JPH0651570B2 - 圧電セラミックス原料粉末の製造方法 - Google Patents
圧電セラミックス原料粉末の製造方法Info
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- JPH0651570B2 JPH0651570B2 JP62247906A JP24790687A JPH0651570B2 JP H0651570 B2 JPH0651570 B2 JP H0651570B2 JP 62247906 A JP62247906 A JP 62247906A JP 24790687 A JP24790687 A JP 24790687A JP H0651570 B2 JPH0651570 B2 JP H0651570B2
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- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、ペロブスカイトおよびその固溶体の原料粉末
の製造方法に関するものである。
の製造方法に関するものである。
ペロブスカイトおよびその固溶体は、圧電体、誘電体、
半導体、センサー、オプトエレクトロニクス材料等の機
能性セラミックスとして広範囲に利用されている。最近
はこの機能性をより高度にすることが望まれており、そ
の要請に対応できる易焼結性、均一性、高嵩密度で、且
つ低コストのペロブスカイトおよびその固溶体の原料粉
末が多量に効率的に製造できる技術の開発が要望されて
いる。
半導体、センサー、オプトエレクトロニクス材料等の機
能性セラミックスとして広範囲に利用されている。最近
はこの機能性をより高度にすることが望まれており、そ
の要請に対応できる易焼結性、均一性、高嵩密度で、且
つ低コストのペロブスカイトおよびその固溶体の原料粉
末が多量に効率的に製造できる技術の開発が要望されて
いる。
（従来技術およびその問題点） 従来、ペロブスカイトおよびその固溶体の原料粉末の製
造方法としては、乾式法、共沈法および多段湿式法が知
られている。
造方法としては、乾式法、共沈法および多段湿式法が知
られている。
乾式法は、構成原料成分の化合物を乾式で混合し、これ
を仮焼する方法である。しかし、この方法では、均一組
成の原料粉末が得難いため、優れた機能性を持つペロブ
スカイトを得難いし、また焼結性も十分でない。
を仮焼する方法である。しかし、この方法では、均一組
成の原料粉末が得難いため、優れた機能性を持つペロブ
スカイトを得難いし、また焼結性も十分でない。
共沈法はその構成成分のすべてを一緒にした混合溶液を
調製し、これにアルカリ等の沈澱形成液を添加して共沈
させ、共沈物を乾燥、仮焼する方法である。
調製し、これにアルカリ等の沈澱形成液を添加して共沈
させ、共沈物を乾燥、仮焼する方法である。
この共沈法によると、均一性の優れた粉末が得易いが、
その均一性なるが故に、沈澱生成時、乾燥時または仮焼
時に粒子が凝結して二次粒子を形成し、焼結しにくい欠
点があった。
その均一性なるが故に、沈澱生成時、乾燥時または仮焼
時に粒子が凝結して二次粒子を形成し、焼結しにくい欠
点があった。
また、共沈法では各成分の該沈澱形成液に対する沈澱形
成能が同じでない場合は、例えば或る成分は実質的に１
００％沈澱を生成するが、他の成分は部分的にしか沈澱
を生成し得ないことがあり、所望組成のものを得ること
が困難であった。
成能が同じでない場合は、例えば或る成分は実質的に１
００％沈澱を生成するが、他の成分は部分的にしか沈澱
を生成し得ないことがあり、所望組成のものを得ること
が困難であった。
多段湿式法は特開昭61-53113号公報、特開昭61-53115号
公報等に記載されているように、各成分を段階的に沈澱
させることにより、共沈法における前記欠点を解決した
ものである。しかしながら、前記多段湿式法においても
Mg成分、Zn成分、Ni成分およびCo成分を実質的に１００
％沈澱させるのは困難であった。
公報等に記載されているように、各成分を段階的に沈澱
させることにより、共沈法における前記欠点を解決した
ものである。しかしながら、前記多段湿式法においても
Mg成分、Zn成分、Ni成分およびCo成分を実質的に１００
％沈澱させるのは困難であった。
（発明の目的） 本発明の目的は、前記多段湿式法を改良し、すべての成
分を完全に沈澱させて所望組成のペロブスカイトおよび
その固溶体の原料粉末を製造することができる方法を提
供することである。
分を完全に沈澱させて所望組成のペロブスカイトおよび
その固溶体の原料粉末を製造することができる方法を提
供することである。
本発明の他の目的は、圧電特性が優れ、易焼結性、均一
性、低コスト、高嵩密度の要件を満足したペロブスカイ
トおよびその固溶体の原料粉末を効率よく製造すること
ができる方法を提供することである。
性、低コスト、高嵩密度の要件を満足したペロブスカイ
トおよびその固溶体の原料粉末を効率よく製造すること
ができる方法を提供することである。
（問題点を解決するための手段） 本発明は一般式 x[Pb(A1/3B2/3)O3]-y(PbTiO3)-z(PbZrO3) （ただし、ＡはMg，Zn，NiおよびCoの少なくとも一種を
示し、ＢはNbおよびTaの少なくとも一種を示し、ｘ、ｙ
およびｚはモル％を示し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００であ
る。）で表されるペロブスカイトおよびその固溶体の原
料粉末の製造に際し、 (1)Pb、Ａ、ＢおよびZr成分の溶液を沈澱形成液と接触
させるか、あるいは (2)Ａ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物およびPb、Zr成分の溶液を
沈澱形成液と接触させ、 かつ、アナターゼ型TiO2を沈澱形成のいずれかの段階で
液相に分散させることにより、前記各成分の混合沈澱物
を形成させ、これを５００〜１２００℃で仮焼すること
を特徴とする圧電セラミックス原料粉末の製造方法に関
するものである。
示し、ＢはNbおよびTaの少なくとも一種を示し、ｘ、ｙ
およびｚはモル％を示し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００であ
る。）で表されるペロブスカイトおよびその固溶体の原
料粉末の製造に際し、 (1)Pb、Ａ、ＢおよびZr成分の溶液を沈澱形成液と接触
させるか、あるいは (2)Ａ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物およびPb、Zr成分の溶液を
沈澱形成液と接触させ、 かつ、アナターゼ型TiO2を沈澱形成のいずれかの段階で
液相に分散させることにより、前記各成分の混合沈澱物
を形成させ、これを５００〜１２００℃で仮焼すること
を特徴とする圧電セラミックス原料粉末の製造方法に関
するものである。
本発明において、「溶液」とは可溶物を溶解させた溶液
または不溶物を分散させた懸濁液を意味する。
または不溶物を分散させた懸濁液を意味する。
本発明における一般式 x[Pb(A1/3B2/3)O3]-y(PbTiO3)-z(PbZrO3) で表されるペロブスカイトおよびその固溶体のＡ成分は
Mg、Zn、NiおよびCoの少なくとも一種であり、Ｂ成分は
NbおよびTaの少なくとも一種であり、[Pb(A1/3B2/3)O3
におけるPbと(A1/3B2/3)の成分の原子比〔Pb/(A
1/3B2/3)〕、PbTiO3におけるPbとTiの原子比(Pb/Ti)お
よびPbZrO3におけるPbとZrの原子比(Pb/Zr)は通常1.0で
あるが、この原子比を1.0より高い値、もしくは低い値
にずらした不定比性ペロブスカイトも含まれる。
Mg、Zn、NiおよびCoの少なくとも一種であり、Ｂ成分は
NbおよびTaの少なくとも一種であり、[Pb(A1/3B2/3)O3
におけるPbと(A1/3B2/3)の成分の原子比〔Pb/(A
1/3B2/3)〕、PbTiO3におけるPbとTiの原子比(Pb/Ti)お
よびPbZrO3におけるPbとZrの原子比(Pb/Zr)は通常1.0で
あるが、この原子比を1.0より高い値、もしくは低い値
にずらした不定比性ペロブスカイトも含まれる。
また前記一般式中のｘ、ｙおよびｚはモル％を示し、用
途に応じ種々の数値をとりうるが、通常、ｘは５〜９
０、ｙは５〜８０、ｚは５〜８０モル％の範囲から選択
するのが好適である。この範囲をはずれると特性的に問
題となるので好ましくない。
途に応じ種々の数値をとりうるが、通常、ｘは５〜９
０、ｙは５〜８０、ｚは５〜８０モル％の範囲から選択
するのが好適である。この範囲をはずれると特性的に問
題となるので好ましくない。
ペロブスカイトおよびその固溶体の構成成分であるＡ、
Ｂ、PbおよびZr成分の化合物の溶液を調製するための各
成分化合物としては、特に限定されないが、それらの水
酸化物、炭酸塩、オキシ塩、硫酸塩、硝酸塩、塩化物等
の無機塩、酢酸塩、しゅう酸塩等の有機酸塩、酸化物等
から適宜選択される。Ti源としてはアナターゼ型のTiO2
を用いるが、その粒径は小さい方が好ましく、0.1〜２
μｍ程度がよい。
Ｂ、PbおよびZr成分の化合物の溶液を調製するための各
成分化合物としては、特に限定されないが、それらの水
酸化物、炭酸塩、オキシ塩、硫酸塩、硝酸塩、塩化物等
の無機塩、酢酸塩、しゅう酸塩等の有機酸塩、酸化物等
から適宜選択される。Ti源としてはアナターゼ型のTiO2
を用いるが、その粒径は小さい方が好ましく、0.1〜２
μｍ程度がよい。
本発明におけるＡ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物は、 Ａ成分およびＢ成分の酸化物または炭酸塩を混合し、
これを仮焼する乾式法、 Ａ成分およびＢ成分のどちらか一方の不溶性原料を液
相に懸濁させ、他方の成分の可溶性原料の溶液と沈澱形
成液を接触させて混合沈澱物を形成させ、これを仮焼す
る半湿式法、 Ａ成分およびＢ成分の可溶性原料の溶液を沈澱形成液
と接触させて混合沈澱物を形成させ、これを仮焼する湿
式法により調製される。仮焼温度はいずれの場合も５０
０〜１３００℃が適当である。
これを仮焼する乾式法、 Ａ成分およびＢ成分のどちらか一方の不溶性原料を液
相に懸濁させ、他方の成分の可溶性原料の溶液と沈澱形
成液を接触させて混合沈澱物を形成させ、これを仮焼す
る半湿式法、 Ａ成分およびＢ成分の可溶性原料の溶液を沈澱形成液
と接触させて混合沈澱物を形成させ、これを仮焼する湿
式法により調製される。仮焼温度はいずれの場合も５０
０〜１３００℃が適当である。
本発明における沈澱形成液としては、アンモニア、炭酸
アンモニウム、苛性アルカリ、アミン、しゅう酸、アル
キルアミン等の溶液が挙げられる。アルキルアミンとし
ては、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、
ブチルアミン等の低級アルキル基を有する第一アミン、
ジメチルアミン、ジエチルアミン等の低級アルキル基を
有する第二アミン、トリエチルアミン等の低級アルキル
基を有する第三アミンを挙げることができる。
アンモニウム、苛性アルカリ、アミン、しゅう酸、アル
キルアミン等の溶液が挙げられる。アルキルアミンとし
ては、メチルアミン、エチルアミン、プロピルアミン、
ブチルアミン等の低級アルキル基を有する第一アミン、
ジメチルアミン、ジエチルアミン等の低級アルキル基を
有する第二アミン、トリエチルアミン等の低級アルキル
基を有する第三アミンを挙げることができる。
構成成分の沈澱を生成するには、沈澱形成液を撹拌しな
がら沈澱形成液に各構成成分の溶液を添加してもよく、
その反対に添加してもよい。添加に際しては、液を十分
に撹拌しながら行うことが好ましい。また沈澱生成は一
段で行っても、多段で行ってもよい。
がら沈澱形成液に各構成成分の溶液を添加してもよく、
その反対に添加してもよい。添加に際しては、液を十分
に撹拌しながら行うことが好ましい。また沈澱生成は一
段で行っても、多段で行ってもよい。
本発明におけるアナターゼ型TiO2とPb、Ａ、ＢおよびZr
成分の沈澱物の接触はTiO2を予め沈澱形成液に懸濁させ
ておいてもよく、また沈澱形成させた後にTiO2を加えて
混合してもよい。多段に沈澱形成させる場合は途中でTi
O2を加えてもよい。また、Ａ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物を用
いる場合も同様である。
成分の沈澱物の接触はTiO2を予め沈澱形成液に懸濁させ
ておいてもよく、また沈澱形成させた後にTiO2を加えて
混合してもよい。多段に沈澱形成させる場合は途中でTi
O2を加えてもよい。また、Ａ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物を用
いる場合も同様である。
前記方法により得られた混合沈澱物は、水等で洗浄する
ことが好ましいが、出発原料によっては洗浄しなくても
よい。混合沈澱物は乾燥後、仮焼する。乾燥は大気中で
行っても、減圧下で行ってもよい。仮焼温度としては、
過度に低いと沈澱物の脱水、熱分解が不十分であり、ま
た過度に高いと粉末が粗大化するので、通常５００〜１
２００℃の範囲が好適である。
ことが好ましいが、出発原料によっては洗浄しなくても
よい。混合沈澱物は乾燥後、仮焼する。乾燥は大気中で
行っても、減圧下で行ってもよい。仮焼温度としては、
過度に低いと沈澱物の脱水、熱分解が不十分であり、ま
た過度に高いと粉末が粗大化するので、通常５００〜１
２００℃の範囲が好適である。
（実施例） 以下に実施例および比較例を示し、さらに詳しく本発明
