなることを特徴とするも
のである。
【0007】本発明のメッキ用接着剤組成物を構成する
光硬化性樹脂は、ノボラック型エポキシ樹脂に不飽和モ
ノカルボン酸を反応させ、次いで多価カルボン酸無水物
を反応させて得られる。ここで、使用するノボラック型
エポキシ樹脂としては、フェノールノボラック型エポキ
シ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などがあ
げられる。また、ノボラック型エポキシ樹脂と反応させ
る不飽和モノカルボン酸としては、アクリル酸、メタク
リル酸、クロトン酸、挂皮酸などがあげられる。
【0008】次に、ノボラック型エポキシ樹脂と不飽和
モノカルボン酸との反応生成物と反応させる多価カルボ
ン酸無水物としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水
フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒ
ドロ無水フタル酸、エンドメチレンテトラヒドロ無水フ
タル酸、メチルエンドメチレンテトラヒドロ無水フタル
酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、無水マ
レイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸などがあげら
れる。
【0009】本発明のメッキ用接着剤組成物を構成する
光硬化触媒としては、アセトフェノン、2,2─ジメト
キシ─2─フェニルアセトフェノン、2,2─ジエトキ
シ─2─フェニルアセトフェノン、1─ヒドロキシシク
ロヘキシルフェニルケトン、ベンゾフェノンなどのケト
ン類、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾ
インエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテルなど
のベンゾイン類、2ーメチルアントラキノン、2─エチ
ルアントラキノン、2─ターシャリーブチルアントラキ
ノン、1─クロロアントラキノン、2─アミルアントラ
キノンなどのアントラキノン類、2,4─ジメチルキサ
ントン、2─クロロチオキサントン、2,4─ジイソプ
ロピルチオキサントンなどのチオキサントン類などがあ
げられ、光硬化性樹脂100重量部に対して1〜20重
量部の量で使用する。
【0010】必要に応じてα─アミノアセトフェノンの
ごとき第三級アミンを光硬化促進剤として、チオキサン
トン類等と併用して使用することができる。
【0011】本発明のメッキ用接着剤組成物を構成する
反応性希釈剤としては、2─ヒドロキシエチルアクリレ
ート、2─ヒドロキシプロピルアクリレート、4─ヒド
ロキシブチルアクリレート、N─ビニルピロリドン、メ
トキシテトラエチレングリコールアクリレート、メトキ
シポリエチレングリコールアクリレート、エチレングリ
コールジアクリレート、ジエチレングリコールジアクリ
レート、トリエチレングリコールジアクリレート、テト
ラエチレングリコールジアクリレート、ポリエチレング
リコールジアクリレート、プロピレングリコールジアク
リレート、ブチレングリコールジアクリレート、ポリプ
ロピレングリコールジアクリレート、ポリテトラメチレ
ングリコールジアクリレート、フェノキシエチルアクリ
レート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、シクロ
ヘキシルアクリレート、トリメチロールプロパンモノア
クリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、グリセリン
ジグリシジルエーテルジアクリレート、グリセリントリ
グリシジルエーテルトリアクリレート、ペンタエリスリ
トールモノアクリレート、ペンタエリスリトールジアク
リレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレートなどがあげられ、光硬化
性樹脂100重量部に対して5〜50重量部の量で使用
する。
【0012】また、必要に応じて、トルエン、キシレ
ン、シクロヘキサノン、セロソルブ、ブチルセロソル
ブ、カルビトール、ブチルカルビトール、エチルアセテ
ート、ブチルアセテート、セロソルブアセテート、ブチ
ルセロソルブアセテート、カルビトールアセテート、ブ
チルカルビトールアセテートなどの有機溶剤を用いてメ
ッキ用接着剤組成物の粘度を調整することができる。
