JPH0664234B2 - 低倍率投影対物レンズ - Google Patents
低倍率投影対物レンズInfo
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- JPH0664234B2 JPH0664234B2 JP60190257A JP19025785A JPH0664234B2 JP H0664234 B2 JPH0664234 B2 JP H0664234B2 JP 60190257 A JP60190257 A JP 60190257A JP 19025785 A JP19025785 A JP 19025785A JP H0664234 B2 JPH0664234 B2 JP H0664234B2
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- lens group
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- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 36
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 10
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 230000005499 meniscus Effects 0.000 description 3
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/22—Telecentric objectives or lens systems
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
- G02B13/02—Telephoto objectives, i.e. systems of the type + - in which the distance from the front vertex to the image plane is less than the equivalent focal length
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lenses (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、被検物体の正確な拡大像を得るための投影レ
ンズ、特に広い視野を有する低倍率の投影対物レンズに
関する。
ンズ、特に広い視野を有する低倍率の投影対物レンズに
関する。
一般に、投影検査器は正確な拡大像をスクリーンに形成
することは勿論であるが、合焦誤差のような偶然誤差に
ついても極力測定誤差にならないような配慮が必要であ
る。このようなことから、投影対物レンズはテレセント
リツク光学系であり、歪曲収差が十分に小さく補正され
ていることが前提となる。勿論、顕微鏡対物レンズ等の
他のレンズと同様に、その他の収差についても十分小さ
く補正することが要求される。以上は投影対物レンズ一
般について言えることであるが、その要求を５倍程度の
低倍率投影レンズで実現しようとした時の問題点には、
次のようなものがある。
することは勿論であるが、合焦誤差のような偶然誤差に
ついても極力測定誤差にならないような配慮が必要であ
る。このようなことから、投影対物レンズはテレセント
リツク光学系であり、歪曲収差が十分に小さく補正され
ていることが前提となる。勿論、顕微鏡対物レンズ等の
他のレンズと同様に、その他の収差についても十分小さ
く補正することが要求される。以上は投影対物レンズ一
般について言えることであるが、その要求を５倍程度の
低倍率投影レンズで実現しようとした時の問題点には、
次のようなものがある。
まず、第１の問題点は作動距離の点である。一般の対物
レンズでは、作動距離は焦点距離の半分程度であるの
で、焦点距離の長い低倍率用の投影対物レンズにおいて
は、この割合のままであると、作動距離が長くなり過ぎ
てレンズ寸法（物体面よりレンズ後端までの距離）が極
めて大きなものとなる。投影器の対物レンズとしてはコ
ンパクトである必要もあり、一般的には低倍率の対物レ
ンズでは、像側から順に収斂性レンズ群と発散性レンズ
群とからなる所謂テレタイプ（望遠タイプ）を採用する
ことによって作動距離を必要にして十分な長さまで短か
くし、レンズ寸法の短縮化を達成している。
レンズでは、作動距離は焦点距離の半分程度であるの
で、焦点距離の長い低倍率用の投影対物レンズにおいて
は、この割合のままであると、作動距離が長くなり過ぎ
てレンズ寸法（物体面よりレンズ後端までの距離）が極
めて大きなものとなる。投影器の対物レンズとしてはコ
ンパクトである必要もあり、一般的には低倍率の対物レ
ンズでは、像側から順に収斂性レンズ群と発散性レンズ
群とからなる所謂テレタイプ（望遠タイプ）を採用する
ことによって作動距離を必要にして十分な長さまで短か
くし、レンズ寸法の短縮化を達成している。
この時、基本的なテレタイプだけでは、テレセントリツ
ク光学系にすることは不可能であるため、発散性レンズ
群と物体面との間に収斂性のフイールドレンズ群を設け
る構成が知られており、このようなレンズ構成の例は、
例えば特開昭59−204816号公報にも開示されている。
ク光学系にすることは不可能であるため、発散性レンズ
群と物体面との間に収斂性のフイールドレンズ群を設け
る構成が知られており、このようなレンズ構成の例は、
例えば特開昭59−204816号公報にも開示されている。
しかし、低倍率用の対物レンズでは視野径が大きいため
歪曲収差を良好に補正するという観点からみるとフイー
ルドレンズ群に対する負担は極めて大きいものである。
従つて、従来のレンズ構成ではフイールドレンズ群のレ
ンズ枚数を多くし、それでも補正しきれず残つている収
差を強引にテレタイプを構成する収斂性レンズ群及び発
散性レンズ群で補正しようとしているため、各群の屈折
力が強くなつて、多くのレンズ枚数を必要としていた。
そして、上記特開昭59−204816号公報のものの如く、多
くのレンズ枚数によって複雑に構成されてはいても、依
然として性能的に満足出来るものでなかった。
歪曲収差を良好に補正するという観点からみるとフイー
ルドレンズ群に対する負担は極めて大きいものである。
従つて、従来のレンズ構成ではフイールドレンズ群のレ
ンズ枚数を多くし、それでも補正しきれず残つている収
差を強引にテレタイプを構成する収斂性レンズ群及び発
散性レンズ群で補正しようとしているため、各群の屈折
力が強くなつて、多くのレンズ枚数を必要としていた。
そして、上記特開昭59−204816号公報のものの如く、多
くのレンズ枚数によって複雑に構成されてはいても、依
然として性能的に満足出来るものでなかった。
第２の問題点は反射照明に関する点である。現在の投影
レンズでは、操作性の改善のために照明光を供給するた
めのハーフミラーを内蔵することが一般的である。前記
のテレタイプのレンズ構成においても、屈折力の配分を
工夫すればハーフミラーの内蔵が可能な解は種々存在す
る。しかし、ここで問題となるのは、ハーフミラー内蔵
の投影レンズでは、反射照明を行なう時、前記フィール
ドレンズに相当するレンズ群を介して物体面を照明する
ことになつて、このレンズ面での反射光がフレアーを生
ずる点を考慮する必要がある。この時、５倍投影レンズ
のような低倍率では視野径が大きいので、テレセントリ
ック性を維持するためにはレンズの口径も大きくしなけ
ればならない。従って、歪曲収差等の諸収差を良好に補
正する目的のために、レンズ面の曲率を大きくすること
が難しくなり、フレアーが発生し易くなる。そして、第
３群として必要な屈折力を満たすために、屈折力の弱い
多数のレンズで構成せざるを得なくなり、ますますフレ
アーの発生が著しくなり、反射率の低い物体を観察する
場合の大きな障害となっていた。フレアーを減少させる
ために、フイールドレンズ群のレンズ枚数を減らすと収
差補正の負担が大きくなり過ぎ、歪曲収差等の補正が困
難であつた。
レンズでは、操作性の改善のために照明光を供給するた
めのハーフミラーを内蔵することが一般的である。前記
のテレタイプのレンズ構成においても、屈折力の配分を
工夫すればハーフミラーの内蔵が可能な解は種々存在す
る。しかし、ここで問題となるのは、ハーフミラー内蔵
の投影レンズでは、反射照明を行なう時、前記フィール
ドレンズに相当するレンズ群を介して物体面を照明する
ことになつて、このレンズ面での反射光がフレアーを生
ずる点を考慮する必要がある。この時、５倍投影レンズ
のような低倍率では視野径が大きいので、テレセントリ
ック性を維持するためにはレンズの口径も大きくしなけ
ればならない。従って、歪曲収差等の諸収差を良好に補
正する目的のために、レンズ面の曲率を大きくすること
が難しくなり、フレアーが発生し易くなる。そして、第
３群として必要な屈折力を満たすために、屈折力の弱い
多数のレンズで構成せざるを得なくなり、ますますフレ
アーの発生が著しくなり、反射率の低い物体を観察する
場合の大きな障害となっていた。フレアーを減少させる
ために、フイールドレンズ群のレンズ枚数を減らすと収
差補正の負担が大きくなり過ぎ、歪曲収差等の補正が困
難であつた。
また、第３の問題点はコストの点である。テレセントリ
ツク光学系では物体側のレンズは少なくとも物体径以上
必要であつて、１例をあげると、スクリーン径350mmの
投影器のための５倍対物レンズでは、視野径70mmである
ため開口を考慮すると最低80mm程度の大口径のレンズが
必要である。このため前記したフイールドレンズ群のレ
ンズ枚数が多いとそれだけでコストを高める要因となっ
ていた。
ツク光学系では物体側のレンズは少なくとも物体径以上
必要であつて、１例をあげると、スクリーン径350mmの
投影器のための５倍対物レンズでは、視野径70mmである
ため開口を考慮すると最低80mm程度の大口径のレンズが
必要である。このため前記したフイールドレンズ群のレ
ンズ枚数が多いとそれだけでコストを高める要因となっ
ていた。
本発明は、これらの欠点を解決し、結像性能を向上させ
ると共に反射照明におけるフレアーを減少させ、低反射
率の物体においても反射照明によって表面形状の鮮明な
観察が可能であり、しかも簡単な構成からなる低倍率の
投影対物レンズを提供することを目的とする。
ると共に反射照明におけるフレアーを減少させ、低反射
率の物体においても反射照明によって表面形状の鮮明な
観察が可能であり、しかも簡単な構成からなる低倍率の
投影対物レンズを提供することを目的とする。
本発明による投影対物レンズは、像側から順に、正レン
ズ成分とその物体側に配置された負レンズ成分とを有す
る収斂性の第１レンズ群Ｇ１、負レンズ成分とその物体
側に配置された正レンズ成分とを有する発散性の第２レ
ンズ群Ｇ２及び収斂性の第３レンズ群Ｇ３とから構成さ
れるものである。
ズ成分とその物体側に配置された負レンズ成分とを有す
る収斂性の第１レンズ群Ｇ１、負レンズ成分とその物体
側に配置された正レンズ成分とを有する発散性の第２レ
ンズ群Ｇ２及び収斂性の第３レンズ群Ｇ３とから構成さ
れるものである。
一般に、投影対物レンズでは前述したとおり歪曲収差を
第１に補正すべきものであるが、それに劣らず重要な点
は、スクリーン全体で良好な像が得られることが必要で
あり、換言すれば像面弯曲が良好に補正されていなけれ
ばならない。このためにはペッツバール和を十分小さく
することが必要である。前掲の特開昭59−204816号公報
に開示されたレンズ構成は、基本的に薄肉レンズの集合
であって、このような構成ではペッツバール和をパワー
配分によつて補正せねばならない。このため、各群の屈
折力を強くすることが必要になつており、ますます収差
補正を困難にしていた原因の一つであった。本発明で
は、各群の屈折力を許容可能な範囲で出来るだけ弱く
し、そのことによつて生ずるペッツバール和の劣化を、
発散性の第２レンズ群を負レンズ成分とその物体側に配
置された正レンズ成分とで厚肉のレンズ群として構成す
ることによつて補正することを可能とした。
第１に補正すべきものであるが、それに劣らず重要な点
は、スクリーン全体で良好な像が得られることが必要で
あり、換言すれば像面弯曲が良好に補正されていなけれ
ばならない。このためにはペッツバール和を十分小さく
することが必要である。前掲の特開昭59−204816号公報
に開示されたレンズ構成は、基本的に薄肉レンズの集合
であって、このような構成ではペッツバール和をパワー
配分によつて補正せねばならない。このため、各群の屈
折力を強くすることが必要になつており、ますます収差
補正を困難にしていた原因の一つであった。本発明で
は、各群の屈折力を許容可能な範囲で出来るだけ弱く
し、そのことによつて生ずるペッツバール和の劣化を、
発散性の第２レンズ群を負レンズ成分とその物体側に配
置された正レンズ成分とで厚肉のレンズ群として構成す
