JP2568649B2

JP2568649B2 - ダイボンディング装置

Info

Publication number: JP2568649B2
Application number: JP63267443A
Authority: JP
Inventors: 渡秀瀬
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1988-10-24
Filing date: 1988-10-24
Publication date: 1997-01-08
Anticipated expiration: 2012-01-08
Also published as: JPH02114540A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、ウェハーのダイをリードフレームに移送搭
載するダイボンディング装置に関するものである。

（従来の技術）リードフレームにダイを実装するダイボンディング装
置は、移送ヘッドを横方向に往復動させる手段と、移送
ヘッドのノズルを上下動させる手段と、移送ヘッドによ
りウェハーからサブステージに移送されたダイのXYθ方
向の位置ずれを補正する手段と、ウェハー上のダイをピ
ンにより突き上げるダイエジェクタと、リードフレーム
をピッチ送りする手段等を備えており、各手段は複数の
モータにより駆動されていた。

上記各手段は、正確に同期して作動しなければならな
いものであり、同期に狂いを生じると、作業ミスを生じ
ることとなる。このため従来、上記各手段は、電気的手
段により同期させて作動させていた。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら電気的手段は、各駆動部間の通信にばら
つきを生じて同期に狂いを生じやすいため、高速化には
限界があった。

したがって本発明は、電気的手段によらずに、各駆動
部を正確に同期させてウェハーのダイをリードフレーム
に高速度で移送搭載することができるダイボンディング
装置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段）本発明は、互いにピッチをおいて横並びに並設された
ウェハーおよびサブステージと、この横並び方向と直交
する方向へリードフレームを搬送する搬送路と、ウェハ
ーのダイをノズルの下端部に吸着してサブステージ上に
移送搭載するサブ移送ヘッドと、サブステージにおいて
位置ずれ補正部材により位置ずれが補正されたダイをノ
ズルの下端部に吸着して搬送路上のリードフレーム上に
移送搭載するメイン移送ヘッドと、サブ移送ヘッドをウ
ェハーとサブステージの間を直線的に往復動させ、且つ
メイン移送ヘッドをサブステージとリードフレームの搬
送路の間を直線的に往復動させるために、サブ移送ヘッ
ドとメイン移送ヘッドを横並びの状態で往復動を案内す
るガイド部材とを備えたダイボンディング装置であっ
て、同一モータにより駆動される第１のカム装置と、第
２のカム装置と、第３のカム装置と、第４のカム装置
と、第５のカム装置と、第６のカム装置とを備え、第１
のカム装置がサブ移送ヘッドおよびメイン移送ヘッドを
ガイド部材に沿って横方向に往復動させるカムを備え、
また第２のカム装置がサブ移送ヘッドおよびメイン移送
ヘッドのノズルを上下動させる昇降手段を駆動するカム
を備え、第３のカム装置がサブステージに設けられた位
置ずれ補正部材をXY方向に移動させる駆動部材を駆動す
る２つのカムを備え、また第４のカム装置が搬送路に置
かれたリードフレームをピッチ送りするためにこのリー
ドフレームを挟持するようクランプ部材を駆動するカム
を備え、また第５のカム装置がリードフレームを間欠送
りする摺動子をリードフレームの長手方向に往復動させ
るカムを備え、また第６のカム装置がウェハーの下方に
置かれたダイエジェクタピンを上下動させる駆動シャフ
トを駆動するカムを備え、ノズルの昇降手段が、第２の
カム装置に駆動されて上下方向へ揺動することによりノ
ズルを上方へ付勢するスプリングのばね力に抗してノズ
ルを押し下げる駆動部材を有し、さらにノズルの昇降手
段が各ノズルの昇降ストロークの調整部を備え、このノ
ズルの昇降ストロークの調整部が、駆動部材の上下方向
の揺動量を調整する揺動量調整手段としたものである。

（作用）上記構成によれば、第１のカム装置〜第６のカム装置
を同一モータで駆動することにより、正確に同期をとり
ながら高速度で所定の作業を行ってリードフレームにダ
イを搭載することができる。またダイの厚さに応じて各
ノズルの昇降ストロークを調整し、ダイをリードフレー
ムに確実に搭載することができる。