【0013】本発明のメッキ用接着剤組成物を構成する
エポキシ樹脂は1分子内に2個以上のグリシジル基を有
する化合物で、必要があれば、その硬化剤とともに用い
る。通常、エピ・ビス型エポキシ樹脂を用いるが、ジグ
リシジルビフェニル、ジグリシジル─1,5─ジメチル
ビフェニル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリ
シジルフタレート、ジグリシジルイソフタレート、ジグ
リシジルテレフタレートなどがあり、1種または2種以
上で光硬化性樹脂100重量部に対して5〜100重量
部で用いる。
【0014】上記エポキシ樹脂は、光硬化性樹脂の含有
するカルボキシル基と反応して熱硬化することができる
が、必要に応じて、アミン類、イミダゾール類、フェノ
ール類等の公知のエポキシ樹脂用硬化剤を用いることが
できる。
【0015】本発明のメッキ用接着剤組成物を構成する
無機フィラーは、メッキ用接着剤組成物を熱硬化した
後、化学メッキの前処理工程(研磨、ソフトエッチング
等)において、接着剤層から溶出除去され、径数μmの
凹部を形成して化学メッキ層の剥離強度改善に寄与する
ものであり、無機フィラーとしてはマグネシウム、カル
シウム、ストロンチウム、バリウム等のアルカリ土類金
属の炭酸塩、硫酸塩、硝酸塩等があげられる。
【0016】上記無機フィラーのうち、炭酸カルシウム
または/および硫酸バリウムが特に好ましく、その粒径
は5μm以下、好ましくは、3μm以下である。
【0017】かかる無機フィラーの含有水分は、化学メ
ッキ後のハンダ浴に浸漬する際のメッキ層のフクレと密
接な関係があり、その含有水分は0.1重量%以下、好
ましくは0.05重量%以下に調製する必要がある。
【0018】本発明のメッキ用接着剤組成物は、必要に
応じて粘度調製用の有機溶剤、光硬化反応を促進するた
めの増感剤、充填剤の分散性を改良するための界面活性
剤、さらには着色剤等を含んでもよい。
【0019】本発明のメッキ用接着剤組成物は、紙フェ
ノール樹脂基板、ガラス・エポキシ樹脂基板等の耐熱性
プラスチック基板に必要であれば、下塗り後、スクリー
ン印刷法、ロールコーター法、カーテンコーター法など
によって塗布され、水銀灯、キセノンランプまたはメタ
ルハライドランプ等で照射して回路形成部分のみを露光
させ、光硬化後、未露光部をアルカリ液で除去して現像
される。
【0020】接着剤層が形成された基板を加熱して接着
剤層を硬化した後、化学メッキの前処理、すなわちクリ
ーナーコンディショナー、湯洗い、水洗い、ソフトエッ
チング、水洗い、酸活性、水洗いなどの処理を行い、メ
ッキ層の投錨効果に継る無数の微細凹部を形成して化学
メッキを行う。
【0021】化学メッキ後、微細な回路が形成される
が、無機フィラーの含有水分が0.1重量%をこえる
と、ハンダ浴浸漬によってメッキ層にフクレによる欠陥
が発生するため無機フィラーの含有水分の制御には充分
の留意を必要とする。
【0022】
【作用】本発明においては、上記のような液状で光硬化
型のメッキ用接着剤であるので、露光部のみを光硬化さ
せ、未露光部を除去することにより所望のパターンに現
像可能であって、これを用いてプラスチック基板に対し
て標準100mil (2.54mm)格子で1Cピン間3本
以上の高密度配線化を可能にする高精度の微細かつ耐熱
性(ふくれのない)の高い接着層を形成することができ
るとともに、無機フィラーの含有水分率を0.1重量%
以下に調製してメッキ用接着剤組成物の水分率を適正に
調製することにより、精密でハンダ浴浸漬による剥離の
生ずることのない剥離強度の高い金属膜の形成を可能と
する。
【0023】
【実施例】次に、本発明のメッキ用接着剤組成物につい
て、実施例と比較例を示して具体的に説明する。
【0024】光硬化性樹脂の製造例1 GPC法で測定した平均分子量1,105で、エポキシ
当量225のクレゾールノボラック型エポキシ樹脂1,
105重量部に対し、アクリル酸371重量部をハイド
ロキノン0.9重量部の存在下で、110℃で反応して
得られる反応物にテトラヒドロ無水フタル酸522重量
部を付加反応して酸価96の樹脂(以下、樹脂1と略
す)を製造した。
【0025】光硬化性樹脂の製造例2 GPC法で測定した平均分子量550でエポキシ当量1
73のフェノールノボラック型エポキシ樹脂1,100
重量部に対し、アクリル酸483重量部を製造例1と同
様に反応後、さらにテトラヒドロ無水フタル酸486重
量部を付加反応して酸価86の樹脂(以下、樹脂2と略
す)を製造した。