ることによつて補正することを可能とした。
各群の屈折力を弱くした場合に生ずる問題は、ペッツバ
ール和以外にレンズの寸法が大きくなることである。本
発明では第１群及び第２群の構成を工夫することによつ
てレンズの寸法をコンパクトになしえた。まず、収斂性
の第１群を少なくとも正レンズ及び負レンズ１枚づつよ
り構成し、正レンズを像側に配置することによつて、こ
の群の主面を像側に大きく移し、また発散性の第２群は
少なくとも負レンズ及び正レンズ１枚づつより構成し、
負レンズを像側に配置することによつて主面を像側に移
す。このような構成にすることによつて、第１群及び第
２群を物体側に大きく近づけて配置することを可能と
し、実際のレンズの寸法（物体面から最も像側に配置さ
れた第１群の像側レンズの面頂点までの距離）を小さく
することを可能とした。従つて、本発明では従来のもの
より薄肉系の配置では大きくなるが、実際のレンズ寸法
ではほとんど同程度の形状とすることが可能となった。
ール和以外にレンズの寸法が大きくなることである。本
発明では第１群及び第２群の構成を工夫することによつ
てレンズの寸法をコンパクトになしえた。まず、収斂性
の第１群を少なくとも正レンズ及び負レンズ１枚づつよ
り構成し、正レンズを像側に配置することによつて、こ
の群の主面を像側に大きく移し、また発散性の第２群は
少なくとも負レンズ及び正レンズ１枚づつより構成し、
負レンズを像側に配置することによつて主面を像側に移
す。このような構成にすることによつて、第１群及び第
２群を物体側に大きく近づけて配置することを可能と
し、実際のレンズの寸法（物体面から最も像側に配置さ
れた第１群の像側レンズの面頂点までの距離）を小さく
することを可能とした。従つて、本発明では従来のもの
より薄肉系の配置では大きくなるが、実際のレンズ寸法
ではほとんど同程度の形状とすることが可能となった。
上記の通り、本発明におけるコンパクト化のための重要
な点は、収斂性の第１レンズ群及び発散性の第２レンズ
群における、各正レンズ及び負レンズの並び方であつ
て、正レンズと負レンズとは接合であつても若干分離し
てあつても同様の効果を得ることが可能である。この方
法によつて、本発明では各群の屈折力を従来例に対して
ほぼ半分程度になし得たのである。
な点は、収斂性の第１レンズ群及び発散性の第２レンズ
群における、各正レンズ及び負レンズの並び方であつ
て、正レンズと負レンズとは接合であつても若干分離し
てあつても同様の効果を得ることが可能である。この方
法によつて、本発明では各群の屈折力を従来例に対して
ほぼ半分程度になし得たのである。
このような本発明によるレンズ構成では、第３群は基本
的にフイールドレンズとして働くため、球面収差及び軸
上の色収差は第１群と第２群で補正する必要がある。例
えば、倍率５倍程度の低倍率投影レンズの実効Ｆナンバ
ーはF8.5程度であるので、本発明の場合、前述したよう
に各群の屈折力を弱くなしえたため、球面収差は収斂性
の第１群と発散性の第２群のレンズ形状即ち、レンズの
ベンデングで十分補正可能となる。また、軸上色収差は
第１群、第２群が少なくとも正・負のレンズ１枚づつよ
り構成されているため、硝子の選択によつて非常に容易
となる。この時、主に第２群と第３群で倍率の色収差も
同時に補正することが要求されるが、第１実施例を示し
た第１図の光路図からも明らかなように、絞りが第１群
近傍にあって、軸上色収差と倍率色収差に対する各群の
寄与が大きく異なるため、倍率色収差と軸上の色収差と
のバランスをとることは容易である。
的にフイールドレンズとして働くため、球面収差及び軸
上の色収差は第１群と第２群で補正する必要がある。例
えば、倍率５倍程度の低倍率投影レンズの実効Ｆナンバ
ーはF8.5程度であるので、本発明の場合、前述したよう
に各群の屈折力を弱くなしえたため、球面収差は収斂性
の第１群と発散性の第２群のレンズ形状即ち、レンズの
ベンデングで十分補正可能となる。また、軸上色収差は
第１群、第２群が少なくとも正・負のレンズ１枚づつよ
り構成されているため、硝子の選択によつて非常に容易
となる。この時、主に第２群と第３群で倍率の色収差も
同時に補正することが要求されるが、第１実施例を示し
た第１図の光路図からも明らかなように、絞りが第１群
近傍にあって、軸上色収差と倍率色収差に対する各群の
寄与が大きく異なるため、倍率色収差と軸上の色収差と
のバランスをとることは容易である。
このような本発明による基本構成において、以下のよう
な条件を満足することが必要である。
な条件を満足することが必要である。
すなわち、 f:投影対物レンズ全体の焦点距離 ｆ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離 ｆ３：第３レンズ群Ｇ３の焦点距離 Ｄ２：第２レンズ群と第３レンズ群との間の空気間隔 とするとき、 0.45＜Ｄ２／ｆ３＜0.65 （１） 0.5＜ｆ３／ｆ＜0.8 （２） 0.2＜|f２｜／ｆ＜0.45 （３） の各条件を満足することが必要である。
第２群と第３群の間隔は短かい方が第２群での入射高が
大きくなつて第３群で発生した収差を補正するのに有利
であるが、反射照明のための斜設ハーフミラーＨを第２
群と第３群との間に配置するためには、前記（１）式の
条件を満たすことが必要である。第２群と第３群との間
隔が、（１）式の下限より小さくなるとハーフミラーを
配置することが困難で、上限より大きくなると第２群へ
の入射高が小さくなり過ぎて第３群と第２群との収差補
正のバランスを維持することが難しくなる。
大きくなつて第３群で発生した収差を補正するのに有利
であるが、反射照明のための斜設ハーフミラーＨを第２
群と第３群との間に配置するためには、前記（１）式の
条件を満たすことが必要である。第２群と第３群との間
隔が、（１）式の下限より小さくなるとハーフミラーを
配置することが困難で、上限より大きくなると第２群へ
の入射高が小さくなり過ぎて第３群と第２群との収差補
正のバランスを維持することが難しくなる。
第３群の屈折力については、上記（２）式の条件を満足
することが必要である。この条件の上限より大きくなつ
た場合、実質的絞りの位置がレンズの外側に大きくはず
れ第１群の口径が大きくなつて収差補正上不利となる。
また、下限を外れる場合には、視野径に対して第３群の
焦点距離が小さくなって、第３群の収差補正の負担が大
きくなり過ぎる。さらに、ハーフミラーを入れる必要上
第２群と第３群との間隔を一定以上とする必要があるた
め、実質的絞りの位置が第２群に近づき過ぎて、第２群
の入射高が小さくなり、第３群で発生した収差を補正す
ることが困難となる。第２群の屈折力を強くして補正し
ようとすると、第２群への物体の各輪帯よりの入射高は
第３群の収差によつて変動するため、物体高によつて第
２群の寄与が非常に異なることとなつて、歪曲収差等に
強い曲がりが生じる。
することが必要である。この条件の上限より大きくなつ
た場合、実質的絞りの位置がレンズの外側に大きくはず
れ第１群の口径が大きくなつて収差補正上不利となる。
また、下限を外れる場合には、視野径に対して第３群の
焦点距離が小さくなって、第３群の収差補正の負担が大
きくなり過ぎる。さらに、ハーフミラーを入れる必要上
第２群と第３群との間隔を一定以上とする必要があるた
め、実質的絞りの位置が第２群に近づき過ぎて、第２群
の入射高が小さくなり、第３群で発生した収差を補正す
ることが困難となる。第２群の屈折力を強くして補正し
ようとすると、第２群への物体の各輪帯よりの入射高は
第３群の収差によつて変動するため、物体高によつて第
２群の寄与が非常に異なることとなつて、歪曲収差等に
強い曲がりが生じる。
第３群の屈折力は、前述した方法で許容可能な範囲内で
出来るだけ弱くできるので、収差補正上の負担を減らす
ことができる。従つて、本発明による後記の第１実施例
のように正レンズ１枚のみで第３群を構成することも可
能となる。第３群を１枚のレンズで構成することは、簡
単なレンズ構成であるばかりではなく、反射照明時のフ
レアーを減らす上で非常に有利であることは云うまでも
ない。
出来るだけ弱くできるので、収差補正上の負担を減らす
ことができる。従つて、本発明による後記の第１実施例
のように正レンズ１枚のみで第３群を構成することも可
能となる。第３群を１枚のレンズで構成することは、簡
単なレンズ構成であるばかりではなく、反射照明時のフ
レアーを減らす上で非常に有利であることは云うまでも
ない。
第２群の屈折力については、上記条件（３）を満たすこ
とが必要である。下限より小さいと第２群を簡単なレン
ズ構成とすることができず前記したような機能を第２群
に付加出来ない。上限より大きいとレンズの寸法が大き
くなり過ぎる。
とが必要である。下限より小さいと第２群を簡単なレン
ズ構成とすることができず前記したような機能を第２群
に付加出来ない。上限より大きいとレンズの寸法が大き
くなり過ぎる。
ところで、絞り位置に関しては、前述した本発明の基本
構成の説明から明らかなように、第１群の近傍、特に第
１群の第２群側の位置とするのが、第１群に対する収差
補正の負担も少なく各群の機能分担も出来るので最も望
ましい。尚、絞りとは、光束を制限する目的のみのため
に設けられた部材を指すのみならず、レンズ鏡筒自体や
レンズの支持環が絞りの機能を持つ場合も含み、より明
確には、斜光束の主光線が光軸と交わる位置が実質的な
絞り位置として定義されるものとする。
構成の説明から明らかなように、第１群の近傍、特に第
１群の第２群側の位置とするのが、第１群に対する収差
補正の負担も少なく各群の機能分担も出来るので最も望
ましい。尚、絞りとは、光束を制限する目的のみのため
に設けられた部材を指すのみならず、レンズ鏡筒自体や
レンズの支持環が絞りの機能を持つ場合も含み、より明
確には、斜光束の主光線が光軸と交わる位置が実質的な
絞り位置として定義されるものとする。
また、コマ収差に関しては、後記する第１実施例のよう
に、絞りを第１群の若干後方にくるように構成し、第１
群と第２群とを絞り位置に関してほぼ対称に構成するこ
によって、良好に補正することが可能である。第１群は
球面収差の補正のために、像側の面が像側に凸の比較的
強い面となることが望ましいため、コマ収差の補正のた
めには、第２群は物体側の面が物体側に凸面を向けた形
状であることが望ましく、第２群を接合メニスカスレン
ズで構成する場合には、必然的に物体側に凸面を向ける
ように構成することが望ましい。
に、絞りを第１群の若干後方にくるように構成し、第１
群と第２群とを絞り位置に関してほぼ対称に構成するこ
によって、良好に補正することが可能である。第１群は
球面収差の補正のために、像側の面が像側に凸の比較的
強い面となることが望ましいため、コマ収差の補正のた
めには、第２群は物体側の面が物体側に凸面を向けた形
状であることが望ましく、第２群を接合メニスカスレン
ズで構成する場合には、必然的に物体側に凸面を向ける
ように構成することが望ましい。
そして、第３群を単一の正レンズで構成すると、反射照
明のときのフレアーが少なくなる点で極めて有効ではあ
るが、ある程度の収差は必ず残留する。このため、第２
群を接合メニスカスレンズとして構成する場合には、そ
の接合メニスカスレンズの像側に位置する負レンズの屈
折率をｎ２ １、物体側に位置する正レンズの屈折率をｎ
２ ２とするとき、 ｎ２ １＞ｎ２ ２ として、接合面を発散面となし、これによって主に歪曲
収差をより良好に補正可能にすることが有効である。
明のときのフレアーが少なくなる点で極めて有効ではあ
るが、ある程度の収差は必ず残留する。このため、第２
群を接合メニスカスレンズとして構成する場合には、そ
の接合メニスカスレンズの像側に位置する負レンズの屈
折率をｎ２ １、物体側に位置する正レンズの屈折率をｎ
２ ２とするとき、 ｎ２ １＞ｎ２ ２ として、接合面を発散面となし、これによって主に歪曲
収差をより良好に補正可能にすることが有効である。
上記のように、本発明では各群の機能を明確にし、最適
な屈折力配分及びレンズ構成を確立したため、極めて少
ないレンズ枚数で、従来例よりも収差を改善しさらに画
角を大きくすることが可能となつた。
な屈折力配分及びレンズ構成を確立したため、極めて少
ないレンズ枚数で、従来例よりも収差を改善しさらに画
角を大きくすることが可能となつた。
以下に、本発明による実施例について説明する。第１図
のレンズ構成図に示した第１実施例は、本発明の最も基
本的な構成からなる投影対物レンズである。図示の如
く、像側から順に、両凸正レンズＬ１とその物体側にて
接合された両凹負レンズＬ２とで構成された収斂性の第
１レンズ群Ｇ１、両凹負レンズＬ３とその物体側にて接
合された両凸正レンズＬ４とで構成された発散正の第２
レンズ群Ｇ２、及び単一の正レンズＬ５からなる収斂正
の第３レンズ群Ｇ３を有している。第１図中には、軸上
物点からの光線の様子を実線で示し、軸外物点からの光
線の様子を破線にて示した。
のレンズ構成図に示した第１実施例は、本発明の最も基
本的な構成からなる投影対物レンズである。図示の如
