JPH0573706U - 磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 メタル磁性膜の金属磁性薄膜の成長方向を安
定化させる。 【構成】 非磁性体からなる一対のハーフコアがそれぞ
れ接合されている側面部には、溝部が形成され、この溝
部はハーフコアの側面に平行な底面と、２つの内側面か
らなり、前記内側面の一方は傾斜状態で媒体対向面に露
出されて磁気ギャップが形成され、他方は底面に対して
溝内部側に１５度から７５度の傾斜角度を有してなり、
一対の前記ハーフコアの内面を囲んで媒体対向面に露出
し媒体対向面において磁気ギャップを形成するメタル磁
性膜が形成されてなる磁気ヘッド。 【効果】 高周波対応を容易にし、磁気記録特性の向上
を図る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、磁気回路の小型化をなし得るとともに高周波対応性を高めた新規な 構造の磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】

磁気テープに磁気記録される信号が高密度化されてくるに従い、高い残留磁束 密度を有する優れた磁性層を備えたメタルテープなどの磁気テープが使用されて きている。このメタルテープなどの高い抗磁力を有する磁気テープに適用される 磁気ヘッドは、その磁気ギャップにより発生される磁界強度を高くする必要があ る。また、記録される信号の高密度化に伴い、磁気ヘッドのトラック幅をより狭 くする必要がある。

【０００３】 従来、このような要求を満たすために提供されている磁気ヘッドの一従来例と して、図１４に示す構造の磁気ヘッドＡが知られている。 この磁気ヘッドＡは、磁気コア半体１、１をガラスなどの接合材で溶着一体化 してなるもので、各磁気コア半体１は、メタル磁性膜２を非磁性体からなる板状 のサイドコア半体３、３で挟んで一体化されている。前記メタル磁性膜２は、ス パッタなどの成膜法により高透磁率合金の金属磁性膜を積層してなるもので、メ タル磁性膜２の膜厚はトラック幅に等しい値にされている。なお、前記磁気ヘッ ドＡの媒体対向面４は、磁気テープに摺動する際の抵抗などを考慮して曲面状に 研摩されている。

【０００４】 また、媒体対向面４において、メタル磁性膜２、２が接合された部分には、非 磁性体からなるギャップ層が介在されて磁気ギャップが形成されるとともに、磁 気コア半体１、１が接合された部分において、一方の磁気コア半体１の側部には 、巻線窓６が形成されている。

【０００５】 一方、前記要求を満たすために提供されている磁気ヘッドの他の従来例として 、図１５と図１６に示す構造の磁気ヘッドＢが知られている。 この磁気ヘッドＢは、一対のフェライト製の磁気コア半体１１、１１の側部に 凸部１１ａを形成し、凸部１１ａを覆うように金属磁性薄膜と層間絶縁層からな るメタル磁性膜１４とギャップ層１３を形成し、磁気コア半体１１、１１をギャ ップ層１３を介して凸部１１ａどうしで突き合わせ、磁気コア半体１１、１１を ガラス層１５、１５で接合してなる構造であり、ＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ Ｉｎ Ｇ ａｐ）型と称されている磁気ヘッドである。

【０００６】 このＭＩＧヘッド型の磁気ヘッドＢは、メタル磁性膜１４を用いていない構造 のフェライトヘッドに比較すると、磁気ギャップから発生される磁界を強く急峻 なものとすることができるので、磁気記録の高密度化に対応することができる優 れたものであり、ＶＴＲの映像記録用の磁気ヘッド、あるいは、デジタルテープ レコーダー用の磁気ヘッドなどとして広く使用されている。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

図１４に示す従来の磁気ヘッドＡにあっては、製造時において、磁気コア半体 １、１をガラスなどの接合材で接合する工程の他に、サイドコア半体３、３およ びメタル磁性膜２を一体化するためにこれらを接着剤などで接合する工程を行な わなくてはならず、製造工程が煩雑化する問題があった。 また、一般に磁気ヘッドを高周波対応とするためには、磁気回路を小型化する 必要があるが、図１４に示す構成の磁気ヘッドＡにあっては、メタル磁性膜２が サイドコア半体３、３の一面全部に形成されているのでこれ以上磁気回路を小型 化できない問題がある。

