JPH07108207A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
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- JPH07108207A JPH07108207A JP5258394A JP25839493A JPH07108207A JP H07108207 A JPH07108207 A JP H07108207A JP 5258394 A JP5258394 A JP 5258394A JP 25839493 A JP25839493 A JP 25839493A JP H07108207 A JPH07108207 A JP H07108207A
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- JP
- Japan
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- slit
- coating
- coating liquid
- ribbing
- liquid
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03C—PHOTOSENSITIVE MATERIALS FOR PHOTOGRAPHIC PURPOSES; PHOTOGRAPHIC PROCESSES, e.g. CINE, X-RAY, COLOUR, STEREO-PHOTOGRAPHIC PROCESSES; AUXILIARY PROCESSES IN PHOTOGRAPHY
- G03C1/00—Photosensitive materials
- G03C1/74—Applying photosensitive compositions to the base; Drying processes therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/007—Slide-hopper coaters, i.e. apparatus in which the liquid or other fluent material flows freely on an inclined surface before contacting the work
-
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- B05C5/008—Slide-hopper curtain coaters
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- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
- B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
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- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
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- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/06—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying two different liquids or other fluent materials, or the same liquid or other fluent material twice, to the same side of the work
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- Materials Engineering (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】 スライドビードコーター、カーテンコーター
又はエクストルージョンコーター等塗布液供給スリット
を有する塗布装置において、該塗布液供給スリット表面
の少なくも一部が表面粗さ（中心線表面粗さ）0.1μm以
下であることを特徴とする塗布装置により達成。 【効果】 スリット及び切り欠き部への凝集物や異物が
付着するのを抑制し、長時間にわたりそれに伴う筋故障
を防止できる塗布装置の提供。
又はエクストルージョンコーター等塗布液供給スリット
を有する塗布装置において、該塗布液供給スリット表面
の少なくも一部が表面粗さ（中心線表面粗さ）0.1μm以
下であることを特徴とする塗布装置により達成。 【効果】 スリット及び切り欠き部への凝集物や異物が
付着するのを抑制し、長時間にわたりそれに伴う筋故障
を防止できる塗布装置の提供。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は塗布液供給スリットを有
する塗布装置、例えばスライドビードコーター、カーテ
ンコーター又はエクストルージョンコーターに関し、詳
しくは塗布筋故障の発生を大幅に抑制した塗布装置に関
する。
する塗布装置、例えばスライドビードコーター、カーテ
ンコーター又はエクストルージョンコーターに関し、詳
しくは塗布筋故障の発生を大幅に抑制した塗布装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】塗布故障特に筋故障は長尺にわたり発生
する場合が多いため品質あるいは生産収率に対する影響
が大きい。近年、複数の層から成る多層同時塗布方法に
関する技術は、多くの薄層を必要とするハロゲン化銀写
真感光材料の製造に関連して高度に開発されてきてい
る。
する場合が多いため品質あるいは生産収率に対する影響
が大きい。近年、複数の層から成る多層同時塗布方法に
関する技術は、多くの薄層を必要とするハロゲン化銀写
真感光材料の製造に関連して高度に開発されてきてい
る。
【０００３】このような多層同時塗布方法としては、ス
ライドホッパー、カーテンコーターあるいはエクストル
ージョンコーター等による塗布装置が好ましい塗布装置
として採用されているが、このような塗布装置において
は、筋故障の発生が起き易いという問題がある。
ライドホッパー、カーテンコーターあるいはエクストル
ージョンコーター等による塗布装置が好ましい塗布装置
として採用されているが、このような塗布装置において
は、筋故障の発生が起き易いという問題がある。
【０００４】筋故障の発生は種々な要因により発生する
が、その原因の大きなものとしてビードの乱れ及び異物
の混入あるいは異物が塗布装置の一部に付着することに
よるものが挙げられる。
が、その原因の大きなものとしてビードの乱れ及び異物
の混入あるいは異物が塗布装置の一部に付着することに
よるものが挙げられる。
【０００５】これは単層でも起き得るが、特にカラー感
光材料のような塗布液層で発色層の一部が何等かの原因
で引っ掻かれることにより、筋状の薄膜部分ができ、異
なる発色層がその上層に同時塗布された場合に濃度差を
生じ筋故障として顕在化する場合に大きな問題となるも
のである。
光材料のような塗布液層で発色層の一部が何等かの原因
で引っ掻かれることにより、筋状の薄膜部分ができ、異
なる発色層がその上層に同時塗布された場合に濃度差を
生じ筋故障として顕在化する場合に大きな問題となるも
のである。
【０００６】従来、このような原因としては塗布機端
（リップ）とウエブの間に形成される塗布架橋、いわゆ
るビードの乱れによる原因が主として取り上げられ、こ
の対策として米国特許第2,681,294号にみられる減圧方
式とその改良、特公昭48-4371号等の継ぎ目通過時の改
良、特公昭51-39980号のリップ形式あるいはスライド面
角度の検討、特開平2-207865号のリップ面の表面粗さの
改良等数多くの提案がなされている。
（リップ）とウエブの間に形成される塗布架橋、いわゆ
るビードの乱れによる原因が主として取り上げられ、こ
の対策として米国特許第2,681,294号にみられる減圧方
式とその改良、特公昭48-4371号等の継ぎ目通過時の改
良、特公昭51-39980号のリップ形式あるいはスライド面
角度の検討、特開平2-207865号のリップ面の表面粗さの
改良等数多くの提案がなされている。
【０００７】またスリットの形状についても米国特許第
3,005,440号あるいは本出願人による特願平4-328174号
にはスリットに切り欠き段差さらには拡大部（切り欠
き）を設ける技術が開示されている。しかしながら、筋
故障の原因は上記のような問題にとどまらず、なお充分
な解決に至っていないのである。
3,005,440号あるいは本出願人による特願平4-328174号
にはスリットに切り欠き段差さらには拡大部（切り欠
き）を設ける技術が開示されている。しかしながら、筋
故障の原因は上記のような問題にとどまらず、なお充分
な解決に至っていないのである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記のような問題に対
して、本発明の課題は、スリット及び切り欠き部への凝
集物や異物が付着するのを抑制し、長時間にわたりそれ
に伴う筋故障を防止できる塗布装置を提供することにあ
る。
して、本発明の課題は、スリット及び切り欠き部への凝
集物や異物が付着するのを抑制し、長時間にわたりそれ
に伴う筋故障を防止できる塗布装置を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の上記課題は、塗
布液供給スリットを有する塗布装置において、該塗布液
供給スリット表面の少なくも一部が表面粗さ（中心線表
面粗さ）0.1μm以下であることを特徴とする塗布装置に
より達成される。
布液供給スリットを有する塗布装置において、該塗布液
供給スリット表面の少なくも一部が表面粗さ（中心線表
面粗さ）0.1μm以下であることを特徴とする塗布装置に
より達成される。
【００１０】以下、本発明について具体的に説明する。
【００１１】図１（ａ）はスライドビード塗布装置の１
例を示す断面図であって、３層同時塗布可能の塗布装置
である。同図において、複数の塗布液Ｓ1、Ｓ2、Ｓ3は
幅方向に広がるポケット５ならびにスリット６を通って
スライド面４に至り、塗布液はスライド面４を流下して
塗布機先端（リップ）10に至りここでビード７と称する
塗布架橋（液溜まり）を介してバックアップロール２に
抱かれて走行するウェブ１上に塗布される。
例を示す断面図であって、３層同時塗布可能の塗布装置
である。同図において、複数の塗布液Ｓ1、Ｓ2、Ｓ3は
幅方向に広がるポケット５ならびにスリット６を通って
スライド面４に至り、塗布液はスライド面４を流下して
塗布機先端（リップ）10に至りここでビード７と称する
塗布架橋（液溜まり）を介してバックアップロール２に
抱かれて走行するウェブ１上に塗布される。
【００１２】図１（ｂ）は２層用カーテンコーターの１
例を示す断面図である。図１（ａ）のスライドビードコ
ーターと同様にしてスライド面を流下した塗布液はリッ
プ10よりカーテン状に空中を流下してウエブ１上に塗布
される。
例を示す断面図である。図１（ａ）のスライドビードコ
ーターと同様にしてスライド面を流下した塗布液はリッ
プ10よりカーテン状に空中を流下してウエブ１上に塗布
される。
【００１３】図１（ｃ）は１層用エクストルジョンコー
ターであって、スリット６より直接ウエブ上に塗布され
る。
ターであって、スリット６より直接ウエブ上に塗布され
る。
【００１４】これらの塗布装置はいずれも塗布液を供給
するスリット６を有するのが特徴である。
するスリット６を有するのが特徴である。
【００１５】図２（ａ）はスリット付近の拡大断面図で
ある。この場合はスライドビードコーターあるいはカー
テンコーターのようにスライド面を有するコーターの場
合であるが、スリットより流出する塗布液Ｓ1、Ｓ2のス
ライド面での重なり状態を示す拡大断面図である。同図
から明らかなように上流側の塗布液例えばＳ3は下流側
の塗布液Ｓ2、さらにＳ1を乗り越えながら重層となって
流れるのである。
ある。この場合はスライドビードコーターあるいはカー
テンコーターのようにスライド面を有するコーターの場
合であるが、スリットより流出する塗布液Ｓ1、Ｓ2のス
ライド面での重なり状態を示す拡大断面図である。同図
から明らかなように上流側の塗布液例えばＳ3は下流側
の塗布液Ｓ2、さらにＳ1を乗り越えながら重層となって
流れるのである。
【００１６】このような場合に例えば析出し易い分散液
等の塗布液を使用することによって、塗布液Ｓ1用スリ
ットに凝集物又は異物Ａ1、Ａ2等が付着していると、塗
布液Ｓ1はこの異物に遮られ筋状に薄膜となり、筋故障
を発生する。Ｓ1単層であっても勿論筋故障は発生する
