JPH0672070U - マニュアル測定およびウエハ測定両用ｉｃ試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テストヘッドをターンオーバせず、パフォー
マンスボードとウエハＩＣとの間の接続ケーブルの短い
マニュアル測定およびウエハ測定両用ＩＣ試験装置を提
供する。 【構成】 テストヘッド１に収容されるピンエレクトロ
ニクスカード６のコネクタ７ｂに接続するコネクタ７ａ
を下面に有するウエハＩＣ用パフォーマンスボード２’
と、ウエハＩＣ用パフォーマンスボード２’およびこれ
から下方に延伸するケーブル２２を介して入出力する信
号をプローブカード２６に入出力する電気回路を有する
と共にウエハＩＣに接触するプローブカード２６のコネ
クタ２５に接続するコネクタ２４を下面に有するプリン
ト配線基板２３とより成るウエハアセンブリ２０を具備
するマニュアル測定およびウエハ測定両用ＩＣ試験装
置。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、ＩＣ試験装置に関し、特に、パッケージに封止されて完成された パッケージ化ＩＣを測定するマニュアル測定とウエハの状態にある未完成のウエ ハＩＣを測定するウエハ測定の双方の測定をテストヘッドをターンオーバせずに 実施することができるマニュアル測定およびウエハ測定両用ＩＣ試験装置に関す る。

【０００２】

【従来の技術】

ＩＣ試験装置の従来例を図２、図３および図４を参照して説明する。 ＩＣ試験装置は、パッケージに封止されて完成したパッケージ化ＩＣ４を試験 測定するマニュアル測定とウエハの状態にある未完成のウエハＩＣを試験測定す るウエハ測定の双方の測定を実施するのであるが、一般に、試験されるべきＩＣ と電気的に接続するパフォーマンスボード２はテストヘッド１の上面或は下面の 内の何れか一方の面のみにしか装着することができない。ここで、試験測定され るべきＩＣの入出力Ｉ／Ｏ信号をパッケージ化ＩＣ４に供給し、或はウエハプロ ーバ１１に載置されるウエハＩＣに供給するには、テストヘッド１を回動するか 、或はケーブルエンド方式を採用するか２通りの仕方がある。

【０００３】 先ず、テストヘッド１を回動することを含む試験測定について説明する。完成 品であるパッケージ化ＩＣ４を試験測定するには、テストヘッド１を図２の実線 の状態から２点鎖線により示される状態にターンオーバし、この状態において上 面にＩＣソケット５が取り付けられたパフォーマンスボード２を２点鎖線により 示される如くにテストヘッド１に取付け、パッケージ化ＩＣ４をこのＩＣソケッ ト５に取付けることにより試験測定する。パフォーマンスボード２の他方の面側 にはコネクタ７ａその他の接続部材が設けられ、パッケージ化ＩＣ４はこれらの 接続部材を介してテストヘッド１内に収容される多数のピンエレクトロニクスカ ード６に電気的に接続され、ピンエレクトロニクスカード６は更にケーブル１４ その他の接続部材を介してＩＣ試験装置本体１５に接続する。

【０００４】 未完成品であるウエハＩＣを試験測定する場合、パッケージ化ＩＣ用パフォー マンスボード２をウエハＩＣ用パフォーマンスボードに交換して、テストヘッド １を２点鎖線の状態から実線の状態にターンオーバし、ウエハプローバ１１の上 面に重ね合わせれば、ウエハプローバ１１に載置されたウエハＩＣをＩＣ試験装 置本体１５に接続することができる。

【０００５】 ここで、テストヘッド１は冷却用エアダクト１３および多数のケーブル１４を 介してＩＣ試験装置本体１５に接続している。エアダクト１３およびケーブル１ ４はこれらの中間においてＩＣ試験装置本体１５より延伸する支持体１６に吊下 げ保持されている。テストヘッド１をターンオーバさせる理由は、結局、テスト ヘッドと試験ウエハ１Ｃとの間の距離をできるだけ短くして高周波信号を伝達し 易くしたいがためである。

【０００６】 ところで、近年、ＩＣの大規模化に伴ってテストヘッド１のピン数が多くなる につれて、テストヘッド１はその重量が例えば２００kgにも達すると共に寸法も 大きくなり、テストヘッド１をターンオーバさせる部材が大型、高価となるに到 った。そして、テストヘッド１をターンオーバさせる際、ケーブル１４には大き なストレスが加わり、断線事故につながる恐れがあった。この様な様々の事情か ら、試験されるべきＩＣがパッケージ化ＩＣ或はウエハＩＣの何れであっても、 テストヘッド１をターンオーバさせる必要のないテストヘッドも提案されている （詳細は特願平３−３２４５８６号明細書参照）。

【０００７】 テストヘッド１をターンオーバさせることなしに、テストヘッド１のパフォー マンスボード取付面は上向きのままで、ここからケーブルを介してＩ／Ｏ信号を ウエハプローバに載置されたウエハに供給する方式もある。しかし、この方式は パフォーマンスボードとウエハＩＣとの間の接続ケーブルが比較的に長くならざ るを得ず、Ｉ／Ｏ信号を劣化する欠点を有する。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

この考案は、テストヘッドをターンオーバさせることなしに、テストヘッドか ら比較的に短いケーブルを介してパッケージ化ＩＣ或はウエハプローバに載置さ れたウエハＩＣの双方に対してＩ／Ｏ信号を供給することができるＩＣ試験装置 を提供するものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】

テストヘッド１に収容されるピンエレクトロニクスカード６のコネクタ７ｂに 接続するコネクタ７ａを下面に有するウエハＩＣ用パフォーマンスボード２’と 、ウエハＩＣ用パフォーマンスボード２’およびこれから下方に延伸するケーブ ル２２を介して入出力する信号をプローブカード２６に入出力する電気回路を有 すると共にウエハＩＣに接触するプローブカード２６のコネクタ２５に接続する コネクタ２４を下面に有するプリント配線基板２３とより成るウエハアセンブリ ２０を具備するマニュアル測定およびウエハ測定両用ＩＣ試験装置を構成した。

【００１０】

【実施例】

この考案の実施例を図１を参照して説明する。 図１（ａ）はパッケージ化ＩＣを試験測定するマニュアル測定の場合のテスト ヘッド１とパフォーマンスボード２との間の関係を示す図であり、これについて は格別の説明は要しない。

【００１１】 この考案のＩＣ試験装置は、ウエハの状態にある未完成のウエハＩＣを試験測 定するウエハ測定の場合に、特に、以下において説明されるウエハアセンブリ２ ０を具備することを特徴とするものである。なお、未完成のウエハＩＣを試験測 定するウエハ測定を実施する場合、マニュアル測定時に使用されるマニュアル用 パフォーマンスボード２を取り外してその代わりにウエハアセンブリ２０を使用 する。ウエハアセンブリ２０は、結局、ウエハＩＣに接触するプローブカード２ ６とＩＣ試験装置本体１５に接続するピンエレクトロニクスカード６とを電気的 に接続するものである。

【００１２】 ここで、この考案の構成の主要部であるウエハアセンブリ２０について説明す る。ウエハアセンブリ２０はウエハＩＣ用パフォーマンスボード２’と、プリン ト配線基板２３とを具備し、これら両者は保持固定部材３０により上下方向に一 体的に結合されている。保持固定部材３０はテストヘッド１の中央部に上下に貫 通する透孔３ａに進入するものである。パフォーマンスボード２０の下面にはコ ネクタ７ａが具備されており、ピンエレクトロニクスカード６のコネクタ７ｂに 結合することができるものである。そして、ウエハＩＣ用パフォーマンスボード ２’とプリント配線基板２３とはケーブル２２を介して電気的に接続している。 プリント配線基板２３は、ウエハＩＣ用パフォーマンスボード２’およびこれか ら下方に延伸するケーブル２２を介して入出力する信号をプローブカード２６に 入出力する電気回路を有すると共にウエハＩＣに接触するプローブカード２６の コネクタ２５に接続するコネクタ２４を下面に有している。プローブカード２６ はプロービング用ピン２７を有しており、このピンはウエハーＩＣに電気的に接 触している。

【００１３】 ＩＣ試験装置本体１５とウエハーＩＣとの間のＩ／Ｏ信号の伝送経路は、結局 下記の通りとなる。 ＩＣ試験装置本体１５→ピンエレクトロニクスカード６→ウエハＩＣ 用パフォーマンスボード２’→ケーブル２２→プリント配線基板２３→プローブ カード２６→ウエハーＩＣ

【００１４】

【考案の効果】

以上の通りであって、この考案によれば、パフォーマンスボード２に接続した パッケージ化ＩＣの試験を従前の通りに実施することができる。そして、パフォ ーマンスボード２に代えてウエハアセンブリ２０を使用することにより、テスト ヘッド１を回動することなしにウエハプローバ１１に載置されたウエハＩＣの測 定試験を実施することができる。

【００１５】 この測定試験はテストヘッドを回動する方式と比較して、パフォーマンスボー ド２をウエハアセンブリ２０に代えるという簡単な操作によりテストヘッド１内 のドライバコンパレータからウエハＩＣに到る接続をすることができる。結局、 マニュアル測定とウエハ測定の双方の測定を簡単な操作により実施することがで きる。そして、ケーブルエンド方式と比較して、パフォーマンスボードとウエハ ＩＣとの間の接続ケーブルが大幅に短縮されるところからＩ／Ｏ信号の劣化は少 なくなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この考案の実施例を説明する図。

【図２】ＩＣ試験装置の従来例の斜視図。

【図３】図２におけるパフォーマンスボードとＩＣソケ
ットの関係を説明する図。

【図４】テストヘッドの分解斜視図。

【符号の説明】

２’ ウエハＩＣ用パフォーマンスボード ３ａ 透孔 ６ ピンエレクトロニクスカード ７ａ コネクタ ７ｂ コネクタ ２０ ウエハアセンブリ ２２ ケーブル ２３ プリント配線基板 ２４ コネクタ ２５ コネクタ ２６ プローブカード

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 テストヘッドに収容されるピンエレクト
   ロニクスカードのコネクタに接続するコネクタを下面に
   有するウエハＩＣ用パフォーマンスボードと、ウエハＩ
   Ｃ用パフォーマンスボードおよびこれから下方に延伸す
   るケーブルを介して入出力する信号をプローブカードに
   入出力する電気回路を有すると共にウエハＩＣに接触す
   るプローブカードのコネクタに接続するコネクタを下面
   に有するプリント配線基板とより成るウエハアセンブリ
   を具備することを特徴とするマニュアル測定およびウエ
   ハ測定両用ＩＣ試験装置。