【０００８】 一方、図１５と図１６に示す従来の磁気ヘッドＢにあっては、フェライト製の 磁気コア半体１１を用いているがために、フェライト材自体の磁気特性の限界が メタル磁性膜１４の磁気特性を抑制するので高周波対応には限界があり、また、 磁気コアの大半がフェライト材で占められているため、磁気ヘッドのインダクタ ンスを小さくできない問題がある。

【０００９】 そこで、上記問題の解決を図った図１１及び図１３に示す磁気ヘッドが、本願 発明者らによって、平成４年２月２６日に出願されている。 図１１ないし図１３に示す磁気ヘッドＣは、左右一対の磁気コア半体１２０、 １２０をそれらの側面部においてガラス部１２１、１２８により一体に接合して なるもので、磁気コア半体１２０、１２０の図１における上面側が媒体対向面 １２２とされている。 前記磁気コア半体１２０は、結晶化ガラスあるいはセラミックスなどの非磁性 体からなる略長方形板状のハーフコア１２３と、このハーフコア１２３の側部側 に形成されたメタル磁性膜１２４とを主体として構成されている。

【００１０】 前記ハーフコア１２３がそれぞれ接合されている側面部には、溝部１２５が形 成され、この溝部１２５は、ハーフコア１２３の側面に平行な底面１２５ａとこ の底面に対して傾斜された内側面１２５ｂ、１２５ｂとからなり、２つの内側面 １２５ｂのうちの一方は、傾斜状態で媒体対向面１２２に到達されている。

【００１１】 前記溝部１２５の底面１２５ａ上と内側面１２５ｂ上には、高透磁率で飽和磁 束密度の高い軟磁性合金薄膜などからなる複数の金属磁性薄膜１２４ａが、個々 に層間絶縁層１２４ｂを介して積層され、金属磁性薄膜１２４ａ…と層間絶縁層 １２４ｂ…とによってメタル磁性膜１２４が形成されている。前記金属磁性薄膜 １２４ａを形成する軟磁性材料は、飽和磁束密度が１００００Ｇ以上のＦｅ- Ａｌ-Ｓｉ系合金、Ｆｅ-Ｔａ-Ｃ系などの軟磁性合金、アモルファス合金など、 通常知られているフェライトよりも飽和磁束密度の高い軟磁性材料を適宜用いれ ば良い。

【００１２】 また、磁気コア半体１２０のメタル磁性膜１２４において、ハーフコア１２３ に最も近い金属磁性薄膜１２４ａは、媒体対向面１２２に露出され、図１１に示 すように一対の磁気コア半体１２３、１２３のメタル磁性膜１２４、１２４の間 には、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃、ＣｒＳｉＯ₂などの非磁性層からなるギャップ層１２ ７が形成され、媒体対向面１２２側に磁気ギャップＧが形成されている。 また、ハーフコア１２３、１２３が一体化されて、ハーフコア１２３、１２３ の接合部には６角形状の巻線窓１２６が形成されている。

【００１３】 一方、図１２に示すように、ハーフコア１２３、１２３の接合部における厚さ 方向両端部には、ハーフコア１２３、１２３の端部側を切り欠いて形成した接合 溝１２３ａが形成されていて、この接合溝１２３ａにもガラスが充填されてガラ ス部１２８が形成されている。また、前記接合溝１２３ａ、１２３ａの間であっ て、ハーフコア１２３の側面部には、接合溝１２３ａ、１２３ａに挟まれた凸部 １２３ｂが形成され、各ハーフコア１２３の凸部１２３ｂと前記金属磁性薄膜 １２４ａで図３に示すようにギャップ層１２７を挟んで磁気ギャップＧが形成さ れている。

【００１４】 なお、図１１に示す磁気ヘッドＣの両側部には、前記巻線窓１２６に対応する 高さ位置に巻線溝１２９が形成され、一方の巻線溝１２９と巻線窓１２６の一端 部側を介して巻線コイルが設けられるように、また、他方の巻線溝１２９と巻線 窓１２６の他端部側を介して巻線コイルが設けられるようになっている。

