JPH065219A - イオン源装置 - Google Patents
イオン源装置Info
- Publication number
- JPH065219A JPH065219A JP18858692A JP18858692A JPH065219A JP H065219 A JPH065219 A JP H065219A JP 18858692 A JP18858692 A JP 18858692A JP 18858692 A JP18858692 A JP 18858692A JP H065219 A JPH065219 A JP H065219A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filaments
- filament
- ion source
- source device
- parallel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 プラズマの生成効率を向上し、フイラメント
の寿命を長くする。 【構成】 少なくとも２本の直線状のフイラメント１を
平行に配置し、両フイラメント１にそれぞれ逆方向の加
熱電流が流れるように両フイラメント１の電流導入端子
２をフイラメント電源３に接続する。
の寿命を長くする。 【構成】 少なくとも２本の直線状のフイラメント１を
平行に配置し、両フイラメント１にそれぞれ逆方向の加
熱電流が流れるように両フイラメント１の電流導入端子
２をフイラメント電源３に接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱フイラメントをカソ
ードとしたイオン源装置に関する。
ードとしたイオン源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のバケット型のイオン源装置は、図
３に示すように、２本の直線状のフイラメント１を平行
に配置し、両フイラメント１の電流導入端子２をフイラ
メント電源３に接続し、両フイラメント１に同方向の加
熱電流を流している。また、図４に示すように、ヘアピ
ン形状のフイラメント４の場合も、その電流導入端子２
をフイラメント電源３に接続している。
３に示すように、２本の直線状のフイラメント１を平行
に配置し、両フイラメント１の電流導入端子２をフイラ
メント電源３に接続し、両フイラメント１に同方向の加
熱電流を流している。また、図４に示すように、ヘアピ
ン形状のフイラメント４の場合も、その電流導入端子２
をフイラメント電源３に接続している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の図３に示す装置
の場合、フイラメント１の通電電流により環状磁場がつ
くられ、この環状磁場によりフイラメント１からのエミ
ッション電子が抑制され、放電放率の低下をきたし、大
電流の通電を要してフイラメント寿命の低下をまねき、
フイラメント通電電流が１００Ａ程度以上になると、環
状磁場による電子抑制効果が顕著になる。
の場合、フイラメント１の通電電流により環状磁場がつ
くられ、この環状磁場によりフイラメント１からのエミ
ッション電子が抑制され、放電放率の低下をきたし、大
電流の通電を要してフイラメント寿命の低下をまねき、
フイラメント通電電流が１００Ａ程度以上になると、環
状磁場による電子抑制効果が顕著になる。
【０００４】また、図４に示す装置の場合ヘアピン形状
のフイラメント４により発生する磁場を相殺するが、熱
フイラメントの材質が通常タングステン，タンタル等の
高融点金属のため、ヘアピン形状のフイラメント４を作
るために特殊加工を要し、高価になるという問題点があ
る。本発明は、前記の点に留意し、フイラメント電流に
よる環状磁場を相殺し、プラズマの生成効率を向上し、
フイラメントの寿命を長くするようにしたイオン源装置
を提供することを目的とする。
のフイラメント４により発生する磁場を相殺するが、熱
フイラメントの材質が通常タングステン，タンタル等の
高融点金属のため、ヘアピン形状のフイラメント４を作
るために特殊加工を要し、高価になるという問題点があ
る。本発明は、前記の点に留意し、フイラメント電流に
よる環状磁場を相殺し、プラズマの生成効率を向上し、
フイラメントの寿命を長くするようにしたイオン源装置
を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のイオン源装置は、少なくとも２本の直線状
のフイラメントを平行に配置し、両フイラメントにそれ
ぞれ逆方向の加熱電流が流れるように両フイラメントの
電流導入端子をフイラメント電源に接続したものであ
る。
に、本発明のイオン源装置は、少なくとも２本の直線状
のフイラメントを平行に配置し、両フイラメントにそれ
ぞれ逆方向の加熱電流が流れるように両フイラメントの
電流導入端子をフイラメント電源に接続したものであ
る。
【０００６】
【作用】前記のように構成された本発明のイオン源装置
は、２本の直線状のフイラメントが平行に配置され、そ
の両フイラメントにそれぞれ逆方向の加熱電流が流され
るため、両フイラメントそれぞれが形成する環状磁場が
相殺され、フイラメントからのエミッション電子が環状
磁場によりトラップされることなく放出され、プラズマ
の生成が効率よく行われ、フイラメントの寿命も長くな
り、かつ、フイラメントの形状が簡単で安価である。
は、２本の直線状のフイラメントが平行に配置され、そ
の両フイラメントにそれぞれ逆方向の加熱電流が流され
るため、両フイラメントそれぞれが形成する環状磁場が
相殺され、フイラメントからのエミッション電子が環状
磁場によりトラップされることなく放出され、プラズマ
の生成が効率よく行われ、フイラメントの寿命も長くな
り、かつ、フイラメントの形状が簡単で安価である。
【０００７】
【実施例】実施例について図１及び図２を参照して説明
する。それらの図において図１と同一符号は同一もしく
は相当するものを示す。 （実施例１）実施例１を示した図１は、平行に配置した
２本の直線状のフイラメント１に、それぞれ逆方向の加
熱電流が流れるように、両フイラメント１の両端の電流
導入端子２をフイラメント電源３に接続したものであ
る。
する。それらの図において図１と同一符号は同一もしく
は相当するものを示す。 （実施例１）実施例１を示した図１は、平行に配置した
２本の直線状のフイラメント１に、それぞれ逆方向の加
熱電流が流れるように、両フイラメント１の両端の電流
導入端子２をフイラメント電源３に接続したものであ
る。
【０００８】（実施例２）実施例２を示した図２はイオ
ン源の大型化に伴った場合であり、平行に配置した２本
の直線状のフイラメント１の両端と，中間の等間隔の位
置にそれぞれ電流導入端子２を設け、一方のフイラメン
ト１の一方の端部から各端子に順にフイラメント電源の
＋極，−極，＋極，…を接続し、他方のフイラメント１
の同じ一方の端部から各端子に順にフイラメント電源の
−極，＋極，−極，…を接続したものである。
ン源の大型化に伴った場合であり、平行に配置した２本
の直線状のフイラメント１の両端と，中間の等間隔の位
置にそれぞれ電流導入端子２を設け、一方のフイラメン
ト１の一方の端部から各端子に順にフイラメント電源の
＋極，−極，＋極，…を接続し、他方のフイラメント１
の同じ一方の端部から各端子に順にフイラメント電源の
−極，＋極，−極，…を接続したものである。
【０００９】この場合、フイラメント１の形状が簡単で
フイラメント１の取り付け，交換の作業が容易である。
なお、フイラメント１の中間の端子の位置は、必ずしも
等間隔である必要はなく、この場合、フイラメント電源
の出力を変えればよい。また、フイラメント１は２本に
限らず３本以上であってもよいのは勿論である。
フイラメント１の取り付け，交換の作業が容易である。
なお、フイラメント１の中間の端子の位置は、必ずしも
等間隔である必要はなく、この場合、フイラメント電源
の出力を変えればよい。また、フイラメント１は２本に
限らず３本以上であってもよいのは勿論である。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、２本の直線状のフイラメント１が平行に
配置され、その両フイラメント１にそれぞれ逆方向の加
熱電流が流されるため、両フイラメント１それぞれが形
成する環状磁場が相殺され、フイラメント１からのエミ
ッション電子を環状磁場によりトラップされることなく
放出することができ、プラズマの生成効率を向上するこ
とができ、フイラメント１の寿命を長くでき、かつ、フ
イラメント１の形状が簡単で安価にすることができる。
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、２本の直線状のフイラメント１が平行に
配置され、その両フイラメント１にそれぞれ逆方向の加
熱電流が流されるため、両フイラメント１それぞれが形
成する環状磁場が相殺され、フイラメント１からのエミ
ッション電子を環状磁場によりトラップされることなく
放出することができ、プラズマの生成効率を向上するこ
とができ、フイラメント１の寿命を長くでき、かつ、フ
イラメント１の形状が簡単で安価にすることができる。
【図１】本発明の実施例１の斜視図である。
【図２】実施例２の斜視図である。
【図３】従来例の斜視図である。
【図４】他の従来例の斜視図である。
１ フイラメント ２ 電流導入端子 ３ フイラメント電源
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも２本の直線状のフイラメント
を平行に配置し、前記両フイラメントにそれぞれ逆方向
の加熱電流が流れるように前記両フイラメントの電流導
入端子をフイラメント電源に接続したイオン源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18858692A JPH065219A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18858692A JPH065219A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | イオン源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065219A true JPH065219A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=16226267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18858692A Pending JPH065219A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | イオン源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065219A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07337051A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Nec Corp | 直線変位駆動装置 |
| JP2006147269A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
| EP2079096A1 (fr) * | 2008-01-11 | 2009-07-15 | Excico Group | Source d'ions à décharge électrique par filament |
| JP2009205971A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
| WO2009112667A1 (fr) * | 2008-01-11 | 2009-09-17 | Excico Group | Source d'ions à décharge électrique par filament |
| CN105304448A (zh) * | 2014-07-25 | 2016-02-03 | 布鲁克·道尔顿公司 | 用于质谱电子轰击离子源的灯丝 |
| CN113488366A (zh) * | 2021-06-10 | 2021-10-08 | 纳境鼎新粒子科技(广州)有限公司 | 电子源 |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP18858692A patent/JPH065219A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07337051A (ja) * | 1994-06-14 | 1995-12-22 | Nec Corp | 直線変位駆動装置 |
| JP2006147269A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
| EP2079096A1 (fr) * | 2008-01-11 | 2009-07-15 | Excico Group | Source d'ions à décharge électrique par filament |
| WO2009112667A1 (fr) * | 2008-01-11 | 2009-09-17 | Excico Group | Source d'ions à décharge électrique par filament |
| JP2011509511A (ja) * | 2008-01-11 | 2011-03-24 | エクシコ・グループ | フィラメント放電イオン源 |
| JP2009205971A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-09-10 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
| CN105304448A (zh) * | 2014-07-25 | 2016-02-03 | 布鲁克·道尔顿公司 | 用于质谱电子轰击离子源的灯丝 |
| CN113488366A (zh) * | 2021-06-10 | 2021-10-08 | 纳境鼎新粒子科技(广州)有限公司 | 电子源 |
| CN113488366B (zh) * | 2021-06-10 | 2024-03-15 | 纳境鼎新粒子科技(广州)有限公司 | 电子源 |
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