JPH0710806U - 浮動型磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本考案は、簡単な構成により、コイル巻数を少
なくすることなく、インダクタンスを小さくして、高密
度記録が可能であるようにした、浮動型磁気ヘッドを提
供することを目的とする。 【構成】非磁性体から成るスライダ１１と、該スライダ
の端面にて、該スライダの端面に積層された複数の磁性
体層１３と、該磁性体層に対して接合される非磁性体か
ら成るコア１２と、該スライダの磁性体層との間にギャ
ップ１５を構成するように、該コアの上面に成膜された
磁性体膜１４とを含んでいるように、浮動型磁気ヘッド
１０を構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ハードディスクドライブ装置における浮動型磁気ヘッドの構造に関 するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来、ハードディスクドライブ装置用の磁気ヘッドは、例えば図４に示すよう に構成されている。即ち、図４において、磁気ヘッド１は、Ｍｎ−Ｚｎ系フェラ イト等の磁性体から成り且つ二つの浮上面３，４を有するスライダ２と、一方の 浮上面４の一端に配設されたコ字状に形成されたフェライトから成るコア５とを 含んでいる。

【０００３】 上記スライダ２とコア５の対向する面には、それぞれ強磁性合金薄膜６ａ，６ ｂが、スパッタリング，または蒸着法等によって成膜され、ＳｉＯ₂等の非磁性 体のギャップ材を介して、ギャップ７が形成されるように、ガラスによって接合 されている。そして、この強磁性合金薄膜６ａ，６ｂの両側を切削加工すること により、ギャップ７のトラック幅を画成し、ギャップ７の両側を補強用ガラス８ で補強することにより、磁気ヘッド１が構成されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、このように構成された磁気ヘッド１においては、スライダ２及 びコア５がフェライト等の磁性体から形成されているので、コア５にコイルを巻 回して、ヘッドを構成した場合に、スライダ２が一つの磁気回路を構成すること になり、インダクタンスＬが大きな値になってしまうという問題があった。

【０００５】 このため、コイルの巻数を少なくすることにより、インダクタンスＬは小さく され得るが、この場合、コイルの巻数が少なくなるので、高密度記録が困難にな ってしまうという問題があった。

【０００６】 また、強磁性合金薄膜６ａ，６ｂの接合により形成したギャップ７に対して、 トラック幅を規制するための切削によるトラック加工が必要であることから、製 造構成が複雑になると共に、高い加工精度が必要であるため、生産性が低いとい う問題があった。

【０００７】 さらに、ヘッド形状のディプス部は、機械加工によって形成されるため、ディ プス部が比較的厚くなってしまい、急峻な磁界が得られず、上述したインダクタ ンスＬが大きいという点とあいまって、高密度記録に対応することが困難である という問題もあった。

【０００８】 これに対して、図５に示すような、所謂薄膜ヘッド５ａも知られている。即ち 図５（Ａ）において、薄膜ヘッド５ａは、スライダ２の端面に、薄膜により形成 されたコイル素子９を配設して、コイル素子９の端子部９ａから、該コイル素子 ９中に発生する電気信号を取り出すようにしたものである。

【０００９】 該コイル素子９は、図５（Ｂ）に示すように、下部磁極９ｂ上に絶縁層９ｃ， コイル９ｄ，絶縁層９ｅを順次に形成した後、最後にその上から上部磁極９ｆを 形成することにより構成されている。

【００１０】 このような構成の薄膜ヘッド５ａによれば、高密度記録が可能であるが、薄膜 によるコイル素子９を構成するために、多数のフォトリソグラフィ，エッチング 等の工程が必要であり、コストが高くなってしまうという問題があった。

【００１１】 本考案は、以上の点に鑑み、簡単な構成により、コイル巻数を少なくすること なく、インダクタンスを小さくして、高密度記録が可能であるようにした、浮動 型磁気ヘッドを提供することを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】 上記目的は、本考案によれば、非磁性体から成るスライダと、該スライダの端 面にて、該スライダの端面に積層された複数の磁性体層と、該磁性体層に対して 接合される非磁性体から成るコアと、該スライダの磁性体層との間にギャップを 構成するように、該コアの上面に成膜された磁性体膜とを含んでいることを特徴 とする、浮動型磁気ヘッドにより、達成される。

【００１３】

【作用】

上記構成によれば、スライダ自体は、非磁性体から形成されているので、磁気 回路を構成するようなことはなく、従って、コイル巻数を少なくすることなく、 インダクタンスＬが小さくされ得る。

【００１４】 また、ギャップは、スライダの端面に積層された複数の磁性体層と、コアの上 面に成膜された磁性体膜との間に画成されることから、ヘッド形状のディプス部 が、上記磁性体膜の膜厚によって形成されることになる。

【００１５】 而も、該磁性体膜は、スパッタリング等によって形成され得るので、上記ディ プス部は、非常に低く構成され得ることになり、急峻な磁界が得られる。

【００１６】 これにより、簡単な構成によって、インダクタンスＬが低くなると共に、高密 度記録が可能となる。

【００１７】

【実施例】

以下、図面に示した実施例に基づいて、本考案を詳細に説明する。 図１は、本考案による浮動型磁気ヘッドの一実施例を示している。即ち図１に おいて、磁気ヘッド１０は、セラミック等の非磁性体から成り且つ二つの浮上面 １１ａ，１１ｂを有するスライダ１１と、一方の浮上面１１ａの一端に配設され たコ字状に形成された、例えば単結晶フェライト等の磁性体から成るコア１２と を含んでいる。

【００１８】 上記スライダ１１とコア１２の互いに対向する領域においては、該スライダ１ １の端面に、高μ材から成る厚さ１０μｍ以下の複数の磁性体層１３が、スパッ タリング，蒸着法等により、積層せしめられており、他方、コア１２の表面には 、高Ｂｓ（飽和磁束密度）材から成る磁性体膜１４が、例えばスパッタリング法 等によって、成膜されている。ここで、上記磁性体層１３と磁性体膜１４とは、 ＳｉＯ２等の非磁性体のギャップ材を介して、ギャップ１５が形成されるように 、ガラス１６によって接合されている。

【００１９】 ここで、上記磁性体層１３及び磁性体膜１４の両側には、それぞれ切欠部１７ ，１８が設けられている。即ち、磁性体層１３の両側には、図３（Ａ）に示すよ うに、切欠部１７が設けられている。また、磁性体膜１４の両側には、図３（Ｂ ）に示すように、エッチング等により、切欠部１４が設けられている。このよう に形成された切欠部１７，１８が、ギャップ１５のトラック幅を画成すると共に 、該切欠部１７，１８内に、ガラス１９，２０を封入して補強することにより、 磁気ヘッド１０が構成されている。

【００２０】 本考案実施例による磁気ヘッド１０は、以上のように構成されており、その磁 気回路は、磁性体層１３及び磁性体膜１４のみによって形成されている。

【００２１】 従って、コア１２に巻回されるコイルから発生するインダクタンスＬが、コイ ル巻数を少なくすることなく、小さくされ得る。

【００２２】 また、ヘッドとなるべきギャップ１５のトラック幅は、コア１２の磁性体膜１ ４の膜厚を適宜に制御することにより、容易に調整され得ることになる。

【００２３】 さらに、ヘッド形状のディプス部を構成する磁性体膜１４の膜厚は、スパッタ リング等によって、非常に小さく形成され得ることから、低ディプス化が容易に 行なわれることになり、急峻な磁界が得られることになる。

【００２４】 かくして、高密度記録を行なうことが可能となる。

【００２５】

【考案の効果】

以上述べたように、本考案によれば、下部絶縁層及び下部磁性層の上面の平坦 加工が、容易に且つ低コストで、サブミクロンオーダーで定量的に制御され得る 、極めて優れた薄膜磁気ヘッドの製造方法が提供され得ることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案による浮動型磁気ヘッドの一実施例を示
す概略斜視図である。

【図２】図１の磁気ヘッドの要部の拡大断面図である。

【図３】図１の磁気ヘッドの接合領域を示し、（Ａ）は
スライダ側、及び（Ｂ）はコア側のそれぞれ拡大斜視図
である。

【図４】従来の浮動型磁気ヘッドの一例を示す概略斜視
図である。

【図５】従来の薄膜ヘッドの一例を示し、（Ａ）は概略
斜視図、及び（Ｂ）はコイル素子の断面図である。

【符号の説明】

１０ 浮動型磁気ヘッド １１ スライダ １１ａ，１１ｂ 浮上面 １２ コア １３ 磁性体層 １４ 磁性体膜 １５ ギャップ １６，１９，２０ ガラス １７，１８ 切欠部

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 // Ｇ１１Ｂ 5/60 Ｚ 9197−5Ｄ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性体から成るスライダと、該スライ
   ダの端面にて、該スライダの端面に積層された複数の磁
   性体層と、該磁性体層に対して接合される非磁性体から
   成るコアと、該スライダの磁性体層との間にギャップを
   構成するように、該コアの上面に成膜された磁性体膜と
   を含んでいることを特徴とする、浮動型磁気ヘッド。