JPH0688249B2 - スライシングマシン - Google Patents
スライシングマシンInfo
- Publication number
- JPH0688249B2 JPH0688249B2 JP33420491A JP33420491A JPH0688249B2 JP H0688249 B2 JPH0688249 B2 JP H0688249B2 JP 33420491 A JP33420491 A JP 33420491A JP 33420491 A JP33420491 A JP 33420491A JP H0688249 B2 JPH0688249 B2 JP H0688249B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cut
- inner cover
- cutting blade
- opening
- slicing machine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
- B28D5/022—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels
- B28D5/028—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills by cutting with discs or wheels with a ring blade having an inside cutting edge
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスライシングマシン、詳
しくは内周縁に切刃を備えた環状の切断刃を回転し、内
孔に挿入した被切断部材を順次ウエハー状に切断するス
ライシングマシンに関するものである。
しくは内周縁に切刃を備えた環状の切断刃を回転し、内
孔に挿入した被切断部材を順次ウエハー状に切断するス
ライシングマシンに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記スライシングマシンの一例を図１０
及び図１１に示す。このスライシングマシン５０は内周
に切刃５１ａを形成した環状の切断刃５１の外周をブレ
ード受け５２とトップリング５３とにより挟持し、適宣
の駆動手段（図示省略）により回動し、これを支軸５５
により開閉可能とした開閉ドアフレーム５４により覆
い、この開閉ドアフレーム５４には被切断部材Ｗを所定
量ずつ前進及び昇降させる取付台５６を取り付ける。５
７は被切断部材Ｗ及び取付台５６の先端部を挿入するた
めの開閉ドアフレーム５４に形成される開口部を示し、
この開口部５７には取付台５６先端に係合する下部スラ
イドカバー５８及びこの下部スライドカバーに載置され
る上部スライドカバー５９を備える。これにより被切断
部材Ｗをウエハー状に切断するに際し、被切断部材Ｗの
下部に取り付けられるダミー材Ｄの一部を残して切込み
を形成し、切断刃の後方に設けられるウエハー取出装置
（図示省略）によりウエハーを吸着しつつダミー材の下
部を切断して取り出される。この際、切断刃の刃先や切
断刃面に吹き付けられる切削液や洗浄液ミストは上下の
スライドカバーにより外部への飛散を防止する。
及び図１１に示す。このスライシングマシン５０は内周
に切刃５１ａを形成した環状の切断刃５１の外周をブレ
ード受け５２とトップリング５３とにより挟持し、適宣
の駆動手段（図示省略）により回動し、これを支軸５５
により開閉可能とした開閉ドアフレーム５４により覆
い、この開閉ドアフレーム５４には被切断部材Ｗを所定
量ずつ前進及び昇降させる取付台５６を取り付ける。５
７は被切断部材Ｗ及び取付台５６の先端部を挿入するた
めの開閉ドアフレーム５４に形成される開口部を示し、
この開口部５７には取付台５６先端に係合する下部スラ
イドカバー５８及びこの下部スライドカバーに載置され
る上部スライドカバー５９を備える。これにより被切断
部材Ｗをウエハー状に切断するに際し、被切断部材Ｗの
下部に取り付けられるダミー材Ｄの一部を残して切込み
を形成し、切断刃の後方に設けられるウエハー取出装置