【００１５】 前記構造の磁気ヘッドＣにあっては、ギャップ深さＧｄを３〜３０μｍ程度、 層間絶縁層１２４ｂの厚さを０.０１〜０.１μｍ程度、金属磁性薄膜１２４ａの 厚さを５〜１０μｍ程度、ギャップ層の厚さを０.１〜０.５μｍ程度とすること ができる。

【００１６】 前記構成の磁気ヘッドＣは、従来の磁気ヘッドと同様に、磁気テープなどの磁 気記録媒体に対する磁気記録と再生を行なうために使用する。それには、前記磁 気ヘッドＣに設けた巻線コイルに通電して磁気ギャップＧの外方に磁束の勾配を 形成してこれにより磁気記録媒体の所用の箇所の磁化を行なえば良い。 この場合、高透磁率で飽和磁束密度の高い金属磁性薄膜１２４ａが磁気ギャッ プＧの外方に急峻な磁界を生成させるので、抗磁力の高い磁性層を備えた磁気記 録媒体であっても余裕をもって磁気記録を行なうことができ、磁気記録の高密度 化に対応することができる。また、フェライト部分と金属磁性薄膜を用いた従来 のＭＩＧ型の磁気ヘッドに比較すると、フェライト部分が無いだけ高周波磁気記 録に有利である。

【００１７】 また、溝部１２４に沿って形成されたメタル磁性膜１２４、１２４が巻線窓 １２６の周囲を囲むような環状の磁気回路を形成するので、図１４に示す従来構 造の磁気ヘッドＡ、あるいは、図１５と図１６に示す従来構造のＭＩＧ型の磁気 ヘッドＢと比較して磁気回路を小型化することができる。従って従来の磁気ヘッ ドよりも高周波対応に有利な特徴があり、磁気回路の小型化により磁気記録媒体 に記録された磁気情報を読み取り易くなり再生時の効率も向上させることができ る。 更に、磁気ギャップＧに向けてメタル磁性膜１２４、１２４が傾斜しつつ接近 しているので、磁気ギャップＧでの磁界発生に有利な形状になっている。

【００１８】 このように上述した磁気ヘッドＣは、前記従来の磁気ヘッドＡ及び磁気ヘッド Ｂにおける問題点を解消し、磁気コア半体を非磁性体で構成し、巻線窓の周囲部 分にメタル磁性膜を環状に配置して磁気回路を構成することで、磁気回路を小型 化して高周波対応を容易にした磁気ヘッドを提供することに成功したが、上記磁 気ヘッドＣにおいても以下のような問題点を有する。

【００１９】 上述した図１１及び図１３に示す磁気ヘッドＣを構成するハーフコア１２３の 溝部１２５においては、金属磁性薄膜１２４ａがスパッタリング等によって被着 形成された場合の、金属磁性薄膜１２４ａの膜構造すなわち、その成長方向が、 溝部１２５の底部１２５ａと内側部１２５ｂ、１２５ｂにおいて、特には前記底 部１２５ａと内側部１２５ｂ、１２５ｂの折曲部αにおいて異ったものとなる。 従って、前記底部１２５ａ及び内側部１２５ｂ、１２５ｂ、そして特に、前記底 部１２５ａと内側部１２５ｂ、１２５ｂの折曲部αにおいて、透磁率が異なると いった不具合が生じる。

【００２０】 上記のような問題は、前記磁気ヘッドＣの溝部１２５上に形成される金属磁性 薄膜１２４ａが、真空薄膜形成技術によって形成されるため、この金属磁性薄膜 １２４ａが下地の影響等を受け、前記溝部１２５を構成する底部１２５ａ、内側 面１２５ｂ、１２５ｂの傾きに応じて、前記金属磁性薄膜１２４ａの成長方向が 一定に形成されず、結果的に膜の透磁率の低下をもたらすと考えられる。

【００２１】 よって、前記金属磁性薄膜１２４ａの透磁率や異方性は膜構造によってその特 性が敏感に左右されるため、磁気ヘッド特には記録再生用の磁気ヘッドを構成す る磁性膜は、構造的に均一なものであることが望ましいといえる。

