JPH0666716A - 付着強度の測定装置および測定方法 - Google Patents
付着強度の測定装置および測定方法Info
- Publication number
- JPH0666716A JPH0666716A JP24575192A JP24575192A JPH0666716A JP H0666716 A JPH0666716 A JP H0666716A JP 24575192 A JP24575192 A JP 24575192A JP 24575192 A JP24575192 A JP 24575192A JP H0666716 A JPH0666716 A JP H0666716A
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- Japan
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- film
- vibration
- measuring
- base material
- adhesion strength
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- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 付着力の小さな膜の付着強度を客観的に再現
性よく測定する。 【構成】 基材５上に形成された薄膜４に配した振動子
３に、振動振幅又は周波数を可変できるコントローラ１
により振動を与える。振動の付与により、基材５からの
薄膜４の剥離は、振動センサ６により検知される。その
ため、薄膜が剥離したときのコントローラ１の設定値に
より、薄膜の付着強度を測定できる。
性よく測定する。 【構成】 基材５上に形成された薄膜４に配した振動子
３に、振動振幅又は周波数を可変できるコントローラ１
により振動を与える。振動の付与により、基材５からの
薄膜４の剥離は、振動センサ６により検知される。その
ため、薄膜が剥離したときのコントローラ１の設定値に
より、薄膜の付着強度を測定できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、基材に対する付着力が
小さな膜の付着強度を測定する上で有用な付着強度の測
定装置および測定方法に関する。
小さな膜の付着強度を測定する上で有用な付着強度の測
定装置および測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、図２に示される付着力測定装置が
使用されている。
使用されている。
【０００３】この装置は、基材１１上に形成された薄膜
１２と、この薄膜１２の付着強度よりも大きな接着力を
有する粘着テープにより接合されるＶ字状の接合部材１
３と、この接合部材１３に取付けた糸１４と、この糸１
４が掛渡される滑車１５と、前記糸１４の他方の端部を
巻き取るモータ１６とを備えている。前記滑車１５は、
バネばかり１７に吊り下げられている。
１２と、この薄膜１２の付着強度よりも大きな接着力を
有する粘着テープにより接合されるＶ字状の接合部材１
３と、この接合部材１３に取付けた糸１４と、この糸１
４が掛渡される滑車１５と、前記糸１４の他方の端部を
巻き取るモータ１６とを備えている。前記滑車１５は、
バネばかり１７に吊り下げられている。
【０００４】このような装置において、基材１１の薄膜
１２に接合部材１３を接合し、糸１４を、バネばかり１
７に吊り下げられた滑車１５に掛渡し、糸１４の他方の
端部を同期モータ１６に取付ける。薄膜１２に対する糸
１４の引き剥し角度θを一定に保ちながら、同期モータ
１６により一定速度で接合部材１３を引き剥し、滑車１
５に作用する荷重によって薄膜の付着強度が測定される
（「薄膜」、応用物理学選書３，金原・藤原共著，裳華
房）。
１２に接合部材１３を接合し、糸１４を、バネばかり１
７に吊り下げられた滑車１５に掛渡し、糸１４の他方の
端部を同期モータ１６に取付ける。薄膜１２に対する糸
１４の引き剥し角度θを一定に保ちながら、同期モータ
１６により一定速度で接合部材１３を引き剥し、滑車１
５に作用する荷重によって薄膜の付着強度が測定される
（「薄膜」、応用物理学選書３，金原・藤原共著，裳華
房）。
【０００５】しかし、前記の方法においては、付着強度
が引き剥し速度に依存すると共に、付着強度が小さな薄
膜や大きすぎる薄膜の付着強度が測定できない。そのた
め、客観性のあるデータを再現性よく得ることが困難で
ある。
が引き剥し速度に依存すると共に、付着強度が小さな薄
膜や大きすぎる薄膜の付着強度が測定できない。そのた
め、客観性のあるデータを再現性よく得ることが困難で
ある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従って、本発明の目的
は、付着力の小さな膜の付着強度を簡便に再現性よく測
定できる測定装置および測定方法を提供することにあ
る。
は、付着力の小さな膜の付着強度を簡便に再現性よく測
定できる測定装置および測定方法を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、基材上に形成された膜の付着強度を測定
する装置であって、前記膜に振動を与えるための付与手
段と、この付与手段による振動を可変するための可変手
段と、基材からの膜の脱落を検知するための検知手段と