（図示省略）によりウエハーを吸着しつつダミー材の下
部を切断して取り出される。この際、切断刃の刃先や切
断刃面に吹き付けられる切削液や洗浄液ミストは上下の
スライドカバーにより外部への飛散を防止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】この場合、被切断部材
Ｗが比較的小径、例えば６インチ以下の場合には、最初
の１枚を除き２枚目以降は通常の吸着手段による取出装
置により吸着して取り出すことは容易であるが、最初の
１枚目は吸着面は不整面であり、吸着は困難である。さ
らに近時においては被切断部材は大型となり、８インチ
のものも使用されている。しかし大型となると通常の吸
着手段では取り出しが困難である。従って切断されたウ
エハーの取り出しに際しては開閉ドア５４を開き、人手
により取り出す手段が採られている。しかしこの場合、
切断刃は回転しており、この回転は通常目視によっては
判別が困難な場合が多い。従ってウエハーを取り出す際
には往々にして危険であり、かつ切断刃にウエハーを当
て、ウエハー及び切断刃を損傷する等の問題がある。そ
のため通常作業者は切断刃の回転を停止させ、ドアフレ
ームを開けてウエハーを手動で取り出している。
Ｗが比較的小径、例えば６インチ以下の場合には、最初
の１枚を除き２枚目以降は通常の吸着手段による取出装
置により吸着して取り出すことは容易であるが、最初の
１枚目は吸着面は不整面であり、吸着は困難である。さ
らに近時においては被切断部材は大型となり、８インチ
のものも使用されている。しかし大型となると通常の吸
着手段では取り出しが困難である。従って切断されたウ
エハーの取り出しに際しては開閉ドア５４を開き、人手
により取り出す手段が採られている。しかしこの場合、
切断刃は回転しており、この回転は通常目視によっては
判別が困難な場合が多い。従ってウエハーを取り出す際
には往々にして危険であり、かつ切断刃にウエハーを当
て、ウエハー及び切断刃を損傷する等の問題がある。そ
のため通常作業者は切断刃の回転を停止させ、ドアフレ
ームを開けてウエハーを手動で取り出している。
【０００４】本発明はかかる点に鑑み、ウエハーの手動
での取り出しに際し切断刃に接触することなくかつ切断
刃の回転を停止させることなく、作業の安全及び切断刃
並びにウエハーの損傷の防止を計ることや切断刃の停
止、再起動の無駄時間をなくすことを目的とする。
での取り出しに際し切断刃に接触することなくかつ切断
刃の回転を停止させることなく、作業の安全及び切断刃
並びにウエハーの損傷の防止を計ることや切断刃の停
止、再起動の無駄時間をなくすことを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明のスライシングマシンは、内周縁に切刃を設け
た環状切断刃を回転し、内孔に挿入した被切断部材を切
断するスライシングマシンにおいて、被切断部材は切断
刃の前面を覆う開閉ドアフレームに設けられる取付台に
取り付けるとともに、上記切断刃と開閉ドアフレームと
の間には常時切断刃を覆うインナーカバーを設けたもの
である。
の本発明のスライシングマシンは、内周縁に切刃を設け
た環状切断刃を回転し、内孔に挿入した被切断部材を切
断するスライシングマシンにおいて、被切断部材は切断
刃の前面を覆う開閉ドアフレームに設けられる取付台に
取り付けるとともに、上記切断刃と開閉ドアフレームと
の間には常時切断刃を覆うインナーカバーを設けたもの
である。
【０００６】また第２の発明は、上記インナーカバーに
は被切断部材を挿入する縦長の挿入孔を穿孔し、かつこ
のインナーカバーには被切断部材の上下の開口部を覆う
上下のスライドカバーを備え、該スライドカバーは被切
断部材の取付台に係合する係合突起を設けたものであ
る。
は被切断部材を挿入する縦長の挿入孔を穿孔し、かつこ
のインナーカバーには被切断部材の上下の開口部を覆う
上下のスライドカバーを備え、該スライドカバーは被切
断部材の取付台に係合する係合突起を設けたものであ
る。
【０００７】さらに第３の発明は、前記インナーカバー
には係止用止金を覆う安全レバーを備え、該安全レバー
の回動により止金の解錠を可能とし、安全レバーは回動