【００２２】 そこで、本考案は上記事情に鑑みてなされたものであり、一対のハーフコアを を非磁性体で構成し、巻線窓の周囲部分にメタル磁性膜を環状に配置して磁気回 路を構成してなる磁気ヘッドにおいて、前記ハーフコアがそれぞれ接合されてい る側面部には、溝部が形成され、この溝部はハーフコアの側面に平行な底面とこ の底面に対して傾斜された内側面とからなり、２つの内側面のうちの一方は、傾 斜状態で媒体対向面に到達され、他方は、前記底面に対して溝内部側に１５度か ら７５度の傾斜角度を有してなり、一対の前記ハーフコアの溝部により巻線窓が 形成されるとともに、前記溝部の内面に前記巻線窓を囲んで媒体対向面に露出し 媒体対向面において磁気ギャップを形成するメタル磁性膜が形成されてなること 、により成膜される前記メタル磁性膜の金属磁性薄膜の成長方向を安定化させ、 その磁気特性の向上を図り、磁気ヘッドの磁気回路を小型化しつつ、高周波対応 を容易にして、磁気記録特性の向上を図った磁気ヘッドの提供を目的とする。

【００２３】

【課題を解決するための手段】

本考案による磁気ヘッドは、上記課題を解決するために、非磁性体からなる一 対のハーフコアが、それらの側部に形成されたメタル磁性膜をギャップ層を介し て突き合わせメタル磁性膜どうしの間に磁気ギャップを形成して一体化されてな り、前記ハーフコアの側面に隣接するハーフコアの一面が、媒体対向面にされて なる磁気ヘッドにおいて、前記ハーフコアがそれぞれ接合されている側面部には 、溝部が形成され、この溝部はハーフコアの側面に平行な底面とこの底面に対し て傾斜された内側面とからなり、２つの内側面のうちの一方は、傾斜状態で媒体 対向面に到達され、他方は、前記底面に対して溝内部側に１５度から７５度の傾 斜角度を有してなり、一対の前記ハーフコアの溝部により巻線窓が形成されると ともに、前記溝部の内面に前記巻線窓を囲んで媒体対向面に露出し媒体対向面に おいて磁気ギャップを形成するメタル磁性膜が形成されてなることを特徴とする ものである。

【００２４】

【作用】

非磁性体のハーフコアの接合部に形成された巻き線窓を囲むようにメタル磁性 膜による環状の磁気回路が形成されているので、磁気回路が従来構造よりも小さ くなる。また、この小型化した磁気回路により記録再生ができるので、高周波に 対応した記録再生特性が得られる。更に、メタル磁性膜のみで記録再生ができる ので、フェライト部分の存在により高周波対応に限界を生じていた従来のＭＩＧ 型の磁気ヘッドよりも有利になる。

【００２５】 そして更に、本考案による磁気ヘッドにおいては、前記巻線窓のを形成するハ ーフコアにおいて、前記ハーフコアのそれぞれ接合されている側面部に、溝部が 形成され、この溝部はハーフコアの側面に平行な底面とこの底面に対して傾斜さ れた内側面とからなり、２つの内側面のうちの一方は、傾斜状態で媒体対向面に 到達され、他方は、前記底面に対して溝内部側に１５度から７５度の傾斜角度を 有してなり、一対の前記ハーフコアの溝部により巻線窓が形成されるとともに、 前記溝部の内面に前記巻線窓を囲んで媒体対向面に露出し媒体対向面において磁 気ギャップを形成するメタル磁性膜が形成されてなることにより、成膜される前 記メタル磁性膜の金属磁性薄膜の成長方向を安定化させ、その磁気特性の向上を 図ることにより、磁気ヘッドの磁気記録特性の向上を図ることができる。

【００２６】

【実施例】

以下、図面を参照して本考案の実施例について説明する。 図１は、本考案に係わる磁気ヘッドの断面構造を示す図であり、この実施例の 磁気ヘッドＤは、左右一対の磁気コア半体２０、２０をそれらの側面部において ガラス部２１、２８により一体に接合してなるもので、磁気コア半体２０、２０ の図１における上面側が媒体対向面２２とされている。 前記磁気コア半体２０は、結晶化ガラスあるいはセラミックスなどの非磁性体 からなる略長方形板状のハーフコア２３と、このハーフコア２３の側部側に形成 されたメタル磁性膜２４とを主体として構成されている。

