JPH0773628A - 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッドスライダ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0773628A JPH0773628A JP21646893A JP21646893A JPH0773628A JP H0773628 A JPH0773628 A JP H0773628A JP 21646893 A JP21646893 A JP 21646893A JP 21646893 A JP21646893 A JP 21646893A JP H0773628 A JPH0773628 A JP H0773628A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- air bearing
- magnetic head
- slider
- slider body
- Prior art date
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- Pending
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- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁性材からなり空気ベアリング部及び巻線溝
部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャップス
ペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合された主
ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスライ
ダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補強
ヨークとを備える磁気ヘッドスライダにおいて、浮上特
性が安定するような構成を明らかにする。 【構成】 スライダ本体上からギャップスペーサをまた
いで主ヨーク上に延び、周囲から突出して空気ベアリン
グ部と同じ高さを有するトラック部が形成され、補強ヨ
ークの記録媒体対向面は、空気ベアリング及びトラック
部と同じ高さの面から、ギャップ突き合わせ部の深さ以
上に凹んでいるような構成とする。
部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャップス
ペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合された主
ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスライ
ダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補強
ヨークとを備える磁気ヘッドスライダにおいて、浮上特
性が安定するような構成を明らかにする。 【構成】 スライダ本体上からギャップスペーサをまた
いで主ヨーク上に延び、周囲から突出して空気ベアリン
グ部と同じ高さを有するトラック部が形成され、補強ヨ
ークの記録媒体対向面は、空気ベアリング及びトラック
部と同じ高さの面から、ギャップ突き合わせ部の深さ以
上に凹んでいるような構成とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
憶装置としてのＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。
憶装置としてのＨＤＤ（ハード・ディスク・ドライブ）
等に用いられる磁気ヘッドスライダに関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータの外部記憶装置としてのＨ
ＤＤシステムにおいては記録密度の向上が進められてお
り、それに使用される磁気ヘッドスライダにも、システ
ムの小型化に対応できるような低浮上量での安定走行特
性、高抗磁力の記録媒体に対応できるような優れた記録
再生特性、高周波信号に対応できるような低インダクタ
ンス特性等が要求されるようになってきている。
ＤＤシステムにおいては記録密度の向上が進められてお
り、それに使用される磁気ヘッドスライダにも、システ
ムの小型化に対応できるような低浮上量での安定走行特
性、高抗磁力の記録媒体に対応できるような優れた記録
再生特性、高周波信号に対応できるような低インダクタ
ンス特性等が要求されるようになってきている。
【０００３】このような動向に沿って、特開平２−１５
６４１１号には、図８に示すような磁気ヘッドスライダ
が開示されている。この磁気ヘッドスライダは、磁性材
からなり空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有す
るスライダ本体１０に、ギャップスペーサ４を介して磁
性材からなるヨーク２０が突き合わせ接合され、該ヨ−
クに巻線８が施されて構成される。この磁気ヘッドスラ
イダのギャップスペーサ４の近傍部は、磁性材の記録媒
体対向面が所定のトラック幅となるように切削整形さ
