JPH0687939A - 光重合可能な乾燥フィルム組成物 - Google Patents

光重合可能な乾燥フィルム組成物

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JPH0687939A
JPH0687939A JP4294576A JP29457692A JPH0687939A JP H0687939 A JPH0687939 A JP H0687939A JP 4294576 A JP4294576 A JP 4294576A JP 29457692 A JP29457692 A JP 29457692A JP H0687939 A JPH0687939 A JP H0687939A
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polyurethane
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film
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Richard T Mayes
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Hercules LLC
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    • C08GMACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
    • C08G18/00Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates
    • C08G18/06Polymeric products of isocyanates or isothiocyanates with compounds having active hydrogen
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 【構成】水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム組成
物であって、該光重合可能な組成物がさらに、少なくと
も一つのエチレン性不飽和末端基を有するカルボキシル
基含有ポリウレタンを光重合可能な乾燥フィルム組成物
の重量の0.5ー30%含む組成 物。 【効果】フォトレジストとして有用な水性現象可能な乾
燥フィルム光重合性組成物である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は、フォトレジストとして有用な水
性現像可能な乾燥フィルム光重合性組成物に関するもの
である。
【0002】水性現像可能な乾燥フィルム光重合性組成
物は、印刷回路板の製造に用いることができる。かかる
光重合性組成物は、概して、溶媒和したレジスト材料
を、透明ポリエステルフィルムのようなキャリアに施
し、次に溶媒を蒸発させて乾燥フィルムを得ることによ
って製造される。例えば、米国特許第4,686,17
1号及び同第4,725,524号においては、乾燥フ
ィルムの形態の水性現像可能な光重合性組成物が開示さ
れている。フォトレジストとしての典型的な使用におい
ては、乾燥フィルム光重合性組成物を、キャリアに沿っ
た銅クラッド基材に施し、ある領域内において、キャリ
アを通してフィルムを硬化させる化学線に曝露し、次に
アルカリ性水溶液で洗浄して未曝露フィルムを銅から除
去する。次に、曝露された銅表面を、硬化した光重合性
組成物の下の保護領域を残して、エッチング溶液中で除
去し、電気回路を形成することができる。米国特許第
3,469,982号、同第4,293,635号及び
同第4,268,610号においては、照射源、曝露強
度及び曝露時間、現像及びストリッピング溶液及びその
技法、並びに積層板組成物を包含する光画像形成技術及
び装置の例が開示されている。
【0003】フォトレジストとして用いることが意図さ
れる光重合性組成物は、曝露時間及び現像時間を最小に
し、かつ、光重合性組成物が被覆材料と向かい合うキャ
リア材料に選択的に接着するようにされていることが好
ましい。また、硬化後の材料における柔軟性を保持し
て、硬化材料が加工中にクラッキングしたり破壊したり
しないようにすることも重要である。
【0004】しかしながら、光重合性組成物の配合にお
いては、各成分の微妙なバランスを維持しなければなら
ない。レジストの柔軟性に有利に影響する材料は、たと
えそれを少量しか用いない場合でも、曝露時間又は現像
時間に悪影響を与える可能性があり、あるいは組成物の
選択的接着性に悪影響を与える可能性がある。柔軟性を
向上させるために、N−エチルトルエンスルホンアミド
のような可塑剤が光重合性組成物配合物中に導入されて
いる。しかしながら、かかる可塑剤は、組成物から滲出
する可能性があり、その有効性が制限される。
【0005】本発明によれば、水性現像可能な乾燥フィ
ルム光重合性組成物であって、更に、可塑剤として少な
くとも一つのエチレン系不飽和末端基を有するカルボキ
シル含有ポリウレタンを含むことを改良点とする上記組
成物が提供される。ポリマー中におけるエチレン系不飽
和部分により、光重合中に光重合性組成物中の他の材料
と反応して、硬化マトリクスの一部となることができる
ようになる。硬化マトリクスの一部としての可塑剤は材
料から滲出することがないので、硬化材料の柔軟性がこ
れによって改良される。カルボキシル基は、ポリマーの
可溶性を向上し、これにより、洗浄中に未硬化領域から
ポリマーを除去するのが容易になる。本発明は、また、
キャリア上に配置された乾燥フィルム光重合性組成物を
含む物品を提供する。本発明は、更に、基材にキャリア
上に配置された光重合性組成物を施し、光重合性組成物
をキャリアを通して曝露領域内において光重合性組成物
を硬化させるのに十分な化学線に像様露光し(即ち、陰
画を通して露光し)、光重合性組成物からキャリアを除
去し、光重合性組成物をアルカリ性水溶液で洗浄して未
硬化光重合性組成物を基材から除去する工程を含む水性
現像可能な乾燥フィルム光重合性組成物を使用する方法
であって、該光重合性組成物が、少なくとも一つのエチ
レン系不飽和末端基を有するカルボキシル含有ポリウレ
タンを含むことを特徴とする方法を提供する。
【0006】水性現像可能な乾燥フィルム光重合性組成
物は当該技術において周知であり、その特定の成分及び
本発明において有用なポリウレタン可塑剤に加えるそれ
らの相対量は当業者には明白なものであろう。「乾燥」
フィルムとは、溶媒を蒸発させたものである。本発明の
一態様においては、光重合性組成物は、ポリウレタン可
塑剤に加えて、カルボキシル基含有フィルム形成性ポリ
マーバインダー、遊離基光開始剤、多官能性付加重合性
モノマー、及び熱重合抑制剤を含む。また、場合によっ
ては、接着促進剤のような他の添加剤も有用である。乾
燥フィルム光重合性組成物の全重量を基準として、ポリ
マーバインダーの量は30〜75%、より好ましくは4
5〜60%であり、光開始剤の量は2〜10%、より好
ましくは3〜7%であり、付加重合性モノマーの量は5
〜40%、より好ましくは15〜25%であり、ポリウ
レタン可塑剤の量は0.5〜30%、より好ましくは2
〜30%、最も好ましくは9〜15%であり、熱重合抑
制剤の量は0.003〜0.04%、より好ましくは
0.01〜0.02%である。
【0007】本発明による可塑剤として有用なポリウレ
タンは、好ましくは1〜150、より好ましくは2〜1
40、最も好ましくは約10の酸価(即ち、ポリマー1
gを中和するのに必要なKOHのmg数)を有し、5,
000〜50,000、より好ましくは15,000〜
25,000の分子量を有する。ポリウレタンは、好ま
しくは、(1) 少なくとも2種類の脂肪族ジオール及び脂
肪族ジヒドロキシモノ−若しくはジ−カルボン酸の混合
物と、過剰量の脂肪族、脂環式若しくは芳香族ジイソシ
アネートとを、触媒の存在下で反応させて、ポリマー骨
格上に遊離カルボキシル基を有するイソシアネート末端
ウレタンポリマーを製造し、(2) この第1工程の生成物
の末端イソシアネート基を脂肪族モノヒドロキシメタク
リレートと反応させることによって製造される。
【0008】好ましい工程の第1工程において用いられ
るジオールの混合物は、好ましくは1000〜4000