【００２７】 前記ハーフコア２３がそれぞれ接合されている側面部には、溝部２５が形成さ れ、この溝部２５は、ハーフコア２３の側面に平行な底面２５ａとこの底面に対 して傾斜された内側面２５ｂ、２５ｃとからなり、２つの内側面２５ｂ、２５ｃ のうちの一方２５ｃは、傾斜状態で媒体対向面２２に露出され磁気ギャップを形 成している。そして、他方は、前記底面に対して溝内部側に１５度から７５度の 傾斜角度を有する。

【００２８】 前記溝部２５の底面２５ａと内側面２５ｂ、２５ｃ上には、高透磁率で飽和磁 束密度の高い軟磁性合金薄膜などからなる複数の金属磁性薄膜２４ａが、個々に 層間絶縁層２４ｂを介して積層され、金属磁性薄膜と層間絶縁層とによってメタ ル磁性膜２４が形成されている。前記金属磁性薄膜２４ａを形成する軟磁性材料 は、飽和磁束密度が１００００Ｇ以上のＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金、Ｆｅ−Ｔａ− Ｃ系などの軟磁性合金、アモルファス合金など、通常知られているフェライトよ りも、飽和磁束密度の高い軟磁性材料を適宜用いれば良い。

【００２９】 また、磁気コア半体２０のメタル磁性膜２４において、ハーフコア２３に最も 近い金属磁性薄膜２４ａは、媒体対向面２２に露出され、図１に示すように一対 の磁気コア半体２３、２３のメタル磁性膜２４、２４の間には、ＳｉＯ₂、Ａｌ₂ Ｏ₃、ＣｒＳｉＯ₂などの非磁性層からなるギャップ層２７が形成され、媒体対向 面２２側に磁気ギャップＧが形成されている。 また、ハーフコア２３、２３が一体化されて、ハーフコア２３、２３の接合部 には６角形状の巻線窓２６が形成されている。

【００３０】 一方、図２に示すようにハーフコア２３、２３の接合部における厚さ方向両端 部には、ハーフコア２３、２３の端部側を切り欠いて形成した接合溝２３ａが形 成されていて、この接合溝２３ａにもガラスが充填されてガラス部２８が形成さ れている。また、前記接合溝２３ａ、２３ａに挟まれた凸部２３ｂが形成され、 各ハーフコア２３の凸部２３ｂと前記金属磁性膜２４ａで図２に示すようにギャ ップ層２７を挟んで磁気ギャップＧが形成されている。

【００３１】 なお、図１に示す磁気ヘッドの両側部には、前記巻線窓２６に対応する高さ位 置に、巻線溝２９が形成され、一方の巻線溝２９と巻線窓２６の一端部側を介し て巻線コイルが設けられるように、また、巻線溝２９と巻線窓２６の他端部側を 介して巻線コイルが設けられるようになっている。

【００３２】 前記構造の磁気ヘッドＣにあっては、ギャップ深さＧｄを３〜３０μm程度、 層間絶縁層２４ｂの厚さを０．０１〜０．１μm程度、金属磁性膜２４ａの厚さ を５〜１０μm程度、ギャップ層の厚さを０．１〜０．５μm程度とすることがで きる。

【００３３】 次に、図１に示す磁気ヘッドＤの製造方法の一例について説明する。 磁気ヘッドＤを製造するには、まず、結晶化ガラスあるいはセラミックスなど の非磁性体からなる図３に示すような平面長方形状の板状のブロック４０を用い 、このブロック４０の上面にその長さ方向に沿って、砥石などを用いて研削加工 を施して図４あるいは図５に示すような溝部４１を形成する。この溝部４１は、 ブロック４０の上面に対して平行に形成した底面４１ａと、この底面４１ａの両 側に底面４１ａに対して斜めに形成した内側面４１ｂとからなるものであり、前 記２つの内側面４１ｂ、４１ｃのうちの一方４１ｂは、傾斜状態で媒体対向面に 露出され磁気ギャップが形成されるものであり、他方の４１ｃは、前記底面に対 して溝内部側に１５度から７５度の傾斜角度を有するように形成されている。