れ、その側面にはガラス５が配されている。
６４１１号には、図８に示すような磁気ヘッドスライダ
が開示されている。この磁気ヘッドスライダは、磁性材
からなり空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有す
るスライダ本体１０に、ギャップスペーサ４を介して磁
性材からなるヨーク２０が突き合わせ接合され、該ヨ−
クに巻線８が施されて構成される。この磁気ヘッドスラ
イダのギャップスペーサ４の近傍部は、磁性材の記録媒
体対向面が所定のトラック幅となるように切削整形さ
れ、その側面にはガラス５が配されている。
【０００４】また、本願出願人は特願平４−１１１４２
３号において、図９に示すような磁気ヘッドスライダを
提案した。この磁気ヘッドスライダは、磁性材からなり
空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有するスライ
ダ本体１０に、ギャップスペーサ４を介して磁性材から
なるヨーク２０が突き合わせ接合され、該ヨ−クの側面
及びそれに続くスライダ本体の切り欠き部には補強用ガ
ラス５６が配され、記録媒体対向面のギャップ近傍に設
けられた凹部６によって、トラック幅が規制されている
ことを特徴とするものである。
３号において、図９に示すような磁気ヘッドスライダを
提案した。この磁気ヘッドスライダは、磁性材からなり
空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有するスライ
ダ本体１０に、ギャップスペーサ４を介して磁性材から
なるヨーク２０が突き合わせ接合され、該ヨ−クの側面
及びそれに続くスライダ本体の切り欠き部には補強用ガ
ラス５６が配され、記録媒体対向面のギャップ近傍に設
けられた凹部６によって、トラック幅が規制されている
ことを特徴とするものである。
【０００５】ここで、補強用ガラス５６は、ギャップ突
き合わせ部におけるスライダ本体とヨークとの接合を補
強するとともに、インダクタンスを小さくするためにヨ
ークの厚さｔを薄くしても該ヨーク部の機械的強度が損
なわれないようにするために、形成されたものである。
き合わせ部におけるスライダ本体とヨークとの接合を補
強するとともに、インダクタンスを小さくするためにヨ
ークの厚さｔを薄くしても該ヨーク部の機械的強度が損
なわれないようにするために、形成されたものである。
【０００６】図９の磁気ヘッドスライダの構成について
さらに詳しく説明するため、該磁気ヘッドスライダの電
磁変換に寄与する主要部（図９のＺ部）を拡大して図１
０に示す。図１０においては、図９の各部と対応する部
分に同一の符号を付けている。
さらに詳しく説明するため、該磁気ヘッドスライダの電
磁変換に寄与する主要部（図９のＺ部）を拡大して図１
０に示す。図１０においては、図９の各部と対応する部
分に同一の符号を付けている。
【０００７】この磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与
する主要部は、高密度磁気記録用の高抗磁力媒体に対応
するため、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物から
なるスライダ本体１０及びヨ−ク２０の主構成部材のギ
ャップ突き合わせ面に、センダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金）等、高飽和磁束密度の強磁性金属薄膜１０２、
２０２が形成されたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）
構造となっている。
する主要部は、高密度磁気記録用の高抗磁力媒体に対応
するため、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物から
なるスライダ本体１０及びヨ−ク２０の主構成部材のギ
ャップ突き合わせ面に、センダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金）等、高飽和磁束密度の強磁性金属薄膜１０２、
２０２が形成されたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）
構造となっている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】図８〜図１０に示した
ような磁気ヘッドスライダは、狭トラック幅、低インダ
クタンスのＨＤＤ用磁気ヘッドスライダとして優れたも
のであるが、以下の点で改善の余地がある。
ような磁気ヘッドスライダは、狭トラック幅、低インダ
クタンスのＨＤＤ用磁気ヘッドスライダとして優れたも
のであるが、以下の点で改善の余地がある。
【０００９】すなわち、該磁気ヘッドスライダの空気ベ
アリング部及びトラック部の記録媒体対向面は、補強用
ガラスとともに研摩されて所定の高さに仕上げられる
が、前記研摩が施されたままの状態でガラスが記録媒体
対向面に露出していると、該ガラスと空気ベアリング部
及びトラック部を構成する磁性材との境界部に、被研摩
性の違いに起因する段差が生じて、浮上特性が不安定に
なることがある。
アリング部及びトラック部の記録媒体対向面は、補強用
