JPH0652983U - 基板洗浄装置における搬送治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 異なるサイズの基板を同時に搬送する。 【構成】 搬送ローラに載置する方形をした搬送支持板
４に、各種サイズの基板３ａ〜３ｃが納まる大きさの基
板支持穴５，５′，５″を多数設け、各基板支持穴の平
行する両側に基板の下面を支持する支持部７を突設し、
支持部の上面を傾斜面で形成し、支持穴は基板を十分に
収納できる大きさに形成して両側の夫々２個所に突出部
６，６′を設け、この突出部に支持部を設け、平行する
位置に設けた支持部と直交する両側の側部に基板上面を
押さえる押え片９を擺動自在に設けた基板洗浄装置にお
ける搬送治具を構成する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

基板洗浄装置における搬送治具に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来のガラス基板洗浄装置にあっては図６に示すように、回転する搬送軸１の 両側に設けた搬送ローラ２，２´によってガラス基板３を搬送するようになって いた。 そして、ガラス基板３のサイズが変化した場合には、一方の搬送ローラ２を破 線で示すように駆動軸１上を移動させて、対処するようになっていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、各搬送軸１の間隔の関係上、その間隔よりも小さいサイズのガラス 基板は搬送することができないという問題点があった。 そこで、本考案においては、軸問距離よりも小さいサイズのガラス基板でも治 具を用いることにより搬送することができるようにするのが目的である。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は前記課題を解決するために、搬送ローラに載置する方形をした搬送支 持板に、各種サイズの基板が納まる大きさの基板支持穴を多数設け、各基板支持 穴の平行する両側に基板の下面を支持する支持部を突設したことを特徴とする基 板洗浄装置における搬送治具を構成する。 又、支持部の上面を傾斜面で形成し、又、支持穴は基板を十分に収納できる大 きさに形成して両側の夫々２個所に突出部を設け、この突出部に支持部を設け、 更に、平行する位置に設けた支持部と直交する両側の側部に基板上面を押さえる 押え庁を擺動自在に設けた基板洗浄装置における搬送治具を構成する。

【０００５】

【作用】 本考案は前記のように構成したもので、搬送支持板の各種サイズの基板支持穴 に夫々のサイズに応じた基板を収納して支持部で支持し、その後、押さえ片９， ９，…を擺動させて基板の上面を押え、搬送ローラ上に載置して搬送させ、各種 の洗浄及び乾燥を行う。

【０００６】

【実施例】

本考案の実施例を図１乃至図４に基いて詳細に説明する。 最大サイズのガラス基板３と同一寸法の方形をした搬送支持板４の３個所に夫 々サイズを異にした方形した基板支持穴５，５´，５″を設ける。各基板支持穴 ５，５´，５″には搬送方向と平行する両側の２個所に夫々突出部６，６，６´ ，６´を設け、各突出部６，６，６´，６´に夫々小さいサイズのガラス基板３ ａ，３ｂ，３ｃの下面を支持する支持部７，７，…を上面が傾斜するように形成 する。

【０００７】 又、支持部７，７，…が存在しない両側部８，８の上面に夫々２個の押え片９ ，９をピン１０で擺動できるように取付け、ガラス基板３ａ，３ｂ，３ｃを夫々 の支持部７，７，…上に載置した後に押え片９，９，…で上面を押さえるように なっている。

【０００８】 前記のように形成した搬送支持板４を図１に示すように搬送軸１上の搬送ロー ラ２，２´上に載置した搬送を行い、その途中において従来と同様な各種洗浄及 び乾燥を行う。

【０００９】

【考案の効果】

本考案は前記のような構成、作用を有するもので、サイズの異なる基板を同時 に搬送することができる。 又、基板支持穴は収納する基板サイズよりも十分な大きさの径を有するので、 裏表及び側面をも十分に洗浄及び乾燥を行うことができる。 更に、基板の下面を支持する支持部は上面を傾斜面で形成しているので、基板 の端縁とのみ接触するので、洗浄できない個所が発生しないものである。

【００１０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る洗浄装置における搬送治具を搬送
ローラ上に載置した平面図。

【図２】搬送支持板の拡大平面図。

【図３】図２のＡ−Ａ図の断面図。

【図４】支持部の斜視図。

【図５】押え片の斜視図。

【図６】従来装置の平面図。

【符号の説明】

１ 搬送軸 ２ 搬送ローラ ２´ 搬送ローラ ３ 基板（ガラス基板） ３ａ 基板 ３ｂ 基板 ３ｃ 基板 ４ 搬送支持板 ５ 基板支持穴 ５´ 基板支持穴 ５″ 基板支持穴 ６ 突出部 ６´ 突出部 ７ 支持部 ８ 側部 ９ 押え片 １０ ピン

Claims (4)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送ローラに載置する方形をした搬送支
   持板に、各種サイズの基板が納まる大きさの基板支持穴
   を多数設け、各基板支持穴の平行する両側に基板の下面
   を支持する支持部を突設したことを特徴とする基板洗浄
   装置における搬送治具。
2. 【請求項２】 支持部の上面を傾斜面で形成したことを
   特徴とする請求項１記載の基板洗浄装置における搬送治
   具。
3. 【請求項３】 支持穴は基板を十分に収納できる大きさ
   に形成して両側の夫々２個所に突出部を設け、この突出
   部に支持部を設けたことを特徴とする請求項１，２記載
   の基板洗浄装置における搬送治具。
4. 【請求項４】 平行する位置に設けた支持部と直交する
   両側の側部に基板上面を押さえる押え片を擺動自在に設
   けたことを特徴とする基板洗浄装置における搬送治具。