JPH07106366A - ワイヤーボンディング装置 - Google Patents

ワイヤーボンディング装置

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JPH07106366A JP25082193A JP25082193A JPH07106366A JP H07106366 A JPH07106366 A JP H07106366A JP 25082193 A JP25082193 A JP 25082193A JP 25082193 A JP25082193 A JP 25082193A JP H07106366 A JPH07106366 A JP H07106366A
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Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 キャピラリーのアームへの取り付けを高精度
で、しかも容易に行う。 【構成】 ボンディングアーム２０Ａにキャピラリー１
０の高さ方向の位置決め手段である鍔６を形成し、この
鍔６の下面にキャピラリーの高さ基準面１４を当接させ
て、そのキャピラリーをそのボンディングアームに固定
する構造を採っている。 【効果】 キャピラリーのアームへの取り付け作業は、
両者を互いに当接させるだけで、キャピラリーの高さ位
置を精度良く出せ、しかもその取付け作業を極めて容易
に、そして速やかに行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体装置の製造に
用いられるワイヤーボンディング装置、特にそのキャピ
ラリーをボンディングアームに高精度の高さ位置で取り
付けられる位置決め手段に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来技術のワイヤーボンディング装置に
おけるボンディングアームにキャピラリーを取り付ける
方法を図５及び図６を用いて説明する。図５は従来技術
のワイヤーボンディング装置におけるボンディングアー
ムにキャピラリーを取り付ける取付け方法を説明するた
めの説明図であって、同図Ａはキャピラリーをボンディ
ングアームに取付けた状態を示した斜視図、同図Ｂはキ
ャピラリーをボンディングアームに取り付ける手順を説
明するための分解斜視図、そして同図Ｃは同図ＡのＡ−
Ａ線上における断面図であり、そして図６はワイヤーボ
ンディングの状態を説明するためのワイヤーボンディン
グ装置の要部の概念図である。
【０００３】先ず、図５を用いて従来技術のワイヤーボ
ンディング装置におけるボンディングアームにキャピラ
リーを取り付ける取付け方法を説明する。図５Ａにおい
て、符号１０はキャピラリーであり、通常、セラミック
やルビーで形成されている。符号２０はボンディングア
ーム（以下、単に「アーム」と記す）であって、丸棒状
のアーム２０の先端部１の上部はその一部の肉厚を削い
で平坦な基準面２とし、キャピラリー１０を装着する場
合の高さ基準としている。そしてその基準面２のほぼ中
央部に貫通孔３が形成されており、また、前記アーム２
０の先端部１の端縁中央部から前記貫通孔３に渡ってス
リット４が形成されている。そして更にこのスリット４
に直交して、前記先端部と前記貫通孔３との間で、その
先端部１の横から内部に雌ねじが施された貫通孔が形成
され、その雌ねじに雄ねじである締め付けねじ５が挿入
されている。
【０００４】一方、前記キャピラリー１０にはその中心
部に約２５〜３０μｍの金線などのワイヤーＷを通す直
径が約７５μｍの貫通孔１１が開けられており、そのキ
ャピラリー１０の基端部１２からワイヤーＷが供給さ
れ、その先端部１３からワイヤーＷが送り出される（図
６）。前記基端部１２の平面はこのキャピラリー１０を
アーム２０に装着する場合の基準面１４となっている。
【０００５】このようなキャピラリー１０を前記構造の
アーム２０の先端部１に装着するには、同図Ｂに示した
ように、キャピラリー１０をピンセットＰで挟んで、貫
通孔３へ差し込み、締め付けねじ５を締め付けで固定す
る。この取り付けに当たっては、キャピラリー１０を前
記アーム２０の先端部１に正しい高さ位置で取り付ける
ことが肝要である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この取り付け
作業は、現在、キャピラリー１０の基準面１４と先端部
１の基準面２との間に段差Ｇが生じないよう、これらの
面が一平面を形成したかどうかを肉眼で確認しながら、
ピンセットＰで上下させながら取り付け作業が行われて
いる。
【０００７】この肉眼による取り付け作業は、数ミクロ
ンのオーダーの精度を必要とするワイヤーボンディング
技術では、余りにもラフ過ぎるものであり、図６に示し
たように、金ボールを成形するためのトーチ電極Ｅの位
置調整、キャピラリー１０の先端部１３から導出されて
いるワイヤーＷのテール長さＬの調整といった、キャピ
ラリー１０の高さ方向に対する位置ずれから生じるワイ
ヤーボンディング装置の微調整が必須の作業になってい
る。また、この高さ位置を精密に出すために、キャピラ
リー１０のアーム２０に対する前記取り付け作業の時間
が長くなる傾向がある。この発明は、これらの問題点を
解決しようとするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明のワイヤーボンディング装置では、アーム
にキャピラリーの高さ方向の位置決め手段を形成し、こ
の位置決め手段にキャピラリーの高さ基準部を当接させ
て、そのキャピラリーをアームに固定するか、または、
キャピラリーに、そのアームに対する高さ方向の位置決
め手段を形成し、この位置決め手段をアームの高さ基準
部に当接させて、そのキャピラリーをアームに固定する
構成を採った。
【０００９】
【作用】従って、これらのような構成を採ることによ
り、キャピラリーのアームへの前記取り付け作業は高精
度で、しかも容易に、そして速やかに行うことができ
る。
【００１０】
【実施例】以下、この発明のワイヤーボンディング装置
の実施例を図１乃至図４を用いて説明する。図１はこの
発明の第１の実施例であって、ワイヤーボンディング装
置におけるボンディングアームにキャピラリーを取り付
けた状態の構造を示しており、同図Ａはその斜視図、同
図Ｂは同図ＡのＡ−Ａ線上における断面図であり、図２
はこの発明の第２の実施例であって、ワイヤーボンディ
ング装置におけるボンディングアームに取り付けられる
キャピラリーの構造を示しており、同図Ａはその第１の
実施例のキャピラリーの側面図、同図Ｂはその第２の実
施例のキャピラリーの側面図であり、図３は図２に示し
たキャピラリーをワイヤーボンディング装置におけるボ
ンディングアームに装着した状態の、図１Ａと同様の断
面図であって、同図Ａは図２Ａのキャピラリーをボンデ
ィングアームに装着した場合の断面図、同図Ｂは図２Ｂ
のキャピラリーをボンディングアームに装着した場合の
断面図であり、そして図４は図２Ｂのキャピラリーをボ
ンディングアームに装着した状態の構造の変形を示す断
面図である。なお、従来技術のボンディングアーム及び
キャピラリーと同一の部分には同一の符号を付し、それ
らの構造、構成の説明を省略する。
【００１１】先ず、図１を用いてこの発明の第１の実施
例を説明する。この実施例では、アーム２０Ａの先端部
１Ａの構造に特徴があり、その構造は、キャピラリー１
０が挿入される貫通孔３の上端部をアーム２０Ａの先端
部１Ａの平面７の少し下方で止め、キャピラリー１０の
高さ方向の位置決め手段としての鍔６を形成した点にあ
る。即ち、前記先端部１Ａの平面７に形成された開口８
の直径Ｄａは貫通孔３のそれよりも小さく、その開口面
積はワイヤーＷを挿通できる程度のスペースであればよ
い。
【００１２】この鍔６の下面がキャピラリー１０の高さ
位置基準面となり、アーム２０Ａの貫通孔３にキャピラ
リー１０を挿入し、この基準面にキャピラリー１０の基
準面１４を当接させ、締め付けねじ５で締め付けること
により、アーム２０Ａに対してキャピラリー１０を、そ
の高さ位置を高精度でそして簡単に固定することができ
る。
【００１３】次に、図２を用いてこの発明の第２の実施
例を説明する。第１の実施例ではアーム２０Ａにキャピ
ラリー１０の高さ位置基準面を形成したが、この第２の
実施例ではキャピラリーにそれ自身の高さ位置基準面を
形成した。
【００１４】図２Ａに示したキャピラリー１０Ａでは従
来技術のキャピラリー１０の基端部１２であるワイヤー
Ｗの挿入側にその基端部１２の直径よりも大なる直径の
鍔１５を形成し、その下面１５Ａをキャピラリー１０Ａ
の高さ位置基準面とした。また、図２Ｂに示したキャピ
ラリー１０Ｂでは従来技術のキャピラリー１０の基端部
１２よりやや中央部よりに、その中央部分の直径よりも
大なる直径の鍔１６を形成し、その上面１６Ａをキャピ
ラリー１０Ａの高さ位置基準面とした。
【００１５】図３にこれらのキャピラリー１０Ａ、１０
Ｂをアーム２０の先端部１に取付け、固定した状態を示
した。図３Ａは図２Ａのキャピラリー１０Ａをアーム２
０の先端部１に取付けた状態を示していて、キャピラリ
ー１０Ａをアーム２０の先端部１の上面から前記貫通孔
３（図５Ｂ）に挿入し、その先端部１の基準面２にキャ
ピラリー１０Ａの前記鍔１５の高さ位置基準面１５Ａを
当接した状態で締め付けねじ５で締め付け、固定した構
造である。
【００１６】図３Ｂは図２Ｂのキャピラリー１０Ｂをア
ーム２０の先端部１に取付けた状態を示していて、キャ
ピラリー１０Ｂをアーム２０の先端部１の下面から前記
貫通孔３（図５Ｂ）に挿入し、その先端部１の下面にキ