ガラスとともに研摩されて所定の高さに仕上げられる
が、前記研摩が施されたままの状態でガラスが記録媒体
対向面に露出していると、該ガラスと空気ベアリング部
及びトラック部を構成する磁性材との境界部に、被研摩
性の違いに起因する段差が生じて、浮上特性が不安定に
なることがある。
【００１０】本発明は、ヨークの側面にガラス等が配さ
れた磁気ヘッドスライダにおいて、浮上特性が安定する
ような構成を明らかにするものである。
れた磁気ヘッドスライダにおいて、浮上特性が安定する
ような構成を明らかにするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明による磁気ヘッド
スライダは、磁性材からなり空気ベアリング部及び巻線
溝部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャップ
スペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合された
主ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスラ
イダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補
強ヨークとを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該磁
気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側には、スライ
ダ本体上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上に
延び、周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さを
有するトラック部が形成され、補強ヨークの記録媒体対
向面は、空気ベアリング及びトラック部と同じ高さの面
から、ギャップ突き合わせ部の深さ以上に凹んでいるこ
とを特徴とするものである。
スライダは、磁性材からなり空気ベアリング部及び巻線
溝部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャップ
スペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合された
主ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスラ
イダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補
強ヨークとを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該磁
気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側には、スライ
ダ本体上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上に
延び、周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さを
有するトラック部が形成され、補強ヨークの記録媒体対
向面は、空気ベアリング及びトラック部と同じ高さの面
から、ギャップ突き合わせ部の深さ以上に凹んでいるこ
とを特徴とするものである。
【００１２】
【作用】上記構成の磁気ヘッドスライダにおける補強ヨ
ークの記録媒体対向面は、空気ベアリング部及びトラッ
ク部の記録媒体対向面から十分に凹んでいるので、該磁
気ヘッドスライダの浮上特性にほとんど寄与せず、該磁
気ヘッドスライダの浮上特性は、ギャップ近傍の小面積
部を除けば単一の材料にて構成される空気ベアリング部
及びトラック部の記録媒体対向面のみの形状、面積等に
よって決まることになり、安定なものとなる。
ークの記録媒体対向面は、空気ベアリング部及びトラッ
ク部の記録媒体対向面から十分に凹んでいるので、該磁
気ヘッドスライダの浮上特性にほとんど寄与せず、該磁
気ヘッドスライダの浮上特性は、ギャップ近傍の小面積
部を除けば単一の材料にて構成される空気ベアリング部
及びトラック部の記録媒体対向面のみの形状、面積等に
よって決まることになり、安定なものとなる。
【００１３】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１４】図１は本発明第１実施例による磁気ヘッド
スライダの斜視図であり、図２はその主要部（図１にお
いて、円Ａにて囲んだ部分）の斜視図である。
スライダの斜視図であり、図２はその主要部（図１にお
いて、円Ａにて囲んだ部分）の斜視図である。
【００１５】この磁気ヘッドスライダは、磁性材からな
り空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有するスラ
イダ本体１と、磁性材からなりギャップスペーサ４を介
してスライダ本体に突き合わせ接合された主ヨーク２
と、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスライダ本体
の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補強ヨーク
３とを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該磁気ヘッ
ドスライダの記録媒体との対向面側には、スライダ本体
上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上に延び、
周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さを有する
トラック部９が形成され、補強ヨークの記録媒体対向面
側は、空気ベアリング及びトラック部と同じ高さの面か
ら、ギャップ突き合わせ部の深さｄ以上に凹んでいるこ
とを特徴とするものである。
り空気ベアリング部１９及び巻線溝部１８を有するスラ
イダ本体１と、磁性材からなりギャップスペーサ４を介
してスライダ本体に突き合わせ接合された主ヨーク２
と、非磁性材からなり主ヨークの側面及びスライダ本体
の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う補強ヨーク
３とを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該磁気ヘッ
ドスライダの記録媒体との対向面側には、スライダ本体
上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上に延び、
周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さを有する
トラック部９が形成され、補強ヨークの記録媒体対向面
側は、空気ベアリング及びトラック部と同じ高さの面か
ら、ギャップ突き合わせ部の深さｄ以上に凹んでいるこ
とを特徴とするものである。
【００１６】この磁気ヘッドスライダの電磁変換に寄与
する主要部は、高密度磁気記録用の高抗磁力媒体に対応
するため、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物から
なるスライダ本体１及び主ヨ−ク２の主構成部材のギャ
ップ突き合わせ面に、センダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系
合金）等、高い飽和磁束密度の強磁性金属薄膜１２、２
２が形成されたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）構造
となっている。また、補強ヨークを構成する非磁性材と
しては、ＰｂＯ−ＳｉＯ2系等のガラスが用いられる。
する主要部は、高密度磁気記録用の高抗磁力媒体に対応
するため、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物から
なるスライダ本体１及び主ヨ−ク２の主構成部材のギャ
ップ突き合わせ面に、センダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系
合金）等、高い飽和磁束密度の強磁性金属薄膜１２、２
２が形成されたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）構造
となっている。また、補強ヨークを構成する非磁性材と
しては、ＰｂＯ−ＳｉＯ2系等のガラスが用いられる。
【００１７】この磁気ヘッドスライダは、磁性材からな
り、空気ベアリング部となるべき凸部１９０及び巻線溝
部１８を有するスライダ本体１と、磁性材からなり、ギ
ャップスペーサ４を介してスライダ本体に突き合わせ接
合された主ヨーク２と、非磁性材からなり、主ヨークの
側面及びスライダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連
続的に覆う補強ヨーク３とを備える、図３に示すような
磁気ヘッドスライダ構成部材１０の記録媒体対向面を研
摩して、スライダ本体の空気ベアリング部となるべき凸
部と主ヨーク及び補強ヨークの記録媒体対向面とを同じ
高さとした後、スライダ本体上に空気ベアリング部とし
て残るべき部分、及びスライダ本体上から主ヨーク上に
わたってトラック部として残るべき部分をレジストにて
覆い、周知のイオンビーム法等によるエッチング加工を
施すことにより、図１や図２に示したように、空気ベア
リング部及びトラック部を形成するとともに、補強ヨー
クの記録媒体対向面を、空気ベアリング部及びトラック
部と同じ高さの面からギャップ突き合わせ部の深さ以上
に凹んだ面とすることによって製造される。
り、空気ベアリング部となるべき凸部１９０及び巻線溝
部１８を有するスライダ本体１と、磁性材からなり、ギ
ャップスペーサ４を介してスライダ本体に突き合わせ接
合された主ヨーク２と、非磁性材からなり、主ヨークの
側面及びスライダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連
続的に覆う補強ヨーク３とを備える、図３に示すような
磁気ヘッドスライダ構成部材１０の記録媒体対向面を研
摩して、スライダ本体の空気ベアリング部となるべき凸
部と主ヨーク及び補強ヨークの記録媒体対向面とを同じ
高さとした後、スライダ本体上に空気ベアリング部とし
て残るべき部分、及びスライダ本体上から主ヨーク上に
わたってトラック部として残るべき部分をレジストにて
覆い、周知のイオンビーム法等によるエッチング加工を
施すことにより、図１や図２に示したように、空気ベア
リング部及びトラック部を形成するとともに、補強ヨー
クの記録媒体対向面を、空気ベアリング部及びトラック
部と同じ高さの面からギャップ突き合わせ部の深さ以上
に凹んだ面とすることによって製造される。
【００１８】上記製法によって得られる上記構成の磁気
ヘッドスライダにおける補強ヨークの記録媒体対向面
は、空気ベアリング部及びトラック部の記録媒体対向面
から十分に凹んでいるので、該磁気ヘッドスライダの浮
上特性にほとんど寄与せず、該磁気ヘッドスライダの浮
上特性は、ギャップ近傍の小面積部に露出するギャップ
スペーサ及び強磁性金属薄膜を除けば、単一の材料にて
構成される空気ベアリング部及びトラック部の記録媒体
対向面のみの形状、面積等によって決まることになり、
安定なものとなる。
ヘッドスライダにおける補強ヨークの記録媒体対向面
は、空気ベアリング部及びトラック部の記録媒体対向面
から十分に凹んでいるので、該磁気ヘッドスライダの浮
上特性にほとんど寄与せず、該磁気ヘッドスライダの浮
上特性は、ギャップ近傍の小面積部に露出するギャップ
スペーサ及び強磁性金属薄膜を除けば、単一の材料にて
構成される空気ベアリング部及びトラック部の記録媒体
対向面のみの形状、面積等によって決まることになり、
安定なものとなる。
【００１９】なお、本発明による磁気ヘッドスライダの
トラック部は、図４及びそのＢ部を拡大した図５に示す
ように、記録媒体対向面において空気ベアリング部と同
じ高さで連続していてもよいし、該トラック部のギャッ
プから離れた部分は、図６及びそのＣ部を拡大した図７
に示すように、主ヨーク上の範囲内で幅ｗが徐々に拡が
るような形状でもよい。
トラック部は、図４及びそのＢ部を拡大した図５に示す
ように、記録媒体対向面において空気ベアリング部と同
じ高さで連続していてもよいし、該トラック部のギャッ
プから離れた部分は、図６及びそのＣ部を拡大した図７
に示すように、主ヨーク上の範囲内で幅ｗが徐々に拡が
るような形状でもよい。
【００２０】また、図５や図７に示した磁気ヘッドスラ
イダの電磁変換に寄与する主要部は、前記図２に示した
ものと同様、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物か
らなるスライダ本体１及び主ヨ−ク２の主構成部材のギ
ャップ突き合わせ面に、センダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金）等からなる強磁性金属薄膜１２、２２が形成さ
れたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）構造となってい
るが、強磁性金属薄膜がギャップ突き合わせ面の一方側
のみに被着形成された構成や、該強磁性金属薄膜が形成
されていないような構成も、本発明の対象となることは
言うまでもない。
イダの電磁変換に寄与する主要部は、前記図２に示した
ものと同様、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の強磁性酸化物か
らなるスライダ本体１及び主ヨ−ク２の主構成部材のギ
ャップ突き合わせ面に、センダスト（Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ
系合金）等からなる強磁性金属薄膜１２、２２が形成さ
れたＭＩＧ（メタル・イン・ギャップ）構造となってい
るが、強磁性金属薄膜がギャップ突き合わせ面の一方側
のみに被着形成された構成や、該強磁性金属薄膜が形成
されていないような構成も、本発明の対象となることは
言うまでもない。
【００２１】
【発明の効果】本発明による磁気ヘッドスライダにおけ
る補強ヨークの記録媒体対向面は、空気ベアリング部及
びトラック部の記録媒体対向面から大きく凹んでいるの
で、該磁気ヘッドスライダの浮上特性にほとんど寄与せ
ず、該磁気ヘッドスライダの浮上特性は、ギャップ近傍
の小面積部を除けば単一の材料にて構成される空気ベア
リング部及びトラック部の記録媒体対向面のみの形状、
面積等によって決まることになり、安定なものとなる。
る補強ヨークの記録媒体対向面は、空気ベアリング部及
びトラック部の記録媒体対向面から大きく凹んでいるの
で、該磁気ヘッドスライダの浮上特性にほとんど寄与せ
ず、該磁気ヘッドスライダの浮上特性は、ギャップ近傍
の小面積部を除けば単一の材料にて構成される空気ベア
リング部及びトラック部の記録媒体対向面のみの形状、
面積等によって決まることになり、安定なものとなる。
【図１】本発明第１実施例による磁気ヘッドスライダ
の、全体斜視図である。
の、全体斜視図である。
【図２】本発明第１実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分斜視図である。
の、部分斜視図である。
【図３】本発明実施例による磁気ヘッドスライダの製造
方法を説明するための、磁気ヘッドスライダ構成部材の
斜視図である
方法を説明するための、磁気ヘッドスライダ構成部材の
斜視図である
【図４】本発明第２実施例による磁気ヘッドスライダ