によりインナーカバーより突出し開閉ドアに当接しイン
ナーカバーの回動を規制する長さを有せしめるととも
に、安全レバーには回動により切断刃を非常停止させる
スイッチを設けたものである。
には係止用止金を覆う安全レバーを備え、該安全レバー
の回動により止金の解錠を可能とし、安全レバーは回動
によりインナーカバーより突出し開閉ドアに当接しイン
ナーカバーの回動を規制する長さを有せしめるととも
に、安全レバーには回動により切断刃を非常停止させる
スイッチを設けたものである。
【０００８】
【作用】インナーカバーを取り付けることにより、開閉
ドアを開きウエハーの取り出しに際しては、回転する切
断刃への接触を防止する。またインナーカバーの挿入孔
に上下のスライドカバーを設けることにより切削液の外
部への飛散を防止する。
ドアを開きウエハーの取り出しに際しては、回転する切
断刃への接触を防止する。またインナーカバーの挿入孔
に上下のスライドカバーを設けることにより切削液の外
部への飛散を防止する。
【０００９】
【実施例】図１乃至図９は本発明の実施例を示す。スラ
イシングマシン１は内周に切刃２ａを備える環状切断刃
２の外周を椀状のブレード受け３の外周先端とトップリ
ング４とにより挟持される。ブレード受け３の後方はベ
アリング５の外筒６に取り付けられる。７はこの外筒６
の駆動用ベルトである。また１０は上記ブレード受け３
を覆う開閉ドアフレームであり、支軸１１により開閉自
在とし、この開閉ドアフレーム１０には被切断部材Ｗを
支持し所定量ずつの送り出しと昇降とを行う取付台１２
を取り付ける。１３は取付台１２の先端及び被切断部材
Ｗの挿入を許容する切欠部である。なおこの開閉ドアフ
レーム１０は機台Ｆの下半分を覆うもので、１４は上半
分を覆う補助カバーを示す。この補助カバー１４は機台
前面に開閉可能に取り付けてもよく、あるいは開閉ドア
１０の上面に取り付けてもよい。
イシングマシン１は内周に切刃２ａを備える環状切断刃
２の外周を椀状のブレード受け３の外周先端とトップリ
ング４とにより挟持される。ブレード受け３の後方はベ
アリング５の外筒６に取り付けられる。７はこの外筒６
の駆動用ベルトである。また１０は上記ブレード受け３
を覆う開閉ドアフレームであり、支軸１１により開閉自
在とし、この開閉ドアフレーム１０には被切断部材Ｗを
支持し所定量ずつの送り出しと昇降とを行う取付台１２
を取り付ける。１３は取付台１２の先端及び被切断部材
Ｗの挿入を許容する切欠部である。なおこの開閉ドアフ
レーム１０は機台Ｆの下半分を覆うもので、１４は上半
分を覆う補助カバーを示す。この補助カバー１４は機台
前面に開閉可能に取り付けてもよく、あるいは開閉ドア
１０の上面に取り付けてもよい。
【００１０】１５は上記ブレード受け３を直接覆うよう
にしたインナーカバーで一側は機台Ｆのフロントプレー
トＦａに支軸１６により開閉可能に取り付けたもので、
前面には被切断部材Ｗ及び支持台１２の先端を挿入する
挿入孔１７を穿孔し、この挿入孔１７にはこれを覆う下
部スライドカバー１８及び上部スライドカバー１９を取
り付ける。
にしたインナーカバーで一側は機台Ｆのフロントプレー
トＦａに支軸１６により開閉可能に取り付けたもので、
前面には被切断部材Ｗ及び支持台１２の先端を挿入する
挿入孔１７を穿孔し、この挿入孔１７にはこれを覆う下
部スライドカバー１８及び上部スライドカバー１９を取
り付ける。
【００１１】下部スライドカバー１８は図５及び図６に
示す如く上部中央を切欠してＵ字状とし、中央部には支
持台１２に形成した突起部２０に係合する係合突起２１
を形成し、インナーカバー１５の内部に垂下され、両側
にガイドブロック２２を取り付けインナーカバーに設け
られたガイドレール２３（図８参照）にそって昇降する
もので、被切断部材Ｗを最上昇位置に上昇したときにお
いても上記挿入孔１７の下方を覆う長さを有する。上部
スライドカバー１９は下端を被切断部材Ｗにそう円形の
切欠部２５を形成し、インナーカバー１５の前部に取り
付けたガイドレール２６（図５参照）にそって昇降する
とともに、被切断部材Ｗが最下端に降下したときの挿入
孔１７の上方を覆う長さを有し、かつその下端は前記下