を備えている付着強度の測定装置を提供する。
め、本発明は、基材上に形成された膜の付着強度を測定
する装置であって、前記膜に振動を与えるための付与手
段と、この付与手段による振動を可変するための可変手
段と、基材からの膜の脱落を検知するための検知手段と
を備えている付着強度の測定装置を提供する。
【０００８】この装置において、前記付与手段は振動子
であり、検知手段は膜とは反対側の基材に配される振動
センサであるのが好ましい。
であり、検知手段は膜とは反対側の基材に配される振動
センサであるのが好ましい。
【０００９】本発明は、基材の形成された膜を振動さ
せ、基材から膜が剥離したときの振動を基準として、膜
の付着力を評価する付着強度の測定方法も提供する。
せ、基材から膜が剥離したときの振動を基準として、膜
の付着力を評価する付着強度の測定方法も提供する。
【００１０】
【作用】本発明の測定装置及び測定方法では、前記付与
手段により膜に与えられる振動を、可変手段により可変
できる。そのため、可変手段により振幅や周波数を可変
すると、特定の振動が与えられたとき、基材から膜が剥
離する。膜の剥離は、検知手段により検知されるので、
この時の可変手段の値を基準として、膜の付着力を評価
できる。
手段により膜に与えられる振動を、可変手段により可変
できる。そのため、可変手段により振幅や周波数を可変
すると、特定の振動が与えられたとき、基材から膜が剥
離する。膜の剥離は、検知手段により検知されるので、
この時の可変手段の値を基準として、膜の付着力を評価
できる。
【００１１】
【実施例】以下に、添付図面を参照しつつ、本発明の実
施例をより詳細に説明する。
施例をより詳細に説明する。
【００１２】図１は、本発明の一実施例である測定装置
の電気的構成を示すブロック図である。
の電気的構成を示すブロック図である。
【００１３】この装置は、信号発生器２から振動子３に
与えられる振動を可変するためのコントローラ１を備え
ている。この例では、前記コントローラ１は、振動振幅
をコントロールしている。また、前記振動子３による振
動を薄膜４に与えるため、振動子３の先端は、基材５に
形成された薄膜４に接着されている。
与えられる振動を可変するためのコントローラ１を備え
ている。この例では、前記コントローラ１は、振動振幅
をコントロールしている。また、前記振動子３による振
動を薄膜４に与えるため、振動子３の先端は、基材５に
形成された薄膜４に接着されている。
【００１４】前記薄膜４とは反対側の基材５の面には、
振動センサ６が配されている。薄膜４に与えられた振動
は、振動センサ６により、基材５を介して検出される。
振動センサ６により検出された検出信号は増幅器７によ
り増幅され、増幅された信号は、表示器８に与えられ、
表示される。
振動センサ６が配されている。薄膜４に与えられた振動
は、振動センサ６により、基材５を介して検出される。
振動センサ６により検出された検出信号は増幅器７によ
り増幅され、増幅された信号は、表示器８に与えられ、
表示される。
【００１５】このように装置において、コントローラ１
により、振動子３に与える振動振幅を徐々に大きくする
と、振動は振動センサ６により検出され、表示器８によ
り表示される。
により、振動子３に与える振動振幅を徐々に大きくする
と、振動は振動センサ６により検出され、表示器８によ
り表示される。
【００１６】そして、薄膜４に与えられた振動エネルギ
ーが特定の振幅値に達すると、薄膜４が基材５から剥離
し、振動センサ６による検出値の変化を、表示器８の表
示波形により確認できる。そのため、この時のコントロ
ーラ１の設定値により、薄膜４の付着強度を評価するこ
とができる。また、振動センサ６が検出した振動振幅に
より、薄膜４の付着強度を評価することもできる。
ーが特定の振幅値に達すると、薄膜４が基材５から剥離
し、振動センサ６による検出値の変化を、表示器８の表
示波形により確認できる。そのため、この時のコントロ
ーラ１の設定値により、薄膜４の付着強度を評価するこ
とができる。また、振動センサ６が検出した振動振幅に
より、薄膜４の付着強度を評価することもできる。
【００１７】前記実施例においては、コントローラによ
り振動振幅を可変しているが、周波数を可変してもよ
い。
り振動振幅を可変しているが、周波数を可変してもよ
い。
【００１８】薄膜の剥離を検知する検知手段は、他のセ
ンサや目視であってもよい。
ンサや目視であってもよい。
【００１９】本発明の測定装置及び測定方法は、基材に
形成された種々の膜、例えば、基材上に形成された塗
膜、基板上に蒸着やスパッタリングなどにより形成され
た薄膜などの種々の膜の付着強度を測定する上で有用で
ある。
形成された種々の膜、例えば、基材上に形成された塗
膜、基板上に蒸着やスパッタリングなどにより形成され
た薄膜などの種々の膜の付着強度を測定する上で有用で
ある。
【００２０】
【発明の効果】本発明の測定装置および測定方法によれ
ば、膜の剥離時の振動により、膜の付着強度を評価する
ため、付着強度を客観的に再現性よく定量化できる。ま
た、膜の引き剥し速度に依存しないため、基材に対する
膜の密着力の大小に拘らず、付着強度を正確にかつ客観
的に評価できる。
ば、膜の剥離時の振動により、膜の付着強度を評価する
ため、付着強度を客観的に再現性よく定量化できる。ま
た、膜の引き剥し速度に依存しないため、基材に対する
膜の密着力の大小に拘らず、付着強度を正確にかつ客観
的に評価できる。
【００２１】
【実験例】以下に、実験例に基づいて本発明をより詳細
に説明する。
に説明する。
【００２２】図１に示す装置を用い、振動周波数を装置
全体の共振周波数以外の１５０Ｈｚに設定した。
全体の共振周波数以外の１５０Ｈｚに設定した。
【００２３】ディスク基板（厚み１．２ｍｍ）に形成さ
れた薄膜に振動子の先端を接着させ、コントローラによ
り振動振幅を増大させながら、薄膜が剥離した振動振幅
を振動センサにより検出し、増幅器を介してスペクトラ
ムアナライザに表示させた。
れた薄膜に振動子の先端を接着させ、コントローラによ
り振動振幅を増大させながら、薄膜が剥離した振動振幅
を振動センサにより検出し、増幅器を介してスペクトラ
ムアナライザに表示させた。
【００２４】なお、前記薄膜は、基板上に順次形成され
た色素膜１０００〜１５００オングストローム、金の薄
膜８００オングストロームおよび保護膜４〜５μｍで構
成されている。
た色素膜１０００〜１５００オングストローム、金の薄
膜８００オングストロームおよび保護膜４〜５μｍで構
成されている。
【００２５】そして、５つの試料について、薄膜の剥離
時の振動振幅を求めたところ、表に示す結果を得た。
時の振動振幅を求めたところ、表に示す結果を得た。
【００２６】
【表１】 表より、薄膜の付着強度が略再現性よく測定できた。
【図１】図１は、本発明の一実施例である測定装置の電
気的構成を示すブロック図である。
気的構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、従来の付着力測定装置を示す概略図で
ある。
ある。
１…コントローラ ３…振動子 ４…薄膜 ５…基材 ６…振動センサ
Claims (3)
- 【請求項１】 基材上に形成された膜の付着強度を測定
する装置であって、前記膜に振動を与えるための付与手
段と、この付与手段による振動を可変するための可変手
段と、基材からの膜の脱落を検知するための検知手段と
を備えている付着強度の測定装置。 - 【請求項２】 付与手段が振動子であり、検知手段が膜
とは反対側の基材に配される振動センサである請求項１
記載の付着強度の測定装置。 - 【請求項３】 基材の形成された膜を振動させ、基材か
ら膜が剥離したときの振動を基準として、膜の付着力を
評価する付着強度の測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24575192A JPH0666716A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 付着強度の測定装置および測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24575192A JPH0666716A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 付着強度の測定装置および測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0666716A true JPH0666716A (ja) | 1994-03-11 |
Family
ID=17138257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24575192A Pending JPH0666716A (ja) | 1992-08-20 | 1992-08-20 | 付着強度の測定装置および測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666716A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004104501A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Horiba Ltd | 分析機器からの信号収集システム |
| JP2016166754A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 旭有機材株式会社 | 液状硬化性樹脂の硬化挙動測定方法及び硬化挙動測定装置 |
| JP2021043178A (ja) * | 2019-09-06 | 2021-03-18 | 東陽市諾達電子科技有限公司 | 建築材料耐寒性の検査測定設備 |
-
1992
- 1992-08-20 JP JP24575192A patent/JPH0666716A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004104501A (ja) * | 2002-09-10 | 2004-04-02 | Horiba Ltd | 分析機器からの信号収集システム |
| JP2016166754A (ja) * | 2015-03-09 | 2016-09-15 | 旭有機材株式会社 | 液状硬化性樹脂の硬化挙動測定方法及び硬化挙動測定装置 |
| JP2021043178A (ja) * | 2019-09-06 | 2021-03-18 | 東陽市諾達電子科技有限公司 | 建築材料耐寒性の検査測定設備 |
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