JPH069487Y2 - ウェハ周辺露光装置 - Google Patents
ウェハ周辺露光装置Info
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- JPH069487Y2 JPH069487Y2 JP1988138181U JP13818188U JPH069487Y2 JP H069487 Y2 JPH069487 Y2 JP H069487Y2 JP 1988138181 U JP1988138181 U JP 1988138181U JP 13818188 U JP13818188 U JP 13818188U JP H069487 Y2 JPH069487 Y2 JP H069487Y2
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- JP
- Japan
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- wafer
- light
- peripheral portion
- lens system
- resist
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988138181U JPH069487Y2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | ウェハ周辺露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1988138181U JPH069487Y2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | ウェハ周辺露光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0260229U JPH0260229U ( ) | 1990-05-02 |
JPH069487Y2 true JPH069487Y2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=31400283
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1988138181U Expired - Lifetime JPH069487Y2 (ja) | 1988-10-25 | 1988-10-25 | ウェハ周辺露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH069487Y2 ( ) |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6060724A (ja) * | 1983-09-14 | 1985-04-08 | Toshiba Corp | 半導体露光装置 |
JPS6173330A (ja) * | 1984-09-18 | 1986-04-15 | Nec Corp | 半導体デバイス製造装置 |
-
1988
- 1988-10-25 JP JP1988138181U patent/JPH069487Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0260229U ( ) | 1990-05-02 |
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