JPH0697264A - ダイシングテープからの不良チップ剥離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイシングテープが変形していても確実良好
に不良チップの剥離を行えるようにする。 【構成】 リングフレーム１に貼付けられたダイシング
テープ２を裏面から局部的に押圧してダイシングテープ
２を粘着面側に突出変形させるテープ押圧部材１４を、
不良チップ残存域全体に移動させ、テープ押圧部材１４
によって局部的に突出変形されたダイシングテープ２の
粘着面に向けて側方より圧縮空気をエアーノズル２２に
よって吹き付けて、不良チップｔを粘着面から剥離して
吹き飛ばすように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、リングフレームに貼付
けられたダイシングテープの粘着面に残存する不良チッ
プを剥離する装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】電子回路用チップの製造工程におけるダ
イシング工程からダイボンディング工程では、図７に示
すように、リングフレーム１に貼付けられたダイシング
テープ２の粘着面に半導体ウエハ３を貼付けたワークＷ
を取り扱っている。すなわち、ダイシング工程では、ワ
ークＷの状態で半導体ウエハ３の切断を行い、ダイボン
ディング工程では、切断されたチップの内、良品チップ
をピックアップしてリードフレーム等にダイボンディン
グしている。したがって、ダイボンディング工程を経た
ワークＷのダイシングテープ２上には不良チップが残存
している。そして、リングフレーム１を再利用するため
に、ダイシングテープ２からの不良チップ剥離処理、お
よび、リングフレーム１からのダイシングテープ２の捲
り取り処理を行っている。

【０００３】この不良チップをダイシングテープから剥
離する従来装置としては、例えば、特開平２−１２８４
４５号公報に開示されているように、リングフレームか
らダイシングテープ捲り取りながらダイシングテープを
ナイフエッジ部で大きく折り曲げ案内して不良チップを
ダイシングテープから浮き上がらせ、この不良チップを
スクレーパで掻き取り除去するように構成したものが知
られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、この不良チッ
プ剥離工程の前のダイボンディング工程では、チップの
分離のためにダイシングテープを伸長させるので（エキ
スパンド処理）、ダイシングテープが不規則に変形して
いることが多く、このためにダイシングテープがナイフ
エッジ部にうまく沿わない状態になって、不良チップの
掻き取りが良好に行われなくなることがあった。

【０００５】本発明は、このような実情に着目してなな
されたものであって、ダイシングテープが変形していて
も確実良好に不良チップの剥離を行えるようにすること
を目的としている。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をとる。すなわち、本発明
に係るダイシングテープからの不良チップ剥離装置は、
リングフレームに貼付けられたダイシングテープを裏面
から局部的に押圧して、ダイシングテープを粘着面側に
突出変形させるテープ押圧部材と、リングフレームとテ
ープ押圧部材とを相対的に変位させてテープ押圧部材を
不良チップ残存域全体に移動させる駆動機構と、テープ
押圧部材によって局部的に突出変形されたダイシングテ
ープの粘着面に向けて側方より圧縮気体を吹き付けるノ
ズルとを備えた構成とした。

【０００７】

【作用】本発明の構成によると、例えば図４に示すよう
に、テープ押圧部材が不良チップの残存位置に作用する
と、不良チップ貼付け面が小さい曲率で突出変形され
て、この不良チップの一部が粘着面から浮き上がる。こ
の剥離開始箇所にノズルから圧縮気体が供給されること
で、不良チップは粘着面から一気に剥離されて吹き飛ば
される。そして、ダイシングテープに対するテープ押圧
部材の作用位置を順次変えてゆくことにより、各所に残
存する不良チップが同様にして剥離除去される。

【０００８】

【実施例】図１ないし図４に本発明の第１の実施例を示
す。この装置では、ダイボンディング工程を経たワーク
Ｗはダイシングテープ２の粘着面を下向きにした水平姿
勢で搬入され、リング状のワーク支持フレーム４の下面
にエアシリンダ５で駆動されるクランプ６によって固定
される。この際、ワーク支持フレーム４の内縁部には下
方に突出するエキスパンド用の筒部７が備えられてい
て、ワークＷをワーク支持フレーム４に装填することに
よって、ダイシングテープ２が伸長されるようになって
いる。

【０００９】前記ワーク支持フレーム４は、その周部３
箇所をモータ８で駆動回転される１個の溝付きローラ９
ａと、遊転自在な２個の溝付きローラ９ｂとで係止さ
れ、水平姿勢で自転可能に構成されている。

【００１０】ワーク支持フレーム４を前記溝付きローラ
９ａ，９ｂを介して支承する固定フレーム１０の下面に
は、一対のガイドレール１１を介して水平移動可能な可
動枠１２が配備され、この可動枠１２に連結した逆Ｌ字
形のブラケット１３の下部に、ワークＷの径に対して小
幅の矩形状板材からなるテープ押圧部材１４が垂直姿勢
で取り付けられている。

【００１１】このテープ押圧部材１４は、ワーク支持フ
レーム４の筒部７の内部に位置して配置されるととも
に、小曲率の凸曲面に形成された下端が筒部７の下端よ
り少し下方に突出するように設置されており、ワーク支
持フレーム４へのワーク装填に伴って、ダイシングテー
プ２の一部がテープ押圧部材１４の下端によって突出変
形されるように構成されている。

【００１２】固定フレーム１０には、モータ１５で旋回
駆動されるアーム１６が装備され、このアーム１６と前
記可動枠１２とがロッド１７で連係され、アーム１６の
回転に伴って可動枠１２が往復移動して、テープ押圧部
材１４が筒部７の内部において直径方向に往復移動する
ようになっている。

【００１３】前記ワーク支持フレーム４の下方には、図
示しない駆動手段によって上下動される昇降フレーム１
８が配備され、この昇降フレーム１８に前記固定フレー
ム１０のガイドレール１１と平行なガイドレール１９を
介して水平移動可能な可動枠２０が装備されるととも
に、この可動枠２０にブラケット２１を介してエアーノ
ズル２２が取り付けられている。

【００１４】また、前記モータ１５の駆動軸１５ａから
延出した回転軸２３に対して回転伝達可能かつ上下スラ
イド可能に外嵌装着したアーム２４と、前記可動枠２０
とがロッド２５で連係されて、エアーノズル２２を水平
移動させる往復駆動機構が構成されている。そして、上
部のテープ押圧部材移動用のクランク式の往復駆動機構
と、下部のエアーノズル移動用のクランク式の往復駆動
機構とは同一位相、同一ストロークで同期作動するよう
に各部仕様が設定されており、かつ、昇降フレーム１８
が上昇された状態では、図１のように、エアーノズル２
２が側方からテープ押圧部材１４の下端付近に至近距離
で圧縮空気を吹き付けるように構成されている。

【００１５】従って、テープ押圧部材１４とエアノズル
２２とは互いの位置関係を保ったままで水平往復移動
し、図４に示すように、テープ押圧部材１４が不良チッ
プｔの残存位置に作用すると、不良チップ貼付け面が小
さい曲率で突出変形されて、この不良チップｔの一部が
粘着面から浮き上がる。この剥離開始箇所にエアーノズ
ル２２から圧縮空気が供給されることで、不良チップｔ
は粘着面から一気に剥離されて吹き飛ばされる。そし
て、ワーク支持フレーム４の旋回に伴ってテープ押圧部
材１４はダイシングテープ２に対する作用位置を順次変
えてゆき、各所に残存する不良チップｔが同様にして剥
離除去されてゆく。

【００１６】図５および図６に、本発明の別実施例を示
す。この例においては、ワークＷを保持するリング状の
ワーク支持フレーム４は固定配置され、その上方に配備
した固定フレーム２２にエキスパンド用の筒部７が備え
られ、棒状のテープ押圧部材１４が水平前後進しながら
左右に往復揺動することで不良チップ残存域全体に作用
する構成を採っている。

【００１７】テープ押圧部材１４は、支点ａを中心に揺
動可能な揺動アーム２９の遊端に取り付けられ、揺動ア
ーム２９は、モータ３０によって駆動されるクランクピ
ン３１に長孔３２を介して連動連結されている。また、
揺動アーム２９の支点ａはガイド３３に沿って移動可能
に構成されるとともに、モータ３４によって駆動される
クランクピン３５にロッド３６を介して連動連結されて
おり、支点ａの移動によって揺動アーム２９の揺動角お
よび位置が変化するようになっている。更に、これらを
装備した可動フレーム３７がモータ３８で駆動されるラ
ック・ピニオン機構３９によって移動可能となってお
り、これら各機構の複合作動によって、テープ押圧部材
１４がダイシングテープ２の略全域を走査するように構
成されている。

【００１８】また、支持フレーム４の下方には、ダイシ
ングテープ２の下面（粘着面）の全幅に圧縮空気を吹き
付けるエアーノズル２２が固定配備され、テープ押圧部
材１４で点状にダイシングテープ２を突出変形させて、
ここに残存している不良チップｔを剥離して吹き飛ばし
て、容器４０に回収するすように構成されている。

【００１９】なお、両実施例に装備しているエキスパン
ド用の筒部７はダイシングテープ２の変形が激しいワー
クＷの処理時に有効に利用できるものであり、ダイシン
グテープ２の変形が少ないワークＷの処理に際しては必
ずしも設ける必要はない。

【００２０】また、両実施例ともにワークＷを粘着面を
下向きにした水平姿勢で処理する場合を示しているが、
ワークＷを鉛直あるいは略鉛直姿勢に装填して処理する
ことも可能である。また、剥離した不良チップを回収す
る手段として、エアーノズル２２の前方に不良チップ吸
引ダクトをエアーノズル２２と同期して移動するように
配備して、不良チップｔを飛散させることなく回収する
こともできる。

【００２１】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、テープ押圧部材で局部的にダイシングテープを突出
変形させて、残存している不良チップを粘着面から浮き
上がらせて圧縮気体によって吹き飛ばすので、ダイシン
グテープが先のダイボンディング工程で伸長変形してい
ても確実に不良チップを剥離除去することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る不良チップ剥離装置の第１実施例
を示す一部切り欠き側面図である。

【図２】第１実施例装置の要部の平面図である。

【図３】第１実施例装置のテープ押圧部材とエアーノズ
ルの斜視図である。

【図４】不良チップ剥離作動部を示す拡大図である。

【図５】第２実施例を示す概略側面図である。

【図６】第２実施例の平面図である。

【図７】ダイボンディング処理前のワークの斜視図であ
る。

【符号の説明】

１ リングフレーム ２ ダイシングテープ １４ テープ押圧部材 ２２ エアーノズル Ｗ ワーク ｔ 不良チップ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 リングフレームに貼付けられたダイシン
   グテープを裏面から局部的に押圧して、ダイシングテー
   プを粘着面側に突出変形させるテープ押圧部材と、リン
   グフレームとテープ押圧部材とを相対的に変位させてテ
   ープ押圧部材を不良チップ残存域全体に移動させる駆動
   機構と、テープ押圧部材によって局部的に突出変形され
   たダイシングテープの粘着面に向けて側方より圧縮気体
   を吹き付けるノズルとを備えたことを特徴とするダイシ
   ングテープからの不良チップ剥離装置。