の重量平均分子量を有する少なくとも2種類の脂肪族ジ
オールを含む。好適な脂肪族ジオールとしては、ポリエ
チレングリコール、ポリプロピレングリコール、プロピ
レンオキシドポリマーとエチレンオキシドとの反応によ
って製造されるブロックコポリマー、ポリテトラヒドロ
フランジオール、ポリプロピレンアジペートジオール、
ネオペンチルグリコールアジペートジオール、1,4−
ブタンジオールエチレングリコールアジペートジオー
ル、1,6−ヘキサンジオールフタレートアジペートネ
オペンチルグリコールフタレートアジペートジオール及
びエチレングリコールアジペートジオールが挙げられ
る。ジオールの混合物は、また、脂肪族ジヒドロキシモ
ノ−若しくはジ−カルボン酸をも含む。好適なジヒドロ
キシカルボン酸としては、ビス−ヒドロキシメチルプロ
ピオン酸、2,3−ジヒドロキシブタン酸、2,4−ジ
ヒドロキシ−3,3−ジメチルブタン酸、2,3−ジヒ
ドロキシヘキサデカン酸、ジヒドロキシブテン酸、酒石
酸及び2,3−ジヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸
が挙げられる。ヒドロキシ官能性カルボン酸の濃度は、
ウレタンポリマーを製造するのに用いる成分の全重量を
基準として0.2〜30%、好ましくは2〜5%であっ
てよい。
【0009】ジオールの混合物を過剰量の脂肪族、脂環
式又は芳香族ジイソシアネートと反応させる。好適なジ
イソシアネートとしては、例えば、2,4−若しくは
2,6−トルエンジイソシアネート、イソホロンジイソ
シアネート、1,6−ヘキサメチレンジイソシアネー
ト、2,2,4−トリメチルヘキサメチレン−1,6−
ジイソシアネート、p,p’−メチレン−ビス−フェニ
ルイソシアネート又はこれらの混合物が挙げられる。
【0010】反応に関するヒドロキシル対イソシアネー
トの当量比は、1.1〜2.0であってよい。反応温度
は、好ましくは、40〜90℃、最も好ましくは70〜
80℃である。反応は、好ましくは、触媒として、50
〜300ppmの有機スズ化合物又は0.1〜3%の脂
肪族アミン化合物の存在下で行う。好適な触媒として
は、例えば、ジオクチルスズビス(イソオクチルメルカ
プトアセテート)、ジブチルスズジラウレート、ジブチ
ルスズジイソオクチルマレエート、トリエチレンジアミ
ン、トリエタノールアミン及びトリエチルアミンが挙げ
られる。
【0011】形成されるウレタンポリマーは、ポリマー
骨格上に遊離カルボン酸基及びポリマー鎖の末端にイソ
シアネート基が存在することを特徴とする。
【0012】反応の第2工程においては、第1工程の生
成物を、ポリマー鎖の末端におけるイソシアネート基と
反応するのに十分な量の脂肪族モノヒドロキシアクリレ
ート又はメタクリレートと反応させる。0.2〜10当
量過剰のヒドロキシ官能性メタクリレートが好ましい。
好適なアクリレート及びメタクリレートとしては、例え
ば、2−ヒドロキシプロピルアクリレート及びメタクリ
レート、ブタンジオールモノアクリレート及びモノメタ
クリレート、ブタンジオールモノアクリレート及びモノ
メタクリレート、ポリエチレングリコール(エチレンオ
キシド10〜20モル)モノアクリレート及びモノメタ
クリレート、及びポリプロピレングリコール(プロピレ
ンオキシド5〜20モル)アクリレート及びメタクリレ
ートが挙げられる。上記に特定されたタイプ及び量の有
機スズ化合物又は脂肪族アミン化合物を、この反応に所
望の触媒として用いることができる。得られるウレタン
ポリマーは液状であり、ポリマー鎖の末端部にアクリレ
ート又はメタクリレート基、ポリマー骨格上に遊離カル
ボキシル基、及び1〜150の酸価を有する。
【0013】本発明において有用な遊離基光開始剤は、
約185℃以下において熱的に不活性な、化学線によっ
て活性化し得る従来の光開始剤である。代表的な光開始
剤は、ベンゾフェノン及びジメトキシフェニルアセトフ
ェノンのような芳香族ケトンである。他の有用な光開始
剤は当業者には明らかであろう。
【0014】本発明において用途が見出された多官能性
付加重合性モノマーは、非気体状のものであり、少なく
とも2個、好ましくは2〜4個、より好ましくは2〜3