が、この例のように多層塗布の場合にはこのＳ1に重な
ってスライド面上を流れる異なる色に発色する塗布液Ｓ
2がこの薄膜部分を埋めることによりさらに明確な筋状
故障となり、カラー感光材料の場合重大な故障となる。
等の塗布液を使用することによって、塗布液Ｓ1用スリ
ットに凝集物又は異物Ａ1、Ａ2等が付着していると、塗
布液Ｓ1はこの異物に遮られ筋状に薄膜となり、筋故障
を発生する。Ｓ1単層であっても勿論筋故障は発生する
が、この例のように多層塗布の場合にはこのＳ1に重な
ってスライド面上を流れる異なる色に発色する塗布液Ｓ
2がこの薄膜部分を埋めることによりさらに明確な筋状
故障となり、カラー感光材料の場合重大な故障となる。
【００１７】このような筋故障対策として前記のように
切り欠きがスリットに設けられる。図２（ｂ）〜（ｅ）
は各種切り欠き（拡大部）を有するスリットの断面図で
ある。切り欠きＥはスリット出口に拡大部Ｅを設けるこ
とにより、塗布液がスリット出口からスライド面に流出
する際の吐出圧力を軽減し、上流からの塗布液に対する
液乱れを抑制する。図２（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、
（ｅ）は種々な切り欠き形状例を示す。
切り欠きがスリットに設けられる。図２（ｂ）〜（ｅ）
は各種切り欠き（拡大部）を有するスリットの断面図で
ある。切り欠きＥはスリット出口に拡大部Ｅを設けるこ
とにより、塗布液がスリット出口からスライド面に流出
する際の吐出圧力を軽減し、上流からの塗布液に対する
液乱れを抑制する。図２（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、
（ｅ）は種々な切り欠き形状例を示す。
【００１８】本発明者等の検討によればスリットの形状
により、スリット出口近傍の圧力分布に差があり、スリ
ットに拡大部を設けることにより、圧力分布が一様にな
り、これにより塗布層の乱れが抑制されることを見いだ
した。また拡大率を２以上とすることによりその効果が
顕著となる。尚、この拡大部は、スリットより下流側の
塗布ブロック、上流側の塗布ブロックどちらに設けて
も、また両側に設けても片側だけでも同様の効果が期待
できる。
により、スリット出口近傍の圧力分布に差があり、スリ
ットに拡大部を設けることにより、圧力分布が一様にな
り、これにより塗布層の乱れが抑制されることを見いだ
した。また拡大率を２以上とすることによりその効果が
顕著となる。尚、この拡大部は、スリットより下流側の
塗布ブロック、上流側の塗布ブロックどちらに設けて
も、また両側に設けても片側だけでも同様の効果が期待
できる。
【００１９】すべての塗布層におけるスリット出口の流
量は、0.1cc/cm.sec以上とすることが好ましい。スリッ
ト間隙は50〜1000μm、好ましくは200〜600μmの範囲で
任意に設定することができる。またスリットの深さは通
常30〜50mmの範囲である。
量は、0.1cc/cm.sec以上とすることが好ましい。スリッ
ト間隙は50〜1000μm、好ましくは200〜600μmの範囲で
任意に設定することができる。またスリットの深さは通
常30〜50mmの範囲である。
【００２０】本発明ではこのようなスリット表面の一部
を平滑にすることにより凝集物又は異物の付着を防止す
るものである。
を平滑にすることにより凝集物又は異物の付着を防止す
るものである。
【００２１】本来は、スリットの塗布液に接触部全面を
平滑にすることが好ましいのであるが、平滑にするため
に研磨仕上げをした場合、スリット間隙精度が損なわ
れ、このため塗布幅手の流量分布がバラツき、却って塗
布面のムラを生ずるおそれがあった。このために本発明
者等は幅手流量分布のバラツキを抑え、かつスリット部
への異物付着による筋故障を抑制する限度を鋭意検討の
結果、平滑にする範囲をスリット出口側（スライド面
側）の距離（Ｌ1）で表せば通常は約５mmにすればよい
ことをみいだした。尚スリットに前記のような拡大部Ｅ
を有する場合は、拡大部及び拡大部下端にさらに平滑部
（Ｌ2）約５mmを必要とする。
平滑にすることが好ましいのであるが、平滑にするため
に研磨仕上げをした場合、スリット間隙精度が損なわ
れ、このため塗布幅手の流量分布がバラツき、却って塗
布面のムラを生ずるおそれがあった。このために本発明
者等は幅手流量分布のバラツキを抑え、かつスリット部
への異物付着による筋故障を抑制する限度を鋭意検討の
結果、平滑にする範囲をスリット出口側（スライド面
側）の距離（Ｌ1）で表せば通常は約５mmにすればよい
ことをみいだした。尚スリットに前記のような拡大部Ｅ
を有する場合は、拡大部及び拡大部下端にさらに平滑部
（Ｌ2）約５mmを必要とする。
【００２２】上記した説明はスライド面を有する塗布装
置の場合であるが、塗布液供給用スリットを有する他の
塗布装置、例えばエクストルジョンコーターの場合にも
有用である。
置の場合であるが、塗布液供給用スリットを有する他の
塗布装置、例えばエクストルジョンコーターの場合にも
有用である。
【００２３】本発明でいう中心線平均粗さ（Ｒａ）と
は、日本工業規格JISB-0601に記載の方法によるもので
ある。
は、日本工業規格JISB-0601に記載の方法によるもので
ある。
【００２４】本発明における塗布速度は、30〜600m/min
の範囲で設定される。好ましくは、40〜400m/min、さら
に好ましくは60〜300m/minの速度が採用される。
の範囲で設定される。好ましくは、40〜400m/min、さら
に好ましくは60〜300m/minの速度が採用される。
【００２５】
【実施例】以下、本発明の効果について実施例により具
体的に例証する。
体的に例証する。
【００２６】実施例１ （塗布液）カプラー分散物、界面活性剤、増感色素等を
含むハロゲン化銀乳剤。
含むハロゲン化銀乳剤。
【００２７】粘度：35℃ 30cp カプラーは本発明の効
果を明確化するために下記のような分散安定性の悪いカ
プラーを使用した。すなわち析出し易く、したがって付
着も起こり易い塗布液である。
果を明確化するために下記のような分散安定性の悪いカ
プラーを使用した。すなわち析出し易く、したがって付
着も起こり易い塗布液である。
【００２８】（分散安定性の悪いカプラー分散液）下記
マゼンタカプラー300gを酢酸エチル600ml及びジノニル
フェノール（ＤＮＰ）300g中に溶解させたものをドデシ
ルベンゼンスルホン酸ソーダ15gを含む５％ゼラチン600
0ml中に分散させた後、減圧にて酢酸エチルを除去した
カプラー分散液をハロゲン化銀及び増感色素等を含む5
％ゼラチン水溶液14リットルに加えた。
マゼンタカプラー300gを酢酸エチル600ml及びジノニル
フェノール（ＤＮＰ）300g中に溶解させたものをドデシ
ルベンゼンスルホン酸ソーダ15gを含む５％ゼラチン600
0ml中に分散させた後、減圧にて酢酸エチルを除去した
カプラー分散液をハロゲン化銀及び増感色素等を含む5
％ゼラチン水溶液14リットルに加えた。
【００２９】
【化１】
【００３０】（塗布条件） 支持体：Ｇｅｌ下引き済ポリエチレンテレフタレートベ
ース 厚さ 100μm 塗布速度：50m/min ｗｅｔ厚み：60μm （塗布装置）図１（ａ）に示すスライドビード塗布装
置、ただし１層用を用い、図２（ａ）におけるスリット
に示すスライド面からの距離Ｌ1を３mmとし、下記に示
すように中心線平均粗さ（Ｒａ）を変えた。研磨方法は
バフ仕上げで行った。
ース 厚さ 100μm 塗布速度：50m/min ｗｅｔ厚み：60μm （塗布装置）図１（ａ）に示すスライドビード塗布装
置、ただし１層用を用い、図２（ａ）におけるスリット
に示すスライド面からの距離Ｌ1を３mmとし、下記に示
すように中心線平均粗さ（Ｒａ）を変えた。研磨方法は
バフ仕上げで行った。
【００３１】（筋故障発生の評価）上記条件で長時間塗
布を行い、筋故障発生までの時間を測定した。
布を行い、筋故障発生までの時間を測定した。
【００３２】結果を下記ならびに図３のグラフに示す。
【００３３】 ケース Ｒａ(μm) 時間（時） １ 0.1 23 本発明 ２ 0.05 37 〃 ３ 0.03 48 〃 ４ 0.01 48 〃 ５ 0.25 １ ブランクケー
ス５はブランクであって研磨をしないケースである。
ス５はブランクであって研磨をしないケースである。
【００３４】上記結果から、0.1μmに研磨することによ
って、筋故障発生までの時間が大幅に延びることがわか
る。特に0.03μmにすることによって約48時間未発生で
あった。
って、筋故障発生までの時間が大幅に延びることがわか
る。特に0.03μmにすることによって約48時間未発生で
あった。
【００３５】実施例２ 実施例１と同じ構成の塗布液で粘度を10cp、30cp、60cp
とし、表面研磨の距離Ｌ1を下記のように変えて評価し
た。また、評価時間としては最大72時間とし、その間筋
故障が確認されなかったものについては未発生とした。
とし、表面研磨の距離Ｌ1を下記のように変えて評価し
た。また、評価時間としては最大72時間とし、その間筋
故障が確認されなかったものについては未発生とした。
【００３６】結果を表１ならびに図４に示す
【００３７】
【表１】
【００３８】研磨処理する距離は１mm程度では不充分で
あり、５mmまで研磨すれば粘度等の影響なく、筋故障は
発生しなかった。
あり、５mmまで研磨すれば粘度等の影響なく、筋故障は
発生しなかった。
【００３９】実施例３ （塗布液）下層塗布液：アニオン系界面活性剤を塗布液
１リットル当たり0.1g含有し、３重量％のゼラチンを含むハ
ロゲン化銀乳剤を使用し、塗布前に下記即効性硬膜剤を
インラインで添加した。ｗｅｔ厚み：50μm 粘
度:10cp 35℃ 上層塗布液：アニオン系界面活性剤を塗布液１リットル当た
り0.2g含有する５重量％ゼラチン水溶液。
１リットル当たり0.1g含有し、３重量％のゼラチンを含むハ
ロゲン化銀乳剤を使用し、塗布前に下記即効性硬膜剤を
インラインで添加した。ｗｅｔ厚み：50μm 粘
度:10cp 35℃ 上層塗布液：アニオン系界面活性剤を塗布液１リットル当た
り0.2g含有する５重量％ゼラチン水溶液。
【００４０】即効性硬膜剤の使用により、凝集物のでき
易い条件とした。
易い条件とした。
【００４１】
【化２】
【００４２】（塗布条件） 支持体は実施例１と同じ。塗布速度：150m/min ｗｅｔ厚み：40μm 粘度：20cp 35℃ （塗布装置）図１（ｂ）に示す２層用カーテンコーター
を用いた。
を用いた。
【００４３】スリットの一部に図２（ｃ）、（ｄ）、
（ｅ）、（ｆ）に示す切り欠きを有するコーターを用い
た。
（ｅ）、（ｆ）に示す切り欠きを有するコーターを用い
た。
【００４４】これらの切り欠き部Ｌ1を電解研磨により
Ｒａ=0.01μmに処理した。
Ｒａ=0.01μmに処理した。
【００４５】評価方法は実施例１と同じ。結果を下記な
らびに図５に示す。
らびに図５に示す。
【００４６】 この結果から切り欠き部の形状に関係なく筋発生時間は
ほぼ14時間程度まで延長される。
ほぼ14時間程度まで延長される。
【００４７】実施例４ 実施例３と同様の条件で研磨部をさらにスリット内部
(Ｌ2)へ５mm延長した装置を用いて行った。
(Ｌ2)へ５mm延長した装置を用いて行った。
【００４８】実施例３と同様に評価した結果、研磨なし
以外、いずれも70時間以上筋故障は未発生であった。
以外、いずれも70時間以上筋故障は未発生であった。
【００４９】
【発明の効果】本発明により、スリット及び切り欠き部
への凝集物や異物が付着するのを抑制し、長時間にわた
りそれに伴う筋故障を防止できる塗布装置を提供するこ
とができた。
への凝集物や異物が付着するのを抑制し、長時間にわた
りそれに伴う筋故障を防止できる塗布装置を提供するこ
とができた。
【図１】スリットを有する塗布装置の断面図
【図２】スリット部の拡大断面説明図
【図３】スリット表面粗さと筋未発生時間の関係を示す
グラフ
グラフ
【図４】研磨処理長さと筋未発生時間の関係を示すグラ
フ
フ
【図５】切り欠き形状及び研磨処理と筋未発生時間の関
係を示すグラフ
係を示すグラフ
１ ウエブ ２ バックロール ３ 塗布装置 ４ スライド面 ５ ポケット ６ スリット ７ ビード ８ 塗布膜 10 リップ Ｅ 切り欠き部 Ｓ1、Ｓ2、Ｓ3 塗布液 Ａ1、Ａ2 異物あるいは凝集物 Ｌ1、Ｌ2 研磨部長さ
Claims (1)
- 【請求項１】 塗布液供給スリットを有する塗布装置に
おいて、該塗布液供給スリット表面の少なくとも一部が
表面粗さ（中心線表面粗さ）0.1μm以下であることを特
徴とする塗布装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5258394A JPH07108207A (ja) | 1993-10-15 | 1993-10-15 | 塗布装置 |
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