の、全体斜視図である。
の、全体斜視図である。
【図５】本発明第２実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分斜視図である。
の、部分斜視図である。
【図６】本発明第３実施例による磁気ヘッドスライダ
の、全体斜視図である。
の、全体斜視図である。
【図７】本発明第３実施例による磁気ヘッドスライダ
の、部分斜視図である。
の、部分斜視図である。
【図８】第１従来例による磁気ヘッドスライダの、全体
斜視図である。
斜視図である。
【図９】第２従来例による磁気ヘッドスライダの、全体
斜視図である。
斜視図である。
【図１０】第２従来例による磁気ヘッドスライダの、部
分斜視図である。
分斜視図である。
１ スライダ本体 ２ 主ヨーク ３ 補強ヨーク ４ ギャップスペーサ ９ トラック部 １８ 巻線溝部 １９ 空気ベアリング部
Claims (3)
- 【請求項１】 磁性材からなり空気ベアリング部及び巻
線溝部を有するスライダ本体と、磁性材からなりギャッ
プスペーサを介してスライダ本体に突き合わせ接合され
た主ヨークと、非磁性材からなり主ヨークの側面及びス
ライダ本体の主ヨークとの接合部の側面を連続的に覆う
補強ヨークとを備える磁気ヘッドスライダにおいて、該
磁気ヘッドスライダの記録媒体との対向面側には、スラ
イダ本体上からギャップスペーサをまたいで主ヨーク上
に延び、周囲から突出して空気ベアリング部と同じ高さ
を有するトラック部が形成され、補強ヨークの記録媒体
対向面は、空気ベアリング及びトラック部と同じ高さの
面から、ギャップ突き合わせ部の深さ以上に凹んでいる
ことを特徴とする磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項２】 スライダ本体及び主ヨ−クを構成する磁
性材は、強磁性酸化物からなる主構成部材のギャップ突
き合わせ面に強磁性金属薄膜が被着形成されたものであ
り、補強ヨークを構成する非磁性材は、ガラスであるこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。 - 【請求項３】 磁性材からなり、空気ベアリング部とな
るべき凸部及び巻線溝部を有するスライダ本体と、磁性
材からなり、ギャップスペーサを介してスライダ本体に
突き合わせ接合された主ヨークと、非磁性材からなり、
主ヨークの側面及びスライダ本体の主ヨークとの接合部
の側面を連続的に覆う補強ヨークとを備える磁気ヘッド
スライダ構成部材の記録媒体対向面を研摩して、スライ
ダ本体の空気ベアリング部となるべき凸部と主ヨーク及
び補強ヨークの記録媒体対向面とを同じ高さにする工程
と、スライダ本体上に空気ベアリング部として残るべき
部分、及びスライダ本体上から主ヨーク上にわたってト
ラック部として残るべき部分をレジストにて覆い、エッ
チング加工を施すことにより、空気ベアリング部及びト
ラック部を形成するとともに、補強ヨークの記録媒体対
向面を、空気ベアリング部及びトラック部と同じ高さの
面からギャップ突き合わせ部の深さ以上に凹んだ面とす
る工程とを備えることを特徴とする磁気ヘッドスライダ
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21646893A JPH0773628A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21646893A JPH0773628A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0773628A true JPH0773628A (ja) | 1995-03-17 |
Family
ID=16688941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21646893A Pending JPH0773628A (ja) | 1993-08-31 | 1993-08-31 | 磁気ヘッドスライダ及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0773628A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017126394A (ja) * | 2016-01-07 | 2017-07-20 | ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド | 拡張三次元空気ベアリング面を有するスライダ及びそのスライダを製造するための方法 |
-
1993
- 1993-08-31 JP JP21646893A patent/JPH0773628A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017126394A (ja) * | 2016-01-07 | 2017-07-20 | ウェスタン デジタル テクノロジーズ インコーポレーテッド | 拡張三次元空気ベアリング面を有するスライダ及びそのスライダを製造するための方法 |
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