について説明する。
について説明する。
実施例１ 37.5[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]-37.5PbTiO3-25.0PbZrO3 五塩化ニオブ(NbCl5)13.509ｇをエタノール300mlに溶解
し、さらに６Ｎ−アンモニア水溶液1000mlを添加した。
これに硝酸鉛[Pb(NO3)2]66.242ｇを500mlの水に溶解し
た溶液を添加した。さらに塩化ジルコニル(ZrOCl2・8H
2O)16.11ｇを500mlの水に溶解した溶液を加えて沈澱を
生成させた。次に粒径0.4μｍのアナターゼ型のTiO2粉
末5.99ｇを加え充分撹拌した。この混合沈澱物を水で４
回傾瀉を繰り返し、洗浄し、アンモニウムイオン濃度を
0.11モル／ｌとした後、15N−アンモニア水10mlを含む
水溶液50mlを加え、pHを12.1とした。この液に水酸化マ
グネシウム[Mg(OH)2]5.141ｇを水350mlに分散した溶液
を徐々に加えて沈澱物を形成させた。この沈澱物を洗浄
することなく濾別、乾燥した後、組成分析したところ、
仕込みの元素組成と同一であった。さらにこの沈澱物を
750℃で２時間仮焼した。この粉末にエタノールを加え
ボールミル処理し、その一部を透過型電子顕微鏡により
粒子を観察したところ、粒径は0.5μｍ程度で均一であ
った。
し、さらに６Ｎ−アンモニア水溶液1000mlを添加した。
これに硝酸鉛[Pb(NO3)2]66.242ｇを500mlの水に溶解し
た溶液を添加した。さらに塩化ジルコニル(ZrOCl2・8H
2O)16.11ｇを500mlの水に溶解した溶液を加えて沈澱を
生成させた。次に粒径0.4μｍのアナターゼ型のTiO2粉
末5.99ｇを加え充分撹拌した。この混合沈澱物を水で４
回傾瀉を繰り返し、洗浄し、アンモニウムイオン濃度を
0.11モル／ｌとした後、15N−アンモニア水10mlを含む
水溶液50mlを加え、pHを12.1とした。この液に水酸化マ
グネシウム[Mg(OH)2]5.141ｇを水350mlに分散した溶液
を徐々に加えて沈澱物を形成させた。この沈澱物を洗浄
することなく濾別、乾燥した後、組成分析したところ、
仕込みの元素組成と同一であった。さらにこの沈澱物を
750℃で２時間仮焼した。この粉末にエタノールを加え
ボールミル処理し、その一部を透過型電子顕微鏡により
粒子を観察したところ、粒径は0.5μｍ程度で均一であ
った。
この仮焼粉にポリビニルアルコールを0.8wt%添加して1t
/cm2で成型し、鉛雰囲気下、1150℃で２時間焼結した。
得られた焼結体の密度は7.97g/cm3であった。この焼結
体を10mmφ×1mmtのサイズに研磨した後、銀ペーストを
塗布し、600℃で焼付けし、電極を形成した。このサン
プルを100℃のシリコンオイル中で240KV/cmの電界をか
け、分極処理した。インピーダンスアナライザーを用い
て室温で圧電特性を測定したところ、電気機械結合係数
(Kp)70％、圧電定数(d31)−210×10-12m/V、比誘電率
（ε３３／ε０）2100であった。
/cm2で成型し、鉛雰囲気下、1150℃で２時間焼結した。
得られた焼結体の密度は7.97g/cm3であった。この焼結
体を10mmφ×1mmtのサイズに研磨した後、銀ペーストを
塗布し、600℃で焼付けし、電極を形成した。このサン
プルを100℃のシリコンオイル中で240KV/cmの電界をか
け、分極処理した。インピーダンスアナライザーを用い
て室温で圧電特性を測定したところ、電気機械結合係数
(Kp)70％、圧電定数(d31)−210×10-12m/V、比誘電率
（ε３３／ε０）2100であった。
比較例１ 37.5[Pb(Mg1/3Nb2/3)O3]-37.5PbTiO3-25.0PbZrO3 酸化ニオブ(Nb2O5)33.5ｇ、酸化鉛(PbO)223.2ｇ、アナ
ターゼ型酸化チタン(TiO2)30.0ｇ、酸化ジルコニウム(Z
rO2)30.8ｇおよび酸化マグネシウム(MgO)5.1ｇを秤量
し、擂潰混合した後、乾燥した。このものを750℃で２
時間仮焼した。得られた粉末の粒径は１〜２μｍであ
り、不揃いであった。また、この粉末を実施例１と同様
にして焼結したところ、得られた焼結体の密度は7.30g/
cm3であった。圧電特性は、Kp45%、d31-110×10-12m/V、
ε３３／ε０950であった。
ターゼ型酸化チタン(TiO2)30.0ｇ、酸化ジルコニウム(Z
rO2)30.8ｇおよび酸化マグネシウム(MgO)5.1ｇを秤量
し、擂潰混合した後、乾燥した。このものを750℃で２
時間仮焼した。得られた粉末の粒径は１〜２μｍであ
り、不揃いであった。また、この粉末を実施例１と同様
にして焼結したところ、得られた焼結体の密度は7.30g/
cm3であった。圧電特性は、Kp45%、d31-110×10-12m/V、
ε３３／ε０950であった。
比較例２ 実施例１においてアナターゼ型酸化チタンのかわりにル
チル型酸化チタンを用いたほかは実施例１と同様にして
仮焼粉末を得た。得られた粉末の粒径は1.5μｍであっ
た。またこの粉末を実施例１と同様にして焼結したとこ
ろ、得られた焼結体の密度は7.90g/cm3であった。圧電
特性は、Kp53%、d31−140×10-12m/V、ε３３／ε０130
0であった。
チル型酸化チタンを用いたほかは実施例１と同様にして
仮焼粉末を得た。得られた粉末の粒径は1.5μｍであっ
た。またこの粉末を実施例１と同様にして焼結したとこ
ろ、得られた焼結体の密度は7.90g/cm3であった。圧電
特性は、Kp53%、d31−140×10-12m/V、ε３３／ε０130
0であった。
実施例２ 12[Pb(Mg1/9Ni2/9Nb2/3)O3]-44PbTiO3-44PbZrO3 酸化マグネシウム(MgO)1.07ｇ、酸化ニッケル(NiO)3.98
ｇ、五酸化ニオブ(Nb2O5)21.26ｇを秤量し、水を少量加
え、充分擂潰混合した後、乾燥した。このものを1000℃
で３時間仮焼し、Mg-Ni-Nb-O系複合酸化物の粉末を得
た。この複合酸化物2.63ｇとアナターゼ型酸化チタン(T
iO2)7.03ｇを4Nアンモニア水300mlに加え、分散、懸濁
させた。
ｇ、五酸化ニオブ(Nb2O5)21.26ｇを秤量し、水を少量加
え、充分擂潰混合した後、乾燥した。このものを1000℃
で３時間仮焼し、Mg-Ni-Nb-O系複合酸化物の粉末を得
た。この複合酸化物2.63ｇとアナターゼ型酸化チタン(T
iO2)7.03ｇを4Nアンモニア水300mlに加え、分散、懸濁
させた。
この中に硝酸鉛[Pb(NO3)2]66.24ｇ、硝酸ジルコニル[Zr
O(NO3)2・2H2O]23.52ｇを300mlの水に溶解した溶液を加
えて沈澱を生成させた。この混合沈澱物を水1000mlで３
回傾瀉を繰り返し、洗浄した後、乾燥して800℃で２時
間仮焼した。得られた粉末の粒径は0.6μｍであった。
またこの粉末を1100℃で焼結したところ、得られた焼結
体の密度は7.92g/cm3であった。圧電特性は、KP60%、d31
-290×10-12m/V、ε３３／ε０3200であった。
O(NO3)2・2H2O]23.52ｇを300mlの水に溶解した溶液を加
えて沈澱を生成させた。この混合沈澱物を水1000mlで３
回傾瀉を繰り返し、洗浄した後、乾燥して800℃で２時
間仮焼した。得られた粉末の粒径は0.6μｍであった。
またこの粉末を1100℃で焼結したところ、得られた焼結
体の密度は7.92g/cm3であった。圧電特性は、KP60%、d31
-290×10-12m/V、ε３３／ε０3200であった。
（発明の効果） 一般式x[Pb(A1/3B2/3)O3]-y(PbTiO3-z(PbZrO3) （ただし、ＡはMg、Zn、NiおよびCoの少なくとも一種を
示し、ＢはNbおよびTaの少なくとも一種を示し、ｘ、ｙ
およびｚはモル％を示し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００であ
る。）で表されるペロブスカイトおよびその固溶体の原
料粉末の製造に際し、公知の共沈法における全成分を同
時に共沈させる方法とは異なり、アナターゼ型TiO2また
はアナターゼ型TiO2およびＡ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物を他
の成分の沈澱物と接触させた後、乾燥、仮焼することに
より、圧電特性が優れ、高嵩密度の易焼結性の圧電セラ
ミックス原料粉末を再現性よく製造することができる。
示し、ＢはNbおよびTaの少なくとも一種を示し、ｘ、ｙ
およびｚはモル％を示し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００であ
る。）で表されるペロブスカイトおよびその固溶体の原
料粉末の製造に際し、公知の共沈法における全成分を同
時に共沈させる方法とは異なり、アナターゼ型TiO2また
はアナターゼ型TiO2およびＡ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物を他