ャピラリー１０Ｂの前記鍔１６の高さ位置基準面１６Ａ
を当接した状態で締め付けねじ５で締め付け、固定した
構造である。
【００１７】図４に図２Ｂのキャピラリー１０Ｂをアー
ム２０に装着した状態の変形の構造を示した。即ち、こ
の実施例では、図５に示した従来技術のアーム２０の先
端部１の上面に形成した基準面２を、その先端部１の下
面に形成した。符号１Ｂで示したのがこの実施例におけ
るアーム２０の先端部であり、符号２Ａで示したのがそ
の基準面である。従って、キャピラリー１０Ｂをアーム
２０の先端部１Ｂの下面から前記貫通孔３に挿入し、そ
の先端部１Ｂの下面の基準面２Ａにキャピラリー１０Ｂ
の前記鍔１６の高さ位置基準面１６Ａを当接し、その状
態で締め付けねじ５で締め付け、固定すると、図３Ｂに
示した構造のものより安定に、そして精度良く取付け、
固定することができる。
【００１８】
【発明の効果】従って、この発明のワイヤーボンディン
グ装置では、キャピラリーのアームへの取り付け作業は
アームの先端部またはキャピラリーにキャピラリーの高
さ位置基準面を形成したので、両者を互いに当接させる
だけで、キャピラリーの高さ位置を精度良く出せ、しか
もその取付け作業を極めて容易に、そして速やかに行う
ことができる。また、キャピラリーの先端部とトーチ電
極との隙間及び前記テール長さの調整作業を軽減するこ
とができる。更にまた、前記第１の実施例の取付け構造
では、鍔６の存在により貫通孔３が補強された構造にな
るため、キャピラリーの着脱回数が増えても貫通孔部分
の疲労破壊を軽減することができるなどの優れた効果が
得られた。
【００１９】
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の第１の実施例であって、ワイヤー
ボンディング装置におけるボンディングアームにキャピ
ラリーを取り付けた状態の構造を示しており、同図Ａは
その斜視図、同図Ｂは同図ＡのＡ−Ａ線上における断面
図である。
【図２】 この発明の第２の実施例であって、ワイヤー
ボンディング装置におけるボンディングアームに取り付
けられるキャピラリーの構造を示しており、同図Ａはそ
の第１の実施例のキャピラリーの側面図、同図Ｂはその
第２の実施例のキャピラリーの側面図である。
【図３】 図２に示したキャピラリーをワイヤーボンデ
ィング装置におけるボンディングアームに装着した状態
の、図１Ａと同様の断面図であって、同図Ａは図２Ａの
キャピラリーをボンディングアームに装着した場合の断
面図、同図Ｂは図２Ｂのキャピラリーをボンディングア
ームに装着した場合の断面図である。
【図４】 図２Ｂのキャピラリーをボンディングアーム
に装着した状態の構造の変形を示す断面図である。
【図５】 従来技術のワイヤーボンディング装置におけ
るボンディングアームにキャピラリーを取り付ける取付
け方法を説明するための説明図であって、同図Ａはキャ
ピラリーをボンディングアームに取付けた状態を示した
斜視図、同図Ｂはキャピラリーをボンディングアームに
取り付ける手順を説明するための分解斜視図、そして同
図Ｃは同図ＡのＡ−Ａ線上における断面図である。
【図６】 ワイヤーボンディングの状態を説明するため
のワイヤーボンディング装置の要部の概念図である。
【符号の説明】
１ 先端部 １Ａ 先端部 １Ｂ 先端部 ２ 基準面 ２Ａ 基準面 ３ 貫通孔 ４ スリット ５ 締め付けねじ ６ 鍔 ７ 平面 ８ 開口 １０ キャピラリー １０Ａ この発明の第１の実施例のキャピラリー １０Ｂ この発明の第２の実施例のキャピラリー １１ 貫通孔 １２ 基端部 １３ 先端部 １４ 基準面 １５ 鍔 １５Ａ 高さ位置基準面 １６ 鍔 １６Ａ 高さ位置基準面 ２０ ボンディングアーム（アーム） ２０Ａ この発明のボンディングアーム（アーム）

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ボンディングアームにキャピラリーの高
    さ方向の位置決め手段を形成し、この位置決め手段にキ
    ャピラリーの高さ基準部を当接させて、そのキャピラリ
    ーを前記ボンディングアームに固定してなるワイヤーボ
    ンディング装置。
  2. 【請求項２】 キャピラリーに、そのボンディングアー
    ムに対する高さ方向の位置決め手段を形成し、この位置
    決め手段をボンディングアームの高さ基準部に当接させ
    て、そのキャピラリーを前記ボンディングアームに固定
    してなるワイヤーボンディング装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100435899B1 (ko) * 2001-12-28 2004-06-12 동부전자 주식회사 캐필러리 위치보정장치

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