個のエチレン系二重結合を有するものである。少なくと
も2個のエチレン系二重結合を有することによって、モ
ノマーが多官能性になる、即ち架橋重合をし得るように
なる。好適なモノマーとしては、アルキレン又はポリア
ルキレングリコールジアクリレートが挙げられる。エス
テル結合と共役したビニリデン基を有するモノマーが特
に好適である。代表例としては、エチレンジアクリレー
ト、ジエチレングリコールジアクリレート、グリセロー
ルジアクリレート、グリセロールトリアクリレート、
1,3−プロパンジオールジメタクリレート、1,2,
4−ブタントリオールトリメタクリレート、1,4−ベ
ンゼンジオールジメタクリレート、1,4−シクロヘキ
サンジオールジアクリレート、ペンタエリトリトールト
リ及びテトラメタクリレート、ペンタエリトリトールト
リ及びテトラアクリレート、テトラエチレングリコール
ジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタク
リレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テ
トラエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリト
リトールトリアクリレート、トリメチロールプロパント
リアクリレート、ペンタエリトリトールテトラアクリレ
ート、1,3−プロパンジオールジアクリレート、1,
5−ペンタンジオールジメタクリレート、並びに分子量
約100〜約500(数平均)を有するポリエチレング
リコール、ポリプロピレングリコール及びこれらのコポ
リマーのビスアクリレート及びビスメタクリレートが挙
げられるが、これらに限定されるものではない。他の有
用な重合性モノマーは当業者には明らかであろう。
【0015】本発明において有用な熱重合抑制剤は、乾
燥及び保存中の熱重合を防止するものである。有用な熱
重合抑制剤の例は、p−メトキシフェノール、ヒドロキ
ノン、アルキル及びアリール置換ヒドロキノン及びキノ
ン、tert−ブチルカテコール、ピロガロール、銅レ
ジネート、β−ナフトール、2,6−ジーtert−ブ
チル−p−クレゾール、2,2’−メチレンビス(4−
エチル−6−t−ブチルフェノール)、p−トリルキノ
ン、クロラニル、アリールホスファイト及びアリールア
ルキルホスファイトである。他の有用な熱重合抑制剤は
当業者に明らかであろう。
【0016】本発明において有用なカルボキシル基含有
フィルム形成性ポリマーバインダーは、1以上のフィル
ム形成性ビニルタイプのモノマー及び3〜15個の炭素
原子を有する1以上のα、βエチレン系不飽和カルボキ
シル基含有モノマーから調製され、水性媒体中に可溶性
のバインダーを与える。有用なビニルタイプのモノマー
の例は、3〜15個の炭素原子を有用なアルキル及びヒ
ドロキシアルキルアクリレート及びメタクリレート、ス
チレン、及びアルキル置換スチレンである。有用なカル
ボキシル基含有モノマーの例は、桂皮酸、クロトン酸、
ソルビン酸、アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、
プロピオン酸、マレイン酸、フマール酸及びこれらの酸
の半エステル及び無水物である。他の有用なバインダー
は当業者に明らかであろう。
【0017】一態様においては、単官能性カルボキシル
基含有付加重合性モノマーを、本発明の光重合性組成物
に加える。光重合性組成物から製造される光重合性材料
を、次に、小片で基材からストリッピングできるので、
単官能性(即ち、一つのエチレン系二重結合を有する)
カルボキシル基含有モノマーを用いる。このモノマーを
用いない場合には、光重合性材料はよくストリッピング
できるが、大きなシートでストリッピングしてしまう。
小片でのストリッピングは、微細な線の間の光重合性材
料をより容易に除去することができるので好ましい。ま
た、幾つかのストリッピング装置は、ストリッピングが
大きなシートとして行われると詰まりの問題を生じる可
能性がある濾過系を有している。本発明の光重合性組成
物の重量を基準にして、用いられる単官能性カルボキシ
ル基含有付加重合性モノマーの量は、好ましくは約1〜
約10%、より好ましくは約1.5〜約6%である。有