【0026】実施例1〜5、比較例1〜3 表1に示す量で光硬化性樹脂として樹脂1、樹脂2、反
応性希釈剤として2─ヒドロキシエチルアクリレート、
エチレングリコールジアクリレート、無機フィラーとし
て表2に示す含有水分の炭酸カルシウム、エポキシ樹脂
の硬化剤としてジアミノジフェニルメタン、レベリング
剤として共栄社油脂化学工業社製ポリフロー、分散剤と
してポリエチレングリコールノニルフェニルエーテル、
着色剤としてフタロシアニングリーンおよび粘度調整溶
剤としてカルビトールアセテートを攪拌機付き混合缶に
採り、1200rpm で8時間混練してメッキ用接着剤組
成物(以下、組成物1と略す)を調整した。
【0027】続いて、表1に示す量で、光硬化触媒とし
てベンゾフェノン、エポキシ樹脂としてエピ・ビス型エ
ポキシ樹脂(油化シェル社製エピコート828)および
溶剤としてカルビトールアセテートを混合してメッキ用
接着剤組成物の硬化剤(以下、組成物2と略す)溶液を
調製した。
【0028】
【表1】
【0029】組成物1,2を混合してスクリーン印刷法
でガラスエポキシ基板の全面に膜厚25μmとなるよう
に塗布し、70℃で30分間乾燥後、室温まで冷却して
回路形成用等のパターンを有する銀塩フイルムでマスク
し、メタルハライドランプを用いて450mj/cm2で露
光、光硬化させ、未露光部を1重量%炭酸ソーダ水溶液
を用いて除去して現像した。
【0030】現像した基板を洗浄後、150℃で40分
間熱硬化して硬質のメッキ用接着剤層を形成した。
【0031】続いて、メッキ用接着剤層の表面をバフ研
磨し、クリーナーコンディショナー、湯洗い、水洗い、
ソフトエッチング、水洗い、酸活性、水洗い等の化学メ
ッキの前処理工程を行った。ソフトエッチングあるいは
酸活性の工程で炭酸カルシウムのごとき無機フィラーを
溶出除去し、表面に微小凹部を形成して化学メッキ工程
に移した。
【0032】表面に微小凹部を有するメッキ用接着剤層
が形成された基板にシープレットジャパン社製「328
A」無電解メッキ液を用いて19〜22℃で20分間化
学メッキを行った。
【0033】続いて、水洗い、乾燥、酸活性等の処理を
行った後、硫酸銅水溶液を用いて22〜28℃の温度で
60分間、電気メッキを行い、防錆処理、乾燥を行っ
た。
【0034】得られた基板を以下の方法で評価し、表2
に示す結果を得た。 メッキ層の厚さ:メッキ層を剥離して、マイクロメータ
ーで厚さを測定した。 剥離強さ:メッキ層を25mm巾で帯状にカッターナイフ
でカットし、一端を引張試験機により180°方向に引
っ張る。引張速度は50mm/min とする。 表面状態:メッキ表面の光沢を肉眼で観察し、良好なも
のをA、乱反射が認められるものをBとする。 ピンホール:剥離したメッキ層を30倍の顕微鏡で観察
し、ピンホールの有無を確認した。 フクレ:260℃のハンダ浴に20秒浸漬後、メッキ層
表面を観察し、20cm×12cmのプリント基板10枚あ
たりのフクレ欠陥を有するプリント基板の枚数で示す。
【0035】
【表2】
【0036】実施例6,7 実施例1と同様に、但し炭酸カルシウムに代えて表2に
示す含有水分の硫酸バリウムを用いてメッキ用接着剤組
成物を製造して実施例1と同様に評価し、表2に示す結
果を得た。
【0037】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、高精度の微細な接着層を形成することができ
るとともに、無機フィラーの含有水分率を0.1重量%
以下に調製してメッキ用接着剤組成物の水分率を適正に
調製することにより、外観も良好で、耐熱性に優れ(ふ
くれのない)、かつ剥離強力の高いメッキ層を基板上に
形成することが可能となる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐佐木 新吾 神奈川県愛甲郡愛川町中津4085 ダイアボ ンド工業株式会社厚木工場内 (72)発明者 上村 知久 神奈川県愛甲郡愛川町中津4085 ダイアボ ンド工業株式会社厚木工場内 (72)発明者 萩野 俊昭 神奈川県横浜市港北区新羽町1850番地の5 株式会社日本ドゥローイング内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ノボラック型エポキシ樹脂に不飽和モノ
    カルボン酸および多価カルボン酸無水物を反応させて得
    られる光硬化性樹脂100重量部、光硬化触媒1〜20
    重量部、反応性希釈剤5〜50重量部、エポキシ樹脂5
    〜100重量部、粒径5μm以下で、かつ含有水分0.