（実施例）次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。

（１）全体の構成について第１図はダイボンディング装置の全体斜視図であっ
て、このダイボンディング装置は、リードフレームLFに
ダイをボンディングするボンディング部Ａと、ボンディ
ング部Ａにダイを供給する供給部Ｂと、ボンディング部
ＡにリードフレームLFを間欠部に供給する搬送部Ｃから
成っており、後に詳述するように、これらの各部A,B,C
は同一のモータＭに駆動されて一連の作業を行う。

ＤはモータＭにより駆動される伝動部であって、ベル
ト１等を介して回転するシャフト２に回転カム３が装着
されている。４はカム３に形成されたカム溝に係合する
カムフォロアであって、シャフト７に取り付けられたア
ーム５の先端部に軸着されており、カム３が回転する
と、アーム５はシャフト７を中心に揺動するものであ
り、上記各部材3,4,5は、第１のカム装置６を構成して
いる。８はシャフト７の先端部に取り付けられた扇形の
ギヤであり、アーム５の揺動と共に往復回動する。この
第１のカム装置６は、次の項で述べるように、移送ヘッ
ドを横方向に往復動させる。

（２）移送ヘッドの往復動手段についてボンディング部Ａは、サブ移送ヘッド11と、メイン移
送ヘッド12を備えている。サブ移送ヘッド11とメイン移
送ヘッド12は横並びに並設されており、この横並びの状
態でその背面のガイド部19に沿って横方向に往復動す
る。サブ移送ヘッド11は、横方向N1に往復動して、供給
部Ｂのウェハー150上に装備されたダイｄを、サブステ
ージ13に移送する。メイン移送ヘッド12は、横方向N1に
往復動して、サブステージ13において位置ずれが補正さ
れたダイｄを、リードフレームLFに移送する。14,15
は、移送ヘッド11,12のノズルであって、その下端部に
ダイｄを吸着する。次に第１図と第２図を参照しなが
ら、移送ヘッド11,12を横方向N1に往復動させる手段を
説明する。

16は移送ヘッド11,12の支持部材であって、プレート1
8に支持されている。19はプレート17,18の背後に設けら
れたガイド部材であって、プレート17,18はこのガイド
部材19に横方向N1に摺動自在に保持されている。上記支
持部材16の端部は、プレート20に装着されており、この
プレート20の上部には、ブラケット21が取り付けられて
いる。22は上記扇形のギヤ８に係合するギヤであって、
その軸にはアーム23が取り付けられ、その先端部にロー
ラ24が軸着されており、このローラ24は、上記ブラケッ
ト21に嵌合している。

ボンディング部Ａは上記のような構成より成り、次に
その動作を説明する。

上述したように、モータＭが駆動して扇形のギヤ８が
往復回転すると、ギヤ22は180°往復回転し、アーム23
はギヤ22の軸心を中心としてN2方向に180°揺動し、ブ
ラケット21は横方向N1に往復動する。するとサブ移送ヘ
ッド11はウェハー140とサブステージ13の間を往復動
し、またメイン移送ヘッド12はサブステージ13とリード
フレームLFの間を往復する。このように、両移送ヘッド
11,12は、上記モータＭに駆動される第１のカム装置６
のカム３に駆動されて、横方向N1に往復動する。

（３）ノズルの昇降手段について第１図において、31はベルト25を介して上記モータＭ
により駆動されるシャフト、32はこのシャフト31に取り
付けられたカム、33はカムフォロアであり、両部材32,3
3は第２のカム装置34を構成している。カム33が回転す
ると、カムフォロア33の支持アーム35は揺動し、シャフ
ト36はN3方向に往復動する。37はシャフト36の先端部に
軸着された揺動材、38はその先端の摺動材であり、シャ
フト36が往復動すると、揺動材37は揺動し、摺動材38は
前後方向N4に往復動する。

第３図は、摺動材38の前後方向N4の往復動をノズル1
4,15の昇降運動に変換するノズル昇降手段を示すもので
あり、次にその詳細を説明する。なおサブ移送ヘッド11
とメイン移送ヘッド12のノズル14,15の昇降手段は同じ
であるので、サブ移送ヘッド11のノズル14の昇降手段を
例にとって説明する。

41は台部40上に設けられたスライダであって（第１図
も併せて参照）、ガイド材39を介して前後方向N4に摺動
自在に配設されている。上記摺動材38はこのスライダ41
に連結されており、スライダ41は摺動材38にけん引され
て、同方向N4に往復動する。スライダ41の上面にはフレ
ーム42が設けられている。このフレーム42上にパルスモ
ータ43が配設されており、その回転軸には偏心カム44が
取り付けられている。45はカムフォロアである。これら
の部材43〜45は、ノズル14の昇降ストロークの調整部46
となるものであり、その作用は後述する。47はカムフォ
ロア45の支持材であり、支持材47には脚材48が垂設され
ている。51はピン52を中心にN5方向に揺動するノズル14
の駆動部材であって、その上部背面には、上記脚部48の
下端部に軸着されたロール49が当接している。53は駆動
部材51の先端部に軸着されたローラ、54はローラ54が接
地するプレートであり、このプレート54にはノズルシャ
フト55とガイドシャフト56が垂設されている。57はプレ
ート54を上方に付勢するコイルスプリングである。

ノズル14の昇降機構は上記のような構成より成り、次
にその動作を説明する。

モータＭの駆動により、カム装置34のカム32が回転し
て、シャフト36がN3方向に往復動し、スライダ41が前後
方向N4に往復動すると、支持材47や脚材48も同方向N4に
往復動する。すると駆動部材51はローラ49に押されてN5
方向に揺動し、プレート54はローラ53により下方に押圧
されてノズル14は昇降し、ウェハー140上のダイｄをピ
ックアップする。

ところで、ダイｄの厚さは様々である。また上記手段
によるノズル14の昇降ストロークは一定である。したが
ってウェハー140上のダイｄをノズル14によりピックア
ップする場合、ダイｄの厚さが薄いとノズル14はウェハ
ー140上のダイｄに着地できない。またダイｄの厚さが
厚い場合には、ノズル14の昇降ストロークは過大とな
り、しかもカム加速度の高い所で、ノズル14の下端はダ
イｄの上面に強く当り、ダイｄを破損する。かかるトラ
ブルは、ノズル14に吸着したダイｄをサブステージ13に
着地させる場合や、メイン移送ヘッド12のノズル15を昇
降させる場合も同様に生じる。かかるトラブルを解消す
るためには、ダイｄの厚さに応じて、ノズル14の昇降ス
トロークを調整しなければならない。上記調整部46はこ
のための手段であって、パルスモータ43を駆動し、カム
44の回転角度を調整すにことにより、カムフォロア45の
前後方向における位置を調整し、以って駆動部材51の揺
動量を調整して、ノズル14の昇降ストロークを調整す
る。すなわちパルスモータ43,カム44,カムフォロア45
は、駆動部材51の上下方向の揺動量を調整する揺動量調
整手段となっている。第３図は、カム44を回転させて、
その最小半径部をカムフォロア45に当接させることによ
り、カムフォロア45を最大限後退させた最小ストローク
の状態を示している。この状態で、摺動材38を矢印N4へ
往復動させた場合、駆動部材51の矢印N5方向への揺動量
は小さく、したがってノズル14の昇降ストロークは短
い。ダイｄの厚さが大きい場合は、このようにしてノズ
ル14の昇降ストロークを短くする。また第４図は、カム
44を180°回転させて、その最大半径部をカムフォロア4
5に当接させることにより、カムフォロア45を最大限前
進させた最大ストロークの状態を示している。この状態
で摺動材38を矢印N4方向へ往復動させた場合、駆動部材
51の矢印N5方向への揺動量は大きく、したがってノズル
14の昇降ストロークは長い。ダイｄの厚さが小さい場合
は、このようにしてノズル14の昇降ストロークを長くす
る。モータ43の制御はコンピュータのような制御装置に
より行われ、ダイの厚さに対応してノズル14が最良のス
トロークで昇降するよう、モータ43は制御される。

（４）位置ずれ補正部材の駆動手段について第５図において、61〜64は上記シャフト31に装着され
たカムとカムフォロアであり、これらは第３のカム装置
65を構成している。66,67はカムフォロア62,64のレバー
であり、カム61,63が回転すると、ピン68,69を中心に揺
動し、これに取り付けられたシャフト71,72はN6方向に
往復動する。71a,72aは、ダイｄの位置ずれ補正部材73
の移動原点の調整部85を介してシャフト71,72に連結さ
れたサブシャフトである。75はサブシャフト71a,72aの
先端部に設けられたXY方向移動装置であって、各サブシ
ャフト71a,72aの先端部に取り付けられた揺動材76,77
と、この揺動材76,77に取り付けられたＸスライダ78,Y
スライダ79と、固定プレート80等から成っている。Ｙス
ライダ79は、固定プレート80の下部に、ガイド材81a,81
bによりＹ方向に移動自在に装着されており、またＸス
ライダは、Ｙプレート79の下部にガイド材82a,82bによ
りＸ方向に移動自在に装着されている。

13は上記サブステージ、73はその上に配設された位置
ずれ補正部材であって、Ｘスライダ78の下面に取り付け
られており、カム61,63が回転してシャフト71,72がN6方
向に往復動すると、揺動材76,77は揺動してXYスライダ7
8,79はXY方向に摺動し、補正部材73はXY方向に摺動す
る。すなわちシャフト71,72は、XY方向移動装置75の駆
動部材となるものである。この補正部材73はカギ型の内
辺73aを有しており、この補正部材73がXY方向に摺動す
ることにより、内辺73aをダイｄの２辺に押当して、こ
のダイｄのXYθ方向の位置ずれを補正し（第６図参
照）、補正されたダイｄを、メイン移送ヘッド12のノズ
ル15に吸着して、リードフレームLFに移送する。

83はサブステージ13の基端部に立設されたブラケッ
ト、84はその支持部材であり、ブラケット83はガイド材
83a,84aを介して支持部材84に昇降自在に装着されてい
る。97はサブステージ13を支持するマイクロメータ、98
はカプリング、99はパルスモータであり、このモータ99
を駆動することによりサブステージ13の高さを調整す
る。次に第５図と第７図を参照しながら、上記調整部85
の詳細を説明する。なおこの調整部85は、ダイｄの大小
に対応して、補正部材73の移動原点すなわち待機位置を
調整するものである。

86は固定プレート、87は固定プレート86の下部に、ガ
イド材88,89によりN6方向に移動自在に装着されたスラ
イダである。上記シャフト71,72の先端部は、このスラ
イダ87に連結されている。91はスライダ87の下部にガイ
ド材92,93によりN6方向に摺動自在に装着されたサブス
ライダであり、上記サブシャフト71a,72aの後端部は、
このサブスライダ91に連結されている。94はスライダ87
の後部に装着されたパルスモータ、95は送りねじ、96は
サブスライダ91に装着された送りナットであり、モータ
94が駆動すると、サブスライダ91はN6方向に移動し、上
記揺動材76,77を駆動するシャフト71,72及びサブシャフ
ト71a,72aの全長を調節することにより、XY方向移動装
置75の位置を調整する。

第８図は、補正部材73の待機位置の調整を行っている
様子を示すものである。d1は小さなダイ、d2は大きなダ
イであり、大きなダイd2のときは、補正部材73がこのダ
イd2に当らないように、パルスモータ94を駆動してサブ
スライダ91を摺動させ、補正部材73の移動原点をa1から
a2に移動させて、補正部材73の待機位置を変更する。X
1,Y1はその時の移動量である。

（５）リードフレームのクランプ手段とピッチ送り手段
について第１図において、モータＭの回転は、ベルト100を介
してシャフト101に伝達され、更にベルト102を介してシ
ャフト103に伝達される。このシャフト103にはカム105,
106が装着されている。第９図において、107,108はその
カムフォロアであり、これらの部材105〜108は、第４の
カム装置109,110を構成している。

112（第１図参照）はリードフレームLFの搬送路であ
って、カム装置109,110の上方にはクランプ部材113,114
が配設されている。クランプ部材113,114は、リードフ
レームLFの縁部を上下から挟持し、上記メイン移送ヘッ
ド12の直下に間欠的にピッチ送りするものである。搬送
路112によるリードフレームLFの搬送方向は、サブ移送
ヘッドとメイン移送ヘッド12の往復動方向（横並び方
向）と直交する方向である。第９図において、116はク
ランプ部材113,114の支持部材であり、クランプ部材11
3,114は、この支持部材116の前面下部に、上下動自在に
配設されている。すなわち、117はピン118を中心に回転
する回転杆であって、クランプ部材113,114はその両端
部にピン119,120により軸着されている。また上記カム
フォロア107,108の上部には昇降板121があり、クランプ
部材114はローラ122を介して、この昇降板121に接地し
ている。したがってモータＭが駆動してカム105,106が
回転すると、クランプ部材114は押し上げられ、クラン
プ部材113,114はピン118を中心にN7方向に回転し、リー
ドフレームLFを上下から挟持する。

次に第１図、第10図、第11図を参照しながら、リード
フレームLFのピッチ送り手段を説明する。

140は第５のカム装置であって、タイミングベルト10
0,タイミングプーリ104を介して上記モータＭにより駆
動されるカム141と、このカム141の周胴面に突設された
ガイドリブ142に案内されて横動する一対のカムフォロ
ア143,143から成っている。144は収納ボックスである。
145はカムフォロア143,143が装着された板体であり、こ
の板体145にはギヤ130が装着されている。131はこのギ
ヤ130に駆動されるギヤである。カム141が回転すると、
ギヤ130は往復回動し、ギヤ131は180°往復回転する。1
32はギヤ131の回転軸に装着されたプレート、133はこの
プレート132に設けられた回動子であり、ギヤ131が回転
すると、回動子133はギヤ131の軸心を中心にN9方向に半
径Ｒにて回動する。第11図において、134は上記支持部
材116が取り付けられた摺動子であって、その背後に設
けられた支持部材135に、ガイド材136,137を介して横方
向N8に摺動自在に支持されている。摺動子134は、コイ
ルスプリング138により、第11図において右方に付勢さ
れている。139は摺動子134の端部に設けられた係合子で
あって、コイルスプリング138のばね力により、上記回
動子133に係合している。

リードフレームLFのピッチ送り手段は上記構成より成
り、次に動作を説明する。

モータＭの駆動により、ギヤ131が180°往復回転する
と、回動子133はギヤ131の回転軸145を中心にN9方向に1
80°往復回転する。するとコイルスプリング138により
ローラ133に圧接された係合子139及び摺動子134はピッ
チＳ（第10図参照）にてN8方向に往復動し、リードフレ
ームLFを前方ヘピッチ送りする。勿論この場合、リード
フレームLFを第11図において右方へ搬送するときは、リ
ードフレームLFはクランプ部材113,114により挟持され
ており、またクランプ部材113,114が同図において左方
へ復帰するときは、クランプ部材113,114は開いてリー
ドフレームLFを開放している。なお第１図において、12
4はリードフレームLFにボンドを塗布するシリンジであ
る。

（６）ダイエジェクタの駆動手段について第１図において、151はウェハー150の載置テーブル、
152はウェハーチェンジャー、153はそのチャック、154
はチャック駆動用モータ、155,156はXYテーブルであ
る。チャック153によりテーブル151を挟持し、XYテーブ
ル155,156を駆動することにより、テーブル151をXY方向
に移動させて、ウェハー150の交換を行う。157はウェハ
ー150の下方に置かれたダイエジェクタ、158はそのピン
であり、ウェハー150上のダイｄをピン158に突き上げた
状態で、上記サブ移送ヘッド11のノズル14によりこのダ
イｄをピックアップし、上記サブステージ13に移送す
る。

160は上記シャフト101に装着されたカム、161はカム
フォロアであり、両部材160,161は第６のカム装置162を
構成している。163はカムフォロア161の支持アーム、16
4はこの支持アーム163に連結された駆動シャフトであ
り、モータＭが駆動してカム160が回転すると、シャフ
ト164はN10方向に往復動し、その先端部の揺動材165は
揺動してピン158は上下動し、ウェハー150上のダイｄを
突き上げる。なおダイエジェクタ157の内部構造は周知
手段であるので、その説明は省略する。なおウェハー15
0に換えてトレイなどに装備されたダイをボンディング
する場合には、ダイエジェクタ157は不要であるので、
ダイエジェクタ157は下方へ退去させるなどして除去さ
れる。

（発明の効果）本発明によれば、第１のカム装置〜第６のカム装置を
同一モータで駆動することにより、正確に同期をとりな
がら高速度で所定の作業を行ってリードフレームにダイ
を搭載することができる。またダイの厚さに応じて各ノ
ズルの昇降ストロークを調整し、ダイをリードフレーム
に確実に搭載することができる。また６つのカム装置を
同一モータで駆動するうえにおいて、ウェハーとサブス
テージとリードフレームの搬送路をピッチをおいて横並
びに並設することにより、サブ移送ヘッドとメイン移送
ヘッドの往復動の移動ストロークを極力短くし、これに
よりこの往復動動作に要する時間を短くしてより一層の
高速化を実現し、さらには搬送路によるリードフレーム
の搬送方向を、サブ移送ヘッドとメイン移送ヘッドの横
並び方向（往復動方向）と直交する方向にレイアウトす
ることにより、全体構造をコンパクト化し、ダイボンデ
ィング装置の設置スペースを小さくできる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すものであって、第１図はダイ
ボンディング装置の全体斜視図、第２図は移送ヘッドの
正面図、第３図はノズルの昇降機構の側面図、第４図は
同部分側面図、第５図は位置ずれ補正部材の駆動機構の
斜視図、第６図は位置ずれ補正部材の部分平面図、第７
図は調整部の正面図、第８図は位置ずれ補正部材の部分
平面図、第９図はクランプ機構の正面図、第10図はピッ
チ送り機構の部分正面図、第11図は同部分平面図であ
る。Ｍ……モータ３……第１のカム装置のカム６……第１のカム装置 11,12……移送ヘッド 13……サブステージ 14,15……ノズル 16……支持部材 32……第２のカム装置のカム 34……第２のカム装置 51……ノズルの駆動部材 61,63……第３のカム装置のカム 65……第３のカム装置 71,72……位置ずれ補正部材の駆動部材 73……位置ずれ補正部材 105,106……第４のカム装置のカム 109,110……第４のカム装置 113,114……クランプ部材 140……第５のカム装置 141……第５のカム装置のカム 157……ダイエジェクタ 158……ピン 160……第６のカム装置のカム 162……第６のカム装置 164……駆動シャフト

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】互いにピッチをおいて横並びに並設された
ウェハーおよびサブステージと、この横並び方向と直交
する方向へリードフレームを搬送する搬送路と、ウェハ
ーのダイをノズルの下端部に吸着して前記サブステージ
上に移送搭載するサブ移送ヘッドと、前記サブステージ
において位置ずれ補正部材により位置ずれが補正された
ダイをノズルの下端部に吸着して前記搬送路上のリード
フレーム上に移送搭載するメイン移送ヘッドと、前記サ
ブ移送ヘッドを前記ウェハーと前記サブステージの間を
直線的に往復動させ、且つ前記メイン移送ヘッドを前記
サブステージと前記リードフレームの搬送路の間を直線
的に往復動させるために、前記サブ移送ヘッドと前記メ
イン移送ヘッドを横並びの状態で前記往復動を案内する
ガイド部材とを備えたダイボンディング装置であって、同一モータにより駆動される第１のカム装置と、第２の
カム装置と、第３のカム装置と、第４のカム装置と、第
５のカム装置と、第６のカム装置とを備え、前記第１の
カム装置が前記サブ移送ヘッドおよび前記メイン移送ヘ
ッドを前記ガイド部材に沿って横方向に往復動させるカ
ムを備え、また第２のカム装置がサブ移送ヘッドおよび
メイン移送ヘッドのノズルを上下動させる昇降手段を駆
動するカムを備え、前記第３のカム装置が前記サブステ
ージに設けられた前記位置ずれ補正部材をXY方向に移動
させる駆動部材を駆動する２つのカムを備え、また前記
第４のカム装置が前記搬送路に置かれたリードフレーム
をピッチ送りするためにこのリードフレームを挟持する
ようクランプ部材を駆動するカムを備え、また前記第５
のカム装置がリードフレームを間欠送りする摺動子をリ
ードフレームの長手方向に往復動させるカムを備え、ま
た前記第６のカム装置が前記ウェハーの下方に置かれた
ダイエジェクタピンを上下動させる駆動シャフトを駆動
するカムを備え、前記ノズルの昇降手段が、前記第２のカム装置に駆動さ
れて上下方向へ揺動することによりノズルを上方へ付勢
するスプリングのばね力に抗してノズルを押し下げる駆
動部材を有し、さらに前記ノズルの昇降手段が前記各ノ
ズルの昇降ストロークの調整部を備え、このノズルの昇
降ストロークの調整部が、前記駆動部材の上下方向の揺
動量を調整する揺動量調整手段であることを特徴とする
ダイボンディング装置。