【００３４】 次いで、図６に示すように、ブロック４０の上面４０ａに、正面から見て輪郭 が半楕円型になるような凸部４２を複数、所定間隔に形成し、凹部４２、４２の 間には凸部４３を形成する。 続いて、図７に示すようにブロック４０の上面全部に金属磁性膜４５を複数、 層絶絶縁層とともに交互に積層し、次に図に示すように溝部４１の外部の金属磁 性薄膜４５を研摩加工などにより取り除く。これによりブロック４０の溝部４１ には、メタル磁性膜４５’が形成される。

【００３５】 図８に示す状態のブロック４０を一対形成したならば、図９に示すようにメタ ル磁性膜４５’、４５’どうしを位置合わしてブロック４０、４０をガラス部 ４２、４３により接合する。この接合には、接合用のガラスを溶融してブロック ４０、４０の凹凸部に流し込むことによって行なえば良い。

【００３６】 次に、図９に示す状態に接合したブロック４０、４０の上面を砥石などを用い て研摩加工してゆくと、ブロック４０、４０の内部側に隠れていたメタル磁性膜 ４５’が露出してくるので、トラック幅に対応するように所定幅露出したところ で研摩加工を停止する。この際に、研摩加工を更に続行すれば、媒体対向面２２ に露出する金属磁性薄膜２４ａの幅が増加するので、所望のトラック幅に合わせ ることが容易にできる。 また、ブロック４０、４０を図９に示す鎖線に沿って切断することで、図１に 示す構造の磁気ヘッドＣをブロック４０、４０から多数同時に製造することがで きる。

【００３７】 以上説明した方法を実施して磁気ヘッドＤを製造することで、２つのブロック から多数の磁気ヘッドを同時に製造することができる。また、本考案における磁 気ヘッドを製造する上記の方法によれば、図１５及び図１６を基に、先に説明し たＭＩＧ型の磁気ヘッドＢと同様に、ブロックの切出加工工程と金属磁性薄膜の 形成工程とガラス溶着工程と切断工程を行なうことで磁気ヘッドＤを大量に製造 できるので、従来と同様の製造設備で同様の手順で磁気ヘッドＤを製造すること ができる。従って、新規な構造の高性能の磁気ヘッドＤを従来の磁気ヘッドＢ用 の製造設備で製造することができる。 なお、本考案における磁気ヘッドを製造する上記の方法では、ガラスにより溶 着する工程が一度で済むので溶着工程を２回以上必要とする図１４に示す構造の 磁気ヘッドＡよりも溶着工程が少なくなり、製造しやすくなるので低コストで製 造できるようになる。

【００３８】 （試験例） そこで、上述した磁気ヘッドにおいて、以下のような試験を行なった。 前記磁気ヘッドにおけるハーフコアに形成された溝部の２つの内側面２５ｂ、 ２５ｃは、一方２５ｂが媒体対向面２２に到達され、他方２５ｃは前記底面２５ ａに対して、溝内側部にθの傾斜角度を有しており、これら一対のハーフコアの 溝部により巻線窓が形成されるとともに、前記溝部の内面に前記巻線窓を囲んで 媒体対向面に露出し媒体対向面において磁気ギャップを形成するメタル磁性膜が 形成されて磁気ヘッドが構成される。そこで、前記内側面２５ｃのθの角度を変 化させて、被膜された金属磁性薄膜２４ａの透磁率を測定した。その結果を図 １０に示す。

【００３９】 また、ここで使用した磁気ヘッドの緒言は以下の通りである。 金属磁性薄膜の膜厚 ：３０μm トラック幅 ：２０μm ギャップ深さ ：２０μm ギャップ長 ：０．２５μm

【００４０】 図１０に示されているように、前記ハーフコア２３の溝を形成する内側面２５ ｃの傾き角度θは、θが小さくなるほど透磁率μが大きくなり、磁気ヘッドＤの 磁気特性は良くなることが判るが、θを小さくするとコイルを巻くための巻線窓 ２６の穴幅が細くなってしまい、製造上の都合において前記巻線窓の穴幅を最低 でも０．３５ｍｍを保つように磁気ヘッドを製造すると、必然的に前記巻線窓の 穴の縦方向の長さを長くする必要がある。しかし、前記巻線窓の縦方向の穴幅を 長くすると磁路長Ｌが長くなり、磁気コアの磁気抵抗Ｒ∝Ｌ／μＳ（Ｌは磁路長 、μは透磁率、Ｓは断面積）が大きくなるため、磁気ヘッドＤの性能が劣化して しまうといった不具合が生じる。従って、前記磁気ヘッドＤの内側面２５ｃの傾 斜角度θは、少なくともθ＝１５度以上、好ましくは３０度以上とすることが望 ましい。