部スライドカバー１８の両側上端に突出した受片２７に
支承されている。
示す如く上部中央を切欠してＵ字状とし、中央部には支
持台１２に形成した突起部２０に係合する係合突起２１
を形成し、インナーカバー１５の内部に垂下され、両側
にガイドブロック２２を取り付けインナーカバーに設け
られたガイドレール２３（図８参照）にそって昇降する
もので、被切断部材Ｗを最上昇位置に上昇したときにお
いても上記挿入孔１７の下方を覆う長さを有する。上部
スライドカバー１９は下端を被切断部材Ｗにそう円形の
切欠部２５を形成し、インナーカバー１５の前部に取り
付けたガイドレール２６（図５参照）にそって昇降する
とともに、被切断部材Ｗが最下端に降下したときの挿入
孔１７の上方を覆う長さを有し、かつその下端は前記下
部スライドカバー１８の両側上端に突出した受片２７に
支承されている。
【００１２】なおこれら両スライドカバー１８，１９は
取付台１２を開閉ドアフレーム１０とともに引き出した
ときインナーカバー１５に残留するもので、取付台１２
を再度挿入したとき上記係合突起２１に係合するため、
両スライドカバー１８，１９を自重による降下を阻止す
る必要がある。３０はその係止手段で押圧シリンダより
構成し、下部スライドカバー１９に対向してインナーカ
バー１５に取り付けられ、開閉ドアフレーム１０を開放
するため止金３１を外すとき自動的に作動し、下部スラ
イドカバー１８を押圧し降下を阻止するようにしたもの
である。
取付台１２を開閉ドアフレーム１０とともに引き出した
ときインナーカバー１５に残留するもので、取付台１２
を再度挿入したとき上記係合突起２１に係合するため、
両スライドカバー１８，１９を自重による降下を阻止す
る必要がある。３０はその係止手段で押圧シリンダより
構成し、下部スライドカバー１９に対向してインナーカ
バー１５に取り付けられ、開閉ドアフレーム１０を開放
するため止金３１を外すとき自動的に作動し、下部スラ
イドカバー１８を押圧し降下を阻止するようにしたもの
である。
【００１３】またインナーカバー１５は常時は開放しな
いが、切断刃の張り上げや増締等の作業時必要により支
軸を中心として開放する場合がある。この時開閉ドアフ
レーム１０の開放角度が充分でないときは、支軸１１と
１６との取付位置の関係上被切断部材Ｗの先端に形成し
たウエハーにインナーカバー１５が当接するおそれがあ
る。このための安全手段としてインナーカバー１５には
安全レバー４０を回動可能に設け、この安全レバーは常
時はインナーカバー１５の一方の係止用止金４１を覆
い、インナーカバー１５を開放するためには先ず安全レ
バー４０を回動した後止金４１を外すもので、この際安
全レバー４０は外方に突出した位置に保持せしめる。こ
れによりインナーカバー１５を開放しても安全レバー４
０が開閉ドアフレーム１０の側壁に当接し（図４参
照）、これにより被切断部材Ｗとの接触を防止すること
ができる。
いが、切断刃の張り上げや増締等の作業時必要により支
軸を中心として開放する場合がある。この時開閉ドアフ
レーム１０の開放角度が充分でないときは、支軸１１と
１６との取付位置の関係上被切断部材Ｗの先端に形成し
たウエハーにインナーカバー１５が当接するおそれがあ
る。このための安全手段としてインナーカバー１５には
安全レバー４０を回動可能に設け、この安全レバーは常
時はインナーカバー１５の一方の係止用止金４１を覆
い、インナーカバー１５を開放するためには先ず安全レ
バー４０を回動した後止金４１を外すもので、この際安
全レバー４０は外方に突出した位置に保持せしめる。こ
れによりインナーカバー１５を開放しても安全レバー４
０が開閉ドアフレーム１０の側壁に当接し（図４参
照）、これにより被切断部材Ｗとの接触を防止すること
ができる。
【００１４】なおこの安全レバー４０の定位置、即ち止
金４１の上方に位置したとき、近接スイッチＳＷ１を対
設する。このスイッチは安全レバー４０を開放するとき
は切断刃２の回転を停止する非常停止用スイッチであ
る。なお図１においてＳＷ２はインナーカバー１５の閉
塞を検知する検知スイッチである。
金４１の上方に位置したとき、近接スイッチＳＷ１を対
設する。このスイッチは安全レバー４０を開放するとき