用な単官能性カルボキシル基含有付加重合性モノマー
は、例えば、イタコン酸、β−カルボキシエチルアクリ
レート、シトラコン酸、クロトン酸、モノメタクリロイ
ルオキシエチルフタレート、モノアクリロイルオキシエ
チルフタレート及びフマール酸である。他の有用なモノ
マーは当業者に明らかであろう。
【0018】本発明の光重合性組成物は、場合によって
は、ロイコ(即ち焼き出し)染料、背景染料、接着促進
剤及び酸化防止剤のような光重合性組成物の分野ににお
いて周知の添加剤を含む。他の場合によって用いる添加
剤は当業者に明らかであろう。所望の場合であっても、
場合によって用いる添加剤は本発明に本質的なものでは
ない。
【0019】本発明の光重合性組成物は、種々の成分を
溶媒中で混合することによって調製される。好適な溶媒
は、アルコール、ケトン、ハロゲン化炭化水素及びエー
テルである。他の溶媒は当業者に明らかであろう。混合
した後、組成物を支持体又はキャリア上に被覆し、溶媒
を蒸発させる。光重合性組成物は、25.4〜50.8
μmの好ましい厚さを有する。キャリアは好ましくは厚
さ約0.0254〜0.0508mmのものである。本
発明の光重合性組成物は、乾燥フィルムのロールとし
て、柔軟な支持部材と柔軟な被覆部材との間に挟まれ
る。本発明の乾燥フィルムを柔軟でない支持体及び柔軟
な支持体の上で製造し、積層シートの積み重ねとして供
給することができることは当業者に明らかであろう。
【0020】本発明の光重合性組成物は、印刷回路板の
製造における光重合性組成物として用いられる。一般
に、組成物を、銅クラッド基材の銅表面上に施し、陰画
を通して化学線に曝露して光重合材料の潜像を形成さ
せ、公知の水性現像溶液中で現像して、銅表面から未重
合の組成物を除去する。次に、光重合性材料によって被
覆されていない表面部分を、公知の方法によって、例え
ばメッキ又はエッチング方法によって、光重合性組成物
が被覆表面を保護した状態のままで、修正することがで
きる。光重合性材料は、最終的には公知のストリッピン
グ溶液による洗浄によって基材から除去される。
【0021】本発明の光重合性組成物は、公知の方法に
よって、例えば透明な剥離可能な支持材に接着した乾燥
フィルムのホットシュー若しくはホットロール積層物と
して施し、その支持材を重合後に除去することによっ
て、銅クラッド基材に施される。一般に、組成物を重合
するのに用いる化学線の量は、約35〜約150mJ/
cm2であり、正確な量は特定の組成物をベースとする
当業者によって決定することができる。
【0022】銅クラッド基材は、ファイバーグラス強化
エポキシ樹脂の銅クラッド板のような回路板製造におい
て用いられる任意の公知の銅/誘電積層物である。他の
有用な誘電材料は当業者に明らかであろう。
【0023】本発明において用いられる水性現像溶液
は、約0.5〜10重量%、好ましくは約0.5〜1重
量%のアルカリ性試薬を有し、潜像板は、未重合組成物
を除去するのに十分な時間この溶液で洗浄される。有用
なアルカリ性試薬は、アルカリ金属ヒドロキシド、例え
ばリチウム、ナトリウム及びカリウムヒドロキシド、弱
酸の塩基反応アルカリ金属塩、例えば炭酸ナトリウム及
び重炭酸ナトリウム、並びにアルカリ金属ホスフェート
及びピロホスフェートである。回路板は、現像溶液中に
浸漬することができ、あるいは、好ましくは溶液を板上
に高圧噴霧する。
【0024】一般に、本発明の光重合材料を除去するの
に有用なストリッピング溶液は、現像溶液と同様のアル
カリ性試薬を用いるが、より高い、即ち約1〜10重量
%、好ましくは約1〜3重量%のアルカリ性濃度を有す
る加熱アルカリ性水溶液である。一般に、ストリッピン
グ溶液は約45〜65℃、好ましくは約50〜55℃の
温度に加熱する。基材を洗浄して光重合材料を除去する
ことは、当業者に周知の方法によって、例えば記載を加
熱ストリッピング溶液で噴霧するか、あるいは、好まし
くは基材をストリッピング溶液の加熱浴中で振とうする
ことによって行う。
【0025】本発明をより明らかに説明するために、以
下の制限されない実施例を与える。実施例において
「部」は他に示されていない限り重量基準のものであ
る。
【0026】
【実施例1】本発明に有用なポリウレタンを以下の配合
