JPH0695130B2 - 集積回路素子の試験方法 - Google Patents
集積回路素子の試験方法Info
- Publication number
- JPH0695130B2 JPH0695130B2 JP61230389A JP23038986A JPH0695130B2 JP H0695130 B2 JPH0695130 B2 JP H0695130B2 JP 61230389 A JP61230389 A JP 61230389A JP 23038986 A JP23038986 A JP 23038986A JP H0695130 B2 JPH0695130 B2 JP H0695130B2
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- JP
- Japan
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- test
- integrated circuit
- oscillation
- capacitor
- circuit device
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- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、集積回路素子の製造における試験方法に関す
るものである。
るものである。
従来の技術 通常、集積回路素子の直流特性の試験、特にリニア集積
回路の試験においては、内部の回路が、アンプ、または
発振回路等で構成されており、単に電源電圧を与えるだ
けで発振回路を形成したことになって発振を生じ、各端
子の電圧が不安定になる。従って、集積回路素子の試験
は、発振を押さえるために、通常は第３図に示すよう
に、集積回路素子１の必要端子間（この場合では端子T7
とT1との間）に、発振防止用コンデンサ６を接続するこ
とで発振を押さえ、出力端子T5の電圧、または電流を電
流，電圧計２で測定する。なお、第３図において3,4は
電流，電圧源、T2〜T4,T6は集積回路素子１の他の端子
を示している。一般に用いられているICテスタは、この
ような発振防止用コンデンサ６を内臓しておらず、この
ため集積回路素子１の必要端子T7,T1の近くにこのコン
デンサ６を設けておき、このコンデンサ６を集積回路素
子１の外部から端子T7,T1に接続することで、効果的に
発振防止策を施している。
回路の試験においては、内部の回路が、アンプ、または
発振回路等で構成されており、単に電源電圧を与えるだ
けで発振回路を形成したことになって発振を生じ、各端
子の電圧が不安定になる。従って、集積回路素子の試験
は、発振を押さえるために、通常は第３図に示すよう
に、集積回路素子１の必要端子間（この場合では端子T7
とT1との間）に、発振防止用コンデンサ６を接続するこ
とで発振を押さえ、出力端子T5の電圧、または電流を電
流，電圧計２で測定する。なお、第３図において3,4は
電流，電圧源、T2〜T4,T6は集積回路素子１の他の端子
を示している。一般に用いられているICテスタは、この
ような発振防止用コンデンサ６を内臓しておらず、この
ため集積回路素子１の必要端子T7,T1の近くにこのコン
デンサ６を設けておき、このコンデンサ６を集積回路素
子１の外部から端子T7,T1に接続することで、効果的に
発振防止策を施している。
ところで、実際の集積回路素子の試験は、第３図に示し
た試験だけで済むような場合はなく、第４図の例のよう
に（この場合は発振しない例を示す）、単に電流，電圧
源４を端子T2から端子T1へ接続替えするのみで、出力端
子T5の電圧、または電流測定を行う試験等の繰り返し
を、数多く実行することが行われる。
た試験だけで済むような場合はなく、第４図の例のよう
に（この場合は発振しない例を示す）、単に電流，電圧
源４を端子T2から端子T1へ接続替えするのみで、出力端
子T5の電圧、または電流測定を行う試験等の繰り返し
を、数多く実行することが行われる。
発明が解決しようとする問題点 ところで、集積回路素子の試験は、試験項目が多く、ま
た各項目の試験が極力短時間で行われることが望まし
い。しかしながら、実際には、第４図の例のように発振
防止用のコンデンサ６が必要でない試験項目の場合で
も、第３図の例の試験項目では発振を起こすため、発振
防止用のコンデンサ６を、端子T1とT7の間に常時接続し
ておく必要がある。このため、このコンデンサ６に充電
する充電時間を要し、出力端子T5の電圧または電流が安
定するまでに時間がかかり、結果的に試験速度が落ちる
ことになる。
た各項目の試験が極力短時間で行われることが望まし
い。しかしながら、実際には、第４図の例のように発振
防止用のコンデンサ６が必要でない試験項目の場合で
も、第３図の例の試験項目では発振を起こすため、発振
防止用のコンデンサ６を、端子T1とT7の間に常時接続し
ておく必要がある。このため、このコンデンサ６に充電
する充電時間を要し、出力端子T5の電圧または電流が安
定するまでに時間がかかり、結果的に試験速度が落ちる
ことになる。
問題点を解決するための手段 この問題を解決するため、本発明はあらかじめ発振を防
止させる端子間にコンデンサとスイッチ手段を直列に接
続し、ICテスタでの測定時に発振する試験項目を調査し
ておき、その項目の試験時のみ前記スイッチ手段を導通
させて発振防止用のコンデンサを接続して発振を防ぎ、
一方発振しない項目の試験時には前記スイッチ手段を遮
断させてこの発振防止用のコンデンサを切り離して、集
積回路素子の試験を行うものである。
止させる端子間にコンデンサとスイッチ手段を直列に接
続し、ICテスタでの測定時に発振する試験項目を調査し
ておき、その項目の試験時のみ前記スイッチ手段を導通
させて発振防止用のコンデンサを接続して発振を防ぎ、
一方発振しない項目の試験時には前記スイッチ手段を遮
断させてこの発振防止用のコンデンサを切り離して、集
積回路素子の試験を行うものである。
作用 この構成によって、発振を止めるとともに、発振しない
項目の試験時に発振防止用のコンデンサによる充電時間
を必要とせず、従って集積回路素子の試験時間を短縮
し、試験コストを低減することができる。
項目の試験時に発振防止用のコンデンサによる充電時間
を必要とせず、従って集積回路素子の試験時間を短縮
し、試験コストを低減することができる。
実施例 第１図，第２図は、本発明にかかる実施例であり、第３
図，第４図と同一機能を有する部分には同一の符号を付
して説明を省略する。
図，第４図と同一機能を有する部分には同一の符号を付
して説明を省略する。
第１図，第２図において、５はスイッチ手段を構成する
リレーであり、発振防止用コンデンサ６と直列に接続さ
れている。なお、リレー５を駆動する回路は周知のもの
でよいので、第１図，第２図では便宜上省略してある。
リレーであり、発振防止用コンデンサ６と直列に接続さ
れている。なお、リレー５を駆動する回路は周知のもの
でよいので、第１図，第２図では便宜上省略してある。
上記構成において、発振を生ずる項目の試験時には、第
１図に示すようにリレー５は閉じておき、発振防止用の
コンデンサ６を、端子T7とT1の間に接続して発振を防
ぎ、端子T5の電圧、または電流を安定にして測定する。
１図に示すようにリレー５は閉じておき、発振防止用の
コンデンサ６を、端子T7とT1の間に接続して発振を防
ぎ、端子T5の電圧、または電流を安定にして測定する。
一方、発振を生じない項目の試験時には、第２図に示す
ようにリレー５は開いておき、発振防止用コンデンサ６
を、端子T7とT1から切り離す。すなわち、このときは発
振防止用のコンデンサ６は必要とせず、従ってこのコン
デンサ６を切り離すことによって、このコンデンサ６へ
の充電時間を零にする。これにより端子T5の電圧、また
は電流を安定に、しかも第４図の例と比較して試験時間
を短縮して測定できる。
ようにリレー５は開いておき、発振防止用コンデンサ６
を、端子T7とT1から切り離す。すなわち、このときは発
振防止用のコンデンサ６は必要とせず、従ってこのコン
デンサ６を切り離すことによって、このコンデンサ６へ
の充電時間を零にする。これにより端子T5の電圧、また
は電流を安定に、しかも第４図の例と比較して試験時間
を短縮して測定できる。
このように、上記実施例によれば発振防止用のコンデン
サ６を、必要項目毎にリレー等のスイッチ手段を用い
て、集積回路素子１の必要端子T7,T1間に接続すること
で、発振する項目での発振を押さえ、一方発振しない項
目では、発振防止用のコンデンサ６をスイッチ手段によ
り接続せず、この発振防止用のコンデンサ６への充電時
間を省くことで、試験時間を短縮することができる。
サ６を、必要項目毎にリレー等のスイッチ手段を用い
て、集積回路素子１の必要端子T7,T1間に接続すること
で、発振する項目での発振を押さえ、一方発振しない項
目では、発振防止用のコンデンサ６をスイッチ手段によ
り接続せず、この発振防止用のコンデンサ６への充電時
間を省くことで、試験時間を短縮することができる。
発明の効果 本発明による集積回路素子の試験方法を用いることによ
り、集積回路素子試験を、より安定に行うことができ、
併せて試験時間を短縮し試験コストを低減できる。
り、集積回路素子試験を、より安定に行うことができ、
併せて試験時間を短縮し試験コストを低減できる。
第１図，第２図は本発明の集積回路素子の試験方法の１
実施例を示す回路図、第３図，第４図は従来より使用さ
れている試験方法の回路図である。 １……集積回路素子、２……電流，電圧計、3,4……電
流，電圧源、５……リレー、６……発振防止用コンデン
サ、T1〜T7……集積回路素子の端子。
実施例を示す回路図、第３図，第４図は従来より使用さ
れている試験方法の回路図である。 １……集積回路素子、２……電流，電圧計、3,4……電
流，電圧源、５……リレー、６……発振防止用コンデン
サ、T1〜T7……集積回路素子の端子。
Claims (1)
- 【請求項１】集積回路素子のコンデンサを接続すること
により発振が止まる端子間発振防止用の前記コンデンサ
と、スイッチ手段とを直列に接続し、前記集積回路素子
に対する複数の試験項目のうち、発振が生ずる項目の試
験時には前記スイッチ手段を閉じて前記コンデンサを前
記端子間に接続して試験を行い、それ以外の項目の試験
時には前記スイッチ手段を開いて前記コンデンサを前記
端子から切り離して試験を行うことを特徴とする集積回
路素子の試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61230389A JPH0695130B2 (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 集積回路素子の試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61230389A JPH0695130B2 (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 集積回路素子の試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6383678A JPS6383678A (ja) | 1988-04-14 |
| JPH0695130B2 true JPH0695130B2 (ja) | 1994-11-24 |
Family
ID=16907110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61230389A Expired - Lifetime JPH0695130B2 (ja) | 1986-09-29 | 1986-09-29 | 集積回路素子の試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0695130B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0320682A (ja) * | 1989-06-16 | 1991-01-29 | Matsushita Electron Corp | 半導体集積回路検査装置 |
| CN118112397A (zh) * | 2024-04-30 | 2024-05-31 | 杭州芯云半导体技术有限公司 | 一种用于测试集成电路的电路架构及集成电路测试方法 |
-
1986
- 1986-09-29 JP JP61230389A patent/JPH0695130B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6383678A (ja) | 1988-04-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |