JPH0658920B2 - ボンデイング装置 - Google Patents
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 「産業上の利用分野」 この発明はボンデイング装置、特に基板上に複数個のチ
ツプを有する大型基板の加工に好適なボンデイング装置
に関する。
ツプを有する大型基板の加工に好適なボンデイング装置
に関する。
「従来の技術」 マガジン内に収納されたリードフレーム等のワークを送
り爪を持つた搬送手段により、順次ボンデイング位置ま
で送り出すようにしたボンデイング装置の従来例として
は第７図に示すようなものがある。同図で１は図示され
ていないＸ−Ｙテーブル上に設置されたボンデイングヘ
ツド、１ａはボンデイングヘツド１に取り付けられたキ
ヤピラリである。キヤピラリ１ａの下方にはヒートステ
ージ２がベツド２ａに固定されている。ヒートステージ
２の両側に一端が近接して図の紙面に平行する水平なレ
ール３，３ａが連設され、レール３の他端とレール３ａ
の他端側にはそれぞれ、上下動可能なマガジン載置台４
と４ａとが配してあり、上下送り用ねじ５，５ａの回転
により上下動できるようになつている。
り爪を持つた搬送手段により、順次ボンデイング位置ま
で送り出すようにしたボンデイング装置の従来例として
は第７図に示すようなものがある。同図で１は図示され
ていないＸ−Ｙテーブル上に設置されたボンデイングヘ
ツド、１ａはボンデイングヘツド１に取り付けられたキ
ヤピラリである。キヤピラリ１ａの下方にはヒートステ
ージ２がベツド２ａに固定されている。ヒートステージ
２の両側に一端が近接して図の紙面に平行する水平なレ
ール３，３ａが連設され、レール３の他端とレール３ａ
の他端側にはそれぞれ、上下動可能なマガジン載置台４
と４ａとが配してあり、上下送り用ねじ５，５ａの回転
により上下動できるようになつている。
マガジン載置台４，４ａ上にはそれぞれ、多数の未加工
ワークＷを満載したワーク供給用マガジン６と、多数の
加工済みのワークを収納可能な空のワーク収納用マガジ
ン６ａとが載置される。７はワーク位置決め板、８は送
り爪である。送り爪８は図示省略した搬送装置のアーム
８ａに取り付けられ、第６図に平面図で示すようにワー
クＷに予め設けた孔９に係合可能である。
ワークＷを満載したワーク供給用マガジン６と、多数の
加工済みのワークを収納可能な空のワーク収納用マガジ
ン６ａとが載置される。７はワーク位置決め板、８は送
り爪である。送り爪８は図示省略した搬送装置のアーム
８ａに取り付けられ、第６図に平面図で示すようにワー
クＷに予め設けた孔９に係合可能である。
作用を説明すると、送り爪８は図示位置から下降してワ
ークの孔９に嵌入し、右行してワークＷが次のステージ
に送られるとワークＷの孔９から抜けるように上昇し、
左行して停止するものである。各部の送り爪８は同時に
同じ動作をする。従つて、ワーク供給用マガジン６の最
上段に収納されていたワークＷは送り爪８によつてレー
ル３上へ、レール３上のワークＷはヒートステージ２上
へ、ヒートステージ２上のワークＷはレール３ａ上へ、
レール３ａ上のワークＷはワーク収納用マガジン６ａへ
と同時に送られる。ヒートステージ２ではボンデイング
ヘツド１のＸＹ方向への移動及びキヤピラリ１ａの下降
動作等によりボンデイング作業が行なわれる。ボンデイ
ング終了後の加工済みワークは前記動作により送り爪８
によりレール３ａ上を経てワーク収納用マガジン６ａの
最上段に収納される。ワーク供給用マガジン６から未加
工ワークＷが取り出されるたびに、また、ワーク収納用
マガジン６ａに加工済みワークＷが収納されるたびに、
それぞれ、上下送り用ねじ５及び５ａが回転してマガジ
ン載置台４あるいは４ａが１段分だけ上昇して次の加工
あるいは次の収納に備える。
ークの孔９に嵌入し、右行してワークＷが次のステージ
に送られるとワークＷの孔９から抜けるように上昇し、
左行して停止するものである。各部の送り爪８は同時に
同じ動作をする。従つて、ワーク供給用マガジン６の最
上段に収納されていたワークＷは送り爪８によつてレー
ル３上へ、レール３上のワークＷはヒートステージ２上
へ、ヒートステージ２上のワークＷはレール３ａ上へ、
レール３ａ上のワークＷはワーク収納用マガジン６ａへ
と同時に送られる。ヒートステージ２ではボンデイング
ヘツド１のＸＹ方向への移動及びキヤピラリ１ａの下降
動作等によりボンデイング作業が行なわれる。ボンデイ
ング終了後の加工済みワークは前記動作により送り爪８
によりレール３ａ上を経てワーク収納用マガジン６ａの
最上段に収納される。ワーク供給用マガジン６から未加
工ワークＷが取り出されるたびに、また、ワーク収納用
マガジン６ａに加工済みワークＷが収納されるたびに、
それぞれ、上下送り用ねじ５及び５ａが回転してマガジ
ン載置台４あるいは４ａが１段分だけ上昇して次の加工
あるいは次の収納に備える。
「発明が解決しようとする問題点」 しかしながら、このような従来の装置にあつては、マガ
ジン内に収納されている未加工ワークをボンデイング位
置まで送るために、送り爪等を含む搬送装置を使用しな
ければならないため構造が複雑となり、また通常カム・
リンク機構等により１回の送り量が一定となつていたた
め、異なるサイズのワークに対処するためには、カムを
交換して送り量の調整をするとか、爪の位置を変更する
といつた手間を要し、また、ワーク側には必ず送り爪に
係合可能な孔を設けなければならないという問題点があ
つた。またヒートステージを挟んで両側にレールを介し
てワーク供給用マガジンとワーク収納用マガジンとを配
さなければならないため装置全体の横方向（第７図の左
右方向）の長さが長くなり、多台持とする場合、作業者
から見て左右方向に複数台の装置が並列し、端から端ま
では長くなる。そのため操作性が悪く、デットスペース
が多くなり、床面積も広く必要になるという問題点があ
つた。
ジン内に収納されている未加工ワークをボンデイング位
置まで送るために、送り爪等を含む搬送装置を使用しな
ければならないため構造が複雑となり、また通常カム・
リンク機構等により１回の送り量が一定となつていたた
め、異なるサイズのワークに対処するためには、カムを
交換して送り量の調整をするとか、爪の位置を変更する
といつた手間を要し、また、ワーク側には必ず送り爪に
係合可能な孔を設けなければならないという問題点があ
つた。またヒートステージを挟んで両側にレールを介し
てワーク供給用マガジンとワーク収納用マガジンとを配
さなければならないため装置全体の横方向（第７図の左
右方向）の長さが長くなり、多台持とする場合、作業者
から見て左右方向に複数台の装置が並列し、端から端ま
では長くなる。そのため操作性が悪く、デットスペース
が多くなり、床面積も広く必要になるという問題点があ
つた。
この発明はボンデイング装置におけるこのような従来の
問題点に着目してなされたもので構成簡単で設置のため
に必要とする床面積の小さいボンデイング装置を提供す
ることを目的とするものである。
問題点に着目してなされたもので構成簡単で設置のため
に必要とする床面積の小さいボンデイング装置を提供す
ることを目的とするものである。
「問題点を解決するための手段」 加熱手段を内蔵しかつワーク載置面を有するヒートステ
ージと、該ヒートステージを一端のワーク着脱位置と他
端のボンデイング位置間を往復動しボンデイング位置に
おいて順次送りを行うべく、モータを備えるとともに該
モータの回転軸に連結された送りねじ軸を前記ヒートス
テージに固定したナットにねじ込んでなるねじ送り装置
と、前記ねじ送り装置の送りねじ軸の軸線と平行に伸び
るヒートステージ案内手段とからなるヒートステージ装
置を設け、ワーク供給用マガジンを載置する上下動可能
なマガジン載置台とワーク収納用マガジンを載置する上
下動可能なマガジン載置台とを前記ヒートステージ装置
の一端のワーク着脱位置の送り方向に向つて両側に配設
するとともにヒートステージ上に載置されている加工済
みのワークをワーク収納用マガジンに収納し、ワーク供
給用マガジンに収容されているワークをヒートステージ
上に押し出すワーク移送装置を設け、ヒートステージ装
置の他端のヒートステージの送り方向に関し傍にボンダ
ーを設置したことを特徴とするボンデイング装置であ
る。
ージと、該ヒートステージを一端のワーク着脱位置と他
端のボンデイング位置間を往復動しボンデイング位置に
おいて順次送りを行うべく、モータを備えるとともに該
モータの回転軸に連結された送りねじ軸を前記ヒートス
テージに固定したナットにねじ込んでなるねじ送り装置
と、前記ねじ送り装置の送りねじ軸の軸線と平行に伸び
るヒートステージ案内手段とからなるヒートステージ装
置を設け、ワーク供給用マガジンを載置する上下動可能
なマガジン載置台とワーク収納用マガジンを載置する上
下動可能なマガジン載置台とを前記ヒートステージ装置
の一端のワーク着脱位置の送り方向に向つて両側に配設
するとともにヒートステージ上に載置されている加工済
みのワークをワーク収納用マガジンに収納し、ワーク供
給用マガジンに収容されているワークをヒートステージ
上に押し出すワーク移送装置を設け、ヒートステージ装
置の他端のヒートステージの送り方向に関し傍にボンダ
ーを設置したことを特徴とするボンデイング装置であ
る。
「作 用」 ワーク着脱位置にヒートステージがあるときにワーク移
送装置が動作してヒートステージのワーク載置面上の加
工済みのワークをワーク収納用マガジンに送ると共にワ
ーク供給用マガジンからヒートステージのワーク載置面
上に未加工のワークを送り、次にヒートステージはボン
デイング位置まで案内手段に案内されてねじ送り装置に
より送られそこで順次送りにより、各ボンデイング個所
においてボンデイングされ、ねじ送り装置によりヒート
ステージをワーク着脱位置に戻してヒートステージ上の
加工済みワークの送り出しと未加工ワークの載置を行な
うことをくり返す。
送装置が動作してヒートステージのワーク載置面上の加
工済みのワークをワーク収納用マガジンに送ると共にワ
ーク供給用マガジンからヒートステージのワーク載置面
上に未加工のワークを送り、次にヒートステージはボン
デイング位置まで案内手段に案内されてねじ送り装置に
より送られそこで順次送りにより、各ボンデイング個所
においてボンデイングされ、ねじ送り装置によりヒート
ステージをワーク着脱位置に戻してヒートステージ上の
加工済みワークの送り出しと未加工ワークの載置を行な
うことをくり返す。
「実施例」 以下、この発明を図面に基づいて説明する。
第１図はこの発明の一実施例を示す斜視図（ただしワー
ク移送装置５０については簡略的に図示した）、第２図
は同じく平面図である。まず構成を説明する。先ずヒー
トステージ装置Ａをのべれば次のとおりである。平板状
のベツド１０の上に短冊状のベツド１２が固定され、ベ
ツド１２の上にはヒートステージ１６の案内手段となる
案内レール１４が固定されている。案内レール１４に摺
動可能にヒートステージ１６が設けられる。ヒートステ
ージ１６の底面にはボールねじのナツト１８が固定さ
れ、ベツド１２上に固定された軸受２０にはボールねじ
の送りねじ軸２２が案内レール１４と平行となるように
その両端部が軸支され、その雄ねじ部はボールを介して
前記ナツト１８に螺合し、ベツド１２にパルスモータ２
４が固定され、そのモータ回転軸２６はカツプリング２
８を介して送りねじ軸２２に連結されねじ送り装置とな
つている。
ク移送装置５０については簡略的に図示した）、第２図
は同じく平面図である。まず構成を説明する。先ずヒー
トステージ装置Ａをのべれば次のとおりである。平板状
のベツド１０の上に短冊状のベツド１２が固定され、ベ
ツド１２の上にはヒートステージ１６の案内手段となる
案内レール１４が固定されている。案内レール１４に摺
動可能にヒートステージ１６が設けられる。ヒートステ
ージ１６の底面にはボールねじのナツト１８が固定さ
れ、ベツド１２上に固定された軸受２０にはボールねじ
の送りねじ軸２２が案内レール１４と平行となるように
その両端部が軸支され、その雄ねじ部はボールを介して
前記ナツト１８に螺合し、ベツド１２にパルスモータ２
４が固定され、そのモータ回転軸２６はカツプリング２
８を介して送りねじ軸２２に連結されねじ送り装置とな
つている。
なおヒートステージ１６は、加熱手段としてのニクロム
線を内蔵するとともに上面にワーク載置面を有する。
線を内蔵するとともに上面にワーク載置面を有する。
ベツド１０上にはＸ−Ｙテーブル３０が設けられ、Ｘ−
Ｙテーブル３０上に上下方向に駆動されるようにボンデ
イングアーム３８が取付けられたボンデイングヘツド３
６が固定されており、ボンデイングアーム３８の先端に
キヤピラリ４０が取付けられ、キヤピラリ４０が所望位
置にてボンデイングできるようにボンダーＢが構成され
ている。４６はワーク供給用マガジン、４８はワーク収
納用マガジンであり、いずれも多段の棚を有し、それら
の棚の中にワークＷを収容できるようになつている。
Ｙテーブル３０上に上下方向に駆動されるようにボンデ
イングアーム３８が取付けられたボンデイングヘツド３
６が固定されており、ボンデイングアーム３８の先端に
キヤピラリ４０が取付けられ、キヤピラリ４０が所望位
置にてボンデイングできるようにボンダーＢが構成され
ている。４６はワーク供給用マガジン、４８はワーク収
納用マガジンであり、いずれも多段の棚を有し、それら
の棚の中にワークＷを収容できるようになつている。
５０はワーク移送装置であつて、その詳細は第３，４図
に示され、第３図はその平面図、第４図は第３図の側面
図である。第３図において下側が作業者側である。
に示され、第３図はその平面図、第４図は第３図の側面
図である。第３図において下側が作業者側である。
ベツド１０上に柱１３を介して前記案内レール１４とは
直角方向に２本のレール52,52′が高い位置で水平に敷
設され、この２本のレール52,52′に跨がつて該レール
の長手方向に摺動可能な第１の滑動体５４が設けられ、
同じく２本のレール52,52′に跨がつて、かつ、前記第
１の滑動体５４に連結棒56,56′を介して一体的に結合
された第２の滑動体５８が設けられている。第１の滑動
体５４にはレール５２の長手方向とは直角方向に水平に
延びる案内棒６０（本実施例ではスプライン軸）が取付
けられるとともにレール５２の長手方向と平行に延びる
２本のワーク送りアーム62,62′が取付けられている。
直角方向に２本のレール52,52′が高い位置で水平に敷
設され、この２本のレール52,52′に跨がつて該レール
の長手方向に摺動可能な第１の滑動体５４が設けられ、
同じく２本のレール52,52′に跨がつて、かつ、前記第
１の滑動体５４に連結棒56,56′を介して一体的に結合
された第２の滑動体５８が設けられている。第１の滑動
体５４にはレール５２の長手方向とは直角方向に水平に
延びる案内棒６０（本実施例ではスプライン軸）が取付
けられるとともにレール５２の長手方向と平行に延びる
２本のワーク送りアーム62,62′が取付けられている。
レール52,52′間のベツド１０上に固定されたスタンド
７７にはモータ７８が固定され、そのモータ回転時８０
はカツプリング８２を介して軸８４に連結されている。
スタンド７７上に軸承されている軸８４には回転アーム
８６の一端が固定されている。第１の滑動体５４に固定
された案内棒６０にはスライダ８８が摺動可能に嵌合し
ている。前記回転アーム８６の他端は軸受９０を介して
スライダ８８の下端に突出したピン９２に連結されてい
る。軸８４には電気カム94,96が取付けられ、ベツド側
のスタンド７７にはそれらに対応するように光センサ9
8,100が取付けられている。
７７にはモータ７８が固定され、そのモータ回転時８０
はカツプリング８２を介して軸８４に連結されている。
スタンド７７上に軸承されている軸８４には回転アーム
８６の一端が固定されている。第１の滑動体５４に固定
された案内棒６０にはスライダ８８が摺動可能に嵌合し
ている。前記回転アーム８６の他端は軸受９０を介して
スライダ８８の下端に突出したピン９２に連結されてい
る。軸８４には電気カム94,96が取付けられ、ベツド側
のスタンド７７にはそれらに対応するように光センサ9
8,100が取付けられている。
１０２はワーク供給用マガジン４６を載置するマガジン
載置台で、ベツド１０に固定されたブラケツト１０１に
固定されたモータ１０４の軸端とベルト伝導装置１０３
を介して連結されたねじ送り装置１０５により上下動
し、不図示の案内手段により案内されるリフト１０７上
に固定されており、モータ１０４の正逆回転により所望
位置まで昇降でき、また１０６はワーク収納用マガジン
４８を載置するマガジン載置台で、ワーク供給用マガジ
ンの昇降装置と同構成であつてモータ１０８の正逆回転
により所望位置まで昇降できるようになつている。
載置台で、ベツド１０に固定されたブラケツト１０１に
固定されたモータ１０４の軸端とベルト伝導装置１０３
を介して連結されたねじ送り装置１０５により上下動
し、不図示の案内手段により案内されるリフト１０７上
に固定されており、モータ１０４の正逆回転により所望
位置まで昇降でき、また１０６はワーク収納用マガジン
４８を載置するマガジン載置台で、ワーク供給用マガジ
ンの昇降装置と同構成であつてモータ１０８の正逆回転
により所望位置まで昇降できるようになつている。
第２の滑動体５８には、第５図(イ)(ロ)に示すようにソレ
ノイド１１０が設けてありそのアクチユエータ１１１の
先端に取付けたピン１１２が支点114,114′を中心とし
て揺動する揺動レバー116,116′の一端の二又部に係合
しており、該レバー116,116′の他端の二又部は送りピ
ン120,120′に取付けたピン118,118′に係合している。
なお１２２はアクチユエータ１１１を上方に向つて附勢
している戻しばねである。
ノイド１１０が設けてありそのアクチユエータ１１１の
先端に取付けたピン１１２が支点114,114′を中心とし
て揺動する揺動レバー116,116′の一端の二又部に係合
しており、該レバー116,116′の他端の二又部は送りピ
ン120,120′に取付けたピン118,118′に係合している。
なお１２２はアクチユエータ１１１を上方に向つて附勢
している戻しばねである。
上記構成になる本実施例装置の作用を説明する。
当初、回転アーム８６はレール５２と平行な第３図図示
位置にあり、マガジン載置台１０２及び１０６はいづれ
も最下位にあるものとする。
位置にあり、マガジン載置台１０２及び１０６はいづれ
も最下位にあるものとする。
先づ、ワークＷを満載したワーク供給用マガジン４６を
マガジン載置台１０２上に置き、空のワーク収納用マガ
ジン４８をマガジン載置台１０６上に置く。すると、ワ
ーク供給用マガジン４６の最上位の段の高さと、ワーク
収容用マガジン４８の最上位の段の高さとは、いづれも
ヒートステージ１６の上面の高さと等しくなる。次にモ
ータ７８に信号を与えて回転アーム８６を回転させる。
回転アーム８６の回転によりスライダ８８は案内棒６０
に沿つて移動し、第１の滑動体５４及び第２の滑動体５
８は一体となつてレール52,52′に案内されながら移動
する。第１の滑動体５４に取付けられたワーク送りアー
ム６２の先端に片側で取付けられ突出する曲線状の板ば
ね64,64′がワークＷの端面に当り、ワークＷをワーク
供給用マガジン４６から押し出す。そして回転アーム８
６が180゜回つた時、ワークＷをヒートステージ１６上
に押し出す。最初はヒートステージ１６上にワークは無
いけれども第２回目以降はヒートステージ１６上に加工
済みのワークＷ１があるので、第２回目以降は未加工ワ
ークＷの押し出しと同時に第２の滑動体５８に設けられ
ている送りピン120,120′が加工済みのワークＷ１を押
してこれをワーク収納用マガジン４８の最上位の空の段
に押し入れる。さらに回転アーム８６が回転すると、第
１及び第２の滑動体５４及び５８はレール52,52′に沿
つて後退し元の位置（第３，４図図示位置）に戻る。元
の位置に戻つた時、光センサ１００が電気カム９６のホ
ームポジシヨンを検知してモータ７８の回転を止める。
この戻りの工程では、送りピン120,120′によつて折角
ヒートステージ１６上に送り込まれた加工前のワークＷ
を再びワーク供給用マガジン４６側に戻すことがないよ
うに後退時に光センサ９８が電気カム９４を検知しソレ
ノイド110を駆動して送りピン120,120′を持上げる。即
ち、ソレノイド１１０を作動すると、そのアクチユエー
タ１１１が戻しばね１２２の力に抗して前進するので、
揺動レバー116,116′は支点114,114′を中心として揺動
し、ピン118,118′を介して送りピン120,120′を持上げ
る。
マガジン載置台１０２上に置き、空のワーク収納用マガ
ジン４８をマガジン載置台１０６上に置く。すると、ワ
ーク供給用マガジン４６の最上位の段の高さと、ワーク
収容用マガジン４８の最上位の段の高さとは、いづれも
ヒートステージ１６の上面の高さと等しくなる。次にモ
ータ７８に信号を与えて回転アーム８６を回転させる。
回転アーム８６の回転によりスライダ８８は案内棒６０
に沿つて移動し、第１の滑動体５４及び第２の滑動体５
８は一体となつてレール52,52′に案内されながら移動
する。第１の滑動体５４に取付けられたワーク送りアー
ム６２の先端に片側で取付けられ突出する曲線状の板ば
ね64,64′がワークＷの端面に当り、ワークＷをワーク
供給用マガジン４６から押し出す。そして回転アーム８
６が180゜回つた時、ワークＷをヒートステージ１６上
に押し出す。最初はヒートステージ１６上にワークは無
いけれども第２回目以降はヒートステージ１６上に加工
済みのワークＷ１があるので、第２回目以降は未加工ワ
ークＷの押し出しと同時に第２の滑動体５８に設けられ
ている送りピン120,120′が加工済みのワークＷ１を押
してこれをワーク収納用マガジン４８の最上位の空の段
に押し入れる。さらに回転アーム８６が回転すると、第
１及び第２の滑動体５４及び５８はレール52,52′に沿
つて後退し元の位置（第３，４図図示位置）に戻る。元
の位置に戻つた時、光センサ１００が電気カム９６のホ
ームポジシヨンを検知してモータ７８の回転を止める。
この戻りの工程では、送りピン120,120′によつて折角
ヒートステージ１６上に送り込まれた加工前のワークＷ
を再びワーク供給用マガジン４６側に戻すことがないよ
うに後退時に光センサ９８が電気カム９４を検知しソレ
ノイド110を駆動して送りピン120,120′を持上げる。即
ち、ソレノイド１１０を作動すると、そのアクチユエー
タ１１１が戻しばね１２２の力に抗して前進するので、
揺動レバー116,116′は支点114,114′を中心として揺動
し、ピン118,118′を介して送りピン120,120′を持上げ
る。
光センサ１００により、第１及び第２の滑動体５４及び
５８が元の位置（第３図図示位置）に戻つたことが確認
されると、モータ１０４，１０８に信号が与えられ、そ
の回転によりマガジン載置台102,106が１段分上昇し、
次の未加工ワークの送り出し及び加工済みワークの収納
に備える。また、光センサ１００による確認によつて、
パルスモータ２４（第１図、第２図）に信号が与えられ
送りねじ軸２２が所定量回転することによりヒートステ
ージ１６は案内レール１４に沿つて所望量だけ移動して
停止し、ボンデイングを行ない、さらに必要に応じて何
回かの微動停止を繰り返しながらボンデイングが行なわ
れる。その時、必要に応じて、図示省略したパターン認
識装置によるキヤピラリ位置の補正信号をＸテーブル用
モータ３２及びＹテーブル用モータ３４に与えてＸ−Ｙ
テーブル３０を適宜移動させることによりキヤピラリ４
０の位置を各所望位置に設定することができる。
５８が元の位置（第３図図示位置）に戻つたことが確認
されると、モータ１０４，１０８に信号が与えられ、そ
の回転によりマガジン載置台102,106が１段分上昇し、
次の未加工ワークの送り出し及び加工済みワークの収納
に備える。また、光センサ１００による確認によつて、
パルスモータ２４（第１図、第２図）に信号が与えられ
送りねじ軸２２が所定量回転することによりヒートステ
ージ１６は案内レール１４に沿つて所望量だけ移動して
停止し、ボンデイングを行ない、さらに必要に応じて何
回かの微動停止を繰り返しながらボンデイングが行なわ
れる。その時、必要に応じて、図示省略したパターン認
識装置によるキヤピラリ位置の補正信号をＸテーブル用
モータ３２及びＹテーブル用モータ３４に与えてＸ−Ｙ
テーブル３０を適宜移動させることによりキヤピラリ４
０の位置を各所望位置に設定することができる。
ボンデイングすべき箇所の加工が全部終了すると、パル
スモータ２４が駆動され、パルスモータ２４は逆転し、
加工済みワークＷ１を載せたヒートステージ１６は元の
位置（第１，２図位置）に戻る。その戻りが図示省略し
たセンサにより確認されると、その信号によりモータ７
８が駆動され、回転アーム８６が回転することにより前
述と同様に、第２段目の未加工ワークＷがヒートステー
ジ１６上に押し出され、加工済みワークＷ１がワーク収
納用マガジン４８の第２段目に収納される。
スモータ２４が駆動され、パルスモータ２４は逆転し、
加工済みワークＷ１を載せたヒートステージ１６は元の
位置（第１，２図位置）に戻る。その戻りが図示省略し
たセンサにより確認されると、その信号によりモータ７
８が駆動され、回転アーム８６が回転することにより前
述と同様に、第２段目の未加工ワークＷがヒートステー
ジ１６上に押し出され、加工済みワークＷ１がワーク収
納用マガジン４８の第２段目に収納される。
以下同様な動作が繰返され、全部の加工済みワークがワ
ーク収納用マガジンに収納されると機械は停止する。
ーク収納用マガジンに収納されると機械は停止する。
以上の実施例ではワイヤボンデイング装置について説明
したが、ボンデイングヘツド３６、ボンデイングアーム
３８、キヤピラリ４０等をダイボンデイング用の装置に
置換えればダイボンデイング装置として使用できること
は明らかである。
したが、ボンデイングヘツド３６、ボンデイングアーム
３８、キヤピラリ４０等をダイボンデイング用の装置に
置換えればダイボンデイング装置として使用できること
は明らかである。
尚、ワーク供給用マガジン４６からワークＷを取出すの
は実施例の順序のように上から順に限られる訳ではな
く、ワーク収納用マガジン４８にワークＷ１を収納する
のに最上部の棚から順に収納することに限られる訳では
なく、各マガジン46,48の最下段の棚からワークＷ，W1
を夫々出し入れしてもよく、或は選択的に各マガジン4
6,48にワークW,W1を出し入れして混流生産に対応するよ
うにしてもよいのでマガジン載置台102,106の動作は実
施例に限られるものではない。又、ワーク移送装置はワ
ーク供給収納側夫々各個に動作する形式のものを備えて
もよい。
は実施例の順序のように上から順に限られる訳ではな
く、ワーク収納用マガジン４８にワークＷ１を収納する
のに最上部の棚から順に収納することに限られる訳では
なく、各マガジン46,48の最下段の棚からワークＷ，W1
を夫々出し入れしてもよく、或は選択的に各マガジン4
6,48にワークW,W1を出し入れして混流生産に対応するよ
うにしてもよいのでマガジン載置台102,106の動作は実
施例に限られるものではない。又、ワーク移送装置はワ
ーク供給収納側夫々各個に動作する形式のものを備えて
もよい。
以上説明してきたように、本発明は加熱手段を内蔵しか
つワーク載置面を有するヒートステージと、該ヒートス
テージを一端のワーク着脱位置と他端のボンデイング位
置間を往復動させるとともにボンデイング位置において
順次送りを行うべく、モータを備えるとともに該モータ
の回転軸に連結された送りねじ軸をヒートステージに固
定したナツトにねじ込んでなるねじ送り装置と、前記ね
じ送り装置の送りねじ軸の軸線と平行に延びるヒートス
テージ案内手段とからなるヒートステージ装置を設け、
ワーク供給用マガジンを載置する上下動可能なマガジン
載置台とワーク収納用マガジンを載置する上下動可能な
マガジン載置台とを前記ヒートステージ装置の一端のワ
ーク着脱位置の送り方向に向つて両側に配設するととも
にヒートステージ上に載置されている加工済みのワーク
をワーク収納用マガジンに収納し、ワーク供給用マガジ
ンに収容されているワークをヒートステージ上に押し出
すワーク移送装置を設け、ヒートステージ装置の他端の
ヒートステージの送り方向に関し傍にボンダーを設置し
たことを特徴とするボンデイング装置としたため、従来
必要とされた送り爪等から成る搬送手段を要せず、その
ためワークのサイズ等の変更に際して送り量の調整や爪
の位置の変更等の手間を省くことができるほか、ワーク
に送り爪係合孔を設ける必要もなく、モータの回転数の
制御だけでワークを所望位置に移動停止せしめることが
でき、また、送り方向の長さが従来のものに比べて短か
くなるとともに、ワーク供給用マガジン及びワーク収納
用マガジンをそれぞれのマガジン載置台に載置したり、
それぞれのマガジン載置台から取外したりするときに、
両載置台間の距離が従来のものに較べて短かいので、そ
れらの作業が容易になるという効果がある。又ヒートス
テージ装置の他端とヒートステージの送り方向に関し傍
にボンダーを設置したため、全装置のヒートステージ送
り方向の長さはヒートステージの移動範囲の長さに納ま
り、ヒートステージ送り方向と直交するワーク供給用マ
ガジン、ワーク収納用マガジンの配列方向の全装置の長
さはこれらのマガジンとヒートステージ及びワーク移動
装置の幅を加えた程度であるから、装置全体の床面に占
める形が長短辺の差の小さい矩形となり、設置し易く、
複数台のボンディング装置を作業者側より見て左右方向
へ配列した場合、作業者側より見て左右方向の長さが短
く第７図に示す従来例に比較して操作が容易であるとい
う効果がある。
つワーク載置面を有するヒートステージと、該ヒートス
テージを一端のワーク着脱位置と他端のボンデイング位
置間を往復動させるとともにボンデイング位置において
順次送りを行うべく、モータを備えるとともに該モータ
の回転軸に連結された送りねじ軸をヒートステージに固
定したナツトにねじ込んでなるねじ送り装置と、前記ね
じ送り装置の送りねじ軸の軸線と平行に延びるヒートス
テージ案内手段とからなるヒートステージ装置を設け、
ワーク供給用マガジンを載置する上下動可能なマガジン
載置台とワーク収納用マガジンを載置する上下動可能な
マガジン載置台とを前記ヒートステージ装置の一端のワ
ーク着脱位置の送り方向に向つて両側に配設するととも
にヒートステージ上に載置されている加工済みのワーク
をワーク収納用マガジンに収納し、ワーク供給用マガジ
ンに収容されているワークをヒートステージ上に押し出
すワーク移送装置を設け、ヒートステージ装置の他端の
ヒートステージの送り方向に関し傍にボンダーを設置し
たことを特徴とするボンデイング装置としたため、従来
必要とされた送り爪等から成る搬送手段を要せず、その
ためワークのサイズ等の変更に際して送り量の調整や爪
の位置の変更等の手間を省くことができるほか、ワーク
に送り爪係合孔を設ける必要もなく、モータの回転数の
制御だけでワークを所望位置に移動停止せしめることが
でき、また、送り方向の長さが従来のものに比べて短か
くなるとともに、ワーク供給用マガジン及びワーク収納
用マガジンをそれぞれのマガジン載置台に載置したり、
それぞれのマガジン載置台から取外したりするときに、
両載置台間の距離が従来のものに較べて短かいので、そ
れらの作業が容易になるという効果がある。又ヒートス
テージ装置の他端とヒートステージの送り方向に関し傍
にボンダーを設置したため、全装置のヒートステージ送
り方向の長さはヒートステージの移動範囲の長さに納ま
り、ヒートステージ送り方向と直交するワーク供給用マ
ガジン、ワーク収納用マガジンの配列方向の全装置の長
さはこれらのマガジンとヒートステージ及びワーク移動
装置の幅を加えた程度であるから、装置全体の床面に占
める形が長短辺の差の小さい矩形となり、設置し易く、
複数台のボンディング装置を作業者側より見て左右方向
へ配列した場合、作業者側より見て左右方向の長さが短
く第７図に示す従来例に比較して操作が容易であるとい
う効果がある。
第１図は、本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は第
１図の平面図、第３図はワーク移送装置の平面図、第４
図は第３図の側面図、第５図(イ)は送りピン昇降機構を
示す平面図、(ロ)は第５図(イ)の正面図、第６図はワーク
であるリードフレームの平面図、第７図は従来のボンデ
イング装置の一例を示す正面図である。 １……ボンデイングヘツド、１ａ……キヤピラリ、２…
…ヒートステージ、２ａ……ベツド、３，３ａ……レー
ル、４，４ａ……マガジン載置台、５，５ａ……上下送
り用ねじ、６……ワーク供給用マガジン、６ａ……ワー
ク収納用マガジン、７……ワーク位置決め板、８……送
り爪、９……孔、10,12……ベツド、１４……案内レー
ル、１６……ヒートステージ、１８……ナツト、２０…
…軸受、２２……送りねじ軸、２４……パルスモータ、
２６……モータ回転軸、２８……カツプリング、３０…
…Ｘ−Ｙテーブル、３２……Ｘテーブル用モータ、３４
……Ｙテーブル用モータ、３６……ボンデイングヘツ
ド、３８……ボンデイングアーム、４０……キヤピラ
リ、４６……ワーク供給用マガジン、４８……ワーク収
納用マガジン、５０……ワーク移送装置、52,52′……
レール、５４……第１の滑動体、56,56′……連結棒、
５８……第２の滑動体、６０……案内棒、62,62′……
ワーク送りアーム、64,64′……板ばね、７７……スタ
ンド、７８……モータ、８０……モータ回転軸、８２…
…カツプリング、８４……軸、８６……回転アーム、８
８……スライダ、９０……軸受、９２……ピン、９４…
…電気カム、９６……電気カム、９８……光センサ、１
００……光センサ、１０１……ブラケツト、１０２……
マガジン載置台、１０３……ベルト伝導装置、１０４…
…モータ、１０５……ねじ送り装置、１０６……マガジ
ン載置台、１０７……リフト、１０８……モータ、１１
０……ソレノイド、１１１……アクチユエータ、１１２
……ピン、114,114′……支点、116,116′……揺動レバ
ー、118,118′……ピン、120,120′……送りピン、１２
２……戻しばね。
１図の平面図、第３図はワーク移送装置の平面図、第４
図は第３図の側面図、第５図(イ)は送りピン昇降機構を
示す平面図、(ロ)は第５図(イ)の正面図、第６図はワーク
であるリードフレームの平面図、第７図は従来のボンデ
イング装置の一例を示す正面図である。 １……ボンデイングヘツド、１ａ……キヤピラリ、２…
…ヒートステージ、２ａ……ベツド、３，３ａ……レー
ル、４，４ａ……マガジン載置台、５，５ａ……上下送
り用ねじ、６……ワーク供給用マガジン、６ａ……ワー
ク収納用マガジン、７……ワーク位置決め板、８……送
り爪、９……孔、10,12……ベツド、１４……案内レー
ル、１６……ヒートステージ、１８……ナツト、２０…
…軸受、２２……送りねじ軸、２４……パルスモータ、
２６……モータ回転軸、２８……カツプリング、３０…
…Ｘ−Ｙテーブル、３２……Ｘテーブル用モータ、３４
……Ｙテーブル用モータ、３６……ボンデイングヘツ
ド、３８……ボンデイングアーム、４０……キヤピラ
リ、４６……ワーク供給用マガジン、４８……ワーク収
納用マガジン、５０……ワーク移送装置、52,52′……
レール、５４……第１の滑動体、56,56′……連結棒、
５８……第２の滑動体、６０……案内棒、62,62′……
ワーク送りアーム、64,64′……板ばね、７７……スタ
ンド、７８……モータ、８０……モータ回転軸、８２…
…カツプリング、８４……軸、８６……回転アーム、８
８……スライダ、９０……軸受、９２……ピン、９４…
…電気カム、９６……電気カム、９８……光センサ、１
００……光センサ、１０１……ブラケツト、１０２……
マガジン載置台、１０３……ベルト伝導装置、１０４…
…モータ、１０５……ねじ送り装置、１０６……マガジ
ン載置台、１０７……リフト、１０８……モータ、１１
０……ソレノイド、１１１……アクチユエータ、１１２
……ピン、114,114′……支点、116,116′……揺動レバ
ー、118,118′……ピン、120,120′……送りピン、１２
２……戻しばね。
Claims (1)
- 【請求項１】加熱手段を内蔵しかつワーク載置面を有す
るヒートステージと、該ヒートステージを一端のワーク
着脱位置と他端のボンディング位置間を往復動させると
ともにボンディング位置において順次送りを行なわせる
べく、モータを備えるとともに該モータの回転軸に連結
された送りねじ軸を前記ヒートステージに固定したナッ
トに螺合せしめてなるねじ送り装置と、前記ねじ送り装
置の送りねじ軸の軸線と平行に延びるヒートステージ案
内手段とからなるヒートステージ装置を設け、ワーク供
給用マガジンを載置する上下動可能なマガジン載置台と
ワーク収納用マガジンを載置する上下動可能なマガジン
載置台とを前記ヒートステージ装置の一端のワーク着脱
位置の送り方向に向って両側に配設するとともに前記ヒ
ートステージ上に載置されている加工済みのワークをワ
ーク収納用マガジンに収納し、ワーク供給用マガジンに
収容されている未加工のワークをヒートステージ上に押
し出すワーク移送装置を設け、ヒートステージ装置の他
端のヒートステージの送り方向に関し傍にボンダーを設
置したことを特徴とするボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60102187A JPH0658920B2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | ボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60102187A JPH0658920B2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | ボンデイング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61259531A JPS61259531A (ja) | 1986-11-17 |
| JPH0658920B2 true JPH0658920B2 (ja) | 1994-08-03 |
Family
ID=14320660
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60102187A Expired - Lifetime JPH0658920B2 (ja) | 1985-05-14 | 1985-05-14 | ボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0658920B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01129827U (ja) * | 1988-02-25 | 1989-09-04 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57145334A (en) * | 1981-03-03 | 1982-09-08 | Nec Corp | Bonding device and system thereof |
| JPS59231827A (ja) * | 1983-06-14 | 1984-12-26 | Toshiba Corp | ワイヤボンデイング装置 |
-
1985
- 1985-05-14 JP JP60102187A patent/JPH0658920B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61259531A (ja) | 1986-11-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |