JPH0339896Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は半導体の製造等に使用されるイオン注
入装置のコネクターストラツプに関する。

（従来の技術） 従来、イオン注入装置内にはフイラメントや電
極等の被給電部材が多数設けられ、これらには銅
製のコネクターストラツプを介して給電するを一
般とする。

（考案が解決しようとする問題点） 銅製のコネクターストラツプは安価ではある
が、イオン注入装置内で使用されるフツ素系がス
等の影響により腐蝕が激しく、短期間で交換する
必要があり、メンテナンスが煩わしく装置の運転
効率も低くなる欠点があつた。

本考案はこうした欠点を解消することを目的と
するものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案では、イオン注入装置内に設けたフイラ
メントその他の被給電部材に、コネクターストラ
ツプを介して給電するようにしたものに於いて、
該コネクターストラツプの表面を銀面に形成する
ことにより前記問題点を解決するようにした。

（作用） イオン注入装置内で例えばフツ素系ガスを使用
した場合、該コネクターストラツプの表面が銀材
料で覆われた銀面であると該ガスによる腐蝕は著
しく少なくなり、従来の銅製のものと比べて５倍
以上の耐久性が得られ、メンテナンスの煩雑さを
解消し装置の運転効率が向上する。

（実施例） 本考案の実施例を図面につき説明すると、第１
図に於いて符号１ａ，１ｂはイオン注入装置の室
内の内壁に固定したクランプ、２ａ，２ｂは該ク
ランプ１ａ，１ｂに支承されたコネクターロツド
で、クランプ及びコネクターロツドは２セツト設
けられる。各コネクターロツド２ａ，２ａは電源
に接続され、もう一方のコネクターロツド２ｂ，
２ｂの先端に設けたクランプ３にフイラメント等
の被給電部材４がアークチヤンバー６等を挿通し
て取付けられる。各コネクターロツド２ａ，２ｂ
間には、第２図示のような形状のコネクタースト
ラツプ５を複数枚重ね、クランプ１ａ，１ｂによ
りコネクターロツド２ａ，２ｂを共締めし、コネ
クターロツド２ａ，２ａに通電した場合、コネク
ターストラツプ５からコネクターロツド２ｂ及び
クランプ３を介して被給電部材４に給電される。

イオン注入装置の室内で例えばフツ素系ガスが
使用されると、コネクターストラツプ５が銅製の
ときは激しく腐蝕されるが、これを第３図示のよ
うに銀メツキ層５ａを形成したコネクターストラ
ツプ５とすることにより或は全体を銀製とするこ
とによりその腐蝕は著しく少なくなり、交換の煩
雑さを解消出来る。従来の銅製のコネクタースト
ラツプはフツ素系ガスを使用した場合、３ケ月間
で５回の交換が必要であつたが、銀メツキのコネ
クターストラツプ５ではその単価は銅製よりも約
７％高くなるが、その交換は３ケ月に１回で足
り、また全体を銀製としたコネクターストラツプ
５ではその単価は銅製よりも約33％高くなるが３
ケ月間の使用では全く交換する必要がなかつた。

（考案の効果） 以上のように本考案によるときは、イオン注入
装置内に設けられるコネクターストラツプを銀メ
ツキ製或は銀製として表面に銀面を形成するよう
にしたので、耐久性が向上し、メンテナンスが簡
略となり、装置の運転効率も高まる等の効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の側面図、第２図はコ
ネクターストラツプの斜視図、第３図はその断面
図である。 ４……被給電部材、５……コネクターストラツ
プ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. イオン注入装置内に設けたフイラメントその他
   の被給電部材に、コネクターストラツプを介して
   給電するようにしたものに於いて、該コネクター
   ストラツプの表面を銀面に形成したことを特徴と
   するイオン注入装置用コネクターストラツプ。