JPH0653101A - 薄板保護用フィルムの切抜き装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 外周一部に直線部を有する円形薄板上の保護
フィルムを、薄板に損傷を与えることなくその薄板の外
周形状に沿って円滑に能率よく切り抜く。 【構成】 外周一部に直線部を有し、表面に保護フィル
ムＢが貼付けられた円形薄板Ａを吸着支持する受台１上
に昇降台６を設ける。昇降台６には受台１上に支持され
た円形薄板Ａの中心軸と同軸上に回転軸１２を回転自在
に取付ける。回転軸１２の下端に第１移動体１７を円形
薄板の径方向に移動自在に設ける。第１移動体１７に第
２移動体２２を第１移動体１７の移動方向に対して直交
方向に移動自在に設ける。第２移動体２２にホルダ支持
枠２５を回転自在に取付ける。ホルダ支持枠２５に上部
が支持される刃物ホルダ３１の下部に刃物３３を第２移
動体２２の移動方向に向けて取付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、円形薄板の表面に貼
着された保護フィルムを上記薄板の外周に沿って切断す
る切抜き装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、集積回路形成用の基板となるシ
リコンウェハは、外周の一部に直線部を有し、表面は保
護フィルムの貼着によって保護されている。この保護フ
ィルムは、シリコンウェハに対して貼付けられた後、シ
リコンウェハの外周に沿って切り抜かれ、余分な部分が
除去される。

【０００３】ところで、保護フィルムの切抜きを手作業
で行なう場合は、きわめて手間がかかり、きれいに能率
よく切断するには相当の熟練を要する。

【０００４】このような不都合を解消するため、本件出
願人は、保護フィルムを自動的に切抜く保護フィルムの
切抜き装置を提案している（特願昭６０−９０６０２号
明細書）。

【０００５】上記切抜き装置は、昇降および旋回ならび
に半径方向に移動可能な刃物取付台を下降してその取付
台に支持された刃物をシリコンウェハ等の薄板に貼着さ
れた保護フィルムに突き刺し、その刃物を薄板外周の直
線部に沿って平行移動させ、上記直線部の端に刃物を移
動させたのち、上記薄板の中心軸を回動中心として刃物
を回動させるようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記の切抜
き装置においては、薄板の直線部に沿って終端位置まで
移動させた刃物をそのままの姿勢において薄板の外周に
沿って回動させるため、刃物が帯板状の場合には、直線
切断部から円形切断部に移る際、薄板の外周部に強い負
荷がかかり、切抜き対象物を破損させるおそれがある。
また、刃物にも負荷がかかるため、刃物が破損すること
があり、刃物の使用寿命が短かいという不都合がある。

【０００７】そこで、この発明は上記の不都合を解消
し、切抜き対象物に損傷を与えることなくきわめて円滑
に保護フィルムを切断することができるようにした保護
フィルムの切抜き装置を提供することを技術的課題とし
ている。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、この発明においては、外周の一部に直線部を有
し、保護フィルムの貼付けによって表面が保護された円
形薄板を吸着支持する受台と、その受台に対して上下動
される昇降台と、この昇降台と共に上下動し、上記受台
に支持された円形薄板の中心軸と同軸上に配置された回
転軸と、この回転軸の回転駆動手段と、上記回転軸と共
に回転し、受台に支持された円形薄板の径方向に移動自
在に支持された第１移動体と、この第１移動体に支持さ
れて第１移動体の移動方向に対して直交する方向に移動
自在に支持された第２移動体と、この第２移動体に回転
自在に支持される軸を上部に有するホルダ支持枠と、こ
のホルダ支持枠を上記軸を中心に回転させる回転手段
と、上記ホルダ支持枠に上部が支持され、上記第２移動
体の移動方向に向く刃物が下部に取付けられた刃物ホル
ダとから成る構成を採用したのである。

【０００９】

【作用】受台上に吸着支持された円形薄板上の保護フィ
ルムの切り抜きに際しては、回転軸の回転によって第２
移動体の移動方向を円形薄板の直線部と平行する状態と
し、第１移動体と第２移動体との移動によって、刃物を
円形薄板の直線部の一端側上方に位置させる。

【００１０】上記のような刃物の位置調整後に、昇降台
を下降させて保護フィルムに刃物を突き刺し、その状態
で第２移動体の移動によって刃物を直線部に平行移動さ
せる。直線部の他端まで刃物が移動すると、刃物ホルダ
を回動して刃物の向きを円形薄板の円形外周の接線方向
に向かせ、次に回転軸を回転させ、その回転軸を中心に
刃物を回転させて保護フィルムを円形に切り抜く。

【００１１】

【実施例】以下、この発明の実施例を添付図面に基づい
て説明する。

【００１２】図５に示すように、シリコンウェハ等の円
形の薄板Ａは、外周の一部に直線部ａを有し、表面は保
護フィルムＢの貼着によって保護されている。

【００１３】この薄板Ａを支持する受台１の上面には、
図４に概略を示すように、同心に配置された径の異なる
複数の弧状の突条２と、各突条２の両端間に図示省略し
た直線状の突条とが設けられ、その突条２の上に置かれ
た上記薄板Ａは、突条２に形成した吸引孔３の吸引力に
よって吸着保持される。

【００１４】上記受台１の上方側には、図１に示すよう
に支持板４が設けられ、その支持板４の一側面に上下に
長いレール５が取付けられている。また、受台１の上方
には昇降台６が配置され、その昇降台６は上記レール５
に沿って移動自在に支持され、前記支持板４に支持され
た昇降用シリンダ７の作動によって上下動される。

【００１５】上記昇降台６の下側に設けたガイドロッド
８は、前記受台１の径方向に延び、そのガイドロッド８
に沿って移動自在に支持された往復台９は、昇降台６の
下面に支持された移動用シリンダ１０の作動によって上
記受台１の上方を受台１の径方向に移動される。

【００１６】この往復台９の下面には筒体１１が取付け
られ、その筒体１１によって回転可能に支持された回転
軸１２は、上記往復台９の下面に支持された回転用モー
タ１３によって回転駆動される。

【００１７】上記回転軸１２の上端には外周に透光部
（図示省略）を有する円板１４が取付けられ、その円板
１４の透光部を円板１４の外周部に設けた検出器ＰＨ₁
が検出すると、この検出器ＰＨ₁ からの検出信号によっ
て前記モータ１３が停止する。

【００１８】また、回転軸１２の下端には、図２乃至図
４に示すようにガイドバー支持枠１５が取付けられ、そ
のガイドバー支持枠１５に支持された一対のガイドバー
１６に沿って第１移動体１７が移動自在に支持されてい
る。

【００１９】上記第１移動体１７は、対向配置された一
対の板体１８を有し、その板体１８間に渡した一対のガ
イドロッド１９は、上記ガイドバー１６に対して交差方
向に長くなっている。また、一対の板体１８間には、上
記一対のガイドロッド１９間にねじ棒２０が渡され、そ
のねじ棒２０の回転駆動用モータ２１が第１移動体１７
の端部に支持されている。このねじ棒２０は、上記ガイ
ドロッド１９に沿って移動可能な第２移動体２２のナッ
ト２３とねじ係合しており、そのねじ棒２０を回転する
と、第２移動体２２がガイドロッド１９に沿って移動す
る。

【００２０】第２移動体２２の側部には、図４に示すよ
うに、軸受２４が設けられ、その軸受２４にホルダ支持
枠２５の上部に設けた軸２６が回転自在に支持されてい
る。このホルダ支持枠２５は、上部にアーム２７を有
し、そのアーム２７の先端部には、図３に示すように、
第２移動体２２に支持された首振り用シリンダ２８のピ
ストンロッド２９が接続されている。

【００２１】また、ホルダ支持枠２５は、一対の側板３
０、３０を有し、その側板３０間に円柱状の刃物ホルダ
３１の上部が配置され、この刃物ホルダ３１の外周上部
の対向位置に設けた一対のピン３２、３２が上記側板３
０で回転可能に支持されている。

【００２２】刃物ホルダ３１の下端には帯板状の刃物３
３が取付けられ、その刃物３３は第２移動体２２の移動
方向に向き、フィルム切断時の移動方向の先行側には、
前記薄板Ａの直線部ａの端に連続する円弧状外周面ｂを
検出する透過形の検出器３４が配置されている。この検
出器３４は、前記ホルダ支持枠２５の下部に支持されて
上記刃物３３と共に移動し、その検出器３４からの検出
信号によって首振り用シリンダ２８が作動する。

【００２３】前記第１移動体１７には、図３および図４
に示すように、ホルダ支持枠２５の側板３０背部に張り
出す支持板３５が設けられ、その支持板３５の張り出し
部に設けた一対のガイド板３６は、第１移動体２２と共
に刃物ホルダ３１が移動するとき、その刃物ホルダ３１
の移動を案内してピン３２を中心に刃物ホルダ３１が回
動するのを防止する。

【００２４】実施例で示す保護フィルムの切抜き装置は
上記の構造から成り、薄板Ａに貼着された保護フィルム
Ｂの切り抜きに際しては、受台１上に薄板Ａを載置して
受台１の中心に薄板Ａの中心を一致させ、移動用シリン
ダ１０の作動により、往復台９をガイドロッド８に沿っ
て移動させて薄板Ａの中心軸上に回転軸１２を位置させ
る。

【００２５】また、モータ１３の駆動による回転軸１２
の回転と、ガイドバー支持枠１５のガイドバー１６に沿
って第１移動体１７を移動させる操作とによって刃物３
３を薄板Ａの直線部ａの長さ方向中央部に位置させる。
このような刃物３３の位置調整後に、保護フィルムＢの
切抜き作業を行なう。

【００２６】いま、図５において、薄板Ａの中心をＯ、
その中心Ｏを通り、薄板Ａの直線部ａに直交する直線ｙ
と上記直線部ａに平行な仮想直線ｘの交点をｘ₀ 、仮想
直線ｘと薄板Ａの円弧状外周面ｂの交点をｘ₁ 、ｘ₂ と
すると、刃物３３は、前記のような位置調整によって、
ｘ₀ 点の位置に配置される。また、回転軸１２は、その
軸心がＯ点を通る位置に配置される。このとき、昇降台
６のガイドロッド８および第１移動体１７のガイドロッ
ド１９は上記仮想直線ｘに対して平行な状態に配置され
る。

【００２７】このような刃物３３の位置調整後に、装置
を作動させると、まず、移動用シリンダ１０が作動して
往復台９を図１の右方向に移動させる。その移動によっ
て、刃物３３は仮想直線ｘに沿って図５の右方向に移動
し、その刃物３３がｘ₁ 点を通過し、ｘ₄ 点に達する
と、上記シリンダ１０が停止する。

【００２８】往復台９の移動停止後、昇降用シリンダ７
が作動して昇降台６が下降する。その昇降台６の下降に
よって、刃物３３も同様に下降し、その刃物３３が保護
フィルムＢに突き刺さると、上記昇降用シリンダ７が停
止し、停止後、前記移動用シリンダ１０が作動して、往
復台９を図１の左側に移動させる。このため、保護フィ
ルムＢは、刃物３３によって薄板Ａの直線部ａに平行な
仮想直線ｘに沿って切断される。この時、刃物３３は受
台１１の直線形突条（図示省略）にならって移動する。
したがって、直線形突条を薄板Ａの直線より大きく作っ
ておけば、薄板Ａより保護フィルムのみを前方にはみ出
した状態で切断することができる。なお薄板Ａからの保
護フィルムＢのはみ出し量は、薄板Ａの送り装置の送り
精度によって設定することができる。

【００２９】上記刃物３３がｘ₀ 点の位置まで移動する
と、移動用シリンダ１０は停止し、次に、図２に示すモ
ータ２１が作動してねじ棒２０を回転させ、第２移動体
２２を同方向に移動させる。第２移動体２２の移動によ
って、刃物３３と回転軸１２間の寸法は次第に大きくな
り、上記刃物３３がｘ₂ 点まで保護フィルムＢを切断す
ると、その刃物３３と共に移動する検出器３４が薄板Ａ
の直線部ａに連続する円弧状外周面ｂの一部を検出す
る。

【００３０】図５の一点鎖線イは、検出器３４の移動軌
跡を示し、上記検出器３４が作動すると、その検出器３
４からの検出信号によってモータ２１が停止し、同時
に、図３に示す首振り用シリンダ２８が作動してアーム
２７を引き、ホルダ支持枠２５を設定角度回動させる。
このため、刃物３３の向きが変わり、その刃物３３が薄
板Ａの円弧状外周面ｂの接線方向に向くと、次に、モー
タ１３が駆動して回転軸１２を回転させる。このため、
刃物３３は、回転軸１２を中心として回転し、保護フィ
ルムＢを薄板Ａの円弧状外周面に沿って切断する。この
とき、受台１の弧状の突条２の径を薄板Ａの外径より大
きくしておくと、刃物３３は突条２にならって移動し、
また突条２の径を小さくしておくと、薄板Ａの停止精度
に関係なく薄板Ａの外周にならって移動する。その刃物
３３が、ｘ₁ 点の位置まで回動すると、図１に示す検出
器ＰＨ₁ が作動し、その検出器ＰＨ₁ からの検出信号に
よって、モータ１３は停止する。このため、保護フィル
ムＢは、図６に示すように、薄板Ａの外周に沿って完全
に切り抜かれる。

【００３１】また、上記検出器ＰＨ₁ からの検出信号に
より、首振り用シリンダ２８が作動して刃物３３の向き
を直線部ａに沿った向きに変える。その後、モータ２１
の逆転により、第２移動体２２を移動せしめ、刃物３３
をｘ₀ 点まで移動させる。

【００３２】なお、ｘ₀ 点まで刃物３３が戻ると、第１
移動体１７に設けた図４に示す原点センサ３８が第１移
動体２２に設けた検出片３９を検出し、その原点センサ
３８からの信号によってモータ２１は停止し、同時に、
昇降用シリンダ７が作動して昇降台６を上昇させる。

【００３３】実施例の場合は、図６に示すように、薄板
Ａの円弧状外周面に沿って保護フィルムＢを切り抜くよ
うにした場合を例にとって説明したが、検出器３４の位
置を変えることによって、保護フィルムＢの外周縁が薄
板Ａの円弧状外周面よりはみ出した状態で切断したり、
あるいは、円弧状外周面の内側に納まる状態で切断した
りすることができる。

【００３４】なお、刃物３３を支持する刃物ホルダ３１
をフレキシブルなものにすることによって、回転軸１２
の軸心が薄板Ａの中心に対してずれがあっても、薄板Ａ
に損傷を与えることなく保護フィルムＢを切り抜くこと
ができる。

【００３５】

【発明の効果】以上のように、この発明に係る切抜き装
置によれば保護フィルムに突き差した刃物を薄板の直線
部に沿って平行移動させ、その直線部の端に刃物が到達
したとき、薄板の円弧状外周の接線方向に向くように刃
物の向きを調整し、その刃物を回転軸を中心に回転させ
るようにしたので、薄板に損傷を与えることなく保護フ
ィルムを薄板の外周に沿って切り抜くことができると共
に、刃物に加わる切断抵抗も小さく、保護フィルムをき
わめて円滑に切り抜くことができる。

【００３６】また、薄板の直線部に沿って平行移動させ
た刃物を回転軸の回転によってその回転軸を中心に回転
させる切り抜きであるため、保護フィルムをきわめて能
率よく切り抜くことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る切抜き装置の一実施例を示す縦
断正面図

【図２】同上の一部を拡大して示す断面図

【図３】図２のIII −III 線に沿った断面図

【図４】図３のIV−IV線に沿った断面図

【図５】保護フィルムの切り抜き順序を示す説明図

【図６】同上の装置によって保護フィルムを切断した製
品の斜視図

【符号の説明】

１ 受台 ６ 昇降台 １２ 回転軸 １７ 第１移動体 ２２ 第２移動体 ２５ ホルダ支持枠 ２６ 軸 ２８ 首振り用シリンダ ３１ 刃物ホルダ ３３ 刃物

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外周の一部に直線部を有し、保護フィル
   ムの貼付けによって表面が保護された円形薄板を吸着支
   持する受台と、その受台に対して上下動される昇降台
   と、この昇降台と共に上下動し、上記受台に支持された
   円形薄板の中心軸と同軸上に配置された回転軸と、この
   回転軸の回転駆動手段と、上記回転軸と共に回転し、受
   台に支持された円形薄板の径方向に移動自在に支持され
   た第１移動体と、この第１移動体に支持されて第１移動
   体の移動方向に対して直交する方向に移動自在に支持さ
   れた第２移動体と、この第２移動体に回転自在に支持さ
   れる軸を上部に有するホルダ支持枠と、このホルダ支持
   枠を上記軸を中心に回転させる回転手段と、上記ホルダ
   支持枠に上部が支持され、上記第２移動体の移動方向に
   向く刃物が下部に取付けられた刃物ホルダとから成る薄
   板保護用フィルムの切抜き装置。