く、像側から順に、両凸正レンズＬ１とその物体側にて
接合された両凹負レンズＬ２とで構成された収斂性の第
１レンズ群Ｇ１、両凹負レンズＬ３とその物体側にて接
合された両凸正レンズＬ４とで構成された発散正の第２
レンズ群Ｇ２、及び単一の正レンズＬ５からなる収斂正
の第３レンズ群Ｇ３を有している。第１図中には、軸上
物点からの光線の様子を実線で示し、軸外物点からの光
線の様子を破線にて示した。
第２図にレンズ構成を示した第２実施例は、第１図に示
した第１実施例の構成において、第１レンズ群Ｇ１を構
成する正レンズＬ１と負レンズＬ２とを分離することに
よって収差補正の自由度を増やし、画角をさらに大きく
したものである。
した第１実施例の構成において、第１レンズ群Ｇ１を構
成する正レンズＬ１と負レンズＬ２とを分離することに
よって収差補正の自由度を増やし、画角をさらに大きく
したものである。
第３図に示した第３実施例は、第２図に示した第２実施
例の構成において、最も像側に位置する両凸正レンズＬ
１を貼合せレンズとして構成したものであり、色収差を
より一層改善したものである。
例の構成において、最も像側に位置する両凸正レンズＬ
１を貼合せレンズとして構成したものであり、色収差を
より一層改善したものである。
以下の表１、２、３に本発明による第１、第２、第３実
施例の諸元をそれぞれ示す。各表中、左端の数字は像側
からの順序を表し、屈折率及びアッベ数はｄ線（λ＝58
7.6nm）に対する値である。また、ｄ０は像面から最も
像側レンズ面の頂点までの距離を表すものとする。
施例の諸元をそれぞれ示す。各表中、左端の数字は像側
からの順序を表し、屈折率及びアッベ数はｄ線（λ＝58
7.6nm）に対する値である。また、ｄ０は像面から最も
像側レンズ面の頂点までの距離を表すものとする。
上記の第１〜第３実施例についての諸収差図を、それぞ
れ順に、第４図〜第６図に示す。
れ順に、第４図〜第６図に示す。
各収差図から、何れの実施例も簡単なレンズ構成である
にもかかわらず、極めて良好な結像性能を有しているこ
とが分かる。
にもかかわらず、極めて良好な結像性能を有しているこ
とが分かる。
以上のように本発明によれば、簡単な構成でありなが
ら、テレセントリック性を維持しつつ結像性能を向上さ
せた低倍率の投影対物レンズが達成されるため、投影検
査機において物体面の広い範囲をより高精度で測定する
ことが可能になると共に、反射照明におけるフレアーを
減少させることができ、従来は難しかった低反射率の物
体の表面形状の観察も良好に行うことが可能となる。
ら、テレセントリック性を維持しつつ結像性能を向上さ
せた低倍率の投影対物レンズが達成されるため、投影検
査機において物体面の広い範囲をより高精度で測定する
ことが可能になると共に、反射照明におけるフレアーを
減少させることができ、従来は難しかった低反射率の物
体の表面形状の観察も良好に行うことが可能となる。
第１図は本発明による第１実施例のレンズ構成図、第２
図は第２実施例のレンズ構成図、第３図は第３実施例の
レンズ構成図、第４図は第１実施例の諸収差図、第５図
は第２実施例の諸収差図、第６図は第３実施例の諸収差
図である。 〔主要部分の符号の説明〕 Ｇ１……第１レンズ群 Ｇ２……第２レンズ群 Ｇ３……第３レンズ群
図は第２実施例のレンズ構成図、第３図は第３実施例の
レンズ構成図、第４図は第１実施例の諸収差図、第５図
は第２実施例の諸収差図、第６図は第３実施例の諸収差
図である。 〔主要部分の符号の説明〕 Ｇ１……第１レンズ群 Ｇ２……第２レンズ群 Ｇ３……第３レンズ群
Claims (1)
- 【請求項１】像側から順に、正レンズ成分とその物体側
に配置された負レンズ成分とを有する収斂性の第１レン
ズ群Ｇ１、負レンズ成分とその物体側に配置された正レ
ンズ成分とを有する発散性の第２レンズ群Ｇ２及び収斂
性の第３レンズ群Ｇ３とから構成され、 f:投影対物レンズ全体の焦点距離 ｆ２：第２レンズ群Ｇ２の焦点距離 ｆ３：第３レンズ群Ｇ３の焦点距離 Ｄ２：第２レンズ群と第３レンズ群との間の空気間隔 とするとき、 0.45＜Ｄ２／ｆ３＜0.65 （１） 0.5＜ｆ３／ｆ＜0.8 （２） 0.2＜|f２｜／ｆ＜0.45 （３） の各条件を満足することを特徴とする低倍率投影対物レ