の成分の沈澱物と接触させた後、乾燥、仮焼することに
より、圧電特性が優れ、高嵩密度の易焼結性の圧電セラ
ミックス原料粉末を再現性よく製造することができる。
また本プロセスでは各相が高度に相互分散しており、従
ってこのものを仮焼したものは十分な均一性が達成され
る。さらにプロセスが簡単であることに由来して、再現
性よく低コストで易焼結性の粉末が得られる等の優れた
効果を有する。
ってこのものを仮焼したものは十分な均一性が達成され
る。さらにプロセスが簡単であることに由来して、再現
性よく低コストで易焼結性の粉末が得られる等の優れた
効果を有する。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−3005（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】一般式x[Pb(A1/3B2/3)O3]-y(PbTiO3)-z(Pb
ZrO3)（ただし、ＡはMg，Zn，NiおよびCoの少なくとも
一種を示し、ＢはNbおよびTaの少なくとも一種を示し、
ｘ、ｙおよびｚはモル％を示し、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１００で
ある。）で表される複合ペロブスカイト型構造化合物
（以下ペロブスカイトという）およびその固溶体の原料
粉末の製造に際し、 (1)Pb、Ａ、ＢおよびZr成分の溶液を沈澱形成液と接触
させるか、あるいは (2)Ａ−Ｂ−Ｏ系複合酸化物およびPb、Zr成分の溶液を
沈澱形成液と接触させ、 かつ、アナターゼ型TiO2を沈澱形成のいずれかの段階で
液相に分散させることにより、前記各成分の混合沈澱物
を形成させ、これを５００〜１２００℃で仮焼すること
を特徴とする圧電セラミックス原料粉末の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62247906A JPH0651570B2 (ja) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | 圧電セラミックス原料粉末の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62247906A JPH0651570B2 (ja) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | 圧電セラミックス原料粉末の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0193419A JPH0193419A (ja) | 1989-04-12 |
| JPH0651570B2 true JPH0651570B2 (ja) | 1994-07-06 |
Family
ID=17170317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62247906A Expired - Lifetime JPH0651570B2 (ja) | 1987-10-02 | 1987-10-02 | 圧電セラミックス原料粉末の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0651570B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07133152A (ja) * | 1993-11-04 | 1995-05-23 | Nec Corp | 圧電磁器組成物の製造方法 |
| JP2004002069A (ja) | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Tdk Corp | 圧電磁器の製造方法および圧電素子の製造方法 |
| CN114956814B (zh) * | 2022-05-16 | 2023-08-18 | 昆明理工大学 | 一种抗烧结强抗cmas腐蚀高熵钽/铌陶瓷及其制备方法 |
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1987
- 1987-10-02 JP JP62247906A patent/JPH0651570B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0193419A (ja) | 1989-04-12 |
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