【００４１】 そして、前記θは大きくなりすぎるとμは小さくなってしまい、さらに、前記 θの角度が大きくなればなるほど、ハーフコア２３の溝部２５内面に被膜される 金属磁性薄膜２４の付きまわりが悪くなる（膜厚が薄くなる）。よって、前記θ ＝７５度以下、好ましくは６０度以下とすることが望ましい。

【００４２】 又、前記構成の磁気ヘッドＣは、従来の磁気ヘッドと同様に、磁気テープなど の磁気記録媒体に対する磁気記録と再生を行なうために使用する。それには、前 記磁気ヘッドＣに設けた巻線コイルに通電して磁気ギャップＧの外方に磁束の勾 配を形成して、これにより磁気記録媒体の所用の箇所の磁化を行なえば良い。 この場合、高透磁率で飽和磁束密度の高い金属磁性膜２４ａが磁気ギャップＧ の外方に急峻な磁界を発生させるので、抗磁力の高い磁性層を備えた磁気記録媒 体であっても余裕をもって磁気記録を行なうことができ、磁気記録の高密度化に 対応することができる。また、フェライト部分と金属磁性薄膜を用いた従来のＭ ＩＧ型の磁気ヘッドに比較すると、フェライト部分が無いだけ高周波磁気記録に 有利である。

【００４３】 また、溝部２４に沿って形成されたメタル磁性膜２４、２４が巻線窓２６の周 囲を囲むような環状の磁気回路を形成するので、図１４に示す従来構造の磁気ヘ ッドＡあるいは、図１５と図１６に示す従来構造のＭＩＧ型の磁気ヘッドＢと比 較して、磁気回路を小型化することができる。従って、従来の磁気ヘッドよりも 高周波対応に有利な特徴があり、磁気回路の小型化により磁気記録体に記録され た磁気情報を読み取り易くなり再生時の効率も向上させることができる。 更に、磁気ギャップＧに向けてメタル磁性膜２４、２４が傾斜しつつ接近して いるので、磁気ギャップＧでの磁界発生に有利な形状になっている。

【００４４】 さらに、本考案による磁気ヘッドは、上記前記巻線窓を形成するハーフコア ２３が、それぞれ接合されている側面部には、溝部２５が形成され、この溝部 ２５はハーフコア２３の側面に平行な底面２５ａと、この底面２５ａに対して傾 斜された内側面２５ｂ、２５ｃとからなり、２つの内側面２５ｂ、２５ｃのうち の一方２５ｂは、傾斜状態で媒体対向面に到達され、他方２５ｃは、前記底面２ ５ａに対して溝内部側に１５度から７５度の傾斜角度を有してなり、一対の前記 ハーフコアの溝部により巻線窓が形成されるとともに、前記溝部の内面に前記巻 線窓を囲んで媒体対向面に露出し媒体対向面において磁気ギャップを形成するメ タル磁性膜が形成されてなることにより、成膜される前記メタル磁性膜２４の金 属磁性薄膜２４ａの膜の成長方向を一定化し、膜構造を安定化させて、前記金属 磁性薄膜の磁気特性の向上を図ることにより、磁気ヘッドの磁気記録特性の向上 を図ることが可能である。

【００４５】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案による磁気ヘッドは、非磁性体のハーフコアの接 合部に形成された巻き線窓を囲むようにメタル磁性膜による環状の磁気回路が形 成されているので、磁気コア半体の側面全部にメタル磁性膜を形成していた従来 構造の磁気ヘッドに比較して磁気回路を形成することができ、磁気ヘッドの小型 化をなし得る。また、この小型化した磁気回路により記録再生ができるので、従 来の磁気ヘッドよりも高周波に対応した記録再生特性が得られる。 更に、メタル磁性膜のみで記録再生ができるので、フェライト部分の存在によ り、高周波対応に限界を生じていた従来のＭＩＧ型の磁気ヘッドよりも有利にな る。

【００４６】 そして更に、本考案による磁気ヘッドにおいては、上記前記巻線窓のを形成す るハーフコアにおいて、前記ハーフコアのそれぞれ接合されている側面部に、溝 部が形成され、この溝部はハーフコアの側面に平行な底面とこの底面に対して傾 斜された内側面とからなり、２つの内側面のうちの一方は、傾斜状態で媒体対向 面に到達され、他方は、前記底面に対して溝内部側に１５度から７５度の傾斜角 度を有してなり、一対の前記ハーフコアの溝部により巻線窓が形成されるととも に、前記溝部の内面に前記巻線窓を囲んで媒体対向面に露出し媒体対向面におい て磁気ギャップを形成するメタル磁性膜が形成されてなるにより、成膜される前 記メタル磁性膜の金属磁性薄膜の成長方向を安定化させ、その磁気特性の向上を 図ることにより、磁気ヘッドの磁気記録特性の向上を図ることが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本考案による磁気ヘッドを示す斜視図
である。

【図２】図２は、図１の磁気ヘッドの正面図である。

【図３】図３は、本考案の磁気ヘッドを製造する時に使
用する非磁性体ブロックの斜視図である。

【図４】図４は、図３に示すブルックに巻線溝を形成し
た状態を示す側面図である。

【図５】図５は、同巻線溝を形成したブロックを示す斜
視図である。

【図６】図６は、同ブロックにトラック加工施した状態
を示す正面図である。

【図７】図７は、トラック加工後にブロックに金属磁性
薄膜を成膜した状態を示す側面図である。

【図８】図８は、金属磁性薄膜を形成した後のブロック
に研磨加工を施した状態を示す側面図である。

【図９】図９は、研磨加工後のブロックを接合した状態
を示す側面図である。

【図１０】図１０は、図１に示す本考案による磁気ヘッ
ドにおける試験例の結果を示す図である。

【図１１】図１１は、従来例の磁気ヘッドを示す斜視図
である。

【図１２】図１２は、図１１に示す磁気ヘッドの正面図
である。

【図１３】図１３は、図１１に示す磁気ヘッドの要部拡
大図である。

【図１４】図１４は、従来例の磁気ヘッドを示す斜視図
である。

【図１５】図１５は、従来例の磁気ヘッドを示す斜視図
である。

【図１６】図１６は、図１５に示す磁気ヘッドの正面図
である。

【符号の説明】

Ｄ 磁気ヘッド Ｇ ギャップ ２０ 磁気コア半体 ２１ ガラス部 ２２ 媒体対向面 ２３ ハーフコア ２４ メタル磁性膜 ２４ａ 金属磁性薄膜 ２５ 溝部 ２５ａ 底面 ２５ｂ 内側面 ２５ｃ 内側面 ２６ 巻線窓 ２７ ギャップ層 ３０ 金属磁性薄膜

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【手続補正書】

【提出日】平成４年６月４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１０

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１０】

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性体からなる一対のハーフコアが、
   それらの側部に形成されたメタル磁性膜をギャップ層を
   介して突き合わせメタル磁性膜どうしの間に磁気ギャッ
   プを形成して一体化されてなり、前記ハーフコアの側面
   に隣接するハーフコアの一面が、媒体対向面にされてな
   る磁気ヘッドにおいて、 前記ハーフコアがそれぞれ接合されている側面部には、
   溝部が形成され、この溝部はハーフコアの側面に平行な
   底面と、この底面に対して傾斜された内側面とからな
   り、２つの内側面のうちの一方は、傾斜状態で媒体対向
   面に到達され、他方は、前記底面に対して溝内部側に１
   ５度から７５度の傾斜角度を有してなり、一対の前記ハ
   ーフコアの溝部により巻線窓が形成されるとともに、前
   記溝部の内面に前記巻線窓を囲んで媒体対向面に露出し
   媒体対向面において磁気ギャップを形成するメタル磁性
   膜が形成されてなることを特徴とする磁気ヘッド。