ンズ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60190257A JPH0664234B2 (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | 低倍率投影対物レンズ |
| US06/898,097 US4753523A (en) | 1985-08-29 | 1986-08-20 | Low magnification projection objective lens |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60190257A JPH0664234B2 (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | 低倍率投影対物レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6250717A JPS6250717A (ja) | 1987-03-05 |
| JPH0664234B2 true JPH0664234B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=16255126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60190257A Expired - Lifetime JPH0664234B2 (ja) | 1985-08-29 | 1985-08-29 | 低倍率投影対物レンズ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4753523A (ja) |
| JP (1) | JPH0664234B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2548359B2 (ja) * | 1989-03-01 | 1996-10-30 | 松下電器産業株式会社 | 投影レンズとそれを用いたプロジェクションテレビ |
| US6489446B1 (en) * | 1996-08-07 | 2002-12-03 | Hsc Research And Development Limited Partnership | Self-aligning peptides modeled on human elastin and other fibrous proteins |
| KR100619039B1 (ko) * | 2004-07-06 | 2006-09-01 | 삼성전자주식회사 | 조명 렌즈계 및 이를 채용한 프로젝션 시스템 |
| JP5288254B2 (ja) * | 2008-10-17 | 2013-09-11 | 株式会社ニコン | レンズ系 |
| JP6187859B2 (ja) * | 2013-06-12 | 2017-08-30 | 株式会社リコー | 読取レンズおよび分光測定装置 |
| TWI548895B (zh) | 2015-07-03 | 2016-09-11 | 大立光電股份有限公司 | 取像鏡片系統、取像裝置及電子裝置 |
| JP6474434B2 (ja) * | 2017-01-20 | 2019-02-27 | カンタツ株式会社 | 撮像レンズ |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59204816A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-20 | Minolta Camera Co Ltd | 投影検査器用低倍率投影レンズ |
-
1985
- 1985-08-29 JP JP60190257A patent/JPH0664234B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-08-20 US US06/898,097 patent/US4753523A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6250717A (ja) | 1987-03-05 |
| US4753523A (en) | 1988-06-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |