JPS62236738A - 薄板保護用フイルムの切抜き方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、円形薄板の表面に貼着された保護フィルム
を上記薄板の外周に沿って切断する切抜き方法に関する
ものである。

〔従来の技術〕

一般に、集積回路形成用の基盤となるシリコンウェハは
、外周の一部に直線部を備え、表面は保護フィルムの貼
着によって保護されている。このような保護フィルムは
、シリコンウェハ１に対して貼付けた後、シリコンウェ
ハの外周に沿って切り抜かれ、余分な部分が除去される
。

ところで、保護フィルムの切抜きを手作業で行なう場合
は、きわめて手間がかかり、きれいに能率よく切断する
には相当の熟練を要する。

このような不都合を解消するため、本件出願人は、保護
フィルムを自動的に切抜く保護フィルムの切抜き方法と
その装置を提案している（特願昭６０−９０６０２号明
細書）。

上記切抜き方法は、昇降および旋回ならびに半径方向に
移動可能な刃物取付台を下降してその取付台に支持され
た刃物をシリコンウェハ等の薄板に貼誉された保護フィ
ルムに突き刺し、その刃物を薄板外周の直線部に沿って
移動し、上記直線部の端に刃物を移動させたのち、上記
薄板の中心を回動中心として刃物を回動させるようにし
ている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、上記の方法においては、薄板の直線部に沿っ
て移動させた刃物をそのま＼の姿勢において薄板の外周
に沿って回動させるため、刃物が帯板状の場合には、直
線切断部から円形切断部に移る際、薄板の外周部に強い
負荷がかかり、切抜き対象物を破損させることがあった
。また、刃物にも負荷がかかるため、刃物が破損するこ
とがあり、刃物の使用寿命が短かいという不都合が生じ
た。

そこで、この発明は上記の不都合を解消し、切抜き対象
物に損傷を与えることなくきわめて円滑に保護フィルム
を切断することができるようにした保護フィルムの切断
方法を提供することを目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

上記の目的を達成するために、この発明は、薄板の外周
に形成された直線部の延長線上方から刃物を下降してそ
の薄板に貼着された保護フィルムに刃物先端部を突き刺
し、その刃物を薄板の直線部に沿って移動し、上記刃物
に近接して設けられ、その刃物と共に移動する検出器が
薄板直線部に連続する円弧状外周部の一部を検出したと
き、円弧状外周の接線方向に刃物の向きを変換し、それ
より薄板の中心を回動中心として上記刃物を回転させる
ように構成したのである。

〔実施例〕

以下、この発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第５図に示すように、シリコンウェハ等０円形の薄板Ａ
は、外周の一部に直線部スを備え、表面は保護フィルム
Ｂの貼着によって保護されている。

この薄板Ａを支持する受台１の上面には、第４図に概略
を示すように、径の異なる複数の同心に配置された弧状
の突条２と、各突条２の両端間に図示省略した直線状の
突条とが設けられ、その突条２の上に置かれた上記薄板
Ａは、突条２に形成した吸引孔３の吸引力によって吸材
保持される。

上記受台１の上方側には、第１図に示すように支持板４
が設けられ、その支持板４に上下に長いレール５が取付
けられている。また、受台１の上方には昇降台６が配置
され、その昇降台６は上記レール５に沿って移動可能に
支持され、前記支持板４に支持された昇降用シリンダ７
の作動によって上下動する。

上記昇降台６の下側に設けたガイドロッド８は、前記受
台１の径方向に延び、そのガイドロッド８に沿って移動
可能に支持された往復台９は、昇降台６の下面に支持さ
れた移動用シリンダ１ｏの作動によって上記受台１の上
方を受台１の径方向に移動する。

この往復台９の下面には筒体１１が取付けられ、その筒
体１１によって回転可能に支持された回転軸１２は、上
記往復台９の下面に支持された回転用モータ１３によっ
て回転駆動される。

上記回転軸１２の上端には外周に透光部（図示省略）を
有する円板１４が収付けられ、その円板１４の透光部を
円板１４の外周部に設けた検出器ＰＨ１が検出すると、
この検出器ＰＨ□からの検出信号に−よって前記モータ
１３が停止する。

また、回転軸１２の下端には、第２図乃至第４図に示す
ようにガイドバー支持枠１５が取付けられ、そのガイド
バー支持枠１５に支持された一対のがイドバー１６に沿
って支持台１７が移動可能に支持されている。

上記支持台１７は、対向配置された一対の板体１８を備
え、その板体１日間に渡した一対のガイドロッド１９は
、上記ガイドバー１６に対して交差方向に長くなってい
る。また、一対の板体１８間には、上記一対のがイドロ
ッド１９間にねじ棒２０が渡され、そのねじ棒２ｏの回
転駆動用モータ２１が支持台１７の端部に支持されてい
る。このねじ棒２０は、上記ガイドロッド１９に沿って
移動可能なシリンダ支持枠２２のナツト２３とねじ係合
しており、そのねじ棒２ｏを回転すると、シリンダ支持
枠２２がガイドロッド１９に沿って移動する。

シリンダ支持枠２２の側部には、第４図に示すように、
軸受２４が設けられ、その軸受２４にホルダ支持枠２５
の上面に設けた軸２６が回転可能に支持されている。こ
のホルダ支持枠２５は、上部にアーム２７を備え、その
アーム２７の先端部には、第３図に示すように、シリン
ダ支持枠２２に支持された首振り用シリンダ２８のピス
トンロッド２９が接続されている。

また、ホルダ支持枠２５は、一対の側板３０．３０を備
え、その側板３０間に円柱状の刃物ホルダ３１の上部が
位置し、この刃物ホルダ３１の外周上部の対向位置に設
けた一対のピン３２．３２が上記側板３０で回転可能に
支持されている。

刃物ホルダ３１の下端には帯状の刃物３３が取付けられ
、その刃物３３の切断方向の先行側には、前記薄板Ａの
直線部λの端に連続する円弧状外周面すを検出する透過
形の検出器３４が配置されている。この検出器３４は、
前記ホルダ支持枠２５の下部に支持されて上記刃物３３
と共に移動し、その検出器３４からの検出信号によって
首振り用シリンダ２８が作動する。

前記支持台１７には、第３図および第４図に示すように
、ホルダ支持枠２５の側板３０背部に張り出す支持板３
５が設けられ、その支持板３５の張り出し部に設けた一
対のガイド板３６は、シリンダ支持枠２２と共に刃物ホ
ルダ３１が移動するとき、その刃物ホルダ３１の移動を
案内してピン３２を中心に刃物ホルダ３１が回動するの
を防止している。

実施例で示す保護フィルムの切抜き装置は上記の構造か
ら成り、薄板Ａに貼着された保護フィルムＢの切り抜き
に際しては、受台１上に薄板Ａを載置して受台１の中心
に薄板Ａの中心を一致させ、その薄板Ａの中心上に回転
軸１２を一致させる。

この場合、移動用シリンダ１０の作動により、往復台９
をガイドロッド８に沿って移動させる。

また、モータ１３の駆動による回転軸１２の回転と、ガ
イドバー支持枠１５のガイドバー１６に沿って支持台１
７を移動させる操作とによって刃物３３を薄板Ａの直線
部１の長さ方向中央部に位置させる。このような刃物３
３の位置調整後に、保護フィルムＢの切抜き作業を行な
う。

いま、第５図において、薄板Ａの中心を０、その中心Ｏ
を通り、薄板Ａの直線部３に直交する直線ｙと上記直線
部３に平行な仮想直線メの交点をＪＬｏ　、仮想直線Ｘ
と薄板Ａの円弧状外周面すの交点をＸ！　、　Ｘ２とす
ると、刃物３３は、前記のような位置調整によって、ｘ
０点の位置に配置される。

また、回転軸１２は、その軸心が０点を通る位置に配置
される。このとき、昇降台６のガイドロッド８および支
持台１７のがイドロッド１９は上記仮想直線Ｘに対して
平行な状態に配置される。

このような刃物３３の位置調整後に、装置を作動させる
と、まず、移動用シリンダ１０が作動して往復台９を第
１図の右方向に移動させる。その移動によって、刃物３
３は仮想直線Ｘに沿って第５図の右方向に移動し、その
刃物３３がｘ１点を通過し、　Ｘｔ二点に達すると、上
記シリンダ１ｏが停止する。

往復台９の移動停止後、昇降用シリンダ７が作動して昇
降台６が下降する。その昇降台６の下降によって、刃物
３３も同様に下降し、その刃物田が保護フィルムＢを突
き刺すと、上記昇降用シリンダ７が停止し、停止後、前
記移動用シリンダ１０が作動して、往復台９を第１図の
左側に移動させる。このため、保護フィルムＢは、刃物
３３によって薄板Ａの直線部３に平行な仮想直線Ｘに沿
って切断される。この時、刃物３３は受台１１の直線形
突条（図示省略）にならって移動する。したがって、直
線形突条を薄板Ａの直線より大きく作っておけば、薄板
Ａより保護フィルムのみを前方にはみ出した状態で切断
することができる。なお薄板Ａからの保護フィルムＢの
はみ出し量は、薄板Ａの送り装置の送り精度によって設
定することができる。

上記刃物３３が！。点の位置まで移動すると、移動用シ
リンダ１０は停止し、次に、第２図に示すモータ２１が
作動してねじ棒２０を回転し、シリンダ支持枠２２を同
方向に移動させる。

シリンダ支持枠２２の移動によって、刃物３３と回転軸
１２間の寸法は次第に大きくなり、上記刃物３３がｘ２
点まで保護フィルムＢを切断すると、その刃物３３と共
に移動する検出器３４が薄板Ａの直線部１に連続する円
弧状外周面すの一部を検出する。

第５図の一点鎖線イは、検出器３４の移動軌跡を示し、
上記検出器３４が作動すると、その検出器３４からの検
出信号によってモータ２１は停止し、同時に、第３図に
示す首振り用シリンダ２日が作動してアーム２７を引き
、ホルダ支持枠２５を設定角度回動させる。このため、
刃物３３の向きが変わり、その刃物３３が薄板Ａの円弧
状外周面すの接線方向に向くと、次に、モータ１３が駆
動して回転軸１２を回転させる。このため、刃物３３は
、回転軸１２を中心として回転し、保護フィルムＢを薄
板Ａの円弧状外周面に沿って切断する。このとき、受台
１の弧状の突条２の径を薄板Ａの外径より大きくしてお
くと、刃物３３は突条２にならって移動し、また突条２
の径を小さくしておくと、薄板Ａの停止精度に関係なく
薄板Ａの外周にならって移動する。その刃物３３が、ｘ
１点の位置まで回動すると、第１図に示す検出器ＰＨ１
が作動し、その検出器ＰＨ，からの検出信号によって、
モータ１３は停止する。このため、保護フィルムＢは、
第６図に示すように、薄板Ａの外周に沿って完全に切り
抜かれる。

また、上記検出器ＰＨ１からの検出信号により、首振り
用シリンダ２８が作動して刃物３３の向きを直線部３に
沿った向きに変える。その後、モータ２１の逆転により
、シリンダ支持枠２２を移動せしめ、刃物３３をｘ０点
まで移動させる。

なお、ｘ０点まで刃物３３が戻ると、支持台１７に設け
た第４図に示す原点センサ３８がシリンダ支持枠２２に
設けた検出片３９を検出し、その原点センナ３８からの
信号によってモータ２１は停止し、同時に、昇降用シリ
ンダ７が作動して昇降台６を上昇させる。

実施例の場合は、第６図に示すように、薄板Ａの円弧状
外周面に沿って保護フィルムＢを切り抜くようにした場
合を例にとって説明したが、検出器３４の位置を変える
ことによって、保護フィルムＢの外周縁が薄板Ａの円弧
状外周面よりはみ出した状態で切断したり、あるいは、
円弧状外周面の内側に納まる状態で切断したりすること
ができる。

なお、刃物３３を支持する刃物ホルダ３１をフレキシブ
ルなもの（こすることによって、回転軸１２の軸心が薄
板Ａの中心に対してずれがあっても、薄板Ａに損傷を与
えることなく保護フィルムＢを切り抜くことができる。

〔効果〕

以上のように、この発明は、薄板の直線部に沿って保護
フィルムを切断し、その直線部の端に刃物が到達したと
き、その刃物が薄板の円弧状外周面の接線方向に向くよ
うに刃物の向きを変えるようにしたので、薄板に損傷を
与えることなく保護フィルムを切断することができると
共に、刃物に加わる負荷も小さり１．保護フィルムをき
わめて円滑に切り抜（ことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明に係る方法に用いる切抜き装置の縦
断正面図、第２図は同上の一部を拡大して示す断面図、
第３図は第２図の■−■線に沿った断面図、第４図は第
３図のＩＶ−ＩＶ線に沿った断面図、第５図は保護フィ
ルムの切抜き順序を示す説明図、第６図は同上の装置に
よって切り抜かれた製品の斜視図である。 Ａ・・・薄板、土・・・直線部、Ｂ・・・保護フィルム
、１・・・受台、３３・・・刃物、３４・・・検出器特
許出願人　　日東電気工業株式会社 同　　代理人　　　鎌　　　１）　　文　　　二第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 外周の一部に直線部を備え、保護フィルムの貼着によつ
   て表面が保護された薄板を受台上に載置して非可動に支
   持し、上記保護フィルムの切断用刃物を上記直線部の延
   長線上の一部上方に変位してから下降して保護フィルム
   に突き刺し、その刃物を上記直線部に沿つて移動し、そ
   の刃物に近接して設けられ、刃物と共に移動する検出器
   で薄板直線部の端に連続する円弧状外周面の一部を検出
   し、その検出信号により上記刃物が薄板外周の接線方向
   に向くように刃物の向きを変え、上記薄板の中心を回動
   中心として刃物を回動させるようにした薄板保護用フィ
   ルムの切抜き方法。