から調製した。
【0027】
【表1】 当量(wt) wt% 当 量 ポリプロピレングリコール1) 995 29.28 0.0294 ブロックコポリマー2) 996 42.63 0.0428 ビスヒドロキシメチル 67 2.37 0.0353 プロピオン酸 トルエンジイソシナネート 87.1 14.07 0.1615 メタクリル酸 144 3.88 0.0269 2−ヒドロキシプロピル 1)オリンケミカル社より「Poly G 55−5
3」として入手可能であり、重量平均分子量は2,00
0であった。 2)オリンケミカル社より「Poly G 20−5
6」として入手可能であり、エチレンオキサイドとプロ
ピレンオキサイドポリマーとを反応させて調製した。重
量平均分子量は2,000であった。
【0028】ポリプロピレングリコール、ブロックコポ
リマー及びビスヒドロキシメチルプロピオン酸は、窒素
でパージしながら約60℃で12時間乾燥せしめた。ジ
オクチル錫ビス(イソオクチルメルカプトアセテート)
触媒を0.015%添加し、次いでトルエンジイソシナ
ネートを添加した。引き続き窒素雰囲気下で反応混合物
を75℃から80℃に加熱した。反応混合物を一部採取
してイソシナネートの分析に用いた。イソシナネートの
濃度が1.8%になった時点で、空気中にて、安定化剤
としての0.10%ブチル化ヒドロキシトルエン含有メ
タクリル酸2−ヒドロキシプロピル、及び上述の錫触媒
を添加した。最終生成物の酸価は10.2であった。
【0029】
【実施例2】本実施例においては、本発明に従って調製
された乾燥したフィルム状の光重合性組成物について説
明する。該組成物はロール状で提供され、且つレジスト
がポリエステルキャリアフィルムとポリエチレンカバー
フィルムとの間にサンドイッチされている。
【0030】光重合性組成物を以下の成分から調製し
た;77部のアクリル系ポリマー(アクリル酸エチル1
3%、メタクリル酸メチル65%及びメタクリル酸22
%から成る。米国特許第4,985,323号の合成例
に従って調製した。但し、イソプロピルアルコールの代
わりにメチルエチルケトンを使用し、最終生成物の固形
分を31%とした。);0.23部の接着剤(分子量2
2,000の部分加水分解化ヒドロキシ変性塩化ビニル
/酢酸ビニルコポリマー。ユニオンカーバイド社の「U
CAR VAGD」として入手可能。約90%の塩化ビ
ニル、4%の酢酸ビニル、2.3%のヒドロキシ含
量。);3%のメトキシ化ビスフェノールAジメタクリ
レート(新中村ケミカル社から「BPE500」として
入手可能。);2.9部の実施例1のウレタンポリマ
ー;7部のトリメチロールプロパントリアクリレート
(Sartomerケミカル社);1.5部のジメトキ
シフェニルアセトフェノン(チバガイギー社);0.3
部のイソプロピルチオキサントン(アセトケミカル
社);1.5部のジエチルアミノ安息香酸エチル(アセ
トケミカル社);0.6部のペンタブロムモノクロロシ
クロヘキサン(PCBH、ニッセイケミカル社、日
本);0.6部のエトキシ化エチレンジアミン(BAS
F社、化学部門(ニュージャージ州、パーシパニー)の
「QUADROL」として入手可能。);0.02部の
ブチル化ヒドロキシトルエン;0.4部のイタコン酸;
0.08部のジエタノールアミン変性トリルトリアゾー
ル(ニュージャージ州、ホースローンのチバガイギー社
の「REOMET42」として入手可能。);0.05
部の第一染料液(2.44%のブリリアントグリーン、
6.27%のビクトリアブルー及び91.29%のメタ
ノール。);0.4部の第二染料液(5%のブリリアン
トグリーン及び95%のメタノール。);並びに0.2
部のロイコクリスタルバイオレット。
【0031】組成物を完全に撹拌し、92ゲージの透明
なポリエステルフィルム上にコートした。その厚みは3
8.1μmであった。溶媒を除去せしめるために、オー
ブン中で乾燥した。その結果得られた乾燥光重合性組成
物を、25.4μmの厚みのポリエチレンフィルムとラ
ミネートした。そして、円筒状コアに巻いてロール状と
なした。
【0032】
【実施例3】本実施例においては、本発明に従って調製
された乾燥したフィルム状の光重合性組成物の具体例に
ついて更に説明する。該組成物はロール状で提供され、
且つレジストがポリエステルキャリアフィルムとポリエ
チレンカバーフィルムとの間にサンドイッチされてい
る。
【0033】光重合性組成物を以下の成分から調製し
た;実施例2と同様の78部のアクリル酸系ポリマー
(固形分31%);0.23部の接着剤(分子量27,
000の部分加水分解化ヒドロキシ変性塩化ビニル/酢
酸ビニルコポリマー。ユニオンカーバイド社の「UCA
R VAGD」として入手可能。約90%の塩化ビニ
ル、4%の酢酸ビニル、2.3%のヒドロキシ含
量。);3%のグリセロールプロポキシトリアクリレー
ト;2.9部の実施例1のウレタンポリマー;7部のト
リメチロールプロパントリアクリレート;2.5部のベ
ンゾフェノン;0.13部のミヒラーケトン;1.5部
のジメチルアミノ安息香酸エチル;0.6部のペンタブ
ロムモノクロロシクロヘキサン;0.6部のエトキシ化
エチレンジアミン;0.02部のブチル化ヒドロキシト
ルエン;0.08部のジエタノールアミン変性トリルト
リアゾール;0.05部の第一染料液(2.44%のブ
リリアントグリーン、6.27%のビクトリアブルー及
び91.29%のメタノール。);0.4部の第二染料
液(5%のブリリアントグリーン及び95%のメタノー
ル。);並びに0.2部のロイコクリスタルバイオレッ
ト。
【0034】組成物を完全に混合し、実施例2と同様の
方法により乾燥フィルムのロール物を得た。
【0035】
【実施例4】ウレタンポリマーを調製した。窒素雰囲気
下60℃において37.01部のポリプロピレングリコ
ール(実施例1と同様)、53.88部のブロックコポ
リマー(実施例1と同様)、及び2部の酒石酸を一晩乾
燥せしめた。次いで、混合物を約45〜55℃まで冷却
し、0.015重量%のジオクチル錫ビス(イソオクチ
ルメルカプトアセテート)触媒を添加し、引き続き1
3.36部のトルエンジイソシアネートを3当量添加し
た。30分後、引き続き窒素雰囲気下で反応混合物を7
0℃まで加熱した。OH/NCO当量比は1:1:3で
あった。反応混合物の一部を取り出し、イソシアネート
の分析に用いた。イソシアネートの濃度が1.5〜2.
0%になった時点で、7.65部のメタクリル酸2−ヒ
ドロキシプロピル及び0.015重量%の錫触媒を、安
定化剤としてのブチル化ヒドロキシトルエン0.10重
量%と共に空気中で添加した。NCO含量が約0.1〜
0.3%以下になる時点では、温度は約75℃まで上昇
した。最終生成物の酸価は18であった。
【0036】
【実施例5】本実施例では、実施例4で得たウレタンポ
リマーを可塑剤として使用することについて説明する。
【0037】光重合性組成物を以下の成分から調製し
た;実施例2と同様の78部のアクリル酸系ポリマー
(固形分31%);0.23部の接着剤(分子量27,
000の部分加水分解化ヒドロキシ変性塩化ビニル/酢
酸ビニルコポリマー。ユニオンカーバイド社の「UCA
R VAGD」として入手可能。約90%の塩化ビニ
ル、4%の酢酸ビニル、2.3%のヒドロキシ含
量。);3%のグリセロールプロポキシトリアクリレー
ト;2.9部の実施例4のウレタンポリマー;7部のト
リメチロールプロパントリアクリレート;2.5部のベ
ンゾフェノン;0.13部のミヒラーケトン;1.5部
のジメチルアミノ安息香酸エチル;0.6部のペンタブ
ロムモノクロロシクロヘキサン;0.6部のエトキシ化
エチレンジアミン;0.02部のブチル化ヒドロキシト
ルエン;0.08部のジエタノールアミン変性トリルト
リアゾール;0.05部の第一染料液(2.44%のブ
リリアントグリーン、6.27%のビクトリアブルー及
び91.29%のメタノール。);0.4部の第二染料
液(5%のブリリアントグリーン及び95%のメタノー
ル。);並びに0.2部のロイコクリスタルバイオレッ
ト。
【0038】組成物を完全に混合し、実施例2と同様の
方法により乾燥フィルムのロール物を得た。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/027

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】水性現像可能で光重合可能な乾燥フィルム
    組成物であって、該光重合可能な組成物がさらに、少な
    くとも一つのエチレン性不飽和末端基を有するカルボキ
    シル基含有ポリウレタンを光重合可能な乾燥フィルム組
    成物の重量の0.5ー30%含む組成物。
  2. 【請求項2】前記ポリウレタンが酸価2ー140を有す
    る請求項1記載の組成物。
  3. 【請求項3】ポリウレタン、カルボキシル基含有フィル
    ム形成性高分子バインダー、フリーラジカル光開始剤、
    多官能性付加重合可能モノマー、および熱重合禁止剤を
    含む請求項1または2記載の組成物。
  4. 【請求項4】前記ポリウレタンが高分子鎖のそれぞれの
    末端に、メタクリレートまたはアクリレート末端基を有
    する請求項1から3のいずれか1項記載の組成物。
  5. 【請求項5】キャリアー上に配置された請求項1から4
    のいずれか1項記載の光重合可能な乾燥フィルム組成物
    を含む物品。
  6. 【請求項6】フレキシブルキャリアーフィルムとフレキ
    シブルカバーフィルムとに挟まれた光重合可能な組成物
    を含む、請求項5記載の物品。
  7. 【請求項7】前記ポリウレタンが光重合可能な乾燥フィ
    ルム組成物の重量の2ー30%の量で存在する請求項5
    または6記載の物品。
  8. 【請求項8】光重合可能な組成物がヒドロキシル改質塩
    化ビニル/酢酸ビニルポリマー、カルボキシル基含有フ
    ィルム形成性高分子バインダー、フリーラジカル光開始
    剤、多官能性付加重合可能モノマー、および熱重合禁止
    剤を含む請求項5、6または7記載の物品。
  9. 【請求項9】前記ポリウレタンが高分子鎖のそれぞれの
    末端に、メタクリレート末端基を有する請求項5から8
    のいずれか1項記載の物品。
  10. 【請求項10】キャリアー上に配置された水性現像可能
    で光重合可能な乾燥フィルム組成物を基体に塗布する工
    程、キャリアーを通して画像状に光重合可能な組成物を
    露光された部分において光重合可能な組成物が硬化する
    のに十分な化学線で露光する工程、キャリアーを光重合
    可能な組成物から除去する工程、および光重合可能な組
    成物を水性アルカリ溶液で洗浄して未硬化の光重合可能
    な組成物を基体から除去する工程を含む方法であって、
    該光重合可能な組成物がさらに、少なくとも一つのエチ
    レン性不飽和末端基を有するカルボキシル基含有ポリウ
    レタンを光重合可能な乾燥フィルム組成物の重量の0.
    5ー30%含むことを特徴とする、光重合可能な乾燥フ
    ィルム組成物の使用方法。
  11. 【請求項11】前記ポリウレタンが酸価2ー140を有
    する請求項10記載の方法。
  12. 【請求項12】前記光重合可能な組成物が、ポリウレタ
    ン、カルボキシル基含有フィルム形成性高分子バインダ
    ー、フリーラジカル光開始剤、多官能性付加重合可能モ
    ノマー、および熱重合禁止剤を含む、請求項10または
    11記載の方法。
  13. 【請求項13】前記ポリウレタンが高分子鎖のそれぞれ
    の末端に、メタクリレートまたはアクリレート末端基を
    有する請求項10から12のいずれか1項記載の方法。
  14. 【請求項14】カルボキシル基含有フィルム形成性高分
    子バインダー、フリーラジカル光開始剤、多官能性付加
    重合可能モノマー、熱重合禁止剤、および溶剤を含む組
    成物であって、さらに、少なくとも一つのエチレン性不
    飽和末端基を有するカルボキシル基含有ポリウレタンを
    溶剤を除く組成物の重量の0.5ー30%含むことを特
    徴とする組成物。
  15. 【請求項15】前記ポリウレタンが酸価2ー140を有
    する請求項14記載の組成物。
  16. 【請求項16】前記ポリウレタンが、高分子鎖のそれぞ
    れの末端にメタクリレートまたはアクリレート末端基を
    有する請求項14または15記載の組成物。
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