は切断刃２の回転を停止する非常停止用スイッチであ
る。なお図１においてＳＷ２はインナーカバー１５の閉
塞を検知する検知スイッチである。
【００１５】上記構成において、取付台１２を上昇し被
切断部材Ｗに切目を入れ、ついで下降しダミー材Ｄにも
切目を入れた後、被切断部材Ｗを切刃２ａの略々中心位
置に復し、開閉ドアフレーム１０を開き、ウエハーを手
作業により取り出す。この際回転する切断刃２はインナ
ーカバー１５により保護されている故、これに触れるこ
とはない。なお上記開閉ドア１０の止金３１を外すこと
により係止手段のシリンダ３０は作動して下部スライド
カバー１８を押圧してこれを保持し、落下を防止する。
これに伴い、上部スライドカバー１９も下部スライドカ
バーにより保持されている。
切断部材Ｗに切目を入れ、ついで下降しダミー材Ｄにも
切目を入れた後、被切断部材Ｗを切刃２ａの略々中心位
置に復し、開閉ドアフレーム１０を開き、ウエハーを手
作業により取り出す。この際回転する切断刃２はインナ
ーカバー１５により保護されている故、これに触れるこ
とはない。なお上記開閉ドア１０の止金３１を外すこと
により係止手段のシリンダ３０は作動して下部スライド
カバー１８を押圧してこれを保持し、落下を防止する。
これに伴い、上部スライドカバー１９も下部スライドカ
バーにより保持されている。
【００１６】ついで開閉ドアフレーム１０を閉じ旧に復
することにより取付台１２に設けられる突起２０は下部
スライドカバー１８の係合突起２１に係合し、止金３１
を掛けることにより係止手段３０は復帰し、下部スライ
ドカバー１８は取付台１２に伴って昇降が可能となる。
することにより取付台１２に設けられる突起２０は下部
スライドカバー１８の係合突起２１に係合し、止金３１
を掛けることにより係止手段３０は復帰し、下部スライ
ドカバー１８は取付台１２に伴って昇降が可能となる。
【００１７】
【発明の効果】以上の如く本発明によるときは、回転す
る切断刃をインナーカバーにて覆うようにしたから、開
閉ドアフレームを開放しこの開閉ドアフレームに取り付
けた被切断部材に形成されるウエハーを手作業にて取り
外すに際し、回転する切断刃に接触することがなく安全
であり、かつ切断刃を損傷するおそれがない。またこの
インナーカバーに形成した被切断部材及びこれを取り付
ける取付台の先端を挿入する開口部には上下のスライド
カバーを配備し、上記取付台により昇降するようにした
から、切削液は外部に漏出するおそれはない。またこの
スライドカバーは取付台に付随して昇降することができ
る。さらにまたインナーカバーには安全レバーを取り付
け、インナーカバーを開放したとき、インナーカバーは
開閉ドア内部に突出する被切断部材先端に形成されるウ
エハーに当接することを防止するとともに切断刃の回転
を停止するようにしたから、安全である。
る切断刃をインナーカバーにて覆うようにしたから、開
閉ドアフレームを開放しこの開閉ドアフレームに取り付
けた被切断部材に形成されるウエハーを手作業にて取り
外すに際し、回転する切断刃に接触することがなく安全
であり、かつ切断刃を損傷するおそれがない。またこの
インナーカバーに形成した被切断部材及びこれを取り付
ける取付台の先端を挿入する開口部には上下のスライド
カバーを配備し、上記取付台により昇降するようにした
から、切削液は外部に漏出するおそれはない。またこの
スライドカバーは取付台に付随して昇降することができ
る。さらにまたインナーカバーには安全レバーを取り付
け、インナーカバーを開放したとき、インナーカバーは
開閉ドア内部に突出する被切断部材先端に形成されるウ
エハーに当接することを防止するとともに切断刃の回転
を停止するようにしたから、安全である。
【図１】本発明のスライシングマシンの縦断面図であ
る。
る。
【図２】図１における補助カバーを外した正面図であ
る。
る。
【図３】図１におけるＸ−Ｘ線に沿う断面図である。
【図４】開閉ドア及びインナーカバーを開放した状態を
示す説明図である。
示す説明図である。
【図５】図２における開閉ドアを外した正面図である。
【図６】インナーカバーと上下スライドカバーとの関係
説明図である。
説明図である。
【図７】上下スライドカバーの正面図である。
【図８】下部スライドカバーの摺動要領説明図である。
【図９】係止手段の説明図である。
【図１０】従来例のスライシングマシンの縦断面図であ
る。
る。
【図１１】図１０の正面図である。
１ スライシングマシン ２ 切断刃 ２ａ 切刃 １０ 開閉ドア １２ 取付台 １５ インナーカバー １７ 挿入孔 １８ 下部スライドカバー １９ 上部スライドカバー ３０ 係止手段 ４０ 安全レバー ＳＷ１ 近接スイッチ
【その他】 明細書の実体的内容については変更なし。
Claims (3)
- 【請求項１】 内周縁に切刃を設けた環状切断刃を回転
し、内孔に挿入した被切断部材を切断するスライシング
マシンにおいて、被切断部材は切断刃の前面を覆う開閉
ドアフレームに設けられる取付台に取り付けるととも
に、上記切断刃と開閉ドアフレームとの間には常時切断
刃を覆うインナーカバーを設けたことを特徴とするスラ
イシングマシン。 - 【請求項２】 インナーカバーには被切断部材を挿入す
る縦長の挿入孔を穿孔し、かつこのインナーカバーには
被切断部材の上下の開口部を覆う上下のスライドカバー
を備え、該スライドカバーは被切断部材の取付台に係合
する係合突起を設けたことを特徴とする請求項１記載の
スライシングマシン。 - 【請求項３】 インナーカバーには係止用止金を覆う安
全レバーを備え、該安全レバーの回動により止金の解錠
を可能とし、安全レバーは回動によりインナーカバーよ
り突出し開閉ドアに当接しインナーカバーの回動を規制
する長さを有せしめるとともに、安全レバーには回動に
より切断刃を非常停止させるスイッチを設けたことを特
徴とする請求項１記載のスライシングマシン。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33420491A JPH0688249B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | スライシングマシン |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33420491A JPH0688249B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | スライシングマシン |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0679718A JPH0679718A (ja) | 1994-03-22 |
| JPH0688249B2 true JPH0688249B2 (ja) | 1994-11-09 |
Family
ID=18274708
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33420491A Expired - Lifetime JPH0688249B2 (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | スライシングマシン |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0688249B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5445552B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2014-03-19 | 株式会社島津製作所 | 材料試験装置 |
| CN105666710A (zh) * | 2016-04-05 | 2016-06-15 | 东旭科技集团有限公司 | 用于板材切割的内圆切片机 |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP33420491A patent/JPH0688249B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0679718A (ja) | 1994-03-22 |
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