JPH0658404U - 積層型磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 接着強度を増し、品質及び信頼性を向上す
る。 【構成】 ギャップを境にして両側にコアを対向配置し
てなる磁気ヘッドにおいて、コアは、磁性膜２Ａと非磁
性層２Ｂとを重ね合わせた組をトラック巾方向に複数組
積層してなる多層磁性膜２と、この多層磁性膜２の両側
に配設した非磁性基板３，３Ａと、この非磁性基板３，
３Ａと多層磁性膜２の両側との間の少なくとも一方の側
に配設した接着層７とを有し、多層磁性膜２と接着層７
との接合面２ａと、接着層７と非磁性基板３，３Ａとの
接合面３ａのうち少なくとも一方の接合面の面粗度を、
０．０１μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒｍａｘ値）の範囲
内で形成してなるもの。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、積層型磁気ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】

従来から特開平４−１２５８０６号公報等において、磁性膜を膜付けした一対 のコア同士を対向配置することによって、所定のギャップを形成するようにした 磁気ヘッドが知られている。このような磁性膜を用いた磁気ヘッドにおいて、近 年、磁性膜をトラック巾方向に積層してなる、所謂ラミネート型の磁気ヘッドが 開発されている。

【０００３】 このラミネート型の磁気ヘッドでは、例えば図５に示されているように、ギャ ップＧを形成するように対向配置された一対のコア１，１のそれぞれに、トラッ ク巾方向に積層された金属よりなる多層磁性膜２，２が膜付けされていると共に 、それらの各多層磁性膜２の両側に、当該多層磁性膜２を挟み込むようにして、 例えばセラミック結晶化ガラス等よりなる非磁性基板３，３が配設されている。 上記多層磁性膜２は、図６に示されるように、磁性膜２Ａと非磁性層２Ｂとを重 ね合わせたものであり、多層磁性膜２の両側若しくは片側と非磁性基板３との間 には、接着層たる、例えば接着用ガラス材若しくはガラス層７が配設されている （図６においては片側のみに配設した場合を示している）。この接着用ガラス材 ７は磁性膜２Ａと非磁性基板３とを貼り合わすためのもので、接合面ａ，ｂの面 粗度はそれぞれ０．０１μｍ未満（凡そ１０Å〜４０Å）となっており、スパッ タリング等により成膜されている。 そして、多層磁性膜２及び上記非磁性基板３のギャップ形成表面上を、図示さ れないテープが走行するように構成されている。また、上記コア１，１同士の対 向部分に形成されたコイル窓５を通して、記録・再生信号を入出力させるための コイル６がコア１に巻回されている。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、このような構成の積層型磁気ヘッドにおいては、以下の問題点があ る。 すなわち、材質の異なる磁性膜２Ａと非磁性基板３とを貼り合わせていること から、接着用ガラス材７と磁性膜２Ａ、非磁性基板３との間に応力を生じ、しか も加工時にも応力を生じるので、接着用ガラス材７と磁性膜２Ａ、非磁性基板３ とが剥離を起こし、品質及び信頼性が低下するといった問題がある。

【０００５】 そこで本考案は、接着強度が増し、品質及び信頼性が向上される積層型磁気ヘ ッドを提出することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案の積層型磁気ヘッドは上記目的を達成するために、ギャップを境にして 両側にコアを対向配置してなる磁気ヘッドにおいて、前記コアは、磁性膜と非磁 性層とを重ね合わせた組をトラック巾方向に複数組積層してなる多層磁性膜と、 この多層磁性膜の両側に配設した非磁性基板と、この非磁性基板と前記多層磁性 膜の両側との間の少なくとも一方の側に配設した接着層とを有し、前記多層磁性 膜と前記接着層との接合面と、前記接着層と前記非磁性基板との接合面のうち少 なくとも一方の接合面の面粗度を、０．０１μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒｍａｘ 値）の範囲内で形成したことを特徴としている。

【０００７】

【作用】

このような手段における積層型磁気ヘッドによれば、多層磁性膜と接着層との 接合面と、接着層と非磁性基板との接合面のうち少なくとも一方の接合面の面粗 度が粗くなり、従ってその接着強度が増すこととなり、接着層と多層磁性膜、非 磁性基板との剥離が防止されるようになる。

【０００８】

【実施例】

以下、本考案の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。 図１は本考案の一実施例を示す積層型磁気ヘッドの要部構造を表した断面図、 図２は図１の要部拡大図であり、従来技術で説明したのと同一なものに対しては 同一符号を付し、ここでの説明は省略する。 この実施例の積層型磁気ヘッドは、非磁性基板３Ａと多層磁性膜２の片側との 間に、例えば接着用ガラス材７を配設したもので、この実施例の積層型磁気ヘッ ドが従来技術のそれと違う点は、磁性膜２Ａと接着用ガラス材７との接合面２ａ と、接着用ガラス材７と非磁性基板３Ａとの接合面３ａとの両方の接合面２ａ， ３ａの面粗度を、０．０１μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒｍａｘ値）の範囲内で形 成した点である。ここで、Ｒｍａｘ値は最大値と最小値との差を表している。

【０００９】 上記磁性膜２Ａ側の所定面粗度の膜２Ｃは、図２に示されるように、トラック 幅相当の所定膜厚（従来と同じ厚さ）を形成した後、スパッタリング時に使用さ れるＡｒ（アルゴン）ガス流量または投入パワーを上げることにより成膜されて いる。この膜２Ｃは、前述のごとく、Ａｒガス流量または投入パワーを上げて成 膜されているので、膜成長が速くなって膜密度が通常より低下しており、従って 面粗度を０．０１μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒｍａｘ値）とすることが可能とな っている。 しかしながら、上述のようにＡｒガス流量または投入パワーを上げて膜密度を 変化させると、膜の磁気特性が劣化したり応力値が変化するので、それを防止す べく膜２Ｃの厚みは０．１〜１μｍとなっている。

【００１０】 また、Ａｒガス流量または投入パワーを、図３に示されるように、徐々に変化 させ、膜２Ｃの面粗度を密から粗へ穏やかに変化させており、好ましい膜質が得 られるようになっている。

【００１１】 一方、上記非磁性基板３Ａの所定面粗度の形成は、ラッピング等による鏡面加 工で使用される砥粒を用い、この砥度を粗くすることにより行っている。ダイヤ モンド砥粒を例にすると、１／８〜１／２μｍ粒径のものを使用するのが望まし い。

【００１２】 そして、この非磁性基板３Ａにスパッタリング等により接着用ガラス材７を成 膜し、その後上記形成された多層磁性膜２を抱き合わせる格好で重ね、さらに図 ４に示されるように、数十個重ねて両側より加圧し、接着用ガラス材７の作業温 度まで加熱することにより接着がなされている。

【００１３】 このように、本実施例においては、多層磁性膜２と接着用ガラス材７との接合 面２ａと、接着用ガラス材７と非磁性基板３Ａとの接合面３ａとの両方の接合面 ２ａ，３ａの面粗度を０．０１μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒｍａｘ値）とし、面 粗度を従来より粗くしたので、その接着強度が増し、接着用ガラス材７と多層磁 性膜２、非磁性基板３Ａとの剥離が防止されるようになっている。

【００１４】 ここで、多層磁性膜２と接着用ガラス材７との接合面２ａと、接着用ガラス材 ７と非磁性基板３Ａとの接合面３ａの何れか一方の接合面の面粗度のみを０．０ １μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒｍａｘ値）としても本考案効果が妨げられるもの ではない。

【００１５】 また、本実施例においては、従来の工程を変更することなく接着用ガラス材７ と多層磁性膜２、非磁性基板３Ａとの剥離防止が可能となっているので、量産効 果が減じられることはない。

【００１６】 また、本実施例においては、フェライトヘッド（ＭＩＧ）のような磁性材料を 基板材に使用していないので、面粗度を変化させてもヘッド特性に影響を及ぼさ ないようになっている。

【００１７】 以上本考案者によってなされた考案を実施例に基づき具体的に説明したが、本 考案は上記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々 変形可能であるというのはいうまでもなく、例えば、上記実施例においては、非 磁性基板３Ａと多層磁性膜２の片側との間に接着用ガラス材７を配設したものに 対する適用例が述べられているが、非磁性基板３Ａと多層磁性膜２の両側との間 に接着用ガラス材７を配設したものに対しても勿論適用可能である。

【００１８】

【考案の効果】

以上述べたように本考案の積層型磁気ヘッドによれば、多層磁性膜と接着層と の接合面と、接着層と非磁性基板との接合面のうち少なくとも一方の接合面の面 粗度を０．０１μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒｍａｘ値）とし、面粗度を従来より 粗くしたので、その接着強度が増し、接着層と多層磁性膜、非磁性基板との剥離 が防止されるようになり、従って品質及び信頼性の向上が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す積層型磁気ヘッドの要
部構造を表した断面図である。

【図２】図１の要部拡大図である。

【図３】投入パワー、Ａｒガス流量の経時的変化を表し
た図である。

【図４】接着工程を説明するための図である。

【図５】従来技術を示す積層型磁気ヘッドの概略斜視図
である。

【図６】図５の要部構造を表した断面図である。

【符号の説明】

１ コア ２ 多層磁性膜 ２Ａ 磁性膜 ２Ｂ 非磁性層 ２ａ 多層磁性膜と接着層との接合面 ３，３Ａ 非磁性基板 ３ａ 接着層と非磁性基板との接合面 ７ 接着層 Ｇ ギャップ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ギャップを境にして両側にコアを対向配
   置してなる磁気ヘッドにおいて、 前記コアは、磁性膜と非磁性層とを重ね合わせた組をト
   ラック巾方向に複数組積層してなる多層磁性膜と、 この多層磁性膜の両側に配設した非磁性基板と、 この非磁性基板と前記多層磁性膜の両側との間の少なく
   とも一方の側に配設した接着層とを有し、 前記多層磁性膜と前記接着層との接合面と、前記接着層
   と前記非磁性基板との接合面のうち少なくとも一方の接
   合面の面粗度を、０．０１μｍ以上０．１μｍ以下（Ｒ
   ｍａｘ値）の範囲内で形成したことを特徴とする積層型
   磁気ヘッド。