JPH065218A - イオン源装置 - Google Patents
イオン源装置Info
- Publication number
- JPH065218A JPH065218A JP4188585A JP18858592A JPH065218A JP H065218 A JPH065218 A JP H065218A JP 4188585 A JP4188585 A JP 4188585A JP 18858592 A JP18858592 A JP 18858592A JP H065218 A JPH065218 A JP H065218A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- terminals
- current
- ion source
- source device
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造を簡単にし、フイラメントの取り付け，
交換の作業を容易にし、フイラメントの寿命の低下を防
止する。 【構成】 １本のフイラメント５の数個所に電流導入端
子２を接続し、各端子２を端部から順にフイラメント電
源３の正極と負極に交互に接続する。
交換の作業を容易にし、フイラメントの寿命の低下を防
止する。 【構成】 １本のフイラメント５の数個所に電流導入端
子２を接続し、各端子２を端部から順にフイラメント電
源３の正極と負極に交互に接続する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、熱フイラメントをカソ
ードとしたイオン源装置に関する。
ードとしたイオン源装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のイオン源装置は、大型の代表的な
バケット型の場合、図４に示す構成になっている。同図
において、１はヘアピン形状の複数個のフイラメント、
２はフイラメント１の両端に接続された電流導入端子、
３は通電加熱用のフイラメント電源であり、電源３の正
極及び負極が各フイラメント１の両端子２に接続されて
いる。４はイオン源容器であり、各フイラメント１が収
納され、電気的に絶縁されている。なお、図４では、１
個の電源３に各フイラメント１の両端子２が接続されて
いるが、各フイラメント１毎に別々にフイラメント電源
を接続したものもある。
バケット型の場合、図４に示す構成になっている。同図
において、１はヘアピン形状の複数個のフイラメント、
２はフイラメント１の両端に接続された電流導入端子、
３は通電加熱用のフイラメント電源であり、電源３の正
極及び負極が各フイラメント１の両端子２に接続されて
いる。４はイオン源容器であり、各フイラメント１が収
納され、電気的に絶縁されている。なお、図４では、１
個の電源３に各フイラメント１の両端子２が接続されて
いるが、各フイラメント１毎に別々にフイラメント電源
を接続したものもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の前記装置の場
合、フイラメント１がヘアピン形状で構造が複雑で特殊
加工を要し、かつ、フイラメント１の個数の２倍の電流
導入端子２を用いているため、フイラメント１の取り付
け及び交換の作業が煩雑であり、さらにイオン源が大型
になるほどフイラメント１の個数が大となり、各フイラ
メント１の設置スペースに制約を受けるという問題点が
ある。本発明は、前記の点に留意し、構造を簡単にし、
電流導入端子の個数を減少させ、フイラメントの取り付
け，交換の作業を容易にするようにしたイオン源装置を
提供することを目的とする。
合、フイラメント１がヘアピン形状で構造が複雑で特殊
加工を要し、かつ、フイラメント１の個数の２倍の電流
導入端子２を用いているため、フイラメント１の取り付
け及び交換の作業が煩雑であり、さらにイオン源が大型
になるほどフイラメント１の個数が大となり、各フイラ
メント１の設置スペースに制約を受けるという問題点が
ある。本発明は、前記の点に留意し、構造を簡単にし、
電流導入端子の個数を減少させ、フイラメントの取り付
け，交換の作業を容易にするようにしたイオン源装置を
提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明のイオン源装置は、１本のフイラメントの数
個所に電流導入端子を接続し、前記各端子を端部から順
にフイラメント電源の正極と負極に交互に接続したもの
である。
に、本発明のイオン源装置は、１本のフイラメントの数
個所に電流導入端子を接続し、前記各端子を端部から順
にフイラメント電源の正極と負極に交互に接続したもの
である。
【０００５】
【作用】前記のように構成された本発明のイオン源装置
は、フイラメントが１本で構造が簡単で加工が容易であ
り、その１本のフイラメントの数個所に電流導入端子を
接続し、その各端子を端部から順にフイラメント電源の
正極と負極に交互に接続したため、電流導入端子が約半
分に減少し、フイラメントの取り付け及び交換の作業が
きわめて容易になり、設置スペースの制約が少なくな
る。
は、フイラメントが１本で構造が簡単で加工が容易であ
り、その１本のフイラメントの数個所に電流導入端子を
接続し、その各端子を端部から順にフイラメント電源の
正極と負極に交互に接続したため、電流導入端子が約半
分に減少し、フイラメントの取り付け及び交換の作業が
きわめて容易になり、設置スペースの制約が少なくな
る。
【０００６】
【実施例】１実施例について図１及び図２を参照して説
明する。それらの図において図４と同一符号は同一もし
くは相当するものを示し、図１において図４と異なる点
は、１本の直線状のフイラメント５からなり、フイラメ
ント５の両端と，中間の等間隔の位置に電流導入端子２
が接続され、各端子２を端部から順に通電加熱用のフイ
ラメント電源３に接続したものである。
明する。それらの図において図４と同一符号は同一もし
くは相当するものを示し、図１において図４と異なる点
は、１本の直線状のフイラメント５からなり、フイラメ
ント５の両端と，中間の等間隔の位置に電流導入端子２
が接続され、各端子２を端部から順に通電加熱用のフイ
ラメント電源３に接続したものである。
【０００７】従って、フイラメント５が１本で数個所に
電流導入端子２を接続したものであるため、フイラメン
ト５の構造が簡単で加工が容易であり、端子２の個数が
（従来の１／２＋１）で約半分に減少したため、フイラ
メント５の取り付け，交換の作業が容易であり、設置ス
ペースの制約も少ない。
電流導入端子２を接続したものであるため、フイラメン
ト５の構造が簡単で加工が容易であり、端子２の個数が
（従来の１／２＋１）で約半分に減少したため、フイラ
メント５の取り付け，交換の作業が容易であり、設置ス
ペースの制約も少ない。
【０００８】その上、１本のフイラメント５に流す電流
が図２のＢに示すように同一方向の場合、フイラメント
５の両端の電圧降下が非常に大きくなり、電源３の負極
側に接続された部分にプラズマからのイオンによるスパ
ッタ及びイオン電流が集中し、フイラメント５の寿命が
著しく低下することになるが、本実施例では図２のＡに
示すように、フイラメント５に流れる電流の方向が交互
に逆であり、全体の電圧降下を分割することになり、フ
イラメント５の一部にスパッタ及びイオン電流が集中す
ることが抑制され、フイラメント５の寿命の低下が防止
される。
が図２のＢに示すように同一方向の場合、フイラメント
５の両端の電圧降下が非常に大きくなり、電源３の負極
側に接続された部分にプラズマからのイオンによるスパ
ッタ及びイオン電流が集中し、フイラメント５の寿命が
著しく低下することになるが、本実施例では図２のＡに
示すように、フイラメント５に流れる電流の方向が交互
に逆であり、全体の電圧降下を分割することになり、フ
イラメント５の一部にスパッタ及びイオン電流が集中す
ることが抑制され、フイラメント５の寿命の低下が防止
される。
【０００９】つぎに他の実施例を示した図３について説
明する。図１と異なる点は、フイラメント５の区分毎に
フイラメント電源６を接続したものである。なお、中間
の電流導入端子２の位置は、必ずしも等間隔の位置でな
くてもよく、この場合、フイラメント５の区分毎のフイ
ラメント電源６の出力を変える。また、フイラメント５
の形状は、図示の直線状に限らず、わん曲或いは折曲し
たものであってもよく、その形状は限定されるものでな
い。
明する。図１と異なる点は、フイラメント５の区分毎に
フイラメント電源６を接続したものである。なお、中間
の電流導入端子２の位置は、必ずしも等間隔の位置でな
くてもよく、この場合、フイラメント５の区分毎のフイ
ラメント電源６の出力を変える。また、フイラメント５
の形状は、図示の直線状に限らず、わん曲或いは折曲し
たものであってもよく、その形状は限定されるものでな
い。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、フイラメント５が１本で構造が簡単で加
工が容易であり、その１本のフイラメント５の数個所に
電流導入端子２を接続し、その各端子２を端部から順に
フイラメント電源３の正極と負極に交互に接続したた
め、電流導入端子２が約半分に減少し、フイラメント５
の取り付け及び交換の作業をきわめて容易にすることが
でき、設置スペースの制約も少なくなる。その上、１本
のフイラメント５に流れる電流の方向が交互に逆であ
り、全体の電圧降下を分割することになり、フイラメン
ト５の一部にスパッタ及びイオン電流が集中することが
抑制され、フイラメント５の寿命の低下を防止すること
ができる。
ているので、以下に記載する効果を奏する。本発明のイ
オン源装置は、フイラメント５が１本で構造が簡単で加
工が容易であり、その１本のフイラメント５の数個所に
電流導入端子２を接続し、その各端子２を端部から順に
フイラメント電源３の正極と負極に交互に接続したた
め、電流導入端子２が約半分に減少し、フイラメント５
の取り付け及び交換の作業をきわめて容易にすることが
でき、設置スペースの制約も少なくなる。その上、１本
のフイラメント５に流れる電流の方向が交互に逆であ
り、全体の電圧降下を分割することになり、フイラメン
ト５の一部にスパッタ及びイオン電流が集中することが
抑制され、フイラメント５の寿命の低下を防止すること
ができる。
【図１】本発明の１実施例の斜視図である。
【図２】Ａ，Ｂはそれぞれ電流の方向と電圧降下の説明
図である。
図である。
【図３】本発明の他の実施例の斜視図である。
【図４】従来例の斜視図である。
【符号の説明】 ２ 電流導入端子 ３ フイラメント電源 ５ フイラメント
Claims (1)
- 【請求項１】 １本のフイラメントの数個所に電流導入
端子を接続し、前記各端子を端部から順にフイラメント
電源の正極と負極に交互に接続したイオン源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4188585A JPH065218A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | イオン源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4188585A JPH065218A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | イオン源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065218A true JPH065218A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=16226250
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4188585A Pending JPH065218A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | イオン源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065218A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006147269A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
| CN105304448A (zh) * | 2014-07-25 | 2016-02-03 | 布鲁克·道尔顿公司 | 用于质谱电子轰击离子源的灯丝 |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP4188585A patent/JPH065218A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006147269A (ja) * | 2004-11-18 | 2006-06-08 | Nissin Electric Co Ltd | イオン照射装置 |
| CN105304448A (zh) * | 2014-07-25 | 2016-02-03 | 布鲁克·道尔顿公司 | 用于质谱电子轰击离子源的灯丝 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |