JPH0656501A

JPH0656501A - グリーン体

Info

Publication number: JPH0656501A
Application number: JP4211613A
Authority: JP
Inventors: Hideki Furusawa; 秀樹古澤; Junichi Ito; 順一伊藤; Yukio Mizutani; 幸雄水谷
Original assignee: Tokuyama Corp
Current assignee: Tokuyama Corp
Priority date: 1992-08-07
Filing date: 1992-08-07
Publication date: 1994-03-01

Abstract

(57)【要約】【目的】非酸化性雰囲気下での脱脂において、高い脱脂
効率を発揮するグリーン体を提供する。【構成】セラミック粉、有機バインダー及びラジカル発
生剤よりなり、該有機バインダーをセラミック粉１００
重量部に対して５〜２５重量部の割合で、該ラジカル発
生剤を有機バインダーに対して１〜５０重量％の割合で
含有するグリーン体である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、セラミック粉、有機バ
インダー及びラジカル発生剤を主構成成分とする新規な
グリーン体に関する。詳しくは、特に、非酸化性雰囲気
下での脱脂において、高い脱脂効率を発揮するグリーン
体である。

【０００２】

【従来の技術】近年、電子機器に使用される基板や部品
の小型化及び高密度化が進むことに伴い、セラミック基
板においても多層化が要求されるようになってきた。そ
のため、基板の製造時に新たな問題が生じている。即
ち、多層基板の製造方法は、セラミック粉を有機バイン
ダーによってシート状に成形したグリーン体にタングス
テン等の高融点金属ペーストを塗布した後、上記グリー
ン体の複数枚を積層し、これを同時焼成する方法があ
る。かかる同時焼成は、一般に、セラミックス粉あるい
は高融点金属の酸化を防止する目的で、非酸化性雰囲気
が採用される。

【０００３】このような非酸化性雰囲気中で脱脂を行っ
た場合、脱脂効率が著しく低下し、残炭率が増加する結
果、脱脂体の焼結時に高融点金属の炭化が進み、該高融
点金属によって形成される配線パターンの導電性を著し
く低下せしめるという問題が生じる。

【０００４】そのため、上記の積層体のように、比較的
肉厚の厚いグリーン体の材質としては、非酸化性雰囲気
においても高い効率で脱脂できるという特性が要求され
る。かかる要求に対して、例えば、特開平４ー４２９９
３には、脱脂工程において有機バインダーと水蒸気との
反応による分解を促進する目的で、グリーンシートに金
属触媒を添加する方法が提案されている。

【０００５】しかし、この方法ではセラミックス焼結体
中に触媒金属成分が残留するため、バインダーの分解率
を向上させようとした場合、得られる焼結体の絶縁抵抗
の低下を免れない。

【０００６】一方、グリーン体の脱脂効率を向上する手
段として、有機バインダー自体の脱脂効率の改良も試み
られている。例えば、メタクリル酸メチルとメタクリル
酸イソブチルとの共重合体を有機バインダーとして用い
るグリーン体（特開平２−９７４５号）、ポリイソブチ
レンを有機バインダーとして用いたグリーン体（特開昭
６３−３０５３９号）等が提案されているが、特に、前
記した積層体のような肉厚のグリーン体の非酸化性雰囲
気下での脱脂効率において、脱脂効率に未だ改良の余地
がある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、上記の
グリーン体の有する問題点を解決すべく、鋭意研究を重
ねた。その結果、セラミック粉と有機バインダーよりな
るグリーン体の組成に特定量のラジカル発生剤を配合す
ることにより、該グリーン体の強度及び寸法精度等を犠
牲にすることなく、非酸化性雰囲気において短時間で極
めて高い脱脂効率を達成し得ること、更に、得られる焼
結体の絶縁抵抗の低下が極めて少ないことを見い出し、
本発明を提案するに至った。

【０００８】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、セラミ
ック粉、有機バインダー及びラジカル発生剤よりなり、
該有機バインダーをセラミック粉１００重量部に対して
５〜２５重量部の割合で、該ラジカル発生剤を有機バイ
ンダーに対して１〜５０重量％の割合で含有するグリー
ン体である。

【０００９】本発明で使用されるセラミック粉は公知の
アルミナ、シリカ、ムライト、コージェライト、結晶化
ガラスホウケイ酸系ガラス、マグネシア、スピネル、フ
ォルステライト等の酸化物粉や窒化アルミニウム、炭化
ケイ素、窒化ケイ素等の非酸化物粉が挙げられる。

【００１０】また、セラミック粉には、焼結助剤として
ＭｇＯ、ＣａＯ、ＳｉＯ₂、Ｙ₂Ｏ₃、Ｌａ₂Ｏ₃、ＹＦ₃、
ＬａＦ₃等の公知の助剤を添加することができる。

【００１１】本発明において使用される有機バインダー
は特に限定されるものではなく、種々のバインダーの単
独または２種以上を組み合わせて使用できる。

【００１２】これらのバインダーの一例を挙げると、カ
ルボキシルメチルセルロース、メチルセルロース、ヒド
ロキシエチルセルロース、ポリビニールピロリドン、ポ
リアクリルアミド、ポリエチレングリコール、ポリエチ
レンオキサイド、ポリビニールアルコール、ポリビニー
ルエーテル、イソブチレン・無水マレイン酸共重合体な
どの水溶性バインダー類や、エチレン・酢酸ビニール共
重合体、エチレン・アクリレート共重合体、ポリスチレ
ン、アルファメチルスチレン・メチルメタクリレート共
重合体、スチレン・メチルメタクリレート共重合体、酢
酸ビニール樹脂、ポリビニールアセタール、ポリビニー
ルホルマール、ポリアクリル酸、ポリアクリル酸エステ
ル、ポリメタクリル酸、ポリメタクリル酸エステル、シ
アノアクリル酸エステル、三酢酸セルロース、酢酸・酢
酸セルロース、セルロイド、ニトロセルロース、エチル
セルロースなどの熱可塑性バインダー類などが挙げられ
る。

【００１３】これらの有機バインダーの内、本発明にお
いて特に好ましいバインダーは、高分子鎖中にカルボキ
シル基、カルボキシルアンモニウム基、スルホン酸基、
スルホン酸アンモニウム基、ヒドロキシル基のいずれか
１種以上の官能基を０．１〜５０モル％含有するもので
ある。即ち、かかる有機バインダーは、シート成形や顆
粒成形時におけるセラミック粉の分散効果を高め、グリ
ーン体の強度や成形寸法精度を高めることができる。

【００１４】また、加熱しながら紫外光または放射線を
照射することにより有機バインダーの分解を促進させる
場合、紫外光または放射線に対する活性基を導入した解
重合性有機バインダーを用いると特に効果的である。該
有機バインダーの例としては、オキシムイミノ基やグル
タルイミド基を導入したポリ（メタ）アクリル酸エステ
ルや、インダノンまたは３ーメタクリロキシイミノー２
ーブタノンとポリ（メタ）アクリル酸エステルとの共重
合体などが挙げられる。

【００１５】本発明において、有機バインダーの分子量
は特に制限されないが、重量平均分子量が５０００〜１
００万、特に１０万〜５０万が好適である。重量平均分
子量が５０００より小さい場合、グリーン体の強度や保
形性が低く、取扱が難しくなるという傾向がある。ま
た、１００万より大きい場合、セラミック粉スラリーの
チキソトロピー性が悪くなり成形寸法精度の低下を起こ
したり、脱脂効率が低下する傾向がある。

【００１６】該有機バインダーの添加量はセラミック粉
１００重量部に対して５〜２５重量部であるが、好まし
くは１０〜２０重量部である。５重量部よりも少ない場
合はグリーン体強度が低下し、取扱いにくくなる。一
方、２５重量部以上の場合、グリーン体中セラミック粉
の充填密度が減少し、欠陥のない良好な焼成ができなく
なる。

【００１７】本発明で用いるラジカル発生剤としては、
熱或いは光により分解してラジカルを発生する公知のも
のが特に限定されずに用いられる。例えば、ベンゾイル
パーオキサイドおよびその置換体、ターシャルブチルハ
イドロパーオキサイド、ジターシャルブチルパーオキサ
イド、クメンハイドロパーオキサイド、アセチルパーオ
キサイド、ラウリルパーオキサイドなどの過酸化物やア
ゾビスイソブチロニトリル、アゾビスシクロヘキサンカ
ルボニトリルなどのアゾ系ラジカル発生剤、ベンゾフェ
ノン、チオキサントン、キノン、チオアクリドン、ビス
イミダゾール、パラメトキシ安息香酸などの光重合開始
剤や光増感剤が挙げられる。

【００１８】これらのラジカル発生剤は、グリーン体成
形時の加熱乾燥において安定性を維持するため、ベンゼ
ン中での１０時間半減温度が５０℃以上のものを選択す
ることが好ましい。

【００１９】また、上記ラジカル発生剤のうち、特に、
有機過酸化物は、グリーン体の脱脂時におけるガスの発
生が殆どなく、本発明において好適に使用される。

【００２０】本発明において、ラジカル発生剤の添加量
としては有機バインダーに対して１〜５０重量％、好ま
しくは５〜３０重量％である。即ち、ラジカル発生剤の
添加量が１重量％以下ではラジカル発生剤の効果がほと
んどみられない。一方、該添加量が５０重量％以上で
は、脱脂効率の向上効果が頭打ちとなるばかりでなく、
グリーン体の強度低下、焼結性の低下等の問題も生じ
る。

【００２１】本発明のグリーン体には、必要に応じて分
散剤、脱泡剤、可塑剤、滑剤、カップリング剤等の公知
の添加剤の一種以上を含有してもよい。即ち、これらの
添加剤は、後記するグリーン体の製造方法において、作
業性を改善し、また、得られるグリーン体の物性を改善
するために一般に使用される。

【００２２】上記分散剤としては、アクリル酸オリゴマ
ー、アクリル酸とアクリル酸エステルの共重合体オリゴ
マー、およびそれらのアンモニウム塩、高級脂肪酸一価
アルコールエステル、高級脂肪酸、高級アルコール、グ
リセリントリオレートなどのグリセリンと高級脂肪酸と
のモノないしトリエステル、エチレングリコールと高級
脂肪酸とのジエステル、ソルビタントリオレートなどの
ソルビタンエステル、ポリオキシエチレンアルキルフェ
ニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、
ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ヒドロキシステア
リン酸とその分子間エステル、リシノール酸とその分子
間エステル、、天然魚油、非イオン系合成界面活性剤、
ベンゼンスルホン酸、みつろう、カルナウバワックス、
モンタンワックス、ライスワックス、ヘキストワックス
などの公知の分散剤より選択して使用すればよい。ま
た、これら分散剤の使用量は、分散剤の種類、ＨＬＢ
値、セラミック粉の性状等によって異なり一慨に限定で
きないが、一般的にはセラミック粉１００重量部に対し
て０．０１〜５重量部、好ましくは０．１〜３重量部の
範囲から選べば好適である。尚、後記するグリーン体の
製造方法において、スラリーの調製する際の分散剤の混
合態様は、特に制限されないが、一般には、セラミック
粉、焼結助剤等を溶剤中で分散剤と予め混合し、次い
で、有機バインダーあるいは後述する添加剤を混合する
ことによって行うことが好ましい。

【００２３】また、上記の可塑剤としては、フタル酸ジ
メチル、フタル酸ジブチル、フタル酸ジオクチル、フタ
ル酸ベンジルブチルなどのフタル酸エステルや、ステア
リン酸エチル、ステアリン酸ブチルなどのステアリン酸
エステルや、セバシン酸ジブチル、セバシＢ酸ジオクチ
ルなどのセバシン酸エステル、エチレングリコール、ポ
リエチレングリコール、トリメチレングリコール、グリ
セリンなどが挙げられる。該可塑剤の添加量はセラミッ
ク粉１００重量部に対して１５重量部以下、好ましくは
３〜１２重量部の範囲で適宜選択して使用すればよい。

【００２４】上記滑剤は、成形性や離型性を改善するた
めに使用されるが、一般的には脂肪アルコール、ジカル
ボン酸エステル、脂肪酸エステル、脂肪酸、脂肪酸塩、
脂肪酸アミド、ヘキストワックスＯＰ、ヘキストワック
スＥ、ヘキストワックスＳ、流動パラフィン、パラフィ
ンワックス、ポリエチレンワックスなどがある。

【００２５】また、カップリング剤は、特に、射出成形
において有機バインダーと粉体の加熱混練性向上、加熱
流動性向上、脱脂性向上のために使用される。カップリ
ング剤は一般に有機金属化合物が多く、セラミック粉に
対しては不純物となるため必要に応じ適宜使用される。
該カップリング剤としては、公知のシラン系、チタネー
ト系、アルミ系が使用できる。

【００２６】更に、消泡剤としては、脂肪酸、高級アル
コール、シリコン、鉱油、ソルビタン脂肪酸エステル、
ポリエチレングリコールアルキルフェニルエーテル、ポ
リプロピレングリコールポリエチレングリコールエーテ
ルなどがある。

【００２７】本発明のグリーン体の製造方法は特に制限
されない。一般には、セラミック粉、有機バインダー、
ラジカル発生剤、その他添加剤を混合して、成形が可能
なスラリー状とした後、シート状等の形状に成形する方
法が採用される。

【００２８】尚、前記ラジカル発生剤は、グリーン体の
成形の直前に混合することが、脱脂において該ラジカル
発生剤の効果を十分に発揮するために好ましい。一般に
は、後記の製造方法において、混合物をスラリーとした
後、内在する気泡を減圧下で除去する脱泡工程において
ラジカル発生剤を混合することが好ましい。

【００２９】上記方法において、混合物のスラリー粘度
を調節し成形を容易とするために、トルエン、キシレ
ン、エチルベンゼン、ソルベントナフタ、テトラリン、
メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、
トリデカノール、シクロヘキサノール、２ーメチルシク
ロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリ
コール、トリエチレングリコール、ポリエチレングリコ
ール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコー
ル、グリセリン、メチルセロソルブ、エチルセロソル
ブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、ブチルカルビト
ール、セロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテ
ート、カルビトールアセテート、ブチルカルビトールア
セテート、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ノルマ
ルブチル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソ
ブチルケトン、シクロヘキサノン、メチルシクロヘキサ
ノン、イソホロン、ジアセトンアルコール、ノルマルヘ
キサン、ノルマルヘプタン、ゴム揮発油、ミネラルスピ
リット等の有機溶剤、水等の希釈剤を使用してもよい。

【００３０】また、上記グリーン体の製造方法におい
て、グリーン体に成形する前のセラミック粉を含むスラ
リーの粘度は、ＥＬＤ−ＳＴ型粘度計（東京計器製）を
用いて１２ｒｐｍで測定した粘度が、シート成形の場
合、５０〜５００ポイズ、好ましくは１００〜３００ポ
イズとなるように調製することが好ましい。上記粘度が
５０ポイズより低いとスラリーが流れ易くなり、得られ
るグリーン体の成形精度が低くなる。また、スラリーの
粘度が５００ポイズより高くなると泡の咬み込み等によ
りグリーン体の表面平滑性が悪くなったり、欠陥が増え
強度が低くなる傾向がある。

【００３１】更に、上記グリーン体の製造方法におい
て、各成分の混合は、公知の混合方法が特に制限なく採
用される。例えば、高速インペラー分散機、ボールミ
ル、三本ロールミル等を用いて混合しスラリーとするこ
とができる。このスラリーを真空ポンプで減圧下に脱泡
した後、濃縮する方法が好適である。

【００３２】上記の方法で調製されたスラリーを使用て
グリーン体を成形する方法は、特に制限されず、公知の
方法が特に制限なく採用される。例えば、スプレードラ
イヤーで顆粒成形後乾式プレス成形する方法、ドクター
ブレード方式によってグリーンシートを得る方法、常圧
または加圧下での鋳込み成形により複雑な立体的グリー
ン体を得る方法などが一般的である。上記成形におい
て、添加したラジカル発生剤が分解しないような温度域
での成形条件を採用することが好ましい。

【００３３】このようにして得られたグリーン体は、必
要に応じてその表面にタングステン、銅、銀、パラジウ
ム、銀・パラジウム、金、モリブデン等の高融点金属よ
りなる導電性ペーストが積層される。

【００３４】また、グリーン体の脱脂、焼成条件はも特
に制限されない。

【００３５】例えば、脱脂方法については、窒素等の不
活性ガス、水素等の還元性ガスなどの非酸化性雰囲気下
で行うことが好ましい。また、上記非酸化性雰囲気中に
水蒸気を加えてもよい。脱脂工程においては、昇温速度
と脱脂温度の設定は、使用する有機バインダーとラジカ
ル発生剤の種類に応じて、最適範囲を適宜決定すればよ
い。一般的には、昇温速度は０．５〜５℃／分、脱脂温
度は４００〜９００℃から選ばれる。

【００３６】また、脱脂において、紫外線や放射線に活
性な有機バインダーやラジカル発生剤を用いた場合には
紫外線や放射線を照射しながら加熱する方法が好まし
い。そうすることにより、脱脂温度を大幅に低減するこ
とが可能となる。上記紫外線源としては水銀ランプ、ハ
ロゲンランプ、キセノンランプなど公知の光源が使用で
きる。放射線は電子線、ベーター線、アルファー線、ガ
ンマー線、中性子線など一般に使用できる放射線であれ
ばいずれも有効である。

【００３７】焼結条件については、セラミック粉の性状
に合わせて適宜選定される。

【００３８】

【発明の効果】本発明は、有機バインダーとラジカル発
生剤との組合せにより、脱脂効率の優れたグリーン体を
得ることができる。特に、非酸化性雰囲気での脱脂、焼
成を必要とする導電性ペーストの積層体を同時焼成して
セラミック焼結体を得る場合や、非酸化物セラミック焼
結体を得る場合などのように、脱脂、焼成を非酸化性雰
囲気下で行う場合でも、高い脱脂効率で且つ短時間で脱
脂を実施することができる。

【００３９】従って、該グリーン体を焼結して得られる
焼結体は、焼結体密度が高い上、その表面に高融点金属
ペーストを塗布して同時焼結する場合も、高融点金属の
炭化による導電性の低下も極めて少ない。

【００４０】また、本発明のグリーン体は、焼結体に不
要な金属成分が残留することがなく、絶縁抵抗が高い、
良好な特性を有する焼結体を得ることができる。

【００４１】

【実施例】本発明を更に具体的に説明するため、以下に
実施例を挙げて説明するが、本発明はこれらの実施例に
限定されるものではない。

【００４２】実施例１窒化アルミニウム粉、ポリビニールブチラール（積水化
学工業（株）社製エスレックスＢ品番ＢＬ−Ｓ）、クメ
ンハイドロパーオキサイドを用いて次のようにグリーン
シートを作製した。

【００４３】（ｉ）配合窒化アルミニウム粉１００重量部（２０００ｇ）ポリビニールブチラール１３〃（２６０ｇ）クメンハイドロパーオキサイド２〃（４０ｇ）ＣａＯ３〃（６０ｇ）ソルビタントリオレート１〃（２０ｇ）フタル酸ジブチル６〃（１２０ｇ）トルエン８０〃（１６００ｇ）（ｉｉ）混合内容量５リッターの攪拌機付き分散混合機に溶剤として
トルエンを半量（４０重量部）入れ、攪拌しながら窒化
アルミニウム粉、ＣａＯ、ソルビタントリオレートを全
量投入した後、ポリビニールブチラールを添加して全量
溶解させた。さらに、トルエンの残量（４０重量部）を
投入した後、１時間攪拌を続けて配合成分を分散あるい
は溶解させて予めスラリー化した。

【００４４】内容量１０リッターのナイロン製ポットに
ナイロンで被覆された直径２０ｍｍの鋼球をポット内容
量の５０％を占める数だけ入れ、次いで上記で得たスラ
リーを投入して、回転数３５ｒｐｍで３６時間ボールミ
ル混合した。得られたスラリーは白色ペンキ状のもので
あった。

【００４５】（ｉｉｉ）脱泡および脱溶剤上記混合で得たスラリーを内容量４リッターの攪拌機付
き真空容器に移し、攪拌しながら１気圧から徐々に３０
〜４０ｔｏｒｒまで減圧して、前記混合の際スラリーに
混入した気泡を除いた（脱泡）。

【００４６】次いで、攪拌しながら同真空容器内を排気
しつつ１０〜４０ｔｏｒｒに保ち、溶剤の一部を蒸発除
去した（脱溶剤）。その結果、粘度２００ポイズの白色
粘調なスラリーを得た。このスラリーを９５℃、２時間
乾燥機で溶剤を蒸発させて成形用のスラリーを得た。

【００４７】（ｉｖ）成形得られたスラリーをドクターブレード方式のシート成形
機を用いて、表面にシリコン樹脂を塗布して離型化処理
したポリエステルフィルム上に流し出し、次いでシート
状物を室温で３０分、その後５０℃で１時間、更に８０
℃で３０分溶剤を乾燥させた後、シート状物を上記ポリ
エステルフィルムより剥離して、幅約２５０ｍｍ、厚さ
約１ｍｍの形状のグリーン体（グリーンシート）を作製
した。このグリーンシートは、白色で光沢のある外観を
呈し、柔軟で且つ屈曲に対しても腰の強い性状を有す
る。金型を取り付けた打ち抜き機を用いてグリーンシー
トより試験片を打ち抜き、オートグラフによって１０ｍ
ｍ／分の引張速度で引張試験を行ったところ、引張強度
は３０ｋｇ／ｃｍ²であった。シートの厚みはマイクロ
メーターで幅方向の中心点に当たる１２５ｍｍの位置で
シート成形方向へ５０ｍｍ毎に１０点を測定した。平均
厚みは０．９９２ｍｍであった。

【００４８】（ｖ）脱脂および焼結上記のグリーンシートを３０ｍｍ×３０ｍｍの角板状に
打ち抜き、これを１０枚積層し、電気炉を用いて１気圧
の加湿窒素雰囲気で室温から昇温速度１℃／分で昇温
し、８００℃、２時間保持した後、室温まで放冷し脱脂
を完了した。この脱脂試料の残炭素量を堀場製作所
（株）製カーボンアナライザーＥＭＩＡー５１１で測定
した。残炭素量およびグリーンシートの引張強度と表面
光沢を表２に示した。

【００４９】脱脂した角板を窒化ホウ素で被覆した黒鉛
製皿にセットし、１気圧の窒素中で公知の方法で焼成し
た。

【００５０】得られた焼結体の体積抵抗及び焼結体密度
を測定した結果、それぞれ５×１０¹⁴Ωｃｍ、３．２５
ｇ／ｃｃであった。

【００５１】比較例１実施例１においてラジカル発生剤を用いなかった以外は
同様にしてグリーン体を製造し、得られたグリーン体の
脱脂、焼結を行った。それぞれの結果を表１に示す。

【００５２】実施例２実施例１において、窒化アルミニウム粉１００重量部の
代わりに、アルミナ粉１００重量部を用いた以外は同様
にしてグリーン体を製造し、得られたグリーン体の脱
脂、焼結を行った。それぞれの結果を表１に示す。

【００５３】実施例３実施例１において、窒化アルミニウム粉１００重量部の
代わりに、窒化ケイ素粉１００重量部を用いた以外は同
様にしてグリーン体を製造し、得られたグリーン体の脱
脂、焼結を行った。それぞれの結果を表１に示す。

【００５４】比較例２実施例１において、ポリビニールブチラールを４重量部
用いた以外は同様にしてグリーン体を製造し、得られた
グリーン体の脱脂、焼結を行った。それぞれの結果を表
１に示す。

【００５５】実施例４実施例１において、ポリビニールブチラールを２０重量
部用いた以外は同様にしてグリーン体を製造し、得られ
たグリーン体の脱脂、焼結を行った。それぞれの結果を
表１に示す。

【００５６】比較例３実施例１において、ポリビニールブチラールを３０重量
部用いた以外は同様にしてグリーン体を製造し、得られ
たグリーン体の脱脂、焼結を行った。それぞれの結果を
表１に示す。

【００５７】実施例５実施例１において、ポリビニールブチラール１３重量部
の代わりに、ポリメタクリル酸エステル（共重合組成：
イソブチルメタクリレート／メタクリル酸＝９５／５モ
ル％、重量平均分子量１０万、）１３重量部を用いた以
外は同様にしてグリーン体を製造し、得られたグリーン
体の脱脂、焼結を行った。それぞれの結果を表１に示
す。

【００５８】比較例４実施例５において、有機バインダーに対しクメンハイド
ロパーオキサイドを用いなかった以外は同様にしてグリ
ーン体を製造し、得られたグリーン体の脱脂、焼結を行
った。それぞれの結果を表１に示す。

【００５９】比較例５実施例１において、有機バインダーに対しクメンハイド
ロパーオキサイドを０．５重量％用いた以外は同様にし
てグリーン体を製造し、得られたグリーン体の脱脂、焼
結を行った。それぞれの結果を表１に示す。

【００６０】実施例６実施例１において、有機バインダーに対し、クメンハイ
ドロパーオキサイドを４５重量％用いた以外は同様にし
てグリーン体を製造し、得られたグリーン体の脱脂、焼
結を行った。それぞれの結果を表１に示す。

【００６１】比較例６実施例１において、有機バインダーに対し、クメンハイ
ドロパーオキサイドを６０重量％用いた以外は同様にし
てグリーン体を製造し、得られたグリーン体の脱脂、焼
結を行った。それぞれの結果を表１に示す。

【００６２】実施例７実施例１において、有機バインダーに対しクメンハイド
ロパーオキサイドの代わりにラウリルパーオキサイドを
用いた以外は同様にしてグリーン体を製造し、得られた
グリーン体の脱脂、焼結を行った。それぞれの結果を表
１に示す。

【００６３】実施例８実施例１において、有機バインダーに対しクメンハイド
ロパーオキサイドの代わりにベンゾフェノンを用い、脱
脂時に高圧水銀ランプで１００ジュール／ｃｍ²の紫外
線を照射した以外は同様にしてグリーン体を製造し、得
られたグリーン体の脱脂、焼結を行った。それぞれの結
果を表１に示す。

【００６４】

【表１】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】セラミック粉、有機バインダー及びラジカ
ル発生剤よりなり、該有機バインダーをセラミック粉１
００重量部に対して５〜２５重量部の割合で、該ラジカ
ル発生剤を有機バインダーに対して１〜５０重量％の割
合で含有するグリーン体。