    1重量%以下の無機フィラー50〜200重量部とから
    なることを特徴とするメッキ用接着剤組成物。
  2. 【請求項2】 前記無機フィラーが炭酸カルシウム、硫
    酸バリウムの1種以上であることを特徴とする請求項1
    記載のメッキ用接着剤組成物。
JP5175893A 1993-06-24 1993-06-24 メッキ用接着剤組成物 Pending JPH0711449A (ja)

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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000327934A (ja) * 1999-03-16 2000-11-28 Ibiden Co Ltd 粗化面形成用樹脂組成物およびプリント配線板
JP2006233031A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Jsr Corp 無機粒子含有組成物、転写フィルムおよびプラズマディスプレイパネルの製造方法
WO2008001611A1 (fr) * 2006-06-28 2008-01-03 Omron Corporation Procédé pour la fabrication d'un film métallique, composition de fondation, film métallique et son utilisation
KR100954799B1 (ko) * 2007-12-28 2010-04-28 주식회사 포스코 무방향성 전기강판의 코팅 용액, 이를 이용한 무방향성전기강판의 코팅 방법 및 무방향성 전기강판의 코팅층
US20100230643A1 (en) * 2007-12-27 2010-09-16 Omron Corporation Process for producing metal film, metal film and use of the metal film
US8361628B2 (en) 2007-12-27 2013-01-29 Omron Corporation Process for producing metal film
US8361629B2 (en) 2008-09-26 2013-01-29 Omron Corporation Half mirror and process for producing same
JP2017118100A (ja) * 2015-12-23 2017-06-29 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. 絶縁樹脂シート及びこれを備えたプリント回路基板
US9711666B2 (en) 2011-03-15 2017-07-18 Omron Corporation Sensor provided with metal oxide film and use thereof

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000327934A (ja) * 1999-03-16 2000-11-28 Ibiden Co Ltd 粗化面形成用樹脂組成物およびプリント配線板
JP2006233031A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Jsr Corp 無機粒子含有組成物、転写フィルムおよびプラズマディスプレイパネルの製造方法
US8273461B2 (en) 2006-06-28 2012-09-25 Omron Corporation Method of producing metal film
US20090202850A1 (en) * 2006-06-28 2009-08-13 Omron Corporation Method for producing metal film, underlayer composition, metal film and application of the film
WO2008001611A1 (fr) * 2006-06-28 2008-01-03 Omron Corporation Procédé pour la fabrication d'un film métallique, composition de fondation, film métallique et son utilisation
US20100230643A1 (en) * 2007-12-27 2010-09-16 Omron Corporation Process for producing metal film, metal film and use of the metal film
US8273462B2 (en) 2007-12-27 2012-09-25 Omron Corporation Process for producing metal film
US8361628B2 (en) 2007-12-27 2013-01-29 Omron Corporation Process for producing metal film
KR100954799B1 (ko) * 2007-12-28 2010-04-28 주식회사 포스코 무방향성 전기강판의 코팅 용액, 이를 이용한 무방향성전기강판의 코팅 방법 및 무방향성 전기강판의 코팅층
US8361629B2 (en) 2008-09-26 2013-01-29 Omron Corporation Half mirror and process for producing same
US9711666B2 (en) 2011-03-15 2017-07-18 Omron Corporation Sensor provided with metal oxide film and use thereof
JP2017118100A (ja) * 2015-12-23 2017-06-29 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. 絶縁樹脂シート及びこれを備えたプリント回路基板
KR20170075505A (ko) * 2015-12-23 2017-07-03 삼성전기주식회사 절연수지 시트 및 이를 구비